WO1999035301A1

WO1999035301A1 - Verfahren zum beschichten von folie aus nickel oder nickellegierung

Info

Publication number: WO1999035301A1
Application number: PCT/NL1999/000014
Authority: WO
Inventors: Josephus Gertudis Wilhelmus Pierre Gulikers; Klaus Goedicke; Jörn-Steffen LIEBIG; Peter Malobabic; Erwin Hochreiter
Original assignee: Stork Veco B.V.; Koninklijke Philips Electronics N.V.
Priority date: 1998-01-12
Filing date: 1999-01-11
Publication date: 1999-07-15
Also published as: CN1288489A; DE59904840D1; CN1203207C; JP2002500279A; EP1047805B1; ATE236275T1; DE19804751A1; EP1047805A1; DE19804751C2

Abstract

Verfahren zum Beschichten von Folie aus Nickel oder einer Nickellegierung durch Aufstäuben einer Schicht aus einer Metallverbindung in einem Vakuum auf die Folie, indem die Folie in einem Argonplasma bei einem Druck von 10?-3 bis 10-2¿ mbar eine einstellbare Zeit mit einer einstellbaren Rate und Energie der Ionen des Plasmas behandelt wird, und anschließend durch reaktives Magnetron-Zerstäuben mindestens eines Targets aus Chrom oder einer chromhaltigen Legierung mit mindestens einer Zerstäubungsquelle in einem Argon-Sauerstoff-Gemisch bei einem Druck von 10?-3 bis 10-2¿ mbar eine Chromoxidschicht oder eine chromoxidhaltige Schicht aufgestäubt wird, wobei der Arbeitspunkt in vorgegebenen Grenzen konstant gehalten wird und während des Beschichtens die Folie in einem definierten Wärmekontakt mit einem Wärmepuffer verbunden wird und bis zum Erreichen einer vorgegebenen Interferenz erster oder zweiter Ordnung auf der Folie beschichtet wird, wobei nach der Plasmabehandlung der Folie eine Schicht aus Chrom oder einer Chromlegierung durch Magnetron-Zerstäuben in Argon bei einem Druck von 10?-3 bis 10-2¿ mbar auf die plasmabehandelte Folie aufgestäubt wird.

Description

VERFAHREN ZUM BESCHICHTEN VON FOLIE AUS NICKEL ODER

NICKELLEGIERUNG

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Beschichten von Folie aus Nickel oder einer Nickellegierung und eine beschichtete Folie aus Nickel oder einer Nickellegierung-

Solche beschichtete Folien sind vorzugsweise lateral strukturiert und finden insbesondere als Scherfolien für Elektro-Rasierapparate Verwendung.

Derartige Scherfoiien und andere Produkte auf der Basis von Nickelfolien werden meist durch galvanisches Abscheiden hergestellt Durch verschiedene Verfahrensvaπanten gelingt es dabei, sowohl eine laterale Struktuπerung mit Durchbruchen als auch überstehende Teile, die eine Scherkante bilden, zu erzeugen.

Es wird in letzter Zeit angestrebt, diese Folien, die auswechselbar sind, aus verschiedenen Gründen visuell erkennbar und verwechslungsfrei zu kennzeichnen, um sie irrtumsfrei unterscheiden zu können, da ihre Anwendungsgebiete unterschiedlich sind.

Es sind verschiedene Verfahren bekannt, auf metallische Folien - insbesondere auf Rasier- und Scherfoiien - Schichten aufzubπngen, die die Gebrauchsdauer von Scherfolieπ erhöhen und mit denen ein Farbeffekt erreicht wird.

