WO1990007667A1 - High-speed flow rate control valve - Google Patents

Description

明 細 高 速 流 量 制 御 弁 技 術 分 野

太 発 明 は 、 ロ ボ ッ ト 等 に 使 用 さ れ る 流 量 制 御 弁 に 係 り 、 特 に 高 圧 用 と し て 高 速 応 答 性 に 優 れ 、 か つ 、 連 綾 制 御 を 容 易 に 行 い 得 る 高 速 流 量 制 御 弁 に 関 る 。 背 技 1

従 夹 ， 圧 電 体 を m 動 源 と 制 御 弁 と し て 、 特 開 昭 6 2 一 2 8 3 2 7 3 号 公 報 及 び 特 開 昭 6 2 - 2 8 3 2 7 4 号 公 報 で 開 示 さ れ た も の が あ る _c こ れ を 第 7 図 及 び 第 8 図 を 参 照 し 説 明 す る と 、 前 者 の 流 量 制 御 弁 は 、 ≠^ 1 図 に 不 '？ 通 り 、 弁 室 C 1 内 の ώ 央 部 に 弁 座 C 2 を ί照 z モ ル フ 構 造 の 圧 電 板 c 3 を 橫 架 の .± 電 板 '：: ■ の 撓 み を 利 用 し て 、 前 記 弁 座 C 2 を 弁 室 壁 に 設 け た 気 、 流 通 孔 C 4 に 対 し て 接 離 運 動 さ せ 、 流 路 の 開 閉 を 行 わ せ る よ う に し た 構 成 の も の で あ る 。 後 者 の 流 量 制 御弁 は 、 8 図 に 示 す 通 り 、 弁 室 D 1 内 こ 断 配 置 さ η る

ァ 一 ム D 6 を 設 け る と と も に 、 こ の ア ー ム D 6 の ""^ *¾： 固 定 支 点 D 4 に 連 Ί'Π て 片 持 ち 梁 状 に 支 持 し て い る _c ァ ϋ 6 の 先 端 は 撓 み 運 動 が 可 能 上 さ ή , こ の 撓 み 方 inj に 面 弃 室 D 】 に 開 □ す る 一 対 の 気 & 流 通 孔 D 7 を 設 け て い る 。 こ の ア ー ム D 6 の 先端 に は 、 前記気体流通？ L

D 1 の 閉 め 方向 に 付勢 し た パ ネ D 2 を 備 え た 弁座 D 3 を 設 け て お り 、 一方、 ア ー ム D 6 の 支点 D 4 の 近傍位置 に は マ ー ム D 6 に 強制 的 に 撓 み運動 を 与 え る 電歪素子 D 5 を 固定部分 と の 間 に 設 けて い る 。 こ れ に よ り 、 前記電歪 素子 D 5 の 直動変位量 △ X を 前記 ア ー ム D 6 に よ り 竑大 し て 撓 み運動 さ せ 、 前記弁座 D 3 を 弁 室壁 に 設 け た 気 淀量孔 D 7 に 封 し て 接離運動 さ せ 、 流路 の 開閉を 斤 わ せ る · つ に し た ち （？ > で め る

こ ら い ずれ の 流量制御弁 も 、 空圧等、 低圧泡 の 流量 制 ^ 弁 と し て 使用 す る に 便利 と 考 え ら れ る 。

し か し 、 上記従来 の 流量制御弁を 中 高圧用 と し て 使用 す る に は下記 す る よ う な 都合が あ る 。

前者 の 流量制 御弁 に あ っ て は 、 圧電板 c 3 に 徺 み振 カ を 起 こ せ し め て 、 弁座 C 2 と 気 流量孔 C 4 と を 高達 開 ^せ し め る こ と に な る 。 太琉量制御弁 こ の よ ：：： ^: 易 に 高達制 御 を 行 え る が、 ^ の 開閉 力 が 、 最大 て も 約 ·

