WO1990010994A1 - Verfahren zur dynamischen lagestabilisierung von an einem farb-strahlenteiler, insbesondere rgb-strahlenteiler angeordneten kameras und anordnung hierzu - Google Patents
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Definitions
- the invention can be used wherever a surface with a camera, in particular a color camera, is to be recorded and checked very precisely and where a color rod arranged on the camera is used for this purpose .
- the invention relates to a method for the dynamic stabilization of the position of cameras arranged on a color beam separator, in particular RGB beam arrays, and an arrangement therefor.
- CCD cameras have also already been used for surface inspection.
- Color television cameras which have a color beam divider and solid-state image sensors are also known, CDE-OS 26 44 574).
- each image for a color of the colors red, green, blue is recorded in the CCD camera or in the CID camera by individual pixels as sensors.
- These are light-sensitive semiconductor sensors that are used to convert an optical image into electrical signals. These sensors have a raster structure with a number of rows and columns. The product of rows and columns gives the number of pixels.
- sensor units with approx. 500 x 500 sensor elements and larger are common. With these sensor units, very small, light and wear-free television cameras can be produced.
- the cameras themselves, their suspension and the RGB radiation element to which they are connected can be exposed to mechanical loads on the one hand, which can lead to a short-term or permanent delay and on the other hand are exposed to heat distortion it cannot be guaranteed that the three images processed in the evaluation unit have actually captured the same surface, ie it cannot be checked whether the information received about a surface point actually exists about the color present correct is.
- the three images are shifted or rotated relative to one another Namely, if one takes the green image as a reference, for example, the information about the green state at one point is assigned the information about the red state or about the blue state of two other surface points. Due to the limited number of pixels and the partially reduced blue sensitivity, this leads to possible unreliability, which has hitherto ruled out the use of such arrangements for surface inspection with extreme accuracy.
- Corresponding reference image is supplied to the structure of the sensors of the camera or is faded into the beam path of the incoming light, in which only one or more raster points have a light signal in the raster and the other raster points are completely thin, b) it is determined which image sensors have recorded a light signal in a color image of the corresponding camera selected as the reference image,
- the further cameras for the further color images are rotated simultaneously or successively around the optical axis and / or are shifted by appropriate steps in one direction or in two directions perpendicular to one another until the same sensors or the other color images are used
- ⁇ ren cameras record a light signal
- Such a procedure ensures that the color information to be assigned to a point on the surface is actually obtained and can be processed. It can preferably be provided that a control loop is designed during the surface inspection so that the reference image is faded in every 25 images and a corresponding readjustment is carried out.
- Corresponding reference image is supplied to the structure of the sensors of the camera or is faded into the beam path of the incoming light, in which only one or more raster points have a light signal in the raster and the other raster points are fully are constantly dark and the reference image has been created using one or more color filters to generate a reference image with a predetermined color,
- the camera assigned to the specified color is rotated about the optical axis for a further color image and / or is shifted in each case in one direction or directions perpendicular to one another until the sensors of the camera which are assigned to the corresponding raster points provide a light record signal
- the raster points of the reference image having a light signal are advantageously arranged in the image outer area.
- the influence of an angular rotation is correspondingly more pronounced in the outer image area than in the area of the middle of the image.
- the raster points of the reference image having a light signal are divided into two diagonally opposite corner areas are arranged. This ensures that optimal centering takes place.
- the post-regeneration method When the post-regeneration method is carried out, it can then be provided that in the image corners of the reference image a plurality of image pixels are initially exposed to a light signal, while in a second control step a light signal is only applied to one pixel at a time.
- the cameras on a housing of the beam splitter can be displaced in at least one direction and / or can be rotated about the optical axis by means of a displacement and / or rotating device,
- a reference image generating device is provided with which a reference image corresponding to the raster-shaped structure of the sensors of the camera, in which only one or more raster points are completely dark in a raster, can be generated,
- a device for fading in the reference image into the beam path between a known optical system and the beam splitter can be faded in
- a control device for controlling the reference image generating device and the displacement and rotating device is provided.
- F i g. 1 shows a schematic illustration of an arrangement for dynamic position stabilization
- An arrangement for the dynamic position stabilization of cameras is designated by 100 in FIG.
