WO1998035755A1 - Mikrokammerarray mit hoher kammerdichte und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents

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Johann Michael KÖHLER
Günter Mayer
Klaus Wohlfart
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Definitions

  • the invention relates to a Mikrosch ⁇ ay with a high chamber density.
  • Arrays of MiloOhuntn with single-chamber voluinina in the submicron area are used in biotechnology, drug screening and combinatorial chemistry for parallel and automated handling of small amounts of liquid.
  • Arrays with cavities and methods for their production are known which are based on synthetic resins (JP 2-95258; JP 2-35360) or on the basis of hydrophobic polymers which have been subjected to selective plasma treatment (US Pat. No. 5,041,266; US -PS 5,229,163; U.S. Patent 4,741,619).
  • the chamber recesses are produced by simple mechanical drilling in a Teflon substrate.
  • the main disadvantages of this group of chamber arrays are that, with regard to the present invention, only known recesses can be produced with relatively large distances using techniques known today, and that these chamber arrays are not autoclavable and are therefore disposable.
  • micromechanical structures and cavities in semiconducting material or glass on the basis of wet chemical etching techniques (DE 39 15 920 AI) or dry etching techniques in conjunction with photohthographic slides (US Pat. No. 5,462,839) is also described.
  • G. Mayer, JM Köhler in "Microchemical Compartments for Biotechnological Applications: Fabrication and Investigation of Liquid Evaporation, Proc. Of Eurosensors X, Vol 2, Leuven, Belgium, Sept. 1996” describe micro-chambers in the submicroliter range, which are made from silicon wafers, in a large number of recesses are made by means of suitable masking processes and anisotropic wet chemical etching techniques.
  • these chambers are filled with liquids, in particular aqueous solutions, infested with micropipettes.
  • liquids in particular aqueous solutions
  • micropipettes With the last described group of microarrays there is a risk that the individual chamber contents can be crosstalk into neighboring chambers. Since, due to the small chamber volumes and a consequent noticeable loss of evaporation, efforts are made to work in a saturated vapor atmosphere, the probability of cross-talk increases, for example, through water vapor condensation in areas between the chambers. In order to largely suppress this risk of possible mixing of chamber contents or contaminations, according to the known prior art, the only option left is to design the chambers at a sufficient distance from one another, which reduces the number of chambers per given area.
  • the invention has for its object to provide an M-Lkroscharray with the highest possible chamber density per area and a method for their production in which crosstalk of neighboring chamber contents is prevented even when chamber filling, without the type of chamber filling requiring a change.
  • the essence of the invention is that in a carrier provided with a plurality of recesses, which is to be used as an M-micro-chamber array, the carrier surface regions which separate the individual chamber-like recesses on the open chamber side are provided with a functional group, the Effect is against the surface coverage of the chamber inner wall areas. If aqueous solutions are used, the carrier surface areas mentioned are given a hydrophobic property, whereas the
  • Chamber inner wall areas should have a hydrophilic property.
  • the awarding of the desired surface coverage of the named carrier surface areas is within the scope of the invention achieved in that these areas are contacted at least once by an unprofiled elastomeric body providing or causing a functional surface covering.
  • hydrophilic surface coatings such as OH groups rich in sulfonic acid groups or surfaces rich in carboxyl groups
  • the second functional surface coating which can be achieved with the aid of a elastomeric bodies are to be generated and to prevent crosstalk between the chambers to be achieved by alkoxy groups, fluoralkane groups, fluoraryl groups, oxyaryl groups, alkoxysilanes or alkyl- or arylsiloxanes.
  • FIG. 1 shows, by way of example, a micro-chamber array
  • FIG. 2 shows a partial sectional plane of the micro-chamber array according to FIG. 1 with a guide along a line AA
  • FIG. 3 shows a special configuration of the surface of the micro-chamber array in preparation for producing a hydrophobic surface covering
  • FIGS. 3a and 3b each have a variant of an embodiment according to FIG. 3,
  • Fig. 4 indicated the generation of a hydrophobic
  • FIG. 1 shows a micro-chamber array consisting of a carrier 2, which in the example is to be made of silicon and can be part of a conventional silicon wafer, which has a plurality of chamber-like recesses 1.