0 0 g が限度で あ る た め 、 こ れを * 高圧用 と し て 使用. す る こ と に 困難が あ る 。

(2)後者の 流量制御弁 に あ っ て は、 バ ネ D 2 は ア ー ム D 6 に 影響を 与 え な い 範囲 の バ ^ 定数 の も の に し な け れば ら な い と い う 限定が あ る ： こ の た め 、 大 き な バ % 定数 を d、要 と す る Φ 高圧用 の 流量制御 に は不適 当 と い う 二 と に な る 。 仮 に 現状 の ま ま で 由 高圧用 の 流量制 ¾1 と し て 90 076

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使 用 す る と 、 バ 定 数 が 低 い た め 、 流 体 圧 の 反 力 に よ つ て 弁 座 の 変 位 ロ ス が 大 き く な り 、 流 体 制 御 を 高 精 度 に 行 う こ と 力く で き な い と い う 不 都 合 が 生 ず る 。 発 明 の 開 示

太 発 明 は 、 上 記 従 来 の 問 題 点 に 鑑 み 、 圧 電 体 を 駆 動 源 と す る 流 量 制 御 弁 に つ い て 、 中 高 圧 用 と し て の 高 速 応 答 性 に 優 れ 、 か つ 、 連 綾 的 な 流 量 制 御 が 可 能 な 高 速 流 量 制 御 弁 の 提 供 を 目 的 と す る 。

上 記 目 的 を 達 成 す る た め 、 太 発 明 に 係 わ る 高 速 流 量 制 御 弁 は 、 駆 動 源 で あ る 積層 型 圧 電 ァ ク チ ユ エ ー タ と 、 前 記 積 層 型 圧 電 ァ ク チ ユ エ 一 タ の 直 動 変 位 を 回 転 変 位 に 変 換 す る 第 1 変 換 手 段 と 、 前 記 回 転 変 位 を 直 動 変 位 に 戻 す 第 2 変 換 手 段 と 、 前 記 第 2 変 換 手 段 に 連 動 す る バ ル ブ ス プ ー ル と を 備 え た 構 成 と し た 。 こ の 場 合 に お い て 、 前 記 第 〗 変 換 手 段 の 変 換 部 に は 変 位 増 Φ§ 機 構 が 設 け ら ή る 二 と が 望 ま し い 。 ま た 、 前 記 第 1 変 換 手 段 は 犬 歯 直 レ バ ー が 取 り 付 け ら れ た 第 一 の シ ャ フ ト と 前 記 大 歯 直 に 嚙 み 合 う 小歯 車 が 取 り 付 け ら れ た 第 二 の シ ャ フ ト を 有 し 、 第 一 の シ ャ フ 卜 に は 前 記 積 層 型 圧 電 ァ ク チ ュ ヱ ー タ の 直 動 変 位 を シ ャ フ ト 鈾 心 か ら 偏 位 し た 位 置 で 回 室云 接 線 力 と し て 受 け る カ ム を 設 け た 構 成 と す れ ば よ い 。 更 に 、 前 記 第 2 変 換 手 段 は バ ル ブ ス プ ー ル に 連 結 さ れ た ラ ッ ク と こ れ に 嚙 み 合 う ピ ニ オ ン か ら 構 成 す る こ と 力 で き る 。 あ る い は 前記第 1 変換手段を 回転支持 さ れ た シ ャ フ ト と 、 こ れ に 嵌合 さ れ前記積層 型圧電 ァ ク チ ユ エ ー タ に 連動 し て 変位 す る プ レ ー ト と を有 し 、 前記 シ ャ フ ト と プ レ ー ト の 嵌 合 都 を ね じ嵌合 と し て プ レ ー ト 変位 を シ ^ フ 'ト 回 転 に 変換 さ せ る よ う に し 、 ま た 、 前記第 2 変換手段 を 酉転 シ ャ フ ト-に 設 け ら れ た カ ム と ル ブ ス プ一 ル に違結 さ れ た カ ム フ ナ ア と 力、 ら 構成す る こ と も 可能 で あ る 。 こ の 場 合、 前記 ね じ 嵌 合 を 小 リ 一 の ボ 一 ルね じ に よ り 形成 し 、 直 動 変位 を 容易 に 回転変 位 に 変換 で き る よ う に す る 。