- Order 100 an object (not shown in the drawing) is detected by optics 10 and fed to an RGB beam splitter 11 which is arranged in a housing 12.
- the structure of the RGB steel beam 11 corresponds to the structure known per se, so that further explanations can be dispensed with here.
- the images captured by the CCD cameras 16, 17, 18 are fed to an evaluation and control device 19 and evaluated.
- the evaluation and control device 19 controls the reference image generation device 20, which in turn fades a reference image (not shown in the drawing) into the beam path 21 of the RGB beam splitter 11 via the semi-transparent mirror 22.
- a control cycle can then be carried out, in which only two sensor elements 34, 35 of green screen 23 are acted upon by a light signal and a check is carried out to determine whether the corresponding sensors of the other cameras to record a light signal.
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Abstract
Um ein Verfahren zur dynamischen Lagestabilisierung von an einem Farb-Strahlenteiler, insbesondere RGB-Strahlenteiler angeordneten Kameras, insbesondere CCD- oder CID-Kameras, zu schaffen, ist vorgesehen, daß dem Farb-Strahlenteiler ein der rasterförmigen Struktur der Sensoren der Kamera entsprechendes Referenzbild zugeführt bzw. in den Strahlengang des eintretenden Lichtes eingeblendet wird, bei dem im Raster nur ein oder mehrere Rasterpunkte ein Lichtsignal aufweisen und die anderen Rasterpunkte vollständig dunkel sind, festgestellt wird, welche Bildsensoren bei einem als Bezugsbild ausgewählten Farbbild der entsprechenden Kamera ein Lichtsignal aufgenommen haben, die weiteren Kameras für die weiteren Farbbilder gleichzeitig oder nacheinander um die optische Achse gedreht und/oder um jeweils entsprechende Schritte in einer Richtung oder in zwei zueinander rechtwinkligen Richtungen verschoben werden, bis bei den weiteren Farbbildern die gleichen Sensoren der weiteren Kameras ein Lichtsignal aufnehmen, und daß das Referenzbild wieder ausgeblendet wird.
Description
Verfahren zur dynamischen Lägestabi L i s i e rung von an ei nem Fa rb-St rah lentei Le r , insbesonde re RGB -St ra h Len- t e i Le r angeordneten Kameras und Anordnunig hi e rzu
Anwendungsgebiet
Die Erfindung ist .überaLL dort anwendbar, wo eine Ober¬ fläche mit einer Kamera, insbesondere Farbkamera, sehr genau erfaßt und überprüft werden soLL und wo hierzu ein an der Kamera angeordneter Fa rb-St ra h L ente i L e r ver¬ wendet wird.
Stand der Technik
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur dynamischen Lagestabi Lisierung von an einem Farb-Strahlentei ler, insbesondere RGB-St ra h lent e i Le r angeordneten Kameras und eine Anordnung hierzu.
Bekannt sind zur Oberflächenerfassung und zur Oberflä¬ chenprüfung verschiedenste Arten von Kameras und Farb¬ kameras. Auch sind bereits CCD-Kameras zur Oberflächen¬ prüfung eingesetzt worden.
So sind auch Farbfernsehkameras, die einen Farb-Strah¬ lentei ler sowie Fest örperbi Idsensoren aufweisen, be¬ kannt CDE-OS 26 44 574) .
Auch ist bere s eine Anordnung bekannt, bei der eine Oberfläche über eine Optik erfaßt und das erfaßte Bi ld einem Rot-Grün-B Lau-St rah lentei Ler und von diesem drei
entsprechenden CCD-Kameras zugeführt wird. Diese er¬ fassen jeweils ein Rot-, Grün- oder Blau-Bi ld und lei¬ ten die den erfaßten Bildern entsprechenden Raten einer Auswertungseinheit zu.