Insgesamt ist festzustellen, dass die bekannten Verfahren zur Herstellung von Scherfoiien keine optimale Lösung darstellen. Die wesentlichen Anforderungen an derartige Scherfoiien, wie visuelle verwechsiungsfreie Kennzeichnung, differenzierte Verwendung für verschiedene Hauttypen oder Kόrperpartien, dekorative und ästhetisch ansprechende Gestaltung. Verhinderung von Nickelallergie bei Hautkontakt sowie hohe Gebrauchsdauer, werden mit allen bekannten Verfanren nicht erfüllt

Zur beseitigung dieser Mangel wurde in der noch nicht offengelegten Deutschen Patentanmeldung 19800758.2 orgeschlagen die vorzugsweise galvanisch hergestellte Folie aus Nickel oder einer Nickellegierung im Vakuum im Bereich von mindestens einer Seite in einem Argonplasma bei einem Druck von 10° bis 10^"* mbar eine einstellbare Zeit mit einer einstellbaren Rate und Energie der Ionen des Plasmas zu behandeln. Anschließend wird durch reaktives Magnetron-Zerstäuben mindestens eines Targets aus Chrom oder einer chromhaltigen Legierung mit mindestens einer Zerstaubungsquelle in einem Argon-Sauerstoff-Gemisch bei einem Druck von 10^"3 bis 10^*3 mbar eine Chromoxidschicht aufgestäubt Dabei wird der Arbeitspunkt in vorgegebenen Grenzen konstant gehalten. Die Folie tst wänrend des Beschichtens in einem definierten Wärmekontakt mit einem Wärmepuffer verbunden. Bis zum Erreichen einer vorgegebenen Interferenzfarbe einer Interferenz erster oder zwerter Ordnung auf der Folie wird die Beschichtung fortgesetzt

Die nach der Patentanmeldung 198 0075Ξ.2 vorgeschlagene beschichtete Folie aus Nickel oder einer Nickellegierung, die insbesondere als Scherfoiie für Elektro-Rasierapparate verwendet wird, ist vorzugsweise nach einem galvanischen Verfahren hergestellt, und im Bereich von mindestens einer Seite ist im Vakuum eine Schicht aus einer Metallverbindung aufgestäubt Diese Schicht besteht aus einem Oxid des Chroms oder einer chromhaltigen Legierung. Die Dicke dieser Schicht ist durch eine vorgegebene Interferenzfarbe einer Interferenz erster oder zweiter Ordnung bestimmt. Der Schichtdickenbereich liegt zwischen 20 und 300 nm.

Diese vorzugsweise galvanisch hergesteiften Folien aus Nickel oder einer Nickellegierung werden nach ihrer Herstellung durch einen Wasch- und Trockenprozess gereinigt Es ist jedoch selbst bei intensiver Prozessdurchfύhrung nicht zu verhindern, dass lokal begrenzt Verschmutzungen - vor allem durch Trockenrύckstände - auftreten. So ist es unvermeidbar, dass besonders in der Umgebung der Durchbrüche der Scherfolien eine dünne Verunreiπigungsschicht in Form von Schlieren und Trockenrückständen auftritt. Diese Verunreinigungen führen bei dem vorgeschlagenen Verfahren gemäß der Patentanmeldung 198 00758.2 dazu, dass keine optimale Abrasionsbeständigkeit erreicht wird. Selbst durch eine Intensivierung des Plasmabehandlungsprozesses lassen sich die ungünstigen Auswirkungen von solchen Verunreinigungsschichten auf der Nickeloberfläche nicht kompensieren.

