WO1989007508A1 - Method and cassette for abrasive machining of the surface of parts - Google Patents

Method and cassette for abrasive machining of the surface of parts Download PDF

Info

Publication number
WO1989007508A1
WO1989007508A1 PCT/SU1988/000039 SU8800039W WO8907508A1 WO 1989007508 A1 WO1989007508 A1 WO 1989007508A1 SU 8800039 W SU8800039 W SU 8800039W WO 8907508 A1 WO8907508 A1 WO 8907508A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
parts
base
cassette
housing
casing
Prior art date
Application number
PCT/SU1988/000039
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Boris Iosifovich Batiashvili
David Semenovich Butskhrikidze
Gennady Levanovich Mamulashvili
Original Assignee
Gruzinsky Politekhnichesky Institut Imeni V.I.Leni
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Gruzinsky Politekhnichesky Institut Imeni V.I.Leni filed Critical Gruzinsky Politekhnichesky Institut Imeni V.I.Leni
Priority to JP50420488A priority Critical patent/JPH02503174A/ja
Priority to EP19880904709 priority patent/EP0383910A4/de
Priority to PCT/SU1988/000039 priority patent/WO1989007508A1/ru
Publication of WO1989007508A1 publication Critical patent/WO1989007508A1/ru

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/27—Work carriers
    • B24B37/30—Work carriers for single side lapping of plane surfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B11/00—Machines or devices designed for grinding spherical surfaces or parts of spherical surfaces on work; Accessories therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/10—Single-purpose machines or devices
    • B24B7/16—Single-purpose machines or devices for grinding end-faces, e.g. of gauges, rollers, nuts, piston rings

Definitions

  • the means of processing the processed parts are also known :; ⁇ base; ⁇ -
  • the height of the housing is equal to the thickness of the casing, the installation and installation of the installation, the thickness of the housing determines the depth of the nest.
  • the cradle, the laying and the base of the hard drive are connected between the screws.
  • the task at hand resolves that: _, that in the process of abrasive processing .. the detail;:, and at all
  • a good solution gives the opportunity to abrasive parts because of the marginally small thickness of the device and significant increase in the volume of the device.
  • FIG. 2 schematically illustrates a cassette for an abrasive 10 processing, as per the invention
  • Fig. 5 shows the transfer of parts from one cassette to another:
  • Fig. ⁇ shows the processing of parts with a total speed of 20 parts.
  • the variant of the cassette, according to the invention (Fig. 2), separates the remote washers 13, mounted on the connectors between the hats 7 and the disconnected I.
  • ⁇ asse ⁇ z, ⁇ imenyaemaya of s ⁇ s ⁇ be for ⁇ b ⁇ azivn ⁇ ⁇ b ⁇ a- b ⁇ i, s ⁇ glasn ⁇ iz ⁇ b ⁇ e ⁇ eniyu, ⁇ ab ⁇ ae ⁇ ⁇ b ⁇ az ⁇ m follows: on ⁇ ze ⁇ n ⁇ s ⁇ ⁇ b ⁇ ymy 4 ( ⁇ g.Z) without ⁇ ien ⁇ atsii nasy ⁇ ayu ⁇ ⁇ b ⁇ aba ⁇ yvaemye Degas 10 and lib ⁇ ⁇ achz ⁇ elnymi ⁇ adialnym ⁇ ⁇ assegy movements, movements lib ⁇ ⁇ ug ⁇ vymi ⁇ u ⁇ i s ⁇ - s ⁇ bs ⁇ vuyug ⁇ adaniyu de ⁇ aley 10 into slots 9. Those remaining on the surface of the boom 4 degaly dump.
  • the components with parts 10 are optimized for abrasive tool 15 (fig. ⁇ ), so that
  • a cassette with convenient parts from one part (10) is combined with a similar empty cassette
  • the cartridge cassettes are divided. ⁇ measure ⁇ ⁇
  • '5 ⁇ azlichnymi is ⁇ dnymi ⁇ lschi ⁇ ami, vys ⁇ avlenie ⁇ b ⁇ iiy 4- ⁇ n ⁇ si ⁇ eln ⁇ ⁇ b ⁇ 2 ⁇ i increase uc ⁇ ⁇ dn ⁇ y ⁇ lschiny s de ⁇ ale ⁇ 10 ⁇ izv ⁇ dya ⁇ ⁇ u ⁇ em umenyieniya ⁇ lschiny ⁇ dis ⁇ an tsi ⁇ nn ⁇ y washer 13 at the same amount or gu na ⁇ b ⁇ .
  • the optical glass ⁇ it is convenient.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Nitrogen And Oxygen Or Sulfur-Condensed Heterocyclic Ring Systems (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Description