Hit einer derartigen Anordnung ist es möglich, die Farbgestaltung einer Oberfläche zu erfassen und mit den Vorgaben für die gewünschte Oberfläche zu vergleichen. Es ist jedoch so, daß jedes Bild für eine Farbe der Farben rot, grün, blau in der CCD-Kamera oder in der CID-Kamera von einzelnen Pixel als Sensoren aufgenommen wird. Hierbei handelt es sich um Lichtempfindliche Halbleitersensoren, mit deren Hilfe ein optisches Bild in elektrische Signale umgewandelt wird. D ese Sensoren besitzen eine rasterför ige Struktur mit einer Anzahl von Zeilen und Spalten. Das Produkt aus Zei len und Spalten ergibt die Anzahl von Bildpunkten. Es sind bis¬ her Sensoreinheiten mit ca. 500 x 500 Sensorelementen und größer üblich. Mit diesen Sensoreinheiten Lassen sich sehr kleine, leichte und verschleißfreie Fernseh¬ kameras herstellen. Da die Kameras selbst, ihre Aufhän¬ gung und der RGB-St rah lentei Le r, an den sie angeschlos¬ sen sind, einerseits mechanischen Belastungen ausge¬ setzt sein können, die zu einem kurzfristigen oder bleibenden Verzug führen können und andererseits einem Wärmeverzug ausgesetzt sein können, ist nicht zu ge¬ währleisten, daß die in der Auswerteeinheit verarbeite¬ ten drei Bilder tatsächlich die gleiche Oberfläche er¬ faßt haben, d.h., es ist nicht prüfbar, ob die zu einem Oberflächenpunkt erhaltene Information über die vorlie¬ gende Farbe tatsächlich richtig ist. Bei einer Ver¬ schiebung oder Verdrehung der drei Bilder zueinander
werden nämlich, wenn man beispielsweise das Grün-Bi ld als Bezug nimmt, der Information über den Grün-Zustand zu einem Punkt die Informationen über den Rot-Zustand bzw. über den Blau-Zustand zweier anderer Oberflächen¬ punkte zugeordnet. Aufgrund der begrenzten Bildpunkt¬ zahl und der tei lweise ohnehin verminderten Blau-Em¬ pfindlichkeit führt dies zu möglichen Unzuverlässigkei- ten, die einen Einsatz solcher Anordnungen für eine Oberflächenprüfung mit äußerster Genauigkeit bisher ausschließen.
Es ist zwar bereits bekannt, für Fa rbdeckungsei nst e l- lungen bei Mehrröh ren-Fa rbfe rnsehkameras ein Testbi ld heranzuziehen, jedoch wird hierbei das Gesamtbild be¬ trachtet (DE-OS 38 13 461) .
Aufgabe, Lösung, Vortei le
Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren der eingangs genannten Art und eine ver¬ besserte Anordnung hierzu zu schaffen.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird ein entsprechendes Ver¬ fahren vorgesehen, bei dem vorgesehen ist, daß
a) dem Farb-S rahlentei ler ein der rasterför i gen
Struktur der Sensoren der Kamera entsprechendes Re¬ ferenzbild zugeführt bzw. in den Strahlengang des eintretenden Lichtes eingeblendet wird, bei dem im Raster nur ein oder mehrere Rasterpunkte ein Licht¬ signal aufweisen und die anderen Rasterpunkte voll¬ ständig dünken sind,
b) festgestellt ird, welche Bildsensoren bei einem als Bezugsbild ausgewählten Farbbi ld der entsprechenden Kamera ein Lichtsignal aufgenommen haben,
c) die weiteren Kameras für die weiteren Farbbilder gleichzeitig oder nacheinander um die optische Achse gedreht und/oder um eweils entsprechende Schritte in einer Richtung oder in zwei zueinander rechtwink¬ ligen Richtungen verschoben werden, bis bei den wei¬ teren Farbbildern die gleichen Sensoren oder weite¬ ren Kameras ein Lichtsignal aufnehmen, und
d) das Referenzbild wieder ausgeblendet wird.
Mit einem derartigen Vorgehen ist sichergestellt, daß zu einem Oberflächenpunkt tatsächlich die diesem Punkt - zuzuordnenden Farbinformationen erhalten werden und verarbeitet werden können. Dabei kann bevorzugterweise vorgesehen werden, daß bei der Oberflächenprüfung ein Regelkreis so konzipiert wird, daß alle 25 Bilder das Referenzbild eingeblendet und eine entsprec ende Nach- regelung durchgeführt wird.
