SOURCE D'IONS DE METAUX LIQUIDES
DESCRIPTION
Domaine technique La présente invention se rapporte au domaine des sources d'ions à métal liquide, dans lesquelles des ions sont produits à partir d'un métal d'apport qui recouvre une pointe en métal réfractaire.
En appliquant un champ électrique intense, sous vide, entre cette pointe et une électrode d'extraction, il y a émission d'ions suivant un mécanisme d'évaporation de champ. Cette émission est localisée à l'apex de la pointe. La taille de la zone émissive est de l'ordre de quelques niti^ pour un courant d'émission d'environ 2 μA.
Ces sources sont utilisées dans les machines à faisceaux d'ions focalisés qui occupent une part de plus en plus importante dans les techniques de fabrication microélectronique. Actuellement, ces machines utilisent presque exclusivement des sources d'ions à métal liquide gallium. L'utilisation d'ions plus légers est intéressante, car elle permet de diminuer la taille des sondes ioniques. Ceci permet d'augmenter la résolution des machines existantes, par simple changement de la source. En outre, pour des applications d'implantation, un élément léger est intéressant car il pénètre plus profondément dans la matière qu'un élément lourd, à énergie égale.
Etat de la technique
L'article de Bell et al. paru dans "Journal of applied physics", vol. 53, n°7. Juillet 1982, pp. 4602 à 4605 décrit une source d'ions aluminium constituée d'une pointe en graphite fixée sur un filament de
chauffage en tungstène. La pointe de graphite est traitée en surface par dépôt d'un film de titane. En effet, le graphite est relativement résistant aux attaques de l'aluminium liquide, mais il est difficile de le mouiller avec un tel liquide. L'utilisation du film de titane permet de résoudre ce problème. La source présente la forme illustrée sur la figure 1, où la référence 2 désigne la pointe de graphite, qui présente à sa base une partie cylindrique. Un filament de chauffage 4, en tungstène, traverse cette partie cylindrique. Le chauffage de la pointe 2 est obtenu par la chaleur dégagée par effet Joule dans le filament.
Ce type de source présente les avantages d'une part de la simplicité, et d'autre part de la compacité puisque la pointe de graphite présente un diamètre d'environ 0,8 mm, pour une longueur de 2 mm.
Néanmoins, on y observe un certain nombre d'inconvénients. Tout d'abord, l'assemblage et le positionnement de la pointe en graphite sur un filament dont le diamètre est inférieur à 0,2 mm sont très délicats, voire aléatoires. L'ensemble manque de stabilité mécanique, ce qui entraîne des dérives thermiques incompatibles avec des applications dans le domaine de la microélectronique. D'autre part, le chauffage de la zone émissive est mal maîtrisé. Or, plus la puissance thermique utilisée par la source est importante, plus les dérives thermiques dues au rayonnement sur l'environnement sont élevées. Ceci, en conséquence, peut modifier le centrage mécanique de la pointe émissive par rapport à une cible ou par rapport à une électrode d'extraction. Ce centrage influence la direction de l'émission des ions et est inaccessible durant le fonctionnement. Sa variation conduit donc à une perte de précision ; dans le cadre d'une utilisation dans le domaine de la microélectronique, la
résolution des structures gravées obtenues avec une telle source s'en trouve considérablement affectée. Un autre problème est celui de la durée de vie limitée de la source. En effet, la réserve de métal liquide d'apport est faible, et n'est pas utilisable en totalité.
Exposé de l'invention
La présente invention cherche à résoudre ces problèmes.
Elle a pour objet une source d'ions à métal liquide comprenant une tige cylindrique en un matériau conducteur et réfractaire prolongé par une pointe en matériau réfractaire, destinée à être recouverte d'un métal d'apport liquide, caractérisée en ce que l'ensemble constitué par la tige cylindrique et la pointe traverse un réservoir constitué d'un matériau conducteur, la zone où la tige est engagée dans le réservoir assurant un contact électrique entre la tige et le réservoir, et en ce que le réservoir est en contact avec un filament conducteur, la tige cylindrique, le réservoir et le filament conducteur étant ainsi reliés en série du point de vue électrique.