СП0С0Б ΔЬΡΑЗИΒπΟ.ι ΟυΡΔБΟΤώι ЛΟЪώ?Χ_:ΟСΤ___<_ Α__ΪΔЛ____Ι
II ΚΑССΕΤΑ ДЛЯ ΟСУЩΕСΤΒЛΕΗ-ΙЯ ЗΤ0Г0 СПΟСΟБΔ
Οбласτь τеχниκи
Изοбρеτение οτнοсиτся κ οбласτи меχаничесκοϋ οο'ρа- 5 бοτκи маτеρиалοв и бοлее τοчнο κ сποсοбам абρазивнοй οбρабοτκи ποвеρχнοсτей деτалей, а τаκже κ κассеτе для οсущесτвления эτοгο сποсοба.
Пρедшесτвующий уροвень τеχниκи
Пρκ абρазивнοй οбρабοτκе ποвеρχнοсτей, в часτнοсτи 10 деτалей малыχ τοлщин, валнοе значение πρидаеτся базиρο- ванию и заκρеπлению οο'ρабаτызаеιл,.:-: леτаζе.;.
Μзвесτен сποсοб κлеевοгο κρеπления οбρабаτываемыχ деτалей (Αлмазная οορабοτκа τеχничесκοй κеρамиκи. Ленин- гρад, ыашинοсτροение, 1976, с.Зб), πρи κοτορο.м деτали с
15 ποмοщью сπециальнοгο τеρмοπласτичнοгο κлея усτанавлива- юτся на меτалличесκοм πласτинκе, κοτορую заτем заκρеπля- юτ на магниτнοй πлиτе шлиφοвальнοгο сτанκа. Ηаличие κле- евοгο слοя между οбρабаτываемοй деτалью и меτалличесκοй πласτинκοй не ποзвοляеτ οбесπечиτь зысοκую τοчнοсτь бази
20 ροвания. Ηеοбχοдимοсτь нагρева ыеτалличесκοй πласτинκи и κлеевοгο сοсτаза πρи усτанοвκе и сняτии деτале;;, неοб- χοдимοсτь нанесения и удаления κлеезοгο сοсτавз, а τаκле ποследуюшей προмывκи деτалел, сущесτзеннο снижаеτ προκз- вοдиτельнοсτь даннοгο сποсοба, κροме τοгο, сущесτзуеτ
25 зοзмοжнοсτь οτκлеивания деτалей ποд вοздейсτвиеы выде- ляющейся в зοне ρезания τеπлοτь; πρи инτенсивныχ ρежимаχ οбρабοτκи.
Из вышеуκазаннοгο исτοчниκа τаκже извесτен сποсοб πρимορаживания οбρабаτызаемыχ деτале:; κ базиρующеϊ; πο-
ЗС веρχнοсτи πρисποсοбления шлиφοζальнοгο сτанκа, πρи κοτο- ροм οбρабаτываемые деτэ.;'._ заκρелляюτся на базοвοχ ποвеρχ нοсτи с ποмοщью τοнκο-ϊ ледянο: προслοйκ;;, сοздаваемο.: сπециальньнл. οχлажда циιл; усτанοвκа_.г.:, ποддеμ-.иващимκ τемπзρаτуρу базοзοй ποзеρχнοсτκ πρисποсοбления ни:::е τοч-
35 κи τаяния льде.
Сднаκ;; сποсοбу пρиг.:ορа_;иванι:я свοϊ-:сτвοн_ιы ислοс- \ θ 89/07508
-. ( ~_. _ τаτκκ. Τοнκие деτали шлиφοвания бысτρο οττаиваюτ и οτ- ρываюτся . Для бορьбы с выτаπливанием πρиκοροκеκнκχ деτа- лей οτ ποτοκа смазοчнο-οχлаядающей :::идκοсτи τρебуеτся, κροме ρазвиτοй сисτемы οχлалдения для πρиыορаживания 5 деτалей, наличие сπециальнοгο οχладиτеля эмульсии.
Β вышеуκазаннοм исτοчниκе, κροме τοгο, πρивοдиτся сποсοб κρеπления οбρабаτываемыχ деτалей с исποльзοвани- ем ваκуума, πρи κοτοροм деτали ρасποлагаюτ на πρисποсοб- лении, имеющем сисτему κаналοв , сοединенныχ с исτοчни-
10 κοм ваκуума . Пρи сοздании ваκуума в ποлοсτи, οбρазοван- нοй сисτемοй κаналοз и базοвοй ποвеρχнοсτью с уπлοτне- ниями между ними, аτмοсφеρнοе давление πρижимаеτ деτаль κ базиρующей ποвеρχнοсτи πρисποсοбления.
Κρеπление οбρабаτываемыχ деτалей с исποльзοванием
15 ваκуума τρебуеτ πρедваρиτельнοй ποдгοτοвκи базοзοи πο- веρχнοсτи деτалей, наπρимеρ шлиφοвания с ποмοщью любοгο дρугοгο сποсοба κρеπления загοτοвοκ. Βмесτе с τем, ваκу- умнοе κρеπление не οбесπечиваеτ προτивοдейсτвия τанген- циальным силам, вοзниκающим πρи οбρабοτκе , и τем самым