Gemäß einer weiteren Lösung der zugrundeliegenden Auf¬ gabe ist vorgesehen, daß
a) dem Farb-Strahlenteiler ein der rasterförmigen
Struktur der Sensoren der Kamera entsprechendes Re¬ ferenzbild zugeführt bzw. in den Strahlengang des eintretenden Lichtes eingeblendet wird, bei dem im Raster nur ein oder mehrere Rasterpunkte ein Licht¬ signal aufweisen und die anderen Rasterpunkte voll-
ständig dunkel sind und das Referenzbild unter Ver¬ wendung eines oder mehrerer Farbfilter zur Erzeugung eines Referenzbildes mit einer vorgegebenen Farbe erstellt worden ist,
b) festgestellt wird, welche BiLdsensoren bei dem Farb¬ bild der. der vorgegebenen Farbe zugeordneten CCD- Kamera ein Lichtsignal aufgenommen haben,
c) die der vorgege-benen Farbe zugeordnete Kamera für ein weiteres Farbbild um die optische Achse gedreht und/oder um jeweils entsprechende Schritte in einer Richtung oder zueinander rechtwinkligen Richtungen verschoben wird, bis die den entsprechenden Raster¬ punkten zuzuordnenden Sensoren der Kamera ein Licht¬ signal aufnehmen,
d) die Schritte nach a) bis c) bei den weiteren Kameras für die weiteren Farbbilder gleichzeitig oder nach¬ einander durchgeführt werden,
e) das Referenzbild wieder ausgeblendet ird.
Ausgestaltung der Erfindung
Vorteilhafterweise werden die ein Lichtsignal aufwei¬ senden Rasterpunkte des Referenzb ldes im Bildaußenbe¬ reich angeordnet. Im Bildaußenbereich ist nämlich der Einfluß einer Winkelverdrehung entsprechend stärker ausgeprägt als im Bereich der Bildmitte. Weiterhin ist vorteilhafterweise vorgesehen, daß die ein Lichtsignal aufweisenden Rasterpunkte des Referenzbi Ldes in zwei
sich diagonal gegenüberliegenden Eckbereichen angeord¬ net sind. Hierdurh ist sichergestellt, daß eine opti¬ male Zentrierung erfolgt.
Bei der Durchführung des Nachrege Iverfahrens kann dann noch vorgesehen werden, daß in den Bildecken des Refe¬ renzbildes zunächst mehrere Bildpixel mit einem Licht¬ signal beaufschlagt werden, während in einem zweiten Regelschritt nur noch auf jeweils ein Pixel mit einem Lichtsignal beaufschlagt wird.
Zur Durchführung des Verfahrens ist eine Anordnung vor¬ geschlagen, bei der vorgesehen ist, daß
a) die Kameras an einem Gehäuse des Strahlenteilers über eine Verschiebe- und/oder Dreheinrichtung in mindestens einer Richtung verschiebbar und/oder um die optische Achse drehbar angeordnet sind,
b) eine Referenzbilderzeugungseinrichtung vorgesehen ist, mit der ein der rasterförmi gen Struktur der Sensoren der Kamera entsprechendes Referenzbi Ld, bei dem in einem Raster nur ein oder mehrere Rasterpunk¬ te vollständig dunkel sind, erzeugbar ist,
c) eine Einrichtung zur Einblendung des Referenzbildes in den Strahlengang zwischen einer an sich bekann¬ ten Erfassungsoptik und den Strahlenteiler einblend¬ bar ist, und
d) eine Steuerungseinrichtung zur Steuerung der Refe- renzbi Iderzeugungseinri chtung und der Verschiebe-
und Dreheinrichtung vorgesehen ist.
Bei der Verwendung einer derartigen Anordnung ist die Durchführung der dynamischen Lagestab i L i s i e rung der an einem RGB-Strahlenteiler angeordneten Kameras mit ein¬ fachsten Mitteln möglich, wobei gleichzeitig die bei¬ spielsweise bei der Beobachtung sich bewegender Ober¬ flächen gewünschten hohe Prüfgenaui gkei t erreichbar ist.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachstehend anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen
F i g. 1 in einer schematischen Darstellung eine An¬ ordnung zur dynamischen Lagestabi lisierung, und
F i g. 2 in zueinander verschobener Lage drei von CCD-Kameras erfaßte Farbbilder.