Une telle constitution pour une source d'ions en métal liquide permet de limiter l'apport d'énergie nécessaire pour un fonctionnement optimal de la source. Il n'y a en effet, production d'un échauffement que dans une zone très localisée, limitée à la partie de la tige cylindrique au voisinage de la pointe, au réservoir et au filament de tungstène. L'élément le plus résistif du circuit ainsi constitué est la partie cylindrique de la tige, qui, lorsqu'elle est traversée par un courant de 5 ampères, par effet Joule, atteint une température de 700°C au voisinage de son extrémité.
De plus, la puissance consommée est limitée à moins de 10 Watts.
L'ensemble est d'un assemblage et d'un positionnement beaucoup moins délicats que dans les sources d'ions à métal liquide connues de l'art antérieur. Enfin, la stabilité mécanique est nettement améliorée. L'utilisation d'un réservoir permet par ailleurs d'accroître la réserve de métal liquide et, donc, la durée de vie de la source.
Selon un mode particulier de réalisation de l'invention, la tige et la pointe forment une seule et même pièce
Par exemple, la tige et la pointe peuvent être en graphite.
Selon un mode de réalisation encore plus particulier, la pointe en graphite est recouverte d'un film de titane.
Selon une variante, la pointe est recouverte d'une couche d'accrochage métallique de même nature que le métal liquide destiné à être utilisé avec la source.
La couche d'accrochage peut non seulement recouvrir la pointe, mais également une partie du réservoir.
Dans le cas où le métal liquide destiné à recouvrir la pointe en graphite est, par exemple, de l'aluminium, un traitement de surface de la pointe permet d'améliorer la mouillabilité de celle-ci par l'aluminium liquide. Des deux traitements de surface exposés ci-dessus, le second présente l'avantage de permettre d'obtenir un film d'aluminium très homogène sur l'ensemble de la pointe. En effet, le traitement de la surface de la pointe en graphite par dépôt d'un film de titane ne permet pas de réaliser un mouillage
homogène de la pointe avec un film d'aluminium : on obtient, en fait, une formation d'îlots d'aluminium à la surface de la pointe de graphite et il en résulte que la fonction d'apport de l'aluminium vers la pointe est très perturbée. Le courant émis est alors instable et très difficile à garder constant sur de longues périodes.
Par contre, le second traitement favorise d'une part la fonction d'apport du métal à ioniser vers l'apex de la pointe, et d'autre part permet d'augmenter la quantité de métal d'apport stocké. Le courant ionique obtenu lors de la production d'ions aluminium en est d'autant plus stable dans le temps.
Selon un autre mode particulier de réalisation de l'invention, la tige cylindrique et la pointe sont ajustées mécaniquement avec des tolérances serrées à l'intérieur de la zone prévue pour leur passage dans le réservoir. Cet ajustement présente l'avantage suivant.
Lors du fonctionnement de la source, il est possible que des points chauds, autres que ceux situés au voisinage de la pointe, apparaissent sur la tige cylindrique, de l'autre côté du réservoir par rapport à la pointe. Alors, s'il existe un certain jeu entre la tige cylindrique et le réservoir, le métal liquide s'y introduit et remonte vers ces points chauds, à partir desquels il peut s'évaporer, ce qui diminue la durée de vie de la source. L'ajustement, sans aucun jeu de la tige à l'intérieur du réservoir, permet de remédier à cet inconvénient.
D'autres aspects complémentaires de l'invention apparaissent dans les revendications dépendantes.
Présentation des figures
De toute façon, les caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront mieux à la lumière de la description qui va suivre. Cette description porte sur les exemples de réalisation, donnés à titre explicatif et non limitatif, en se référant à des dessins annexés sur lesquels :
- la figure 1, déjà décrite, représente une source d'ions à métal liquide selon l'art antérieur, - la figure 2 représente une source d'ions à métal liquide selon la présente invention,
- les figures 3a et 3b représentent deux exemples de réservoir utilisé dans une source' d'ions à métal liquide selon la présente invention, - la figure 4 représente un mode de réalisation d'une tige pour une source selon l'invention,
- la figure 5 représente le dispositif de traitement pour préparer une source d'ions à métal liquide selon la présente invention, - les figures 6 et 7 donnent des exemples de résultats obtenus avec une source d'ions selon la présente invention.