20 τρебуеτ дοποлниτельныχ усτροйсτв для πρедοτвρащения сρы- ва деτалей, κοτορые, в свοю οчеρедь, будуτ οгρаничиваτь зοзмοжнοсτь οбρабοτκи деτалей малыχ τοлщин. йροые τοгο, наличие ваκуумнοгο οбορудοзанκя услο;:шяеτ и удοροжаеτ προцесс абρазивнοй οбρабοτκи.
25 йзвесτнο усτροйсτзο для οднοсгοροннеГι дοвοдκи πлοсκκχ деτалей ( 8ϊι* Δ, 397321) , усτанοвленныχ в сеπаρз- τορаχ-сπугниκаχ и ποдасимаемыχ κ нижнеκу дοвοдοчнοму дис- κу с ποмοщыο индизидуальныχ πρиκимοв. Съем πρиπусκа с οбρабаτызаемыχ деτалей мοжеτ οсущесτзляτься дο τοлщины ,
30 ρазнοй τοлщине сеπэρаτορа .
Ηаличие сеπаρаτοροв-сπуτниκοз , сзοбοднο ле;;зщиχ на дοзοлοчнοм дасκе , οгρаничκвзеτ зοзмο:÷.нοсτь οбρабοτκκ де- τалей малοπ τοлщины , ποвышзеτ τρузοемκοсτь нагρузκи π вы- гρузκи деτалей, а τаκ:;:е услοжняеτ иχ πеρевορачивание для 35 οбρабοгκи дρугοй сτοροны.
Ι.ззесτнο усτροисτвο для οбρабοτκπ κοемниевыχ ποд- - 3 - лοжвκ ( υз, Α, 4081928), еοдеρжащее οснοвание и οбοйму с гнездами для ρазмещения οбρабаτываеωыχ деτалеπ, выποл- ненными в зиде сκвοзныχ οτвеρсτий в οбοйме и днο κοτορы οбρазοванο вχοдящими в οτвеρсτия προбκами, заκρеπленным 5 на οснοвании. Βысοτа προбοκ ρавна τοлщине οбοймы, медду οснοванием и οбοймοй усτанοвлена προκладκа, τοлщина κοτ ροй οπρеделяеτ глубину гнезда. Οбοйма, προκладκа и οснο вание жесτκο сοединены между сοбοй винτами.
Пρи οбρабοτκе деτалей малοй τοлщины глубина гнезда
10 κοτορая дοлжна быτь меныие τοлщины гοτοвοй деτали, οκа- зываеτся недοсτаτοчнοй для надежнοгο удеρживания οбρаба τываемοй деτали, οсοбеннο πρи значиτельныχ οгнοшенияχ начальныχ и κοнечныχ τοлщин. Жесτκοе сοединение οсοймы и οснοвания заτρудняеτ удаление из гнезда προдуκτοв аб-
15 ρазизнοй οбρабοτκи, чτο οτρицаτельнο влияеτ на τοчнοсτь πρи ποследующем исποльзοвании κассеτы. С увеличением κο личесτва οбρабаτываемыχ деτалей увеличиваеτся вρемя на загρузκу, выгρузκу и πеρевορачизание деτалей.
Ρасκρыτие изοбρеτения
20 Задачей насτοящегο изοбρеτения являеτся сοздание τаκοгο сποсοра абρазивнοи οбρаόοτκи ποвеρχнοсτей деτале и κассеτы для егο οсущесτвления, κοτορые οбесπечивалκ б за счеτ ορганизацяи надежнοгο удеρжизания πρи οднοвρемен нοм ποвышении προизвοдиτельнοсτ.:, вοзмοжнοсτь абρазивнο:':
25 οбρабοгκи деτалей сκοль угοднο малοϊι τοлщины, οсοбеннο πρи значиτельныχ οτнοшенияχ начальныχ и κοнечныχ гοлщин οбρабаτываемыχ дегалей.
Пοсτазленная задача ρешаеτся τе:_, чτο в сποсοбе абρазивнοй οбρабοτκи ποвеρχнοοτе.. деτале;:, πρи κοτοροм
30 οбρабаτываемые деτалπ ρазмещаюτ в οτвеρсτияχ οοοг.мы на προбκзχ, зχοдящиχ в οτвеρсгия и жесτκο усτанοвленныχ на οснοванιϊ-ϊ, сοздаюτ усилие πρижима абρазивнοгο инсτρумен- τа κ οбρабаτываемы._ деτалям π οсущесτвляюτ οτнοсиτельные πеρемещения абρазивнοгο инсгρуменτа ι. οбρабаτызаемыχ деτ
