TWM600464U - 轉移設備 - Google Patents

Abstract

一種轉移設備，適於進行多個工件的轉移並包含一承載裝置、一施壓裝置、一剝離裝置及一控制裝置。承載裝置包括一黏著膜片，黏著膜片具有一用以黏著工件的黏著面及一頂面。施壓裝置位於黏著膜片上方用以下壓頂面。剝離裝置包括一位於黏著膜片下方的載具，載具形成有多個凹槽，各凹槽用以供位置對齊的對應的工件容置，在施壓裝置下壓頂面且各凹槽容置對應的工件的狀態下，載具能夠移動以施力在容置於凹槽內的對應工件並將其剝離黏著面。控制裝置用以控制黏著膜片、載具以及施壓裝置之間的相對位置與位移。藉此能降低轉移工時並提升轉移效率。

Description

轉移設備

本新型是有關於一種轉移設備，特別是指一種用以剝離工件並將其轉移至載具的轉移設備。

在半導體製程中，需要將切割後黏著在一膜片的多個晶片轉移到一基板上，以便於進行後續該等晶片的封裝製程。

目前常用的轉移方式是透過一取放裝置來進行，該取放裝置藉由一吸嘴吸取該膜片上的對應的一個晶片，隨後，晶片會受底座上頂針頂出，且該吸嘴帶動該晶片移動以將其剝離該膜片，最後，該吸嘴帶動該晶片移動並將其放置在該基板上，即完成單一個該晶片的取放作業。該取放裝置的該吸嘴只能一個接著一個地依序進行該等晶片的取放作業，由於該吸嘴進行每一個該晶片的取放時所需執行的動作步驟繁多且耗費的工時長，因此，要將該膜片上的所有該等晶片全部轉移到該基板時，需要耗費很長的工時，從而影響該等晶片轉移到後續製程所需的時間。所以，現有轉移方式存在有轉移速度緩慢及效率很差的問題。

因此，本新型之其中一目的，即在提供一種能夠克服先前技術的至少一個缺點的轉移設備。

於是，本新型轉移設備在一些實施態樣中，適於進行多個工件的轉移，該轉移設備包含一承載裝置、一施壓裝置、一剝離裝置，及一控制裝置。

該承載裝置包括一黏著膜片，該黏著膜片具有一用以黏著該等工件的黏著面，及一相反於該黏著面的頂面。該施壓裝置位於該黏著膜片上方，用以下壓該頂面。該剝離裝置包括一位於該黏著膜片下方的載具，該載具形成有多個凹槽，各該凹槽用以供位置對齊的對應的該工件容置，在該施壓裝置下壓該頂面且各該凹槽容置對應的該工件的狀態下，該載具能夠移動以施力在容置於該等凹槽內的對應該等工件並將其剝離該黏著面。該控制裝置用以控制該黏著膜片、該載具以及該施壓裝置之間的相對位置與位移。

在一些實施態樣中，該剝離裝置還包括一連接該載具的移動機構，該移動機構用以帶動該載具至少沿一第一橫方向移動。

在一些實施態樣中，該移動機構還用以帶動該載具沿一垂直於該第一橫方向的第二橫方向移動。

在一些實施態樣中，該承載裝置還包括一連接該黏著膜片的移載機構，該移載機構用以帶動該黏著膜片至少沿一縱向上下移動，該移動機構還用以帶動該載具沿該縱向上下移動。

在一些實施態樣中，該施壓裝置包括多個分別與該等工件位置相對應的施壓件，各該施壓件用以下壓在該頂面對齊於對應該工件的部位。

在一些實施態樣中，該等工件沿一橫方向相間隔排列，該施壓裝置包括一用以下壓該頂面的施壓件，及一連接該施壓件的運動機構，該運動機構用以帶動該施壓件至少沿一橫方向於該頂面上移動以依序施壓於該等工件並將該等工件擠壓入該等凹槽內。