Exposé détaillé de modes de réalisation de l'invention La figure 2 illustre un mode particulier de réalisation d'une source d'ions à métal liquide selon la présente invention.
Cette source est constituée d'une tige conductrice comportant une partie cylindrique 10 et une pointe, cette dernière étant elle-même constituée d'une partie ou extrémité conique 12 et d'une partie cylindrique 13. La partie cylindrique 10 est constituée d'un matériau conducteur et réfractaire. En général, le graphite convient bien dans le cadre d'une application à une source d'ions • d'un métal léger, tel que
l'aluminium. Mais ceci n'exclut pas l'emploi d'autres matériaux, tels que par exemple le tungstène. La tige, dans sa partie cylindrique 10, peut avoir, dans le cas du graphite, un diamètre de l'ordre de quelques dixièmes de millimètre, par exemple 0,5 mm, et une longueur comprise entre 5 et 20 mm, par exemple 15 mm. En fait, dans divers exemples de réalisation, une simple mine de crayon de type "HB" a été utilisée, qui a donné entière satisfaction.
L'extrémité 12 de la pointe est taillée en forme de cône, de demi-angle au sommet ayant une valeur comprise entre 48 et 50°, par exemple 49°, par polissage mécanique en deux étapes. La pointe est placée en rotation, inclinée de 49,5° environ, et elle est amenée au contact d'un plan qui va usiner la partie conique. Dans une première étape, le cône est ébauché sur une surface de rugosité moyenne, d'environ 30 μm. Dans un deuxième temps, la finition est réalisée sur une surface de faible rugosité, par exemple de quelques microns.
Ainsi, on obtient, de manière reproductible, un rayon de courbure à l'apex de la pointe de l'ordre de la dizaine de micromètres. La pointe, c'est-à-dire l'ensemble constitué par la partie cylindrique 13 et l'extrémité conique 12 a une longueur totale comprise entre 5 et 10 mm, la partie cylindrique 13 ayant une longueur de quelques mm
(par exemple 3 mm) . Afin d'éviter, en cours de fonctionnement de la source, une rupture du film de métal liquide sur l'arête à la base du cône, là ou commence la partie cylindrique 13, il peut être intéressant de chanfreiner la zone de raccord 11 entre la partie cylindrique 13 et l'extrémité conique 12.
Si la pointe est constituée du même matériau que la partie cylindrique 10 de la tige, l'ensemble forme une seule et même pièce.
La tige est introduite dans un réservoir 14, dont deux exemples de réalisation sont illustrés plus précisément sur les figures 3a et 3b. Sur chacune de ces figures, le réservoir désigné par les références 14-1 et 14-2, présente une forme ayant sensiblement une symétrie de révolution autour d'un axe passant par la partie 10. Dans les deux exemples, une ouverture cylindrique 19, à l'intérieur du réservoir, permet le passage, mais aussi le maintien de la tige dans une position fixe et contribue à la stabilité mécanique de l'ensemble. Sur l'exemple de la figure 3b, le réservoir 14-2 possède une partie 18 évidée, en forme de chanfrein. Cet évidement a pour fonction de permettre d'augmenter la capacité, en métal liquide, du réservoir. Un évidement intérieur 17 permet de diminuer le volume de matière utilisée pour le réservoir.
Dans tous les cas, le réservoir est constitué d'un matériau conducteur et réfractaire. Si la tige 10 est en graphite, il suffira de choisir par exemple le graphite comme matériau pour le réservoir. Une forme de graphite particulièrement avantageuse est le carbone vitreux. Au contraire du graphite polycristallin, qui présente des micropores et des microfissures, le carbone vitreux possède une structure imperméable à pores fermés. Or, un vieillissement de la source, à long terme, a été observé. Il se manifeste par l'apparition d'une poudre de graphite à la surface du métal liquide d'apport, en particulier dans le cas de l'aluminium.