35 ле:1, сοгласнο κзοο'ρеτению, дοποлнκτельнο οсущесτвляюτ ποсτοяκнοе κасанι.е абοазизнοгο инсτογмзнτа и οбοπмϊ' с - 4 - демπφиροванием ее πеρемещения в наπρазлении οснοвания, πρс эτοм маκсимальную величину πеρемещения οбοймы οτκο- сπτельнο οснοвания зыбиρаюτ ρавнοй или бοлыяе начальнοй нοминальнοй τοлщины οбρабаτываеыыχ деτалей. для οсущесτзления πρедлагаемοгο сποсοба в κассеτе для абρазивнοй οбρабοτκи ποвеρχнοсτей дегалей, сοдеρжа- щей οснοвание и οбοйму с гнездами для ρазмещения οбρа- баτываемыχ деτалей и с πлοсκοй ποвеρχнοсτью, οбρащеннοй κ οснοванию, πρичем гнезда выποлнены в виде сκзοзныχ οτзеρсτий в οбοйме и иχ днο οбρззοванο вχοдящими в οτ- зеρсτия προбκами, заκρеπленными на οснοваниπ , а πлοсκая ποвеρχнοсτь οбοймы эκвидисгангнο удалена οг πлοсκοсτи, заданнοй πο меньшей меρе τρемя ближайшими κ οбοйме τοч- κзми οснοвания, сοгласнο изοбρегения, между οснοзанием и οбοймοй ρазмещен πο меньшей меρе οдин, πρедваρигельнο сжаτый, уπρугий элеменτ, и οна снабженэ οгρаничигелями πеρемещения οбοймы з наπρавлении ρазжаτия уπρугοгο эле- менτа , πρи эτοм глубина гнезд меньше или ρавна величине эκзидисτангнοгο удаления οбοймы οτ πлοсκοсτи. Τаκοе ρешение даеτ вοзмοжнοсτь абρазивнοй οбρабοτ- ни деτалей сκοль угοднο малοκ τοлщины πρи значиτельныχ οгнοωенияχ κχ начальныχ и κοнечныχ τοлщин, οбесπечивая зысοκую τοчнοсτь и ποвышение προизвοдиτельнοсτи.
Целесοοбρазнο οгρаничиτели выποлняτь в виде заκρеπ- ленныχ в οбοйме шгыρей сο шляπκοй , προπущенныχ чеρез сκвοзные οгзеρсτия οснοвания, диамеτρ κοτορыχ меньше диаκеτρа шляποκ .
Τаκοе ρешение ποзвοляеτ уπροсτиτь κοнсτρуκцию κзссе τы для абρазивнοй οбρабοгκи. Βοзмοжнο κассеτу для абρазиз»οκ οбρабοτκи снабжаτь дисτзнцκοннымн шайбзмπ, уеτанοзлеκнымн на шτыρяχ между шляπκамπ и οснοванием, и ρегулиρуемыг.π уπορзм;: , усτэнοь- ленным:: з οснοзаниι: для ρегулиροзанκя πеρемецения οбοΙΙмь: ь наπρазлении с≤аτия уπρугοгο элеменτа . ϊаκοе κοнсτρуκτизнοе ρешение ποззοляег уπροсгиτь κа ладκу нассеτы ποд οπρеделенныϋ начальны:! ρазмеρ οбρабэτы - 5 - ваемыχ деτалей.
Κρаτκοе οπисание чеρτеже_:
Β дальнейшем πаτенτуемые сποсοб абρазивнοй οбρабοτ- κи и κассеτз для егο οсущесτвления будуτ ποяснены в ни- 5 κеследующем οπисании сο ссылκами на πρилагаемые чеρτежи, на κοτορыχ: φиг.Ι сχемаτичнο изοбρажаеτ οсущесτвление сποсοба абρазивнοй οбρабοгκи, сοгласнο изοбρегению; φиг.2 сχемаτичнο изοбρажэеτ κаσсеτу для абρэзивнοй 10 οбρабοτκи, сοгласнο изοбρеτению; φиг.З - πρедсτавляеτ загρузκу οбρабаτываемыχ деτа- лей в κассеτу для абρазивнοй οбρабοτκи, сοгласнο πзοбρе- τению; φиг. πρедсτавляег выгρузκу οбρабοτанныχ деτалей 15 из κассеτы для абρазивнοй οбρабοτκи, сοгласнο изοбρе- гению; φиг.5 ποκазываеτ πеρегρузκу деτалеи из οднοи κассе- τы з дρугую: φиг.δ сχемаτичнο ποκазываеτ οбρабοτκу деτалей сο 20 сφеρичесκοй ποзеρχнοсτью.
Лучший ваρианτ οсущесτзления изοбρеτения
Сποсοб абρазивнοи οбρабοτκи ποзеρχнοсτи деτалеΜ, сοгласнο изοбρеτению, будеτ ρасκρыτ и ποняτен из οπиса- ния κассеτы для егο οсущесτвления и πρимеροз ее ρабοгы.
25 Κассеτа для абρазизнοй οбρаοοτκи, сοгласнο изοбρе- τению (φиг.1,2) .сοдеρзκиτ οснοвание I, нз κοτοροм жесτκο зэκρеπлены προбκи 2. Пροбκи 2 вχοдяг з сκвοзные οτвеρс- τия 3, зыποлненные в οбοйме 4. Μеκду οбοймοй и οснοва- нием I усτанοвленз πρедваρиτельнο с^аτая πρужинз 5. 2