Bei den beschichteten Folien aus Nickel oder einer Nickellegierung, die derzeit vorzugsweise nach dem vorgeschlagenen Verfahren hergesteift sind, und die mindestens auf einer Seite mit einer im Vakuum aufgestäubten Schicht aus einer Meiallverbindung versehen sind, besteht des Probtem, dass diese Schicht aus einem Oxid des Chroms oder einer chromhaltigen Legierung nicht it der geforderten Qualität an der betreffenden Folie haftet also keine zufriedenstellende Haftfestigkeit aufweist. Ursache dafür ist die Verunreinigungsschicht die bei dem nach der Herstellung der Folie erforderlichen Wasch- und Trockenprozess entsteht Auch durch eine Reihe von Versuchen zur Änderung des Wasch- und Trockenprozesses und die Verwendung von Netzmitteln, durch Spülen in basischem oder saurem Medium, durch Versuche zum Abätzen einer oberflächlichen Oxidschicht sowie durch Versuche einer gezielten Oxidation konnte die Veruhreinigungsschicht nicht beseitigt werden. Auch eine Säure-Behandlung unmittelbar vor dem Vakuumbeschichtungsprozess wurde getestet Es musste festgestellt werden, dass das bisher vorgeschlagene Verfahren das Optimum im Rahmen des vorgeschlagenen Verfahrens darstellt und durch keine der vorstehend erwähnten Bemühungen verbessert werden konnte. Auch das Optimieren des Plasma-Vorbehandlungsprozesses in wiederhorten Versuchsreihen hat zu keinen restlos befriedigenden Ergebnissen geführt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das Verfahren zum Beschichten von Folie aus Nickel oder einer Nickellegierung und eine beschichtete Folie aus Nickel oder einer Nickellegierung, vorzugsweise eine Scherfolie für Elektro-Rasierapparate, die eine in beliebiger Farbe herstellbare, fest haftende, verschleißarme Schicht mit einer sehr geringen Dicke besitzt, nach der Patentanmeldung 198 00758.2 derart auszugestalten, dass die nach dem Wasch- und Trockenprozess entstehende Verunreinigungsschicht, die auch durch den nachfolgenden Plasmabehandlungsprozess nicht restlos zu beseitigen ist, keine negativen Auswirkungen auf die Gebrauchsdauer bei der abrasiven Belastung der Folie hervorruft. Es soll ebenso wie nach dem bereits vorgeschlagenen Verfahren die spezielle Forderung, dass die Farbtoleranzen sehr gering und die Farbgleichmäßigkeit sehr hoch sein sollen, erfüllt werden. Das Verfahren soll hochproduktiv und wirtschaftlich, d.h. automatisierbar sein. Auch die Forderung, dass das Beschichten ohne thermische Überlastung der Folien erfolgt uss erfüllt werden. Die vorgeschlagene Folie soll mit einem Indikator für die Gebrauchsdauer bei abrasiver Belastung, insbesondere beim Einsatz für Elektro- Rasierapparate, versehen werden können und sich durch eine Einstellbarkeit dieses Indikators auf einen vorgegebenen Wertebereich auszeichnen. Diese Gebrauchseigenschaften sollen nicht negativ durch den Wasch- und Trockenprozess vor der Beschichtung beeinflusst werden.

Es wurde gefunden, dass das bisher vorgeschlagene Verfahren dadurch verbessert werden kann, wenn vor dem reaktiven Aufstäuben der Schicht aus Chromoxid oder dem Oxid einer chromhattigen Legierung eine Schicht aus Chrom oder einer Chromlegierung auf die partiell verschmutzte Nickel-Oberfläche der Folie aufgebracht wird, nachdem die Folie aus Nickel oder einer Nickellegierung einer Plasmabehandlung unterzogen wurde. Man kann das erfindungsgemäße Verfahren als „Prinzip der begrabenen Nickel-Oberfläche" bezeichnen. Auf die partiell verschmutzte Nickel-Oberfläche wird nach einem Plasma-

Vorbehandlungsprozess zunächst eine Schicht aus Chrom oder einer Chromlegierung mit einer Dicke von einigen Nanometern aufgebracht. Dabei werden durch die partielle Aufoxidation des Chroms die sich an der Atmosphäre bildenden Nickeloxide und Fremdschichten reduziert und von der Schicht aus Chrom oder der Chromlegierung bedeckt. Der dem Aufstäuben der Chromschicht vorangehende zwingend erforderliche Plasmaprozess gewährleistet eine gute Haftung zwischen der partiell verschmutzten Nickel-Oberfläche und der Chromschicht bzw. der Chromiegierungsschicht Die Schicht aus Chrom bzw. der Chromlegierung muss so dick sein, dass sie oberflächlich metallisch und hochreflektierend ist Darauffolgend kann die als Interferenzschicht wirkende Chromoxidschicht auf die aufgestäubte Schicht aus Chrom bzw. der Chromlegierung in bekannter Weise aufgebracht werden. Da die Beschichtung ohne Vakuum-Unterbrechung erfolgt, wird zwischen der Schicht aus Chrom bzw. der Chromlegierung in statu nascendi und der Chromoxidschicht ohne erneutes Plasma-Ätzen eine sehr gute Haftung erreicht. Dieses „Prinzip der begrabenen Nickel-Oberfläche" bildet zunächst mit Mitteln der PVD eine gut haftende Oberfläche des Chroms bzw. der Chromlegierung, bevor das Aufstäuben der optisch wirksamen Interferenzschicht aus Chromoxid oder eines Oxids einer chromhaltigen Legierung erfolgt Sie nutzt weiterhin das gute Haftvermögen von Chrom und Chromlegierungen auf Nickel und das ebenfalls gute Haftvermögen von Chromoxid auf Chrom aus.