Les grains de cette poudre sont, semble-t-il, arrachés par les contraintes et l'action chimique de
l'aluminium fondu, qui s'insinue dans les micropores et les microfissures du graphite polycristallin, pourtant spécifiquement élaboré pour des applications réfractaires. Des tests menés avec une pointe et un réservoir en carbone vitreux ont permis de constater :
- l'absence de particules de carbone à la surface du film de métal liquide (aluminium, notamment) , ce qui laisse penser que la longévité de la source sera augmentée,
- une résistivité de l'ensemble pointe-réservoir nettement plus importante, ce qui permet de diminuer la valeur du courant de chauffage par un facteur 2. Ce courant est donc réduit à environ 2 Ampères. En outre, il faut mentionner la possibilité de tailler électrochimiquement l'extrémité de la pointe en carbone vitreux pour adapter la valeur de seuil de l'émission ionique à un appareil spécifique.
Il est possible de ne travailler qu'avec la pointe ou le réservoir en carbone vitreux.
Si seul le réservoir est en carbone vitreux, on constate encore qu'il n'y a plus de corrosion du réservoir. La résistivité est moins bonne que dans le cas précédent mais meilleure que si le réservoir est en graphite "normal".
De même, si seule la pointe est en carbone vitreux, sa longévité sera allongée et la résistivité sera améliorée. En outre la pointe seule peut toujours être taillée électrochimiquement.
La tige 10 étant utilisée comme conducteur électrique, il y a, en principe, production d'un échauffement dans une zone très localisée, limitée à la partie conique 12, à la partie cylindrique 13 et au réservoir 14. Cependant, on ne peut parfois éviter la
formation de "points chauds" sur la partie cylindrique 10, et à proximité de la base du réservoir 14, par exemple en un point tel que le point A représenté sur la figure 2. En un tel point chaud, la température peut atteindre une valeur supérieure à celle de la température à l'extrémité de la tige, au voisinage de la pointe 12, du fait qu'au voisinage de cette pointe la présence de métal liquide contribue à dissiper de la chaleur. Or, le métal liquide peut avoir tendance à diffuser thermiquement, le long de la tige, en direction des points chauds, ce qui a pour conséquence de vider peu à peu le réservoir et, donc, de diminuer l'autonomie de la source. Pour ces raisons, il peut être intéressant d'ajuster mécaniquement la partie cylindrique 10 de la tige avec des tolérances serrées, sans aucun jeu, à l'intérieur de l'ouverture cylindrique 19 (voir figures 3a et 3b) prévue pour le passage de la tige à l'intérieur du réservoir 14. Par conséquent, le métal liquide ne peut pas s'échapper le long de la tige. Par ailleurs, ceci renforce la tenue mécanique de l'ensemble. A titre indicatif, un réservoir a été réalisé avec un diamètre d'environ 5 mm, pour une hauteur de 2 mm environ. Le cylindre 19 est usiné au diamètre nominal de la tige 10 et celle-ci y est ensuite introduite à force, à la main. Ceci suffit pour assurer l'ajustage serré requis.
Comme illustré sur la figure 2, le réservoir 14 est relié électriquement à un circuit de chauffage. Ce circuit peut être constitué par exemple par un filament de tungstène 16 enroulé autour de la base du réservoir 14, du côté opposé à la pointe 12. Les extrémités de ce filament sont elles-mêmes reliées à des éléments conducteurs 24, 26, tels que par exemple des plaques de tantale. Selon une variante, non représentée sur les
figures, le filament 16 n'est pas en contact avec la surface extérieure du réservoir 14, mais il est introduit dans une gorge taillée dans la surface de ce réservoir. Ceci permet de limiter le contact entre le filament de chauffage 16 et d'éventuelles gouttes de métal liquide qui pourraient diffuser le long de la surface extérieure du réservoir 14. En effet, certains métaux liquides, et notamment l'aluminium, sont extrêmement corrosifs vis-à-vis des métaux. La tige est maintenue à sa base par une pince constituée de deux mâchoires 28, 30 qui a pour fonction, d'une part d'assurer un maintien mécanique de la tige avec une rigidité maximum sans la fragiliser, et d'autre part d'assurer un contact électrique fiable avec le matériau de cette tige, contacts électriques qui permettent la circulation d'un courant d'environ 6 A.