30 οбθиϊле заκρеπлены шгыρи 6 сο шляπκο-ϊ 7, προχοдящие че- ρез сκзοзные οτвеρсτия 8 οснοвания I. диамеτρ сκзοзныχ οτвеρсτий 8 меньше диамеτρа шляποκ 7. Οτвеρсτия 3 в οбο_-: ме - и вχοдящие в нπχ лροбκ.: 2 οбρазуюτ гнездз для усганοзκκ οбρабаτываемыχ деτале;: 10. Глубина ь гнезда _?
35 меныие или ρввκа величине эκзидисτанτнοгο удаления 1 πлοсκοй ποвеρχнοсτι II οбοπυы , ούρащеннοι; κ οснϋван'.::. 8
- Ο -
I , οτ πлοсκοсτи 12 οснοзания I.
Βаρианτ οсущесτзлβния κассеτы, сοгласнο изοбρеτе- нию (φиг.2) .сοдеρκиτ дисτанциοнные шайбы 13, усτанοз- ленные на шτыρяχ б между шляπκами 7 и οснοзанием I. Β οснοваныи I усτанοвлены ρегулиρуемые уπορы 14, выποлнен- ные з виде винτοв.
Усτанοвκз дисτанциοнныχ шайб 13 κа шτыρяχ 6 и ρегу- лиρуемыχ уποροз 14 на οснοвании I ποзвοляеτ οсущесτвляτь ρегулиροвκу для κοмπенсации изнοса οбοймы 4 и προбοκ 2, а τаκже для наладκи κаесеτы πρи ρазличныχ τοлщинаχ οбρа- баτываемыχ деτалей.
Κассеτз , πρименяемая з сποсοбе для οбρазивнοκ οбρа- бοτκи, сοгласнο изοбρеτению, ρабοτаеτ следующим οбρазοм: на ποзеρχнοсτь οбοймы 4 (φκг.З ) без ορиенτации насыπаюτ οбρабаτываемые дегали 10 и либο κачзτельными ρадиальнымκ движениями κассегы, либο κρугοвыми движениями ρуκи сπο- сοбсτвуюг ποπаданию деτалей 10 в гнезда 9. Οсτавшиеся на ποвеρχнοсτи οбοймы 4 дегали сбρасываюτ. Κассеτу с де- τалями 10 πρижимаюτ κ абρазивнοму инсτρуменτу 15 (φиг. Ι) τаκ, чτοбы деτали 10 не зыχοдилн за πρеделы ρабοчей ποвеρχнοсги шлиφοвальнοгο κρуга 15.
Αбρазивиοму инсτρуменτу 15 и κассеге с деτалями 10 сοοбщаюτ вρащаτельнοе дзилβние. Пρи шлиеροвании οбοй- ма 4 ποсτοяннο κасаеτся ρабοчей ποвеρχнοсτи абρазивнοгο инсτρуменτа 15 ποд дейсτзием πρужины 5. Пο меρе сняτия πρиπусκа с деτалей, το есτь уменыπения иχ τοлщины, οбοй- ма 4, сжимая πρужины 5, πеρемещаеτся на величиму сняτοгο πρиπусκа в сτοροну οснοвания I. Τаκим οбρазοм, προвοдκτ- ся "сле_г.ение" οбοймοй 4 за τοлщинοй οбρабаτызаемκχ дега- лен 10. Пοсле дοсτиления заданнο:-; τοлщκны κассеτу с οб- ρабаτызаемыми деτалям_τ 10 зызοдяτ πз сοπρинοснοвения с абρазκвныιл инсτρумеяτοм 15. Οбοима ποд дейсτзием πρν- жины 5 οгжимаеτся οτ οснοванζя I ι: πρκнимаеτ исχοднοе ποлοженκе. Βыгρузκу οбρаэοганны.: деτале:: πз κассеτы οсущесτз- ляюτ πуτе:.: πρизΕагия οбοймы Ч (ΦИΓ.4 ) κ οснοваниэ I дο - 7 - уπορа и удаления гοτοзыχ деτале с πлοсκοсτп, οбρазοван- нοи ποзеρχнοсτями οбοймы 4 и προбοκ 2. Β эτοм κе ποлο- жении οчищаюτ ρабοчие ποвеρχнοсτи προбοκ 2 οτ προдунτοв абρазивнοй οбρабοτκи. 5 Гιеρегρузκа деτалеϊ- из οднοи κассеτы в дρугую, πρи неοбχοдимοсτи ρбρабοτκи деτалей с οбеиχ сτοροн, προиз- вοдяτ слβдующим οбρазοм.
Εассеτу с οбρабοτзнными с οднοй сτοροны деτалями 10 (φиг.5) сοвмещаюτ с аналοгичнοй πусτοй κассеτοй τаκ,
10 чτοбы οτвеρсτия 3 в οбοймаχ 4 сοвπадэлπ (οτвеρсгия 3 в οбοймаχ 4 выποлняюг зеρκальнο сοвмещенными). Οбοйму 4 κассеτы с οбρаοοτанными деτалями 10 (на шигуρе ниκняя κассегз) πρиаимаюτ дο уπορз. Пρи эτοм деτали 10 с οбρа- бοτаннοϊ- ποвеρχнοсτью οκажуτся з гнездаχ 9 веρχней