Die erfindungsgemäß beschichtete Folie aus Nickel oder einer Nickellegierung - auf welche ein Schichtsystem aufgebracht ist, das aus einer auf der Folie aufgestäubten Schicht aus Chrom oder einer Chromlegierung besteht, auf die eine Schicht aus Chromoxid oder dem Oxid einer chromhaltigen Legierung aufgestäubt ist - gewährleistet dass die durch den Wasch- und Trockenprozess der Folie nach deren Herstellung entstehende

Verunreinigungsschicht keinen negativen Einfluss auf die Eigenschaften der beschichteten Folie hat Es ist vorteilhaft wenn die aufgestäubte Schicht aus Chrom oder einer Chromiegierung eine Dicke von 3 nm bis 20 nm hat

An einem Ausführungsbeispiel wird die Erfindung nachfolgend näher beschrieben.

Nach der Erfindung werden Scherfoiien für Elektro-Rasierapparate hergestellt. Eine solche galvanisch hergesteifte Folie aus Nickel hat eine Dicke von 50 μm und besitzt ein Muster von Durchbrüchen für die Barthaare. Die Folien sollen typenabhängig markiert, ästhetisch-gestalterisch aufgewertet und in Bezug auf ihre mittlere Gebrauchsdauer markiert werden.

Das Verfahren wird in einer bekannten Mehrkammer-Zerstäubungsanlage mit linearem Durchlauf der zu beschichtenden Folien ausgeführt. Die Folien werden dazu auf Trägeiplatten aus 10 mm dicken Alu-Tafeln gelegt die mit einer hartmagnetischen Polymerfolie beklebt sind. Die Plasmabehandlung und das Beschichten erfolgen in Verbünden aus einzelnen Folien, die je eine Fläche von 80 cm x 50 cm bilden. Die magnetische Anziehungskraft der Polymerfolie sichert einen definierten und intensiven Wärmekontakt zwischen den Folien und den als Wärmepuffer wirkenden Trägerplatten. Nach dem Einschleusen der Trägerplatten mit den darauf haftenden Folien in das Vakuum wird in einer folgenden Vakuumkammer mittels eines Gaseinlasses ein Argondruck von 3 ^• 10° mbar eingestellt Mittels einer lonenquelle erfolgt in bekannter Weise die Plasmabehandlung. Die Tπ-gerplatte mit darauf haftenden Folien pendelt mehrmals durch den Strom von Ionen, der durch die lonenquelle erzeugt wird.

In einer weiteren anschließenden Vakuumkammer ist eine Magnetron-Zerstäubungsquelle mit einem Chromtarget angeordnet. Ober ein Gaseinlasssystem wird Argon als Prozessgas zugeführt In dieser Vakuumkammer wird die erfindungsgemäße Chromschicht aufgebracht die die Verunreinigungen bedeckt und unwirksam macht