  • the recesses have dimensions on the order of 800 ⁇ m • 800 ⁇ m with a volume of 140 nl and the micro-chamber array in this case has over one hundred such recesses per cm 2 .
  • Micro-chamber arrays with chamber volumes of the order of 20 nl can also be produced, in which case 400 such recesses / cm 2 can be reached.
  • FIG. 2 shows a partial sectional plane of the micro-chamber array according to FIG. 1 with a cut along a line AA.
  • the micro-chamber array is first coated over the entire surface with a 50 to 100 nm thick gold layer 31 using conventional sputtering methods, only the gold coating of the surfaces 3 of the web regions being shown in FIG. 3.
  • a further silicon wafer 40 is provided with an elastomeric coating 41, which is advantageously formed by spin-on polydimethylsiloxane, which is hardened after spinning.
  • the non-profiled silicone stamp 4 activated in this way is placed on the surface of the micro-chamber array, as indicated in FIG. 4 by a double arrow.
  • This causes the formation of a chemically very stable gold-thiol bond on the surface 3 of the webs spacing the open individual chambers 1, after which the stamp 4 is removed.
  • the monomolecular layer 32 of a thioalkane formed on the regions 3 of the Mi-chamber chamber only modifies these regions, while the chamber inner walls 10 remain unaffected, in the present example as pure gold surfaces, not shown.
  • the thin gold layer remaining on the inner walls of the chamber can be removed by selective etching without the surface regions 32 modified with the thioalkane layer being attacked (cf. FIG.
  • a 0.1 M KCN solution with 0.001 MK 3 Fe (CN) oil as an oxidizing agent is suitable as an etchant for this.
  • the etching time for a 50 nm thick gold layer is less than 1 min.
  • the subsequent further step just described can, however, also be carried out in such a way that the on the chamber inner walls remaining gold layer 31 is not removed selectively, but is modified by a further selective reaction with a further miofunctional group, for example thioglycerol.
  • the thioglycerin binds to the bare gold-coated inner chamber walls to form a layer 12, but not to the gold-coated surface areas 32 modified with thioalkane, which is indicated in a partial section in FIG. 3b. This also imparts hydrophilic properties to the inner chamber walls and improves the wetting behavior compared to the hydrophobic outer areas even further.
  • the thioalkane layer formed has a highly hydrophobic effect, whereas the surfaces 10 of the inner walls of the chamber have a hydrophilic behavior.
  • a drop-shaped overhang 5 that forms assumes an edge angle ⁇ of> 90 ° without the liquid crosstalking between the adjacent individual chambers .
  • a contact angle ⁇ of> 30 ° is established in the example according to FIG. 5b.
  • the invention is not restricted to the exemplary embodiment shown. Particularly when using non-aqueous solutions, such as in ethanol, toluene or acetonitrile, it is important within the scope of the invention to design the wetting behavior of said surface areas 3, significantly different from the wetting behavior of the chamber inner wall areas, which is done by a suitable selection of different first and second functional groups, where non-wetting substances are suitable for the first functional groups, such as alkanes and silanes, and wetting substances are suitable for the second functional groups, such as glycerol, alcohols, carboxylic acids or esters, and the application of the second functional group by means of mentioned elastomeric stamp 4 succeeds.
  • first functional groups such as alkanes and silanes
  • wetting substances are suitable for the second functional groups, such as glycerol, alcohols, carboxylic acids or esters
  • the exemplary design of the elastomeric stamp as a flat, Unprofiled plate was not a limitation of the invention only to this. It would also be possible to use a plate curved in one dimension or a roller-shaped body which carries the second functional group and detects the desired surface areas 3 of the micro-chamber array by unrolling.

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Mikrokammerarray mit einer hohen Kammerdichte und ein Verfahren zu seiner Herstellung. Die Aufgabe, möglichst hohen Kammerdichten pro Fläche und ein Verfahren zu ihrer Herstellung anzugeben, bei dem ein Übersprechen benachbarter Kammerinhalte selbst bei einer Kammerüberfüllung unterbunden ist, ohne daß die Art der Kammerbefüllung einer Veränderung bedarf, wird dadurch gelöst, daß den Kammerinnenwandungen der kammerartigen Ausnehmungen eine erste funktionelle Oberflächenbelegung gegeben ist, wohingegen zumindest die Trägeroberflächenbereiche, die die einzelnen kammerartigen Ausnehmungen an der offenen Kammerseite voneinander beabstanden, mit einer, in der Wirkung der ersten funktionellen Oberflächenbelegung entgegengesetzten, zweiten funktionellen Oberflächenbelegung versehen sind.