Ainsi constitué, le circuit de chauffage comprend la tige, avec sa partie cylindrique 10 et sa pointe, le réservoir 14 et le filament 16. Du point de vue électrique, tous ces éléments sont reliés en série et l'ensemble fonctionne sous une tension d'alimentation flottante de l'ordre de quelques Volts. L'élément le plus résistif du circuit est la partie cylindrique 10 de la tige, qui, lorsqu'elle est traversée par un courant de 5 A, atteint une température de 700°C par effet Joule. En outre, le fait d'utiliser la tige comme élément chauffant, permet de limiter la puissance consommée à environ moins de 10 Watts.
L'ensemble repose sur une embase 32, traversée par 3 tiges filetées 27-1, 27-2, 27-3. La tige filetée centrale 27-2 se prolonge par les mâchoires 28, 30 ; les tiges latérales 27-1 et 27-3 se prolongent par des mâchoires de fixation 29-1 et 29-2 des plaques 26 et
24. Tous ces éléments (mâchoires, tiges filetées) font partie du circuit électrique.
La structure qui vient d'être décrite confère une très bonne stabilité mécanique à l'ensemble, et notamment à la pointe 12. Ceci permet de stabiliser la zone émissive, à l'apex de la pointe, et de rendre la source compatible avec l'utilisation dans des domaines techniques où la précision nécessaire est extrêmement élevée, par exemple en optique électrostatique. En outre, du point de vue encombrement, la source décrite est totalement compatible avec les machines ou systèmes déjà existants sur lesquels les sources d'ions à métal liquide de l'art antérieur sont adaptées.
Un autre mode de réalisation de la tige est représenté sur la figure 4. Sur cette figure, la tige traverse un réservoir 15. Ce dernier est similaire à celui décrit ci-dessus en liaison avec la figure 3b, sauf pour l'ouverture cylindrique 33 qui présente un diamètre plus large dans sa partie supérieure que dans sa partie inférieure, définissant ainsi un épaulement 34.
La tige est encore constituée d'une partie cylindrique 35. Elle est prolongée par une pointe qui est elle-même constituée d'une partie conique 37, d'une partie cylindrique 39 et d'un rebord 41. La tige 35 est de diamètre sensiblement plus large que dans le premier mode de réalisation de la tige. La partie cylindrique 39 et l'extrémité 37 de la pointe ont, elles, sensiblement les mêmes dimensions que précédemment.
Dans ce mode de réalisation, la partie cylindrique et la pointe sont constituées de deux matériaux différents.
La tige est constituée d'un matériau conducteur et réfractaire, par exemple du graphite. Comme dans le
premier mode de réalisation, on pourra la réaliser par exemple à partir d'une mine de crayon. Elle est introduite sur une partie de la profondeur de l'ouverture cylindrique 33, de façon à être en contact avec la pointe.
La pointe est constituée d'un matériau réfractaire tel que le nitrure de bore ou l'alumine. Elle est introduite de façon à ce que le rebord 41 repose sur l'épaulement 34 et elle est en contact avec l'extrémité de la partie cylindrique 35.
La pointe 37 est taillée avec un demi-angle au sommet compris entre 48 et 50° (valant par exemple 49°) par polissage mécanique à l'aide d'un abrasif comme par exemple une meule en diamant. Ce deuxième mode de réalisation peut aussi être utilisé en combinaison avec un réservoir de forme semblable à celui décrit en liaison avec la figure 3a, à condition que l'ouverture cylindrique soit adaptée de manière correspondante (ouverture du cylindre plus large dans sa partie supérieure que dans sa partie inférieure) . Ce qui a été dit dans le cadre du premier mode de réalisation, sur l'ajustement mécanique avec des tolérances serrées s'applique aussi bien à ce deuxième mode de réalisation. Le fonctionnement de la source est le même ; il y a toujours contact électrique entre la tige 35 et le réservoir 15 et le courant circule de la tige au réservoir et au filament chauffant. Ce courant produit un échauffement de la pointe par effet Joule.
