TWM609202U - 一種矽片拋光加工過程中拋光設備用蠟嘴保濕裝置 - Google Patents

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黨國洋
鐘佑生
陳志剛
周軍磊
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Abstract

本創作屬於半導體加工設備技術領域，具體涉及一種矽片拋光加工過程中拋光設備用蠟嘴保濕裝置。該裝置包括：連接有阻凝液盛放容器的阻凝管路、以及固定阻凝管路的固定支架；所述阻凝液盛放容器，用於盛放阻凝管路與拋光設備的蠟嘴接觸處阻凝管路所流出的阻凝液；所述阻凝管路，一端與拋光設備的蠟嘴連接，另外一端與阻凝液輸送管路連接；所述固定支架，包括：豎向固定底座、橫向固定支架和阻凝管固定架三個部分。本創作所設計的蠟嘴保濕裝置，較好實現了蠟嘴保濕的目標，改善了長時間停機所造成蠟嘴管口凝固、堵塞等現象；對於確保矽片拋光加工過程中塗蠟均勻性、提高拋光良率具有較好的實用價值。

Description

一種矽片拋光加工過程中拋光設備用蠟嘴保濕裝置
本創作屬於半導體加工設備技術領域，具體涉及一種矽片拋光加工過程中拋光設備用蠟嘴保濕裝置。
作為半導體加工基礎生產原料，對矽片進行拋光處理是進行後續加工生產必不可少的加工步驟。矽片拋光主要目的之一在於使矽片表面足夠平整，因此拋光後平坦度是矽片拋光加工處理的主要指標之一。
現有技術中，對矽片進行拋光加工處理時，需要先將矽片進行固定，然後再利用拋光設備進行拋光加工。而常用矽片固定方式有機械夾持式、石蠟黏接式、水力吸附式等方式，其中機械夾持式因對矽片不可避免的潛在變形損害，因此應用範圍較為有限，而水力吸附式因其生產成本、複雜度等原因，應用範圍也較為有限，而石蠟黏接式因其便捷性等原因，是目前應用最為普遍的矽片固定方式。
利用石蠟黏接式對矽片進行拋光加工時，其主要過程為：先將矽片放置在夾具上的規定位置，然後將將熔化的石蠟滲入到矽片與夾具之間（僅供給不使矽片浮起的必要量），然後在工件上進行加壓，使石蠟將矽片平整的黏接固定在陶瓷盤上，進而利用拋光設備對矽片正面進行拋光。但實際加工應用過程中，由於檢修、維護、更換等各種原因，拋光設備會存在不同的停機時間，而如果停機過久時，受生產環境溫度較低影響，噴塗石蠟的蠟嘴處會不可避免的出現石蠟凝固現象，因此，需要頻繁清洗蠟嘴處所凝固石蠟，否則極易造成塗蠟不均，進而造成黏接不牢、或者矽片拋光時平坦度的降低，最終影響生產產能及產品良率。也因此，如果能對蠟嘴裝置進行一定改進，對於確保後續矽片加工的穩定性和矽片品質具有較好的應用意義。
有鑑於此，本創作人特地針對半導體加工設備加以研究及改良，期以一較佳設計改善上述問題，並在經過長期研發及不斷測試後，始有本創作之問世。
本創作目的在於提供一種矽片拋光加工過程中拋光設備用蠟嘴保濕裝置，可為矽片拋光加工品質穩定奠定一定技術基礎。
本創作所採取的技術方案詳述如下。
一種矽片拋光加工過程中拋光設備用蠟嘴保濕裝置，包括：連接有阻凝液盛放容器的阻凝管路、以及固定阻凝管路的固定支架；
所述阻凝液，用來阻止黏接劑例如蠟（更具體例如為石蠟）的凝固，主要成分一般由NH 4OH、H 2O 2等組成；
所述阻凝液盛放容器，用於盛放與拋光設備的蠟嘴連接處阻凝管路所流出的阻凝液；優選設計中，盛放容器內設有吸附阻凝液的吸附材料（吸附材料例如為海綿），通過吸附材料與蠟嘴接觸，一方面可以減少阻凝蠟嘴時阻凝液用量，另一方面可以避免阻凝液的外溢和對作業環境的污染；
所述阻凝管路，一端與拋光設備的蠟嘴連接，另外一端與阻凝液輸送管路連接，用來傳輸阻凝液；實際設計中，阻凝管路採用1/4 PFA材質管路；優選設計中，阻凝管路上設計有用於控制阻凝液流量的1/4球閥；
所述拋光設備一般為單面拋光設備；
所述固定支架，包括：豎向固定底座、橫向固定支架和阻凝管固定架三個部分；
其中豎向固定底座為一“L”型結構，用於將裝置整體固定在檯面上，而為便於移動和調整，優選設計中，用於將豎向固定底座固定在檯面上的橫板、以及用於固定橫向固定支架的豎板上均採用“U”形槽式結構設計，從而便於調整固定位置；