Description

Mikrokammerarray mit hoher Kammerdichte und Verfahren zur seiner Herstellung
Beschreibung
Die Erfindung betrifft ein Mikrokammerarτay mit einer hohen Kammerdichte. Arrays von MiloOkammern mit Einzelkammervoluinina im Submikrohterbereich finden in der Biotechnologie, beim Wirkstoffscreening und in der kombinatorischen Chemie für eine parallele und automatisierte Handhabung kleiner Flüssigkeitsmengen Anwendung.
Es sind Arrays mit Kavitäten und Verfahren zu ihrer Herstellung bekannt, die auf der Basis von Kunstharzen (JP 2-95258; JP 2-35360) oder auf der Basis von hydrophoben Polymeren, die einer selektiven Plasmabehandlung ausgesetzt wurden (US-PS 5,041,266; US-PS 5,229,163; US-PS 4,741,619), gefertigt sind. In DE 42 09 064 AI werden die Kammerausnehmungen durch einfaches mechanisches Bohren in einem Teflonsubstrat erzeugt. Die Hauptnachteile dieser Gruppe von Kammerarrays besteht darin, daß sich, in bezug auf vorhegende Erfindung, mit heute bekannten Techniken nur Ausnehmungen mit relativ großen Abständen herstellen lassen und daß diese Kammerarrays nicht autoklavierbar und somit Wegwerfartikel sind.
Auch ist die Herstellung von mikromechanischen Strukturen und Kavitäten in halbleitendem Material oder Glas auf der Basis naßchemischer Ätztechniken (DE 39 15 920 AI) oder Trockenätztechniken in Verbindung mit fotohthografischen Scl ritten (US-PS 5,462,839) beschrieben. G. Mayer, J.M. Köhler beschreiben in "Microchemical Compartments for Biotechnological Applications: Fabrication and Investigation of Liquid Evaporation, Proc. of Eurosensors X, Vol 2, Leuven, Belgium, Sept. 1996" Mikrokammern im Submikroliterbereich, die aus Siliziumwafern hergestellt werden, in die mittels geeigneter Maskierungsverfahren und anisotroper naßchemischer Ätztechniken eine Vielzahl von Ausnehmungen eingebracht sind. Diese Kammern werden je nach gewähltem Anwendungsfall mit Flüssigkeiten, insbesondere wässrigen Lösungen, mittels Mikropipetten befällt. Bei letzt beschriebener Gruppe von Mikroarrays besteht die Gefahr, daß ein Übersprechen der einzelnen Kammerinhalte in benachbarte Kammern möglich ist. Da man, aufgrund der geringen Kammervolumina und eines dadurch bedingten spürbaren Verdunstungsverlustes bestrebt ist, in einer gesättigten Dampfatmosphäre zu arbeiten, erhöht sich die Ül3ersprechwahrscheinlichkeit bspw. durch Wasserdampfkondensation an Bereichen zwischen den Kammern noch zusätzlich. Um diese Gefahr einer möglichen Vermischung von Kammerinhalten bzw. Kontaminationen weitestgehend zu unterdrücken, bleibt nach dem bekannten Stand der Technik nur die Möglichkeit, die Kammern voneinander hinreichend beabstandet auszubilden, was die Kammeranzahl pro vorgegebener Fläche reduziert.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein M-Lkrokammerarray mit einer möglichst hohen Kammerdichte pro Fläche und ein Verfahren zu ihrer Herstellung anzugeben, bei dem ein Übersprechen benachbarter Kammerinhalte selbst bei einer Kammeriiberfullung unterbunden ist, ohne daß die Art der Ka merbefüllung einer Veränderung bedarf.
Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale der Patentansprüche 1 und 5 gelöst. Vorteilhafte weitere Ausgestaltungen sind durch die Unteransprüche erfaßt.