Quelle que soit la forme de la tige, et afin d'améliorer la mouillabilité de la pointe 12 et du réservoir par le métal liquide d'apport, il est intéressant de réaliser un traitement de surface de cette pointe et du réservoir. Au préalable, les
surfaces à traiter peuvent d'abord avoir été nettoyées dans un bain de trichloréthylène bouillant, puis dégazées par chauffage sous vide à une température d'environ 1000°C. Un traitement de surface a été décrit dans l'article de Bell et al. déjà cité ci-dessus. Ce traitement consiste à déposer une solution aqueuse de poudre de titane sur la pointe. Après séchage, la pointe est portée sous vide à une température d'environ 1700°C pour faire fondre le titane. Ce traitement est compatible avec la structure de la source selon la présente invention, telle que décrite ci-dessus.
Une variante de ce traitement de surface consiste à déposer le film de titane par pulvérisation avant de le porter sous vide à une température d'environ 1700°C pour le faire fondre. Dans le cas de l'utilisation de la source avec de l'aluminium liquide, il a été constaté, avec ce traitement de surface, une homogénéité nettement améliorée du film d'aluminium par rapport à l'homogénéité obtenue dans le cas où la surface est traitée avec le procédé décrit ci-dessus. Ceci permet d'avoir une bonne fonction d'apport vers l'apex de la pointe, et donc un courant ionique plus stable dans le temps. Un troisième procédé de traitement des surfaces, utilisable dans le cadre de la présente invention, consiste à irradier avec un faisceau d'ions la pointe et le réservoir devant recevoir le métal liquide d'apport. Dans le cas où la source est destinée à être utilisée avec de l'aluminium liquide, le faisceau d'ions est un faisceau d'ions aluminium. L'irradiation est réalisée dans une enceinte à vide. La figure 5 représente schématiquement la mise en oeuvre du procédé d'irradiation. La source dont l'extrémité doit être irradiée est représentée sur la droite de la
figure, en position verticale, soutenue par un support 40, qui peut pivoter autour d'un axe vertical, et qui peut également être déplacé en translation le long de trois directions perpendiculaires de l'espace. Afin de réaliser l'irradiation voulue de l'extrémité de la source 38, il faut disposer d'une autre source d'ions 42. Cette source peut être soit une source identique à celle que l'on cherche à réaliser, et à laquelle on a déjà appliqué un traitement similaire, soit une source telle que celle décrite dans l'art antérieur, par exemple dans l'article de Bell et al., déjà cité ci- dessus. Une électrode d'extraction 44, permet d'accélérer les ions formés par la source 42 sous forme d'un faisceau 48 qui traverse une fenêtre 46 pratiquée dans l'électrode 44. Cette fenêtre comporte un diaphragme d'extraction 47. Afin de régler le courant d'extraction de la source 42, la pointe émettrice est portée à une haute tension variable, d'environ 10-12 kV. L'ensemble constitué par l'électrode d'extraction 44 et la source 42 peut être orienté suivant trois directions perpendiculaires de l'espace. En général, le faisceau d'ions 48 a une forme conique, telle que représentée sur la figure 4, et c'est sur l'axe central de ce faisceau que se répartit le maximum du courant. On a donc intérêt à positionner la source 42 de telle façon que la partie à irradier de la source 38 se trouve approximativement sur l'axe central du faisceau d'ions 48.
La dose d'ions reçue par la source 38 lors du traitement correspond environ à une dose surfacique de lθl8ions/cm2, c'est-à-dire à une irradiation avec un courant de 2 μA pendant 1 heure. La tension d'accélération imposée aux ions aluminium formés à partir de la source 42 peut varier entre quelques
kilovolts et 20 kilovolts ; elle peut valoir par exemple environ 12 kilovolts.