か か る 構成 で あ れば、 積層 型圧電 ァ ク チ ユ エ ー タ 0 直 動 変 位量 は、 第一変換手段 に よ り 一旦回転変位量 に 変換 さ れ、 更 に 第 2 変換手段 に よ り 直動変位量 に戻 さ れ る 。 そ の 後 、 こ の 第 2 変換手段 に 連動 す る 流量制御弁 を 作動 せ し め る 。 尚、 こ の 流量制御弁 い わ ゆ る ス プ 一 ル型、 ポ ベ ッ 型 そ の 他流量制御機能 を 備 え た 弁 を い う - か か る ^ ^ に よ り 、 積層型圧電 ァ ク チ ユ エ 一 タ ø 直動変 位量 を 第 1 変換手段及び Z又 は第 2 変換 で 変換す る こ と が可能 と な る 。 ま た 第 2 変換手段で は 画 転変位量 を 直動変位量 に 再度戻 し て い る た め 、 こ の 直動変位量 は 、 元 の 積層 型 圧電 ァ ク チ ユ エ 一 タ の 直動変位量 に 対 し 、 比例量 （ リ ニ ァ 量 ） と な り 得 る _e ま た 、 第 1 変換手段及び ./又 は 第 2 変換手段を 機械的強度 の あ る 手段 と し た 場合 、 流体圧 の 高低 に か力、わ り な く 、 流量 を 制御 す る こ と が可能 と な り こ の 結異、 こ れを Φ高圧用 と し て 使用 す る こ と がで き る よ う に な る 。 更 に 、 積 層 型 圧 電 ァ ク チ ユ エ ー タ の 駆 動 は 扱 い 易 い 電 気 制 御 に よ り 生 じ て い る た め 、 か つ 、 前 述 の 通 り 、 例 え ば そ の 直 動 変 位 が 僅 か で あ っ て も 又 如 何 な る 位 置 で あ っ て も 、 こ れ ら に 関 わ り な く 元 の 積 層 型 圧 電 ァ ク チ ユ エ 一タ の 直 動 変 位 に 比 例 し た リ ニ ア 量 を 出 力 す る た め 、 高 速 応答 性 に 優 れ 、 か つ 、 連 続. 制 m が 可 能 な 流量 制 御 弁 と な り 得 る 。 図 面 の 簡 蛍 な 説 明

第 1 図 （ a ) は 太 発 明 に 係 わ る 高 速 流 量 制 御 弁 の 第 1 実 施 例 を 示 す 断 面 図 、 同 図 （ b ) は 前 記 第 1 図 の ）（ - X 線 断 面 図 、 第 2 図 は 第 2 実 施 例 に 係 る 高 速 流 量 制 御 弁 の 断 面 図 、 第 3 図 及 び 第 4 図 は 上 記 第 1 実 施 例 の 使 用 例 図 で あ っ て 、 第 3 図 は そ の 構 成 図 、 第 4 図 は フ ロ ー チ ヤ 一 ト 、 第 5 図 及 び 第 6 図 は 上 記 第 2 実 施 例 の 使 用 例 図 で あ つ て 、 第 5 ϋ は そ の 樽 成 図 、 箄 6 図 そ Ο フ ロ ー チ 一 ト 、 第 7 及 び 第 8 図 は 各 々 従 来 の 圧 電 汰 を 駆 動 源 と し た 流 量 制 御 弁 の 断 面 図 で あ る 。 発 明 を 実 施 す る た め の 最 良 の 形 態 以 下 図 面 を 参 照 し 、 本 発 明 に 係 る 高 速 流 量 制 御 弁 の 実 施 例 及 び そ の 使 用 例 を 述 べ る 。

