TWM627229U

TWM627229U - 平移裝置及使用該平移裝置之二維移載裝置

Info

Publication number: TWM627229U
Application number: TW110213682U
Authority: TW
Inventors: 簡呈儒; 卓侃熠; 謝政達
Original assignee: 迅得機械股份有限公司
Priority date: 2021-11-18
Filing date: 2021-11-18
Publication date: 2022-05-21

Abstract

本新型有關一種平移裝置，包括有：一滑座，沿著一滑軌進行滑移；一驅動滾輪，設置於該滑座而與該滑軌乘載著該滑座；一傳動動力組，設置於該滑座而用以驅動該驅動滾輪產生滾動；以及一電力傳輸組，設置於該滑座而用以提供該傳動動力組所需之電力；藉此，用以解決先前技術移動速度受限之問題，而具有提升平移裝置移動速度之功效。此外，該平移裝置上方結合一包覆式升降裝置，而成為可避免粉塵從升降裝置逸散出去之二維移載裝置。

Description

平移裝置及使用該平移裝置之二維移載裝置

本新型有關一種平移裝置及使用該平移裝置之二維移載裝置，尤指一種於可提升移動速度之平移裝置上方結合一包覆式升降裝置之設計者。

按，半導體產品(諸如晶圓或晶片)屬於多樣性及多製程之加工型態，由於晶圓或晶片體積小且容易受損，故會將晶圓或晶片置放於晶圓容置盒或晶片載盤容置盒內加以保護而方便輸送與存取，再透過軌道式輸送系統將半導體產品容置盒存放於倉儲系統；而且，考量到廠房及無塵室建置成本和土地取得成本日益高升，半導體產品的倉儲系統通常都具有三維空間的儲架，而藉由平移裝置搭載著升降裝置與平面機械手於各儲格進行半導體產品容置盒的存放工作；因此，習知倉儲系統之平移裝置是利用齒輪搭配齒條進行傳動，致使平移裝置的移動速度受限；再者，用以將機械手垂直移動之升降裝置，配合無塵環境的要求亦須有防塵之設計。

本新型之主要目的，欲解決先前技術移動速度受限之問題，而具有提升平移裝置移動速度之功效。

本新型之另一目的，乃具有利用完整包覆避免粉塵從升降裝置逸散出去之功效。

本新型之又一目的，則具有升降裝置省力之功效。

為達上述功效，本新型平移裝置之技術特徵，包括有：一滑座，沿著一滑軌進行滑移；一驅動滾輪，設置於該滑座而與該滑軌乘載著該滑座；一傳動動力組，設置於該滑座而用以驅動該驅動滾輪產生滾動；以及一電力傳輸組，設置於該滑座而用以提供該傳動動力組所需之電力。

本新型二維移載裝置之技術特徵，係於上述之平移裝置上方結合一包覆式升降裝置；該包覆式升降裝置包括有：一機架，周邊以蓋板包覆而保留一縱向開放側，並將該機架結合於該滑座上方；一升降座，設置於該機架而可於該縱向開放側縱向滑移；一傳動皮帶組，將一主動輪與一從動輪設置於該機架內部，搭配該主動輪與該從動輪設置一傳動皮帶，該傳動皮帶結合於該升降座，該主動輪以一旋轉動力源驅動；以及一包覆皮帶組，將複數個惰輪設置於該機架內部且位於該傳動皮帶組外部，搭配各該惰輪設置一包覆皮帶，該包覆皮帶結合於該升降座而遮蓋該縱向開放側。

此外，該包覆皮帶的第一端固定於該升降座，該包覆皮帶的第二端利用一逼緊機構結合於該升降座，該逼緊機構具有一固定部、一活動部與數調整螺栓，該固定部一體成型或固定於該升降座，而利用各該調整螺栓將該活動部結合於該固定部且得以調整該活動部的移位，該包覆皮帶的第二端固定於該活動部；或者，該包覆皮帶組令至少一惰輪為可移位式惰輪；再者，該包覆皮帶或該傳動皮帶還搭配一配重塊，該配重塊設置於該機架而可縱向滑移，該傳動皮帶採用時規皮帶，該包覆皮帶採用平皮帶，該旋轉動力源為馬達；又，該滑座前端與後端還設置有異物感測器，該滑座還設置有一無動力滾輪，該傳動動力組包括一馬達、一減速機與一聯軸器，該電力傳輸組為集電梳與導電線。