Le traitement de surface est fait principalement en deux étapes : l. une étape de décapage, pendant laquelle la source 42 émet un courant de quelques microampères, entre 5 et
10 μA, que l'on règle en ajustant la haute tension à laquelle est portée la pointe émettrice de la source
42. En fait, la valeur limite supérieure de ce courant doit être choisie de telle façon que dans la première étape, on ait essentiellement émission d'ions simples Al+, et pratiquement pas d'émission d'agrégats Al+ n. Avec une tension d'accélération entre la pointe émettrice et l'électrode d'extraction 44, d'environ une dizaine de kilovolts, les ions aluminium Al+ vont :
- décaper les surfaces de la source 38 qui sont exposées sur leur trajet (la pointe 52 et l'extrémité du réservoir 54), - former une couche sur la surface décapée, qui servira de couche d'accrochage pour les agrégats qui seront déposés au cours de la deuxième étape,
2. dans une seconde étape, on fait émettre à la source un courant plus élevé, suffisant pour former un faisceau d'agrégats métalliques, de type Aln + dans le cas de l'aluminium. En général, un courant d'une valeur supérieure à 50 μA est suffisant pour former des agrégats. Ces agrégats vont se déposer sur la couche d'ions métalliques déposée dans la première étape sur la surface traitée et qui joue le rôle de couche d'accrochage. Cette couche d'agrégats métalliques forme elle-même une couche d'accrochage pour le métal liquide qui doit être ensuite déposé à l'extrémité de la source.
La durée de chacune des deux étapes décrites ci-dessus dépend du courant utilisé dans chaque étape. Avec un courant de quelques microampères, la première étape a une durée d'environ 20 minutes ; pour un courant d'environ 50μA, la seconde étape dure environ 40 minutes.
Il est possible d'ajouter à ces deux étapes une étape d'implantation des ions et des agrégats métalliques déjà déposés sur la surface à traiter dans les deux premières étapes. Au cours de cette étape d'implantation, la source 42 émet un courant de quelques microampères, de façon à émettre un faisceau comportant principalement des ions simples, et peu d'agrégats. Ces ions sont accélérés sous une tension maximum (de l'ordre de 20 kilovolts), de façon à "enfoncer" les agrégats déposés au cours de la deuxième étape, dans la partie superficielle de la zone qui a été traitée au cours des étapes précédentes.
Afin de limiter le traitement de surface à la pointe 52, et à la partie avant du réservoir 54 (partie référencée par 20 et 31 sur les figures 2 et 4, et qui est limitée, sur ces mêmes figures, par un trait en pointillés), il est possible d'interposer entre le faisceau 48 et les parties de la source 38 que l'on ne veut pas irradier, une feuille protectrice 50, telle que par exemple une feuille de papier aluminium. Ceci peut être important, dans le cas où le métal liquide avec lequel la source est destinée à être utilisée, peut présenter des effets de corrosion sur les parties métalliques de la source. C'est le cas notamment de l'aluminium qui, à l'état liquide, peut facilement corroder les parties du système de chauffage du réservoir et de la pointe extérieures à ces derniers, notamment le filament de tungstène 16 (voir figure 2) . Si, par conséquent, une couche d'accrochage constituée
d'agrégats métalliques est déposée sur ces parties lors de l'irradiation, le métal liquide aura tendance, lors de l'utilisation de la source ainsi préparée, à s'accrocher également sur ces parties, ce qui provoquera une corrosion rapide des éléments métalliques situés au voisinage de ces parties. C'est pour cette raison que l'on limite, notamment dans le cas de l'aluminium, l'irradiation de la source à la pointe, à l'extrémité avant du réservoir, et aux parois du compartiment 18 ouvert dans le réservoir (voir figure 3b) . Après avoir subi ce traitement, la source est prête à utilisation. On la plonge par exemple dans un bain d'aluminium liquide, qui vient mouiller les parties irradiées et les recouvrir par capillarité sous la forme d'un film mince, parfaitement uniforme et homogène. Cette très bonne homogénéité favorise d'une part la fonction d'apport du métal ionisé vers l'apex de la pointe, et d'autre part permet de rendre maximum la quantité de métal d'apport stocké. Ce troisième traitement, applicable à une source présentant la structure selon l'invention peut également être applicable à tout type de source d'ions à métal liquide en particulier à une source ayant la structure décrite dans l'article de Bell et al., et illustrée sur la figure 1. Dans ce cas, il suffit de soumettre la pointe de graphite 2 à une irradiation avec, par exemple, un faisceau d'ions aluminium (Al+ puis Aln +) . La mouillabilité du graphite s'en trouve améliorée par rapport au traitement proposé par Bell et al. dans l'article précité, puisque ce dernier conduit à la formation d'îlots d'aluminium à la surface de la pointe de graphite.