Das Wesen der Erfindung besteht darin, daß bei einem mit einer Vielzahl von Ausnehmungen versehenen Träger, der als M-ikrokammerarray Verwendung finden soll, die Trägeroberflächenbereiche, die die einzelnen kammerartigen Ausnehmungen an der offenen Kammerseite voneinander beabstanden, mit einer funktionellen Gruppe versehen werden, deren Wirkung entgegen der Oberflächenbelegung der Kammerinnenwandungsbereiche ist. Im Falle des Einsatzes von wässrigen Lösungen ist genannten Trägeroberflächenbereichen dabei eine hydrophobe Eigenschaft verliehen, wohingegen die
Kammerinnenwandungsbereiche eine hydrophile Eigenschaft aufweisen sollen. Die Verleihung der gewünschten Oberflächenbelegung der genannten Trägeroberflächenbereiche wird im Rahmen der Erfindung dadurch erreicht, daß diese Bereiche wenigstens einmal von einem eine fimktionelle Oberflächenbelegung tragenden oder verursachenden Agens versehenen unprofilierten elastomeren Köφer kontaktierend erfaßt werden. Weiterhin liegt es im Rahmen der Erfindung, daß z.B. das Benetzungs- und Übersprechverhalten bei wässrigen Lösungen durch Einbringen von hydrophilen Oberflächenbelegungen, wie OH-gruppenreiche, sulfonsäuregruppenreiche oder eine carboxylgruppenreiche Oberflächen im Bereich der Kammerinnenwände zu realisieren und die zweite fimktionelle Oberflächenbelegung, welche mit Hilfe eines elastomeren Köφers erzeugt werden sollen und die ein Übersprechen zwischen den Kammern verhindern soll, durch Alkoxygruppen, Flouralkangruppen, Flourarylgruppen, Oxyarylgruppen, Alkoxysilane oder Alkyl- oder Arylsiloxane zu erreichen.
Die Erfindung soll nachstehend anhand eines Ausfuhrungsbeispiels und schematischer Zeichnungen näher erläutert werden. Es zeigen:
Fig. 1 beispielhaft ein Mikrokammerarray, Fig. 2 eine Teilschnittebene des Mikrokammerarrays nach Fig. 1 bei einer Scl ittf hrung entlang einer Linie A-A, Fig. 3 eine besondere Ausgestaltung der Oberfläche des Mikrokammerarrays in Vorbereitung zur Erzeugung einer hydrophoben Oberflächenbelegung, Fig. 3a und 3b je eine Variante einer Ausbildung nach Fig. 3,
Fig. 4 angedeutet die Erzeugung einer hydrophoben
Oberflächenbelegung, Fig. 5a zwei benachbarte, überfüllte Einzelkammern eines Mikrokammerarrays und Fig. 5b zwei benachbarte, normalbefiillte Einzelkammern eines
MiloOkammerarrays.
In Figur 1 ist ein Mikrokammerarray, bestehend aus einem Träger 2, der im Beispiel aus Silizium bestehen soll und Teil eines üblichen Siliziumwafers sein kann, dargestellt, welchem eine Vielzahl von kammerartigen Ausnehmungen 1 gegeben ist. In Realität besitzen dabei die Ausnehmungen Abmessungen in der Größenordnung von 800 μm • 800 μm bei einem Volumen von 140 nl und das Mikrokammerarray verfugt in diesem Fall über einhundert solcher Ausnehmungen pro cm2. Ebenso sind Mikrokammerarrays mit Kammervolemen in der Größenordnung von 20 nl herstellbar, wobei dann 400 solcher Ausnehmungen/cm2 erreichbar sind. Figur 2 zeigt eine Teilschnittebene des Mikrokammerarrays nach Fig. 1 bei einer Scl ittfuhπmg entlang einer Linie A-A. Im Beispiel wird das Mikrokammerarray zunächst mittels üblicher Sputterverfahren mit einer ca. 50 ... 100 nm dicken Goldschicht 31 ganzflächig beschichtet, wobei in Fig. 3 nur die Goldbeschichtung der Oberflächen 3 der Stegbereiche dargestellt ist. Weiterhin wird ein weiterer Siliziumwafer 40 mit einer elastomeren Beschichtung 41 versehen, die vorteilhaft durch aufgeschleudertes Polydimethylsiloxan, das nach dem Aufschleudern ausgehärtet wird, gebildet ist. Auf diese Silikonelastomerschicht 41 wird einen dünne Schicht 42 einer Substanz mit einer funktionellen Gruppe, hier in Form eines thiofunktionellen Alkans (5% in Ethanol), wie z.B. Hexadecylmercaptan, aufgetragen. Anschließend