Detai l ierte Beschreibung der Erfindung . und bester Weg zur Ausführung der Erfindung
In Fig.1 ist eine Anordnung zur dynamischen Lagestabi¬ lisierung von Kameras mit 100 bezeichnet. Bei der An-. Ordnung 100 wird ein in der Zeichnung nicht dargestell¬ tes Objekt von einer Optik 10 erfaßt und einem RGB- Strahlentei ler 11 zugeleitet, der in einem Gehäuse 12 angeordnet ist. Der Aufbau des RGB-St rah lentei lers 11 entspricht dabei dem an sich bekannten Aufbau, so daß hier auf weitere Erläuterungen verzichtet werden kann.
An dem Gehäuse 12 des RGB-Strahlenteilers 11 ist jede CCD-Kamera 16,17,18 über jeweils eine Verschiebe- und Dreheinrichtung 13,14,15 angeordnet, so daß jede CCD- Kamera 16,17,18 gegenüber dem ortsfesten Gehäuse 12 des RGB-Strahlenteilers 11 in X-Y-Z-Ri chtung verschiebbar und um die optische Achse drehbar ist.
Die von den CCD-Kameras 16,17,18 erfaßten Bilder werden einer Auswerte- und Steuereinrichtung 19 zugeführt und ausgewertet.
Die Auswerte- und Steuereinrichtung 19 Steuer die Re- ferenzbilderzeugungseinri chtung 20, die wiederum über den halbdurchlässigen Spiegel 22 ein in der Zeichnung nicht dargestelltes Referenzbild in den Strahlengang 21 des RGB-Strahlenteilers 11 einblendet.
Wie in Fig.2 dargestellt ist, wird dann beispielsweise festgestellt, daß insgesamt 8 Sensorelemente des Grün- bildes 23, nämlich die Sensoren 26,27,28,29 und 30,31, 32,33 ein Lichtsignal empfangen, während von den Sen¬ sorelementen 126 bis 133 des Rot-Bildes 24 nur die Sen¬ soren 129 und 133 ein Lichtsignal enthalten und die Sensorelemente 226 bis 233 des Blau-Bildes 25 kein Lichtsignal empfangen. Hierauf setzt dann eine Ver¬ schiebung des Blau-Bildes 25 und entsprechend des Rot- Bildes 24 in entsprechenden Schritten so lange ein, bis jeweils alle Sensoren 26 bis 33, 126 bis 133 und 226 bis 233 ein Lichtsignal empfangen. Dabei muß das Blau- Bild 25 dann zunächst einmal in einem großen Schritt beispielsweise bis zu einem Ende des Verschiebeweges verfahren werden, um eine zumindest teilweise überlap-
pung der Sensoren zu erreichen. Es ist dann nach abge¬ schlossener Verschiebung sichergestellt, daß die drei Farbbi lder 23,24,25 übe rei nande r l i egen . Zur Vergröße¬ rung der Sicherheit kann dann noch ein Regelzyklus ge¬ fahren werden, bei dem jeweils nur zwei Sensorelemente 34,35 des Grün-B ldes 23 mit einem Lichtsignal beauf¬ schlagt werden und geprüft wird, ob auch die entspre¬ chenden Sensoren der weiteren Kameras ein Lichtsignal aufnehmen .
Die voranstehende Darstellung ist dabei nur als Bei¬ spiel anzusehen, da sowohl die Anordnung als auch die Anzahl der mit einem Lichtsignal beaufschlagten Senso¬ ren natürlich variabel ist und zur Erreichung optimaler und schneller Abstimmungsergebnisse abgeändert werden kann .
Claims
1. Verfahren zur dynamischen Lagestabilisierung von an einem Farb-Strahlenteiler, insbesondere RGB-Strah¬ lenteiler angeordneten Kameras, insbesondere CCD- oder CID-Kameras, dadurch gekennzeichnet, daß
a) dem Farb-Strahlenteiler ein der rasterförmi.gen Struktur der Sensoren der Kamera entsprechendes Referenzbild zugeführt bzw. in den Strahlengang des eintretenden Lichtes eingeblendet wird, bei dem im Raster nur ein oder mehrere Rasterpunkte ein Lichtsignal aufweisen und die anderen Raster¬ punkte vollständig dunkel sind,
b) festgestellt rd, welche Bildsensoren bei einem als Bezugsbild ausgewählten Farbbild der entspre¬ chenden Kamera ein Lichtsignal aufgenommen haben,
c) die weiteren Kameras für die weiteren Farbbilder gleichzeitig oder nacheinander um die optische Achse gedreht und/oder um jeweils entsprechende Schritte in einer Richtung oder in zwei zueinan¬ der rechtwinkligen Richtungen verschoben werden, bis bei den weiteren Farbbildern die gleichen Sensoren der weiteren Kameras ein Lichtsignal aufnehmen, und
d) das Referenzbild wieder ausgeblendet wird,
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ein Lichtsignal aufweisenden Rasterpunkte des Referenzbi ldes im Bi ldaußenbereich angeordnet sind.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die ein Lichtsignal aufweisenden Rasterpunkte des Referenzbi l'des in zwei sich diagonal gegenüber¬ liegenden Eckbereichen angeordnet sind.