第 1 実 施例 の 高 速 流 量 制 御 弁 、 第 〗 図 に 示 す 通 り 、 積 層 型 圧 雷 ァ ク チ ユ エ ー タ A 1 1 の 直 動 変 位 量 Δ X を 力 及び歯直機構 に よ り 画転変位量 に 拡大 し 、 更 に ラ ッ ク 機構 に よ り こ れ を 直動変位量 に 戻 し 、 流量制御弁 A 2 の ス プ ー ル A 2 3 を 直動せ し め る 構成 で あ る 。 詳 し ぐ は 、 ^ H¹ ί a ) . ( b ) に お い て 、 高速流量制御弁 は流量制 御弁 A 2 と 変換部 A 1 と に別 れ、 前者 A 2 は流体 の入出 孔 A 2 1 を 前者 ス プ ー ル A 2 3 で調節 し つ つ 開閉 し 、 流 量 を 制御す る と い う 戻 し ノ ネ A 2 2 付 き ス プ ー ルか ら な る 方向流量切換弁で あ る 。 後者 A 1 は 、 そ の ケ ー ス 内 に 精層 型圧 ¾ ァ ク チ ユ エ 一 タ A 1 1 と 、 カ ム 及 び レ ノ、'一付 き の 第一 シ ャ フ ト A 1 4 と 、 歯直及 び ラ ッ ク 付 き の 第二 シ ャ フ ト A 1 8 と 力、 ら な る 変換部で あ る 。 前 記第一 シ ャ フ A 1 4 は 回 転 自 在 と な る よ う に 軸受 け A 1 3 に よ り 支持 さ れ る と 共 に 、 同 シ ャ フ ト の 軸心 に 対 し て 偏心 （ 偏 心量 e ) す る カ ム A 1 2 と 、 先端 に 大歯直 A 1 6 ( 歯数 Z 1 ) を 備 え た 大歯車 レ バ ー A 1 δ と を 備 え た 構成 と な つ て い る ： 他方 、 第二 シ ャ フ ト A 1 8 も ま た II ¾ & 在 と な る よ う に 鞑 受 け A i 3 に よ り ケ ー ス に 支持 さ れて お り 更 に 、 前記 レ バ ー A 1 5 の 大歯直 A 1 6 に 嚙み合 う 小歯 直 A 1 7 ( 齒数 Z 2 ) を備 え る と 共 に 、 ケ ー ス 外に 突出 し た 該 シ ャ フ ト A 1 8 の 端部 に ピ ニ オ ン ギ ア A 1 9 を備 え た 構成 と な っ て い る 。 ま た 、 積層 型圧電ァ ク チ ユ エ 一 タ A 1 1 の 端面 と カ ム A 1 2 の 表面 と 、 ス プ ー ル戻 し ノ ' A 2 2 に よ り 、 ピ ニ オ ン ギ ア A 1 9 及び 大歯直 A 1 6 ， 小歯宜 A 1 7 の バ y ク ラ ッ シ ュ が常時 零補正 さ れて n ―

い る た め 、 常 時 接 触 し 、 大 歯 車 A 1 6 と 小 歯 直 A 1 7 と は 常 時 嚙 み 合 い 、 か つ 、 ピ 二 オ ン ギ ァ A 1 9 は 流量 制 御 弁 A 2 の ス プ ノレ i¾ 部 に 備 え ら れ た ラ ッ ク A 2 0 に 常 時 嚼 み 合 つ て い る 。 か か る 構 成 に お い て 、 第 1 変 換 手 段 は カ ム A 1 2 か り シ ャ フ ト A 1 8 ま で を 指 し 、 他 方 第 2 変 レ》

換 手 段 は '—―'一 才 ン ギ ァ A 1 9 を s

こ の よ う に 成 さ れ た 高 速 流 量 制 御 弁 の 作 用 は 次 の よ う に な る 型 圧 電 ァ ク チ ュ エ ー タ A 1 1 が is 動 し -、 こ れ に 直 動 変 位 量 Δ X 力く生 ず る と 、 こ の 直 動 変 位 量 Δ X は 、 偏 心 力 ム A 1 2 と シ ャ フ ト A 1 8 と を 介 て レ ノ 一 A 〗 5 を 拡 大 転 （ 回 転 角 = t a η - ¹ ( △ X / e ) ) せ し め 、 更 に 、 の レ 一 A 1 5 端 の 犬 歯 室 A 1 6 と .、 シ ャ フ ト A 1 8 の 小 歯 車 A 1 7 及 び ピ 二 オ ン ギ ア A 1 9 と を 介 し 、 流 量 制 御 弁 A 2 の ス プ ー ル A 2 3 を 直 動 せ し め る 。 そ こ の ス ブ ー ル A 2 3 の 直 動 変