erfolgt ein Auflegen des derart aktivierten, unprofilierten Silikonstempels 4 auf die Oberfläche des Mikrokammerarrays, wie in Fig. 4 durch einen Doppelpfeil angedeutet. Dadurch wird die Ausbildung einer chemisch sehr stabilen Gold-Thiol- Bindung an der Oberfläche 3 der die offenen Einzelkammern 1 beabstandenden Stege bewirkt, danach wird der Stempel 4 entfernt. Die auf den Bereichen 3 des Mi-kτokammerarrays gebildete monomolekulare Schicht 32 eines Thioalkans modifiziert nur diese Bereiche, während die Kammerinnenwandungen 10 unbeeinflußt, im vorliegenden Beispiel als reine, nicht dargestellte Goldoberflächen, verbleiben. In einem sich anschließenden weiteren Schritt kann durch selektives Ätzen die an den Kammerinnenwandungen verbliebene dünne Goldschicht abgetragen werden, ohne daß dabei die mit der Thioalkanschicht modifizierten Oberflächenbereiche 32 angegriffen werden (vgl. Fig. 3a). Als Ätzmittel hierfür eignet sich eine 0,1 M KCN- Lösung mit 0,001 M K3Fe(CN)ö als Oxidationsmittel. Die Ätzzeit liegt für eine bspw. 50 nm dicke Goldschicht unter 1 min. Der sich eben beschriebene anschließende weitere Schritt kann jedoch auch so ausgeführt werden, daß die an den Kammerinnenwandungen verbliebene Goldschicht 31 nicht selektiv abgetragen, sondern durch eine weitere selektive Reaktion mit einer weiteren miofunktionellen Gruppe, z.B. Thioglycerin, modifiziert wird. Dabei bindet das Thioglycerin an den blanken goldbeschichteten Kammerinnenwandungen unter Bildung einer Schicht 12, nicht jedoch an den mit Thioalkan modifizierten goldbeschichteten Oberflächenbereichen 32, was in einem Teilschnitt in Fig. 3b angedeutet ist. Dadurch werden den Kammerinnenwandungen ebenfalls hydrophile Eigenschaften verliehen und das Benetzungsverhalten gegenüber den hydrophoben Außenbereichen sogar noch weiter verbessert.
Bei einer Befullung des Mib-okammerarrays mit wässrigen Lösungen, wie in den Figuren 5 a und 5b in einem Teilausschnitt angedeutet, wirkt die gebildete Thioalkanschicht stark hydrophob, wohingegen die Oberflächen 10 der Kammerinnenwandungen sich hydrophil verhalten. Dies führt dazu, daß selbst bei einer Überftillung der Einzelkammern (vgl. Fig. 5a) mit dem nahezu doppelten Kammervolumen ein sich ausbildender tropfenförmiger Überhang 5 einen Randwinkel a von > 90° annimmt, ohne daß es zum Übersprechen der Flüssigkeit zwischen den benachbarten Einzelkammern kommt. Im Falle einer Normalbefüllung stellt sich in Beispiel nach Fig. 5b ein Randwinkel ß von > 30° ein.
Die Erfindung ist nicht auf das dargestellte Ausfiinrungsbeispiel beschränkt. Insbesondere beim Einsatz nichtwässriger Lösungen, wie z.B. in Ethanol, Toluol oder Acetonirril kommt es im Rahmen der Erfindung darauf an, das Benetzungsverhalten genannter Oberflächenbereiche 3, deutlich verschieden zum Benetzungsverhalten der Kammerinnenwandungsbereiche auszubilden, was durch eine geeignete Auswahl unterschiedlicher erster und zweiter funktioneller Gruppen geschieht, wobei für die erste funktioneile Gruppen dann nichtbenetzend wirkende Substanzen in Frage kommen, wie z.B. Alkane und Silane, und für die zweiten funktionellen Gruppen benetzend wirkende Substanzen in Frage kommen, wie z.B. Glycerin, Alkohole, Carbonsäuren oder Ester und die Aufbringung der zweiten thnktionellen Gruppe vermittels genannten elastomeren Stempels 4 gelingt. Auch die beispielhafte Ausbildung des elastomeren Stempels als ebener, unprofilierter Platte stellte keine Beschränkung der Erfindung nur darauf dar. Ebenso wäre es möglich, eine in einer Dimension gewölbte Platte oder einen walzenförmigen Köφer einzusetzen, der die zweite fimktionelle Gruppe trägt und durch Abrollung die gewünschten Oberflächenbereiche 3 des Mikrokammerarrays erfaßt.