橫向固定支架，為一與豎向固定底座呈直角連接關係的“L”形結構，其豎臂與豎向固定底座為可拆卸式連接（例如通過螺栓來實現），其橫臂與阻凝管固定架為可拆卸式連接（例如通過螺栓來實現）；優選設計中，橫臂同樣採用“U”形槽式結構設計，從而可以在橫向方向實現阻凝管與拋光設備間距離的調整；
阻凝管固定架，為一與橫向固定支架呈直角連接關係的“L”形結構，其豎直面板上固定有阻凝管路，其橫向面板上與橫向固定支架為可拆卸式連接（例如通過螺栓來實現）；優選設計中，橫向面板同樣採用“U”形槽式結構設計，從而便於調節阻凝管路在不同維度方向與拋光設備蠟嘴距離的調節。
本創作所設計的蠟嘴保濕裝置，其結構簡潔、使用方便，一方面較好實現了蠟嘴保濕的目標，改善了長時間停機所造成蠟嘴管口凝固、堵塞等現象，另一方面，對於確保矽片拋光加工過程中塗蠟均勻性、提高拋光良率具有較好的實用價值，加上本創作所提供裝置製備成本較為低廉，便於維護，因而具有較好的推廣應用意義。
本創作係一種矽片拋光加工過程中拋光設備用蠟嘴保濕裝置，其實施手段、特點及其功效，茲舉數種較佳可行實施例並配合圖式於下文進行詳細說明，俾供 鈞上深入瞭解並認同本創作。
下面結合實施例對本創作做進一步的解釋說明。
實施例
如圖1所示，本創作所提供的矽片拋光加工過程中拋光設備用蠟嘴保濕裝置，包括：連接有阻凝液盛放容器的阻凝管路8、以及固定阻凝管路的固定支架。
所述阻凝液，用來阻止黏接劑例如蠟（更具體例如為石蠟）的凝固，其成分一般由NH4OH、H2O2等組成。
所述阻凝液盛放容器（圖中未示出），用於盛放與拋光設備的蠟嘴連接處6阻凝管路8所流出的阻凝液；實際設計中，盛放容器內設有吸附阻凝液的吸附材料（吸附材料例如為海綿），通過吸附材料與蠟嘴接觸，一方面可以減少阻凝蠟嘴時阻凝液用量，另一方面可以避免阻凝液的外溢和對作業環境的污染。
所述阻凝管路8，一端與拋光設備的蠟嘴連接（即圖中標示6處與蠟嘴直接接觸），另外一端與阻凝液輸送管路（圖中未示出）連接，用來傳輸阻凝液；實際設計中，阻凝管路採用1/4 PFA材質管路；優選設計中，阻凝管路上設計有用於控制阻凝液流量的1/4球閥；
所述拋光設備一般為單面拋光設備。
所述固定支架，包括：豎向固定底座2、橫向固定支架3和阻凝管固定架5三個部分；
其中豎向固定底座2為一“L”型結構，用於將裝置整體固定在檯面上，而為便於移動和調整，優選設計中，用於將豎向固定底座固定在檯面上的橫板1、以及用於固定橫向固定支架的豎板上均採用“U”形槽式結構設計，從而便於調整固定位置；
橫向固定支架3，為一與豎向固定底座呈直角連接關係的“L”形結構，其豎臂與豎向固定底座為可拆卸式連接（例如通過螺栓來實現），其橫臂9與阻凝管固定架為可拆卸式連接（例如通過螺栓來實現）；優選設計中，橫臂9同樣採用“U”形槽式結構設計，從而可以在橫向方向實現阻凝管與拋光設備間距離的調整；
阻凝管固定架5，為一與橫向固定支架呈直角連接關係的“L”形結構，其豎直面板7上固定有阻凝管路（需要解釋的是，圖中所示採用了額外的豎直面板設計，從而進一步實現豎直方向的位移調節，但實際設計中，也可直接將阻凝管固定於豎直面板上），其橫向面板4上與橫向固定支架為可拆卸式連接（例如通過螺栓來實現）；優選設計中，橫向面板同樣採用“U”形槽式結構設計，從而便於調節阻凝管路在不同維度方向與拋光設備蠟嘴距離的調節。
通過上述結構設計可以看出，本創作所提供的蠟嘴保濕裝置，可以實現橫向、縱向、內外等多個角度的位移調節，從而可以適應不同的作業環境，滿足蠟嘴保濕需要，因此具有較好的實用價值。
綜觀上述，本創作所揭露之技術手段不僅為前所未見，且確可達致預期之目的與功效，故兼具新穎性與進步性，誠屬專利法所稱之新型無誤，以其整體結構而言，確已符合專利法之法定要件，爰依法提出新型專利申請。
惟以上所述者，僅為本創作之較佳實施例，當不能以此作為限定本創作之實施範圍，即大凡依本創作申請專利範圍及說明書內容所作之等效變化與修飾，皆應仍屬於本創作專利涵蓋之範圍內。
〔本創作〕 1:橫板 2:固定底座 3:固定支架 4:橫向面板 5:阻凝管固定架 6:蠟嘴連接處 7:豎直面板 8:阻凝管路 9:橫臂
[圖1]為本創作所提供蠟嘴保濕裝置結構示意圖。
1:橫板
2:固定底座
3:固定支架
4:橫向面板
5:阻凝管固定架
6:蠟嘴連接處
7:豎直面板
8:阻凝管路
9:橫臂