L'invention a été décrite dans le cadre de la réalisation d'une source d'ions aluminium. Le choix de
cet élément n'est pas limitatif et on peut utiliser la même structure et le même traitement de surface pour toute source d'ions d'une autre nature, par exemple pour une source de bore. Le traitement de la surface consistera alors à irradier la source avec un faisceau d'ions bore, d'abord d'ions B+ puis d'agrégats Bn +. Le bore est, par ailleurs, un élément corrosif à l'état liquide, tout comme l'aluminium, et il est donc préférable de limiter le traitement de surface à la pointe 12 de graphite et à la partie "avant" du réservoir 14.
La structure de la source selon la présente invention peut également être utilisée 'pour la production d'ions à partir d'autres éléments, notamment d'éléments non corrosifs à l'état liquide.
Après préparation et une fois que la source est mouillée par le métal liquide, la production d'ions à partir de celle-ci est réalisée à l'aide d'une électrode d'extraction, montée en avant de la pointe, de la même façon que l'électrode 44 est montée en avant de la source 42 dans le montage de la figure 5.
Le faisceau obtenu peut être plus ou moins riche en agrégats métalliques de taille variable. En fait cette sélection dépend de la tension appliquée à la pointe. Pour cette raison, l'ensemble de la source est porté à une haute tension d'environ 11 kV, l'alimentation H.T. supplémentaire étant reliée à la base de la tige 10 (par l'intermédiaire des mâchoires 28, 30 dans la représentation de la figure 2) . La modulation de la haute tension conduit à une modulation du courant émis par la pointe, ce courant modulant à son tour la distribution de la taille des agrégats émis. La différence de potentiel entre la pointe et
l'électrode d'extraction module, quant à elle, l'énergie cinétique des ions ou des agrégats émis.
Des applications essentielles de la source selon la présente invention sont : - d'une part la fabrication de machines à faisceaux d'ions focalisés, - d'autre part, l'utilisation de telles machines dans le domaine de la microélectronique et celui de la préparation d'échantillons pour l'observation par Microscopie par transmission (TEM) . Le principe consiste alors à utiliser l'interaction entre un faisceau d'ions très énergétiques, focalisés dans une tache de moins de 0,1 micron, et un échantillon.
Les ions incidents vont localement pulvériser la surface de l'échantillon, au niveau de la tache correspondant à la zone d'impact.
On contrôle le processus d'érosion suivant des axes X, Y parallèles à la surface de l'échantillon en balayant cette surface avec le faisceau, et on contrôle la profondeur de cette gravure par un déplacement de la machine suivant un axe z perpendiculaire à la surface. On peut, avec un appareil incorporant une source selon la présente invention, élaborer des structures ayant des tailles de l'ordre de 70 à 80 nanomètres.
Des exemples de résultats obtenus avec une source d'ions aluminium, conçue selon la présente invention, sont donnés sur les figures 6 et 7. La source utilisée incorporait un traitement de surface avec une couche d'accrochage en aluminium, tel que décrit ci-dessus.
La figure 6 est la photographie d'une grille de cuivre prise à l'aide d'un microscope électronique, dans lequel le canon à électrons du microscope a été
remplacé par la source d'ions aluminium. La tension d'accélération des ions est de 12,5 keV, et le courant d'émission de 16 μA. Les fils 60, 62, 64 de la grille ont une épaisseur d'environ 25 μm. Pour réaliser une telle prise de vue, il faut irradier la grille avec un faisceau d'ions Al+ très stable pendant environ 1 mn 30 secondes. Cette photographie montre donc la très bonne stabilité, dans le temps, du courant et du faisceau de la source selon l'invention. La figure 7 est une photographie d'une gravure effectuée sur du GaAs par un faisceau d'ions Al+ de 20 keV d'énergie (courant i≈ll μA) . Sur cette photo, 1 cm représente 100 nm.