10:機架

11:蓋板

12:縱向開放側

20:升降座

30:傳動皮帶組

31:從動輪

32:傳動皮帶

33:旋轉動力源

40:包覆皮帶組

41:惰輪

42:包覆皮帶

43:配重塊

50:逼緊機構

51:固定部

52:活動部

53:調整螺栓

60:滑座

61:滑軌

62:異物感測器

70:驅動滾輪

71:無動力滾輪

80:傳動動力組

81:馬達

82:減速機

83:聯軸器

90:電力傳輸組

圖1係本新型平移裝置之結構立體圖。

圖2係本新型二維移載裝置之結構立體圖。

圖3係本新型包覆式升降裝置之結構立體圖。

圖4係本新型包覆式升降裝置之主要結構立體圖。

圖5係本新型包覆式升降裝置之主要結構側視圖。

圖6係本新型包覆式升降裝置之逼緊機構結構說明圖。

首先，請參閱圖1所示，本新型之平移裝置，包括有：一滑座60，沿著一滑軌61進行滑移，該滑座60前端與後端還設置有異物感測器62；一驅動滾輪70，設置於該滑座60而與該滑軌61乘載著該滑座60，該滑座60還設置有一無動力滾輪71；一傳動動力組80，設置於該滑座60而用以驅動該驅動滾輪70產生滾動，該傳動動力組80包括一馬達81、一減速機82與一聯軸器83；以及一電力傳輸組90，設置於該滑座60而用以提供該傳動動力組80所需之電力，該電力傳輸組90為集電梳與導電線。

接著，請參閱圖2所示，本新型之二維移載裝置，係於上述之平移裝置上方結合一包覆式升降裝置；請再參閱圖3~圖6所示，該包覆式升降裝置包括有：一機架10，周邊以蓋板11包覆而保留一縱向開放側12，並將該機架10結合於該滑座60上方；一升降座20，設置於該機架10而可於該縱向開放側12縱向滑移；一傳動皮帶組30，將一主動輪(圖未示)與一從動輪31設置於該機架10內部，搭配該主動輪與該從動輪31設置一傳動皮帶32，該傳動皮帶32可採用時規皮帶而結合於該升降座20，該主動輪以一旋轉動力源33驅動，該旋轉動力源33可為馬達；以及一包覆皮帶組40，將複數個(圖示為5個)惰輪41設置於該機架10內部且位於該傳動皮帶組30外部，搭配各該惰輪41設置一包覆皮帶42，該包覆皮帶42結合於該升降座20而遮蓋該縱向開放側12，該包覆皮帶42可採用平皮帶，該包覆皮帶42(或該傳動皮帶32)還可搭配一配重塊43，該配重塊43設置於該機架10而可縱向滑移。

接著，請參閱圖5、圖6所示，該包覆皮帶42的第一端固定於該升降座20，該包覆皮帶42的第二端利用一逼緊機構50結合於該升降座20，該逼緊機構50具有一固定部51、一活動部52與數調整螺栓53，該固定部51一體成型或固定於該升降座20，而利用各該調整螺栓53將該活動部52結合於該固定部51且得以調整該活動部52的移位，該包覆皮帶42的第二端則是固定於該活動部52，俾藉該活動部52的移位而調整該包覆皮帶42的張力；或者，該包覆皮帶組40令至少一惰輪41為可移位式惰輪(如圖5底部的兩個惰輪41，可採用類似前述逼緊機構50的設計方式)，同樣可調整該包覆皮帶42的張力，皆可確保該包覆皮帶42對於該縱向開放側12具有充足的遮蓋性。

基於如是之構成，本新型平移裝置採用滾輪70、71取代習知採用齒輪搭配齒條進行傳動之設計方式，而具有提升平移裝置移動速度之功效；本新型包覆式升降裝置之升降座20可供載盤或機械手安裝，當旋轉動力源33驅動主動輪轉動時，透過傳動皮帶32帶動升降座20進行升降，致使載盤或機械手進行升降時，環繞傳動皮帶組30的包覆皮帶42亦同時被帶動，而包覆皮帶42在機械手進行升降得過程中，會持續遮蓋住機架10之縱向開放側12；是以，利用包覆皮帶42的設計搭配蓋板11完整包覆機架10的周邊，而具有利用完整包覆避免粉塵從升降裝置逸散出去之功效；再者，傳動皮帶32搭配配重塊43之設計，則具有升降裝置省力之功效。

綜上所述，本新型所揭示之技術手段，確具「新穎性」、「進步性」及「可供產業利用」等新型專利要件，祈請鈞局惠賜專利，以勵新型，無任德感。

惟，上述所揭露之圖式、說明，僅為本新型之較佳實施例，大凡熟悉此項技術人士，依本案精神範疇所作之修飾或等效變化，仍應包括在本案申請專利範圍內。