在一些實施態樣中，該施壓件為一能夠繞一垂直於該横方向的軸線轉動的旋轉件，該運動機構還用以帶動該施壓件沿該橫方向移動過程中同時於該頂面上繞該軸線轉動。

在一些實施態樣中，該載具還形成有多個分別連通該等凹槽的吸附孔，各該吸附孔用以吸附對應的該工件。

在一些實施態樣中，該載具具有多個分別位於該等凹槽一側的導引斜面，各該導引斜面用以供對應的該工件接觸，各該導引斜面允許對應的該工件於其上滑動。

在一些實施態樣中，該等工件中的兩個相鄰工件之間形成有一第一間距，該等凹槽與該等工件的佈設方式相同，該等凹槽中的兩個相鄰凹槽之間形成有一第二間距，該第二間距與該第一間距相同，該等凹槽分別與該等工件位置對齊且分別供該等工件容置。

在一些實施態樣中，該等工件中的兩個相鄰工件之間形成有一第一間距，該等凹槽與該等工件的佈設方式不同，該等凹槽中的兩個相鄰凹槽之間形成有一第二間距，該第二間距與該第一間距不同，各該凹槽能選擇性地與對應的該工件對位並供其容置。

在一些實施態樣中，該第二間距大於該第一間距，該第二間距是該第一間距的整數倍。

在一些實施態樣中，該等工件區分成佈設在該黏著膜片上的至少兩個不同的黏著區域，該等黏著區域內的該第一間距數值不同，該等凹槽區分成佈設在該載具上的至少兩個不同的佈設區域，該等佈設區域內的該第二間距數值不同，各該佈設區域內的該第二間距是對應的該黏著區域內的該第一間距的整數倍。

本新型至少具有以下功效：能一次將多個工件快速地轉移至該載具的該等凹槽內，藉此能降低轉移工時並能大幅提升轉移效率。此外，由於該載具為承載該等工件以帶動其進行後續製程的目標載具，因此，在該載具將該等工件剝離該黏著膜片時，即同時完成該等工件的放料動作。藉此，將該載具拆離該移動平台後，該載具便能帶動該等工件進行後續製程，能大幅縮短將該等工件轉移到後續製程所需的時間。

在本新型被詳細描述之前，應當注意在以下的說明內容中，類似的元件是以相同的編號來表示。

參閱圖1及圖2，本新型轉移設備200的第一實施例，該轉移設備200適於應用在一製程中進行多個工件1的轉移。在本第一實施例中，該製程是例如為半導體製程，各該工件1是以半導體元件為例，具體而言為一晶片。各該工件1沿一第一橫方向X所取的長度尺寸以及沿一垂直於該第一橫方向X的第二橫方向Y所取的寬度尺寸介於50um~10mm，各該工件1沿一垂直於該第一、第二橫方向X、Y的縱向Z所取的厚度尺寸是例如介於10um~1mm。該第一橫方向X是例如為前後方向，該第二橫方向Y是例如為左右方向，該縱向Z是例如為上下方向。當然，各該工件1也可以是在其他製程中需要由一工作區轉移至一載具並透過該載具移載至後續製程的任何其他種類的工件，不以晶片為限。

參閱圖1，該轉移設備200包含一承載裝置2、一施壓裝置3、一剝離裝置4，及一控制裝置5(如圖3所示)。該承載裝置2包括一黏著膜片21，及一連接該膜黏著膜片21的移載機構22。該黏著膜片21是以藍膜為例，其厚度尺寸是例如介於100um~2mm。該黏著膜片21具有一朝向下方用以黏著該等工件1的黏著面211，及一相反於該黏著面211的頂面212。該黏著膜片21也可為UV解膠膜片、熱解膠膜片、矽膠膜片或PVA膜片等膜片，不以藍膜為限。

該移載機構22為三軸移動機構並包括一基座221、兩個移載夾具222，及一驅動結構(圖未示)。該等移載夾具222能移動地連接於該基座221，該等移載夾具222能夠被該驅動結構驅動而沿該第一橫方向X、該第二橫方向Y，或該縱向Z於該基座221上移動。該等移載夾具222分別連接於該黏著膜片21的兩相反端，該等移載夾具222能對該黏著膜片21施加反向拉力，以使該黏著膜片21呈圖1所示的平坦緊繃狀態。該移載機構22能透過該等移載夾具222帶動該黏著膜片21沿著該第一、第二橫方向X、Y及該縱向Z移動。本第一實施例的該等移載夾具222連接該黏著膜片21的方式是以夾持方式為例，但也可透過框件固定或真空吸附等方式連接固定該黏著膜片21。