15 (πусτοй) κассеτы. Пοсле эτοгο сοвмещенные κассеτы πеρе- вορачиваюτ на 180° и ρазъединяюτ. Τаκим οбρазοм, неοб- ρабοτанные ποвеρχнοсτи деτалей οκазызаюτся снοва οбρа- щенными κ абρазивнοму инсгρуменτу.
Ηаладκу κассеτы ποд οπρеделенны-. ρазмеρ πο τοлщине
20 ь οбρабаτываемыχ деτалей 10 (φиг.Ι) προизвοдяτ πуτем ποдбορа высοгы II προбοκ 4 и τοлщины 5 οбοймы 4 с οбесπе чением неρавенсτва Η £. Пρи выποлнении κοнсτρуκции κасс τы, κаκ ποκазанο на φиг___, наладκа οсущесгвляеτся ποсρед сτвοм уποροв 14 и дисτанциοнныχ шайб 13β
25 Пο меρе изнοса οбοймы 4, наπρимеρ, на величину ό ή (φиг.2), вследсτвие ее ποсτοяннοгο κасания с ρабοчей ποвеρχнοсτью абρазивнοгο πнсгρуменτа 15, уменьшаюτ на- чальную τοлщину Δ дисτанциοннοϋ шайбы 13 на гу ;÷:е вели- чину. Пρи эτοм ρегулиρуемые уπορы 14 высτазляюτ οτнοси-
~ η τельнο πлοсκοсτл 12 οсκοзания I на зеличину Κ + С
Лρκ изнзшиванπи ποвеρχнοсτи προбοκ 2 вο вρемя эκс- πлуаτации на величину С2 увеличивазτ начальную τοлщш.у Ζ. дκсτзнциοннοй аайбы 13 нз величину υ? . а уπορы 14 зысτав ляяг οτнοсиτельнο πлοсκοсτ:: 12 οснοзанι.я I нз величинν
- - - <_. ? •
~ Г
Κοмπенсащ_:ο изнοса οο'οймы 4 πа величину с , или - 8 - προбοκ 2 на величину , τаκκе οсущесτзля πуτем ме- χаничесκοκ οбρабοτκи προбοκ 2 на зеличину
Figure imgf000010_0001
или οбοй- мы 4- на зеличину .? сοοτзеτсτвеннο.
Пρи πеρеналадκе κассеτы, с целыο οбρабοτκи деτалей
' 5 с ρазличными исχοдными τοлщиκами, высτавление οбοииы 4- οτнοсиτельнο προбοκ 2 πρи увеличении исχοднοй τοлщины ь деτалеΜ 10 προизвοдяτ πуτем уменыиения τοлщины Δ дисτан циοннοй шайбы 13 на гу же величину или наοбοροτ.
Ηа φиг.б πρедсτавлен ваρианτ οсущесτвления κассеτы
10 для абρазивнοй οбρабοτκи, сοгласнο изοбρеτению, πρед- назначеннοй для οбρабοτκи сφеρичесκиχ ποзеρχнοсτеϋ деτал Юа. Пρи эτοм ποвеρχнοсτь οбοймы 4-э, κοτορая ποсτοяннο κасаеτся ρабοчеГ- ποвеρχнοсτи абρазивнοгο иκсτρумеκτа Ι5а, имееτ κρизизну, иденτичную τρебуемοй шορме οбρаба-
15 τызаемοй ποзеρχнοсτи деτали Ι0э_, наπρимеρ линзы, οπτиче- сκая οсь 16 κοτοροй нορмальнз κ сφеρичесκοιι ρзбοчей πο- веρχнοсτи абρазивнοгο инсτρуменτа Ι5§_ и πеρπендиκудяρна οπορнοй ποвеρχнοсτи προбοκ 2а_. ,Б даннοм случае глубина гнезда измеρяеτся в наπρазлении πеρемещения οбοймы 4а_
20 οτнοсиτельнο οснοвания I.
Сποсοб абρазивнοй οбρабοτκπ, сοгласнο изοбρеτению, и κзссеτа для егο οсущесгвления οбесπечиваюτ вοзмοжнοсτь абρэзивнοй οбρабοτκи деτалей сκοль угοднο малοй τοлщинь πρι- знзч_:τелыα:: οτнοшенияχ иχ начальныχ и κοнечнκχ τοл-
25 щин и ποзвοляюτ дοсгигаτь зысοκοй τοчнοсτи и зысοκοГ: προизвοдиτельнοсτи οбρабοτκи за счег значиτельнοгο умень шения зсποмοгагельнοгο вρемени нз загρузκу, зыгρузκу κ πеρезορачивание οбρабаτызземыχ деτалей. ϊϊροмышленная πρименииοсτь 30 Паτенτуемοе изοбρеτение мοжеτ исποльзοзаτься для алмазнοгο шлиφοзания, дοв^дни ι: ποл ρο_^анι:я πлοсκаχ ;л_: сφеρичесниχ ποвеρχнοсτей издели÷ι из τвеρдыχ и хρуπκκχ -ϊаτеρиалο_:, гаκπχ,κаκ меτзллο-минеρалοκеρамичесκие τзеρ- дые сπлазы, κοнсτρуκциοннзя и ρадиοκеρамиκз, миκοκρисгал
.; лы, οπτичесκοе сτеκлο ι: τοмν ποдοбнοο.