Claims

Patentansprüche
1. Mikrokammerarray, bestehend aus einem, mit einer Vielzahl kammerartiger Ausnehmungen (1) versehenen Träger (2), dadurch gekennzeichnet, daß den Kammerinnenwandungen (10) der kammerartigen Ausnehmungen (1) eine erste funktionelle Oberflächenbelegung gegeben ist, wohingegen zumindest die Trägeroberflächenbereiche (3), die die einzelnen kammerartigen Ausnehmungen (1) an der offenen Kammerseite voneinander beabstanden, mit einer, in der Wirkung der ersten funktionellen
Oberflächenbelegung entgegengesetzten, zweiten funktionellen Oberflächenbelegung (32) versehen sind.
2. Mikrokammerarray nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für den mit einer Vielzahl kammerartiger Ausnehmungen (1) versehenen
Träger (2) ein Siliziumwafer eingesetzt ist, wobei der ersten funktionellen Oberflächenbelegung eine hydrophile Eigenschaft und der zweiten funktionellen Oberflächenbelegung (32) eine hydrophobe Eigenschaft aufgeprägt ist.
3. Mikrokammerarray nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die hydrophoben Oberflächenbereiche (30) durch eine auf die Siliziumoberflächenbereiche (3) aufgebrachte Goldschicht (31), welche mit einer monomolekularen Thioalkanoberflächenbelegung (32) versehen ist, gebildet sind.
4. Mikrokammerarray nach Anspruch 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß auch die Kammerinnenwandungen (10) mit einer Goldbeschichtung (31) versehen sind, welche eine Oberflächenmodifikation mit einer weiteren miofunktionellen Gruppe erfahren • hat, die genannte monomolekularen Thioalkanoberflächenbelegung (32) unbeeinflußt läßt.
. Mikrokammerarray nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die erste funktionelle Oberflächenbelegung mit hydrophiler Eigenschaft durch eine OH-gruppenreiche, sulfonsäuregmppenreiche oder eine carboxylgruppenreiche Oberfläche und die zweite funktionelle Oberflächenbelegung (32) durch Alkoxygruppen,
Flouralkangruppen, Flourarylgruppen, Oxyarylgruppen, Alkoxysilane oder Alkyl- oder Arylsiloxane gebildet ist.
6. Verfahren zur Herstellung von Mikrokammerarrays, dadurch gekennzeichnet, daß ein mit einer Vielzahl kammerartiger
Ausnehmungen (1) versehene Träger (2) in den Oberflächenbereichen (3), die die einzelnen kammerartigen Ausnehmungen (1) an der offenen Kammerseite voneinander beabstanden, mit einem, eine zweite funktionelle Oberflächenbelegung tragenden oder verursachenden Agenz versehenen unprofilierten elastomeren Köφer (4) wenigstens einmal kontaktierend erfaßt wird.
7. Verfahren zur Herstellung von Mikrokammerarrays nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß im Falle des Einsatzes eines Siliziumträgers zumindest die Oberflächenbereiche (3), die die einzelnen kammerartigen Ausnehmungen (1) an der offenen Kammerseite voneinander beabstanden, mit einer dünnen Goldschicht (31) beschichtet werden und diese Goldschichtbereiche der kontaktierenden Einwirkung eines elastomeren Köφers (4) ausgesetzt werden, der an seiner den Goldschichtbereichen (31) zugewandten
Oberfläche mit einem thiofunktionellen Alkan (42) versehen ist.
8. Verfahren zur Herstellung von Mikrokammerarrays nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammerinnenwandungen verbliebene Goldschicht durch eine selektive Reaktion mit einer weiteren miofunktionellen Gruppe modifiziert wird.
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