¾ S は .、 ·! t a 厶 X e ) ) · ( Z 丄 . つ '） · r

( Δ X / e ) · ( Z 1 / Z. 2 ) · r

( 尚 、 r は ピ 二 ォ ン ギ ア A 1 9 の ピ ッ チ 円 半 径 ） と な り 、 ス プ ル k 2 3 の 直 動 変 量 S は 積 層 型圧 電 ァ ク チ ユ エ 一 タ A 1 1 の 駆動 直 動 変 位 量 △ X に 対 し 常 時 比 例 拡 大 す る 。 従 つ て 型 圧 電 ァ ク チ ュ ェ 一 タ A 1 1 の 微 小 駆 動 変 位 続的 に 、 力、 つ 、 问 速 に 拡 大 制 御 す る こ と 力 で § る 更 に 、 太 実 施 例 の 変 換 都 A 1 は 機 械 的 構 成 と し て あ る め 、 问 強度 で あ り 、 こ の た め 、 流 体 圧 の 高低 に 左右 さ れ る こ と な く ス プ ー ル A 2 3 を 変位せ し め る こ と がで き る 。

第 2 実施例 の 高速流量制御弁 を 第 2 図 に 示す 。 こ の 高 速流量制御弁 は、 並列 の 積層 型圧電 ァ ク チ ュ ヱ ー タ B 1 1 の 直動変位量 Δ X を ボ ー ル ネ ジ機構 に よ り 拡大 し 、 流 量制御弁 B 2 の ス プ ー ル B 2 3 を 直動せ し め る 樽成で あ る 。 詳 し く は、 同 図 に お い て 、 太実施例 の 高速流量制御 弁 B 2 と 変換部 B 1 と に 別 れ 、 前者 B 2 は流体 の 入 出？' _ B 2 1 を前記 ス プ ー ル B 2 3 で 調 節 し つ つ 開閉 し 流量制 御 す る と い う 戻 し ノ ネ B 2 2 及び B 2 4 付 き ス プ ー ル型 の 方 向 流量切換弁で あ る 。 後者 B 1 は そ の ケ ー ス 内 に 、 並列 す る 2 個 の 積層 型圧電 ァ ク チ ユ エ ー タ B l 1 と 、 こ れ ら の 篛面 に模架 し た ボ ー ル 十 ッ B 1 3 付 き プ レ ー ト B 1 2 と 、 ボ ー ル ね じ B 1 4 及 び カ ム B 1 7 付 き シ ャ フ B 1 6 と か ら な る 変換部 で あ る _e 前記 プ レ ー ト B 1 2 は 2 倔 の 積層 型圧電ァ ク チ ユ エ ー タ B I 1 の m面 に 常 時 圧着す る よ う に 、 ケ ー ス に 備 え ら れ た バ B 1 8 1 の 反 力 を 受 け て い る _c ま た ケ ー ス に は リ ー ド シ ャ フ ト 3 1 δ が植 え 付 け ら れ、 こ れ を プ レ ー ト Β 1 2 の リ ー ド ホ ー ル に 案内 さ せ て お り 、 プ レ ー ト Β 1 2 を シ ャ フ B 1 6 © 軸心 に 平行移動 し得 る よ う に ガ ィ ド し て い る 。 前記 シ ^ フ B 1 6 は 画転 自 在 と な る よ う に 軸受 け B 1 5 に よ り ケ ー ス に 支持 さ れ る と ¾ に 、 そ の ボ ー ル-ね じ B 1 4 が前 記 プ レ ー ト B 1 2 の ボー ル ナ ツ B 1 3 に 嚙 み 合 う よ う に な つ て お り 、 更 に 、 ケ 一 ス 外 に 突 出 し た 該 シ ャ フ ト 端 部 に 力 ム B 1 7 を 備 え て い る 。 こ の カ ム B 1 7 の 表 面 は 前 記 流 量 制 御 弁 B 2 の ス プ ー ル B 2 3 の 端 部 に 形 成 し た カ ム フ ォ ロ ア と 接 し て い る 。