4. Verfahren zur dynamischen Lagestabi lisierung von an einem Farb-Strahlentei ler, insbesondere RGB-Strah¬ lentei ler angeordneten Kameras, insbesondere CCD- ode r CID-Kameras, dadurch gekennzeichnet, daß
a) dem Farb-Strahlenteiler ein der rasterförmi gen Struktur der Sensoren der Kamera entsprechendes Referenzbi ld zugeführt bzw. in den Strahlengang des eintretenden Lichtes eingeblendet wird, bei dem im Raster nur ein oder mehrere Rasterpunkte ein Lichtsignal aufweisen und' die anderen Raster¬ punkte vollständig dunkel sind und das Referenz¬ bi ld unter Verwendung eines oder mehrerer Farb¬ fi lter zur Erzeugung eines Referenzbi ldes mit einer vorgegebenen Farbe erstellt worden ist,
b) festgestellt wird, welche Bi ldsensoren bei dem Farbbi ld der der vorgegebenen Farbe zugeordneten CCD-Kamera ein Lichtsignal aufgenommen haben. c) die der vorgegebenen Farbe zugeordnete Kamera für ein weiteres Farbbild um die optische Achse ge¬ dreht und/oder um eweils entsprechende Schritte in einer Richtung oder zueinander rechtwinkligen Richtungen verschoben wird, bis die den entspre¬ chenden Rasterpunkten zuzuordnenden Sensoren der Kamera ein Lichtsignal aufnehmen,
d) die Schritte nach a) bis c) bei den weiteren Ka¬ meras für die weiteren Farbbilder gleichzeitig oder nacheinander durchgeführt werden,
e) das Referenzbild wieder ausgeblendet wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die ein Lichtsignal aufweisenden Rasterpunkte des Referenzbildes im B"ildaußenbereich angeordnet sind.
6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die ein Lichtsignal aufweisenden Rasterpunkte des Referenzbildes in zwei sich diagonal gegenüber¬ liegenden Eckbereichen angeordnet sind.
7. Anordnung zur dynamischen Lägestabi l si erung von an einem Farb-Strahlenteiler, insbesondere RGB-Strah¬ lenteiler,- angeordneten Kameras, insbesondere CCD- oder CID-Kameras, dadurch gekennzeichnet, daß
a) die Kameras (16,17,18) an einem Gehäuse (12) des Strahlenteilers (11) über eine Verschiebe- und/ oder Dreheinrichtung (13,14,15) in mindestens ei¬ ner Richtung (X,Y,Z) verschiebbar und/oder um die optische Achse (A) drehbar angeordnet sind,
b) eine Referenzbilderzeugungseinrichtung (20) vor¬ gesehen ist, mit der ein der rasterförmigen Struktur der Sensoren der Kamera entsprechendes Referenzbi ld, bei dem in einem Raster nur ein oder mehrere Rasterpunkte ein Lichtsignal aufwei¬ sen und die anderen Rasterpunkte vollständig dun¬ kel sind, erzeugbar ist,
c) eine Einrichtung (22) zur Einblendung des Refe¬ renzbildes in den Strahlengang zwischen einer an sich bekannten Erfassungsoptik (10) und den Strahlenteiler (11) einblendbar ist, und
d) eine Steuerungseinrichtung (19) zur Steuerung, der Referenzb Iderzeugungseinri chtung (20) und der Verschiebe- und Dreheinrichtung (13,14,15) vorge¬ sehen ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Einblendung des Referenzbil¬ des ein halbdurchlässiger Spiegel (22) ist.
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