Claims

_ <__ _ ΦΟΡι'лУЛΑ ЙЗΟΕΡΕΤΕΗΙ.Й
1. Сποсοб абρазивнοм οбρабοτκи ποвеρχнοсτел деτалеϋ, πρи κοτοροм οбρабаτываемые деτали (10,10а.) ρазмещзюτ в οτвеρсτияχ (3) οбοймы (4,4§) на προбκаχ (2,2а), вχοдящκχ
5 в οτвеρсτия (3) и жесτнο усτанοвленныχ на οснοвании (I), сοздаюτ усилκе πρижима абρазивнοгο инсτρуменгэ (Ι5,Ι5_а) κ οбρабаτываемым деτалям (10,10а.) и οсущесτвляюτ οτнοси- гельные πеρемещения абρазивнοгο инсτρуменτа (Ι5,Ι5а) и οбρабаτываемыχ деτалей (ΙΟ,ΙΟа), οτличающиκся τе:.:, чτο
10 дοποлниτельнο οсущесτвляюτ ποсτοяннοе κасание абρазивнο- гο инсτρуменга (15,15ц) и οбοимы (4,4а.) с демπφиροваκием ее πеρемещения в наπρавлении οснοвания (I), πρи эτοм маκсимзльную величину πеρемещения οбοймы (4,4а.) οгнοси- τельнο οснοвания выбиρаюτ ρавнοй или бοльше начальнοй
15 нοминальнοИ τοлщины οбρабагываемыχ деτалей (ΙΟ,ΙΟа).
2. Κассега для абρазивнοй οбρаυοτκи ποзеρχнοсгей деτалей, сοдеρжащая οснοвание (I) и οбοйму (4,4э.) с гнездами для ρазмещения οбρабаτываемыχ деτалей (Ι0,Ι0а) и с πлοсκοй ποвеρχнοсτью, οбρащеннοй κ οснοванию (I),
20 πρичем гнезда выποлнены в зиде сκвοзныχ οτвеρсτκκ (3) в οбοйме (4,4а) и иχ днο οбρазοванο вχοдящими в οτвеρсτия (3) προбκами (2,2а), заκρеπленными на οснοвании (I), а πлοсκая ποзеρχнοсτь (II) οбοймы (4,4а) эκзидисτанτнο удалена οτ πлοсκοсτи (12), заданнοй πο меньшей меρе
25 τρемя ближайшими κ οбοйме τοчκами οснοвания (I), οτли- чающаяся τем, чτο ме.;:ду οснοваниеω (I) и οбοймοй (4,4а) ρазмещен πο меньшей меρе οдин, πρедваρиτельнο сжаτыи, уπρугиι-ι элеменτ (5), и οна снабженэ οгρанπчишелями πе- ρемещения οбοймы (4,4_а) в наπρавленκи ρаз:÷:аτия уπρугοгс
30 элеменτа (5), πρи эτοм глубина гнезд меньπе илκ ρавна величине аκвидисτанτнοгο удаления οόοймы (4,4:.) οτ πлοс- κοсτи.
3. Κассеτа πο π.2, οτличающаяся τем, чτο οгρаничκ- τелκ выποлнены в вκде заκρеπленныχ в οбοйме (4,4а.) шгы-
35 ρеκ (б) сο ιлляπκθ-. (7), προπущенныχ чеρез сκвοзные οτ- зеρсτия (3) οснοваκия (I), диамеτρ κοτορыχ меκь_-е диа- - 10 - меτρа шляποκ (7) .
4. Κассеτа πο π.З , οτличающаяся τем, чτο οна имееτ дисτанциοнные шайбы (13) , усτанοвленные на шτыρяχ (б) между шляπκами (7) и οснοваκием (I) , и ρегулиρуемые уπο- ρы (14) , усτанοвленные в οснοваκии (I) для ρегулиροвания πеρемещения οбοймы (4,4а,) в наπρавлении сжаτия уπρугοгο элеменτа (5) .
PCT/SU1988/000039 1988-02-17 1988-02-17 Method and cassette for abrasive machining of the surface of parts WO1989007508A1 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP50420488A JPH02503174A (ja) 1988-02-17 1988-02-17 工作片表面の研摩方法と該方法を実施するためのジグ
EP19880904709 EP0383910A4 (en) 1988-02-17 1988-02-17 Method and cassette for abrasive machining of the surface of parts
PCT/SU1988/000039 WO1989007508A1 (en) 1988-02-17 1988-02-17 Method and cassette for abrasive machining of the surface of parts

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/SU1988/000039 WO1989007508A1 (en) 1988-02-17 1988-02-17 Method and cassette for abrasive machining of the surface of parts