こ の よ う な 第 二 実 施 例 の 高 速 流量 制 御 弁 の 作 用 は 次 の よ う に な る 。 積 層 型 圧 電 ァ ク チ ュ エ ー タ B 1 1 が駆 動 し こ れ に 直 動 変 位 量 Δ X が 生 5¹ る 。 こ の 直 動 変 位 量 Δ X は フ ' レ ー ト B 1 2 を 図 示 上 下 に 平 行 移 動 せ し め 、 フ。 レ ー ト B 1 2 内 の ボ一 ル ナ ッ ト B 1 3 と ボ 一 ル ね じ B 】 4 と を 介 し て シ ャ フ ト B 1 6 を 回 転 せ し め る 。 こ の と き 、 ネ ジ ピ ッ チ に よ り 回 転 角 が 拡 大 3 ' る _c 更 に 、 こ の 拡 大 回 転 は カ ム B 1 7 を 介 し 、 流 量 制 御 弁 B 2 の ス フ。一 ル B 2 3 を 直 動 せ し め る 。 力、 か る 構 成 に お い て 、 第 1 変 換 手 段 は プ レ ー ト B 1 2 か ら シ フ ト B 1 6 ま で を 指 し 、 他 方 第 2 変 換 手 段 力 B 1 7 を 指 す 。 太 実 施 例 の 効 杲 を 説 明 す れ ば -. ス プ ー ル 戻 し バ % B 2 2 、 B 2 4 B i 8 1 に よ り % ジ B 1 3 、 B 1 4 の パ' ッ ク ラ ッ シ ュ は 常 時 零 補 正 さ れ て い る た め 、 ス つ。一ノレ B 2 3 の 直 動 変 位 量 S は 積 層 型 圧 電 ァ ク チ ュ エ ー タ B 1 1 の 駆 動 直 動 変 ½· 量 Δ X に 対 し 連 続的 に 作動 す る こ と が で き る と 共 に .、 積 層 型 圧 電 ァ ク チ ュ エ ー タ B 1 1 の 微 小 駆 動 変 位 で も 正 確 に 、 力、 つ 、 高 速 に 拡 大 す る こ と が で き る o ¾. 、 太 実 施 例 の 変 換 部 B 1 は 機械 的 構 成 と し て あ る た め 、 高 強 度 で あ り 、 こ の た め 、 流 体 圧 の 高 低 に 左 右 さ れ る こ と な く ス プ ー ル B 2 3 を 変位せ し め 、 流量 を 制御 す る こ と 力 で き る 。

次 に 、 上記各 々 の 使用 例 に つ い て 第 3 図〜 第 6 図 に よ り 説明 す る 。 上記各 々 の 実施例 に 位置 セ ン サ 5 を追装 し た 上 -. 外部制欏機器 と し て 、 指令発信器 1 、 比較器 2 、 演簟回路 3 、 ア ン プ 4 及び デ ィ ザ発信回 路 6 ( 但 し 、 デ ィ ザ 発信 回 路 6 は 第 2 実施例 の 使用 例 の み に 装 ¾ し て み た ） を構成 し た も の で あ る 。 即 ち 、 指令発信器 1 か ら 発 信 さ れた 指令値 V 0 は 、 比較器 2 に お い て 、 位置 セ ン サ δ で 検出 さ れ た 積層 型圧電ァ ク チ ユ エ 一 夕 の 変 重 0 u t と 比較 （ V 0 - V o u t ) さ れ、 こ の 結果 を -、 必要 に 応 じ て は更 に デ ィ ザ を 与え た後、 ア ン プ 4 を 介 し て 積層 型 圧電 ァ ク チ ユ エ ー タ. A 1 1 、 B 1 1 に 与 え こ れ を駆動す る も の で あ る 。 尚 、 上記使用 例 の 詳細 は フ ロ ー チ ャ ー ト と 共 に 図面 （ 第 1 実施例 の 使用例 の 構成 は 第 3