In der nächsten Vakuumkammer erfolgt das Beschichten durch reaktives Magnetron-

Zerstäuben zweier Chrom-Platten, die jeweils Target einer Magnetron-Zerstäubungsquelle sind. Dazu wird mittels eines Gaseiniasssystems sowohl Argon als auch Sauerstoff eingelassen. Ein Sinusgenerator speist eine Leistung von 10 kW in die gemeinsam arbeitenden Magnetron-Zerstäubungsquellen derart ein, dass die Targets mit einer Frequenz von 50 kHz abwechselnd als Kathode und Anode einer Magnetron-Gasentladung geschaltet werden. Durch dieses Dual-Magnetron-System erfolgt das Puls-Zerstäuben, welches einen langzeitstabiien Beschichtungsprozess in dem Argon Sauerstoff-Gemisch bei einem Druck von etwa 2 ^• 10^'3 mbar sichert. Der Sauerstoffanteii wird dabei so geregelt dass die Intensität einer charakteristischen Emissionslinie des Plasmas genau 10 % der Intensität beim Zerstäuben ohne Sauerstoff, d.h. im reinen Argon, beträgt.

Während des ersten metallischen und des zweiten reaktiven Beschichtens mit Chrom wird die Trägeφlatte mit den Folien periodisch mit einer festen Geschwindigkeit linear durch den Strom der kondensierenden Teilchen bewegt

Die gebildeten stöchiometrischen Chrom-Oxidschichten auf der Chromschicht mit einer Schichtdicke in dem genannten Schichtdickenbereich auf den Folien zeichnen sich durch hohe Abrasionsbeständigkeit und hohe Farbbrillanz aus. Nach diesem Zerstäubungsprozess erfolgt in bekannter Weise das Ausschleusen der Folien mit den erfindungsgemäß aufgestäubten Schichten an Luft

Claims

Patentansprüche

1 Verfahren zum Beschichten von Folie aus Nickel oder einer Nickellegierung, die vorzugsweise galvanisch hergestellt ist durch Aufstäuben einer Schicht aus einer Metallverbindung in einem Vakuum auf die Folie im Bereich von mindestens einer Seite der Folie, indem die Folie in einem Argonplasma bei einem Druck von 10^"3 bis 10^"* mbar eine einstellbare Zeit mit einer einstellbaren Rate und Energie der Ionen des Plasmas behandelt wird, und anschließend durch reaktives Magnetron- Zerstäuben mindestens eines Targets aus Chrom oder einer chromhaltigen Legierung mit mindestens einer Zerstäubungsquelle in einem Argon-Sauerstoff-Gemisch bei einem Druck von 10^"3 bis 10^'' mbar eine Chromoxidschicht oder eine chromoxidhaltige Schicht aufgestäubt wird, wobei der Arbeitspunkt in vorgegebenen Grenzen konstant gehalten wird und während des Beschichtens die Folie in einem definierten War mekontakt mit einem Wärmepuffer verbunden wird und bis zum Erreichen einer vorgegebenen Interfereπzfarbe einer Interferenz erster oder zweiter Ordnung auf der

Folie beschichtet wird. wobei nach der Plasmabehandlung der Folie eine Schicht aus Chrom oder einer Chromlegierung durch Magnetron-Zerstäuben in Argon bei einem Druck von 10^'3 bis 10* mbar auf die plasmabehandelte Folie aufgestäubt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht aus Chrom oder einer Chromiegierung in einer Dicke von 3 nm bis 20 nm auf gestaubt wird.

3. Beschichtete Folie aus Nickel oder einer Nickellegierung, die vorzugsweise nach einem galvanischen Verfahren hergestellt ist und auf die im Bereich von mindestens einer

Seite eine in einem Vakuum aufgestäubte Schicht aus einer Metalh/erbindung aufgebracht ist, die Schicht aus einem Oxid des Chroms oder einer chromhaltigen Legierung besteht, die Dicke dieser Schicht durch eine vorgegebene Interferenzfarbe einer Interferenz erster oder zwerter Ordnung bestimmt ist und in einem Schichtdickenbereich zwischen 20 und 300 nm liegt, wobei zwischen der Folie und der aufgestäubten Schicht aus einem Oxid des Chroms oder einer chromhaltigen Legierung eine Schicht aus Chrom oder einer Chromlegierung aufgebracht ist

4. Beschichtete Folie aus Nickel oder einer Nickellegierung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht aus Chrom oder der Chromlegierung 3 nm bis 20 nm dick ist.