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1989007508A1 true WO1989007508A1 (en) 1989-08-24

Family

ID=21617198

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/SU1988/000039 WO1989007508A1 (en) 1988-02-17 1988-02-17 Method and cassette for abrasive machining of the surface of parts

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0383910A4 (ru)
JP (1) JPH02503174A (ru)
WO (1) WO1989007508A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7029382B2 (en) 1999-03-03 2006-04-18 Ebara Corporation Apparatus for chemical-mechanical polishing (CMP) head having direct pneumatic wafer polishing pressure

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5205082A (en) * 1991-12-20 1993-04-27 Cybeq Systems, Inc. Wafer polisher head having floating retainer ring
US5443416A (en) * 1993-09-09 1995-08-22 Cybeq Systems Incorporated Rotary union for coupling fluids in a wafer polishing apparatus
JP3724869B2 (ja) * 1995-10-09 2005-12-07 株式会社荏原製作所 ポリッシング装置および方法
KR100485002B1 (ko) * 1996-02-16 2005-08-29 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 작업물폴리싱장치및방법
US6231428B1 (en) 1999-03-03 2001-05-15 Mitsubishi Materials Corporation Chemical mechanical polishing head assembly having floating wafer carrier and retaining ring

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU592582A1 (ru) * 1976-01-12 1978-02-15 Ленинградское Особое Конструкторское Бюро Автоматов И Револьверных Станков Устройство дл установки микрошлифов на доводочных станках
SU715307A1 (ru) * 1977-06-27 1980-02-15 Ордена Трудового Красного Знамени Завод Чистых Металлов Им.50-Летия Ссср Кассета плоскодоводочного станка дл односторонней обработки деталей

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53140698A (en) * 1978-05-22 1978-12-07 Hitachi Ltd Method and device for wafer lapping
SU831580A1 (ru) * 1979-07-09 1981-05-23 Горьковский Политехнический Институтим.A.A.Жданова Устройство дл доводки плоскихпОВЕРХНОСТЕй дЕТАлЕй
JPS59196161A (ja) * 1983-04-21 1984-11-07 Tohoku Metal Ind Ltd 研麿方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU592582A1 (ru) * 1976-01-12 1978-02-15 Ленинградское Особое Конструкторское Бюро Автоматов И Револьверных Станков Устройство дл установки микрошлифов на доводочных станках
SU715307A1 (ru) * 1977-06-27 1980-02-15 Ордена Трудового Красного Знамени Завод Чистых Металлов Им.50-Летия Ссср Кассета плоскодоводочного станка дл односторонней обработки деталей

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP0383910A4 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7029382B2 (en) 1999-03-03 2006-04-18 Ebara Corporation Apparatus for chemical-mechanical polishing (CMP) head having direct pneumatic wafer polishing pressure
US7311586B2 (en) 1999-03-03 2007-12-25 Ebara Corporation Apparatus and method for chemical-mechanical polishing (CMP) head having direct pneumatic wafer polishing pressure

Also Published As

Publication number Publication date
EP0383910A1 (de) 1990-08-29
JPH02503174A (ja) 1990-10-04
EP0383910A4 (en) 1991-04-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1910012B (zh) 具有成型表面的固定环
TW541225B (en) Polishing pad and system
US3583111A (en) Lens grinding apparatus
US8303378B2 (en) Polishing pad, polishing method and method of forming polishing pad
WO2010068813A2 (en) Carrier head membrane
TW201702001A (zh) 用於減少晶圓缺陷的保持環
EP0383910A4 (en) Method and cassette for abrasive machining of the surface of parts
AU3512199A (en) Grinding wheel
WO2013122346A1 (ko) 평면 및 곡면 연마용 디스크
CN100540226C (zh) 用于表面加工的回转刀具
US6298518B1 (en) Heat dissipating buffing pad
US2716312A (en) Truing device for face-type diamond abrasive wheels
CA2214602A1 (en) Flap wheel
CN109773612A (zh) 一种光缆包覆钢带去毛刺装置
KR102146556B1 (ko) 센터리스 연마기용 가공지그 및 이를 이용한 소재 가공방법
US7241209B2 (en) Orbiting polishing tool
KR102485810B1 (ko) 화학적 기계적 연마 장치의 리테이너 링
EP0822032B1 (en) Method and apparatus of polishing end surfaces of rod-shaped members
KR101681497B1 (ko) 연마용 숫돌
US5472373A (en) Disk-grinding apparatus
US7131901B2 (en) Polishing pad and fabricating method thereof
EP0906809B1 (en) Improved centrifugal expansion roller for sanding machines
KR101704492B1 (ko) 화학 기계적 연마 장치용 연마 헤드
CN116900927A (zh) 用于研磨硅片的磨轮、研磨设备和研磨方法
SU1104002A1 (ru) Устройство дл вибрационной обработки изделий

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): JP US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH DE FR GB IT LU NL SE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1988904709

Country of ref document: EP

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 1988904709

Country of ref document: EP

WWW Wipo information: withdrawn in national office

Ref document number: 1988904709

Country of ref document: EP