た そ の フ ロ ー チ ヤ 一 ト は 第 4 図 に 示 し 、 他方第 2 実施例 の 使 例 の 構成 ば第 5 m に 、 ま た そ の フ ロ ー チ ^ ― 第 6 図 に 示 し て あ る ） に 示 し た の で 詳紺 說明 を 省咯す る 力、 か る 使用 例 力、 ら も 分か る よ う に 、 本実施例 の 周辺制御 の ま た容易 に 構成 す る こ と がで さ る 。 産業上 の 利用可能性

方、発明 に 係わ る 高速流量制御弁 は 、 Φ 高圧用 と し て 高 速応答性が要求 さ れ、 かつ違镜制御 が要求 さ れ る 油空圧 機器 の バ ル ブ や α ボ ッ ト の流量制御用 と し て 利 用 す る こ 

Claims

2一

請 求 の 範 顧

(1)、 駆動源で あ る 積層 型圧電 ァ ク チ ユ エ ー タ と 、 前記積層 型圧電 ァ ク チ ュ エ ー タ の 直勣変位 を ！!！ 転変位 に 変換す る 第 1 変換手段 と 、

前記 回 転変位を 直動変位 に 戻す第 2 変換手段 と 、 前記第 2 変換手段 に 違動 す る バ ル ブ ス プ ー ル と 、 を 備 え た こ と を 特徵 と す る 高違流量制御弁 。

(2) , 前記第 1 変換手段 の 変換部 に は変位增蝠機 が設 け ら れて い る こ と を 特敏 と す る 請求項 1 に 記載 の 高違淀 量制御弁。

(3)、 前記 第 1 変換手段 は大歯直 レ パ一が取 り 付 け ら れ た 第一 の シ ャ フ ト と 前記大齒毐 に 嚙み合 う 小歯車が取 り 付 け ら れた 第 二 の シ ャ フ ト を 有 し 、 第一 の シ ャ フ ト に は 前記 積層 型 圧電 ァ ク チ ユ エ ー タ の 直勣変位 を シ ャ フ ト 軸 心 か ら 偏位 し た 位置 で 回 転接線力 と し て 受 け る カ ム を 設 け た こ と を 特墩 と す る 請求項 〗 ま た は 2 記毂 の 高速 ^ 量制御弁。

(4)、 前記第 2 変換手段 は バ ル ブ ス プ ー ル に 連結 さ れ た ラ ッ ク と こ れ に 嚙み合 う ピ ニ オ ン か ら 镌成 さ れ て い る こ と を 特徵 と す る 請求項 1 に 記載 の 高速流量制御弁。

(δ) , 前記第 i 変換手段 画 転支持 さ れ た シ ャ フ と 、 こ れ に 嵌合 さ れ前記積層 型圧電 ァ ク チ ュ ヱ ー タ に違動 し て 変位 す る プ レ ー と を 有 し 、 前記 シ ャ フ と フ。 レ ー の 嵌合部を ね じ 嵌合 と し て プ レ ー ト 変位を シ ャ フ ト ！！ ¾ 一 ί 3 —

に 変 換 さ せ る こ と を 特 徵 と す る 請 求 項 1 に 記 載 の 高 速 流 量 制 御 弁 。

(6) 、 前 記 第 2 変 換 手 段 は 回 転 シ ャ フ ト に 設 け ら れ た 力 ム と ノ ル ブ ス プ ー ノレ に 遑 結 さ れ た カ ム フ ォ ロ ア と 力、 ら 構 成 さ れ て い る こ と を 特 徵 と す る 請 求 項 1 に 記 載 の 高 速 流 量 制 御 弁 。

(7) 、 前 記 ね じ 嵌 合 は 小 リ 一 ド の ボ一ル ね じ に よ り 形 成 さ れ て い る こ と を 特 徴 と す る 請 求 項 5 に 記 載 の 高 速 涼 1 制 御 弁 。