Claims (8)

  1. 一種矽片拋光加工過程中拋光設備用蠟嘴保濕裝置，其特徵在於，該裝置包括：連接有阻凝液盛放容器的阻凝管路、以及固定阻凝管路的固定支架； 所述阻凝液盛放容器，用於盛放阻凝管路與拋光設備的蠟嘴接觸處阻凝管路所流出的阻凝液； 所述阻凝管路，一端與拋光設備的蠟嘴連接，另外一端與阻凝液輸送管路連接； 所述固定支架，包括：豎向固定底座、橫向固定支架和阻凝管固定架三個部分； 其中豎向固定底座為一“L”型結構，用於將裝置整體固定在檯面上； 橫向固定支架，為一與豎向固定底座呈直角連接關係的“L”形結構，其豎臂與豎向固定底座為可拆卸式連接，其橫臂與阻凝管固定架為可拆卸式連接； 阻凝管固定架，為一與橫向固定支架呈直角連接關係的“L”形結構，其豎直面板上固定有阻凝管路，其橫向面板上與橫向固定支架為可拆卸式連接。
  2. 如請求項1所述之矽片拋光加工過程中拋光設備用蠟嘴保濕裝置，其中，盛放容器內設有吸附阻凝液的吸附材料。
  3. 如請求項1所述之矽片拋光加工過程中拋光設備用蠟嘴保濕裝置，其中，阻凝管路採用1/4 PFA材質管路。
  4. 如請求項3所述之矽片拋光加工過程中拋光設備用蠟嘴保濕裝置，其中，阻凝管路上設計有用於控制阻凝液流量的1/4球閥。
  5. 如請求項1所述之矽片拋光加工過程中拋光設備用蠟嘴保濕裝置，其中，用於將豎向固定底座固定在檯面上的橫板、以及用於固定橫向固定支架的的豎板上均採用“U”形槽式結構設計。
  6. 如請求項1所述之矽片拋光加工過程中拋光設備用蠟嘴保濕裝置，其中，橫向固定支架的橫臂採用“U”形槽式結構設計。
  7. 如請求項1所述之矽片拋光加工過程中拋光設備用蠟嘴保濕裝置，其中，阻凝管固定架的橫向面板採用“U”形槽式結構設計。
  8. 如請求項1所述之矽片拋光加工過程中拋光設備用蠟嘴保濕裝置，其中，所述拋光設備為單面拋光設備。
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