該施壓裝置3包括多個施壓件31，及一連接該等施壓件31的運動機構32。該等施壓件31位於該黏著膜片21上方用以下壓該黏著膜片21的該頂面212。在本第一實施例中，該等施壓件31的數量與該等工件1的數量相同，且該等施壓件31能分別與該等工件1位置相對齊。各該施壓件31例如呈長條片狀並具有一位於底端的倒圓角311，該倒圓角311沿該第一橫方向X所取的寬度尺寸是例如該工件1的長度或寬度尺寸的10%~60%。各該施壓件31的該倒圓角311用以下壓在該頂面212對齊於對應該工件1的部位，藉此，能通過該黏著膜片21施加壓力至該黏著面211與對應該工件1的頂面之間，以降低該黏著面211與對應該工件1的頂面之間的黏著性。需說明的是，各該施壓件31的形狀也可為針狀、長條梯形狀或長條三角形狀等其他形狀。

該運動機構32為三軸移動機構並包括一運動平台321，及一驅動結構(圖未示)。該等施壓件31固定地設置於該運動平台321底端。該驅動結構用以驅動該運動平台321沿該第一橫方向X、或該第二橫方向Y，或該縱向Z移動，使得該運動平台321能帶動該等施壓件31沿著該第一、第二橫方向X、Y及該縱向Z移動。

參閱圖1及圖2，該剝離裝置4包括一載具41，及一連接該載具41的移動機構42。該載具41位於該黏著膜片21下方用以剝離並承載該等工件1，該載具41具有一頂面410，該載具41的該頂面410向下凹陷形成有多個彼此相間隔的凹槽411，各該凹槽411用以供位置對齊的對應的該工件1容置。在本第一實施例中，該載具41例如為一承載盤，其為用以帶動該等工件1進行後續製程的目標載具。當然，該載具41也可為配線基板、導線架或玻璃基板等其他承載型式的目標載具。該等凹槽411的數量與該等工件1的數量相同，且該等凹槽411能分別與該等工件1位置相對齊。各該凹槽411的開口朝向上方，各該凹槽411是由該載具41的一承載面412、兩個分別連接於該承載面412的兩相反側的第一側面413，及兩個分別連接於該承載面412的另兩相反側的第二側面414所共同界定而出。該等第一側面413沿該第一橫方向X相間隔，而該等第二側面414沿該第二橫方向Y相間隔。各該第一側面413及各該第二側面414例如為直立面。

各該凹槽411沿該縱向Z所取的深度例如為各該工件1沿該縱向Z所取的厚度的50%~70%，藉此，使得各該工件1容置於對應的該凹槽411後能夠部分凸伸出該載具41的該頂面410一段適當距離。各該凹槽411沿該第一橫方向X所取的長度尺寸以及沿該第二橫方向Y所取的寬度尺寸例如為各該工件1的長度的110%~130%，藉此，使得各該凹槽411的空間大小足夠供對應的該工件1穿伸於內。

為了便於說明，本第一實施例的該等工件1、該等凹槽411以及該等施壓件31的佈設方式相同，且各自是以例如沿該第一橫方向X相間隔排列為例。每兩個相鄰的該等工件1之間沿該第一橫方向X形成有一第一間距P1，每兩個相鄰的該等凹槽411之間沿該第一橫方向X形成有一第二間距P2，每兩個相鄰的該等施壓件31的該等倒圓角311之間沿該第一橫方向X形成有一第三間距P3，該第一間距P1、該第二間距P2及該第三間距P3的大小皆相同。當然，本第一實施例的該等工件1、該等凹槽411以及該等施壓件31的佈設方式也可各自是同時沿該第一橫方向X及該第二橫方向Y相間隔排列，不以前述佈設方式為限。

該移動機構42為三軸移動機構並包括一移動平台421，及一驅動結構(圖未示)。該載具41可拆卸地組裝固定於該移動平台421頂面。該載具41與該移動平台421例如能透過螺絲鎖固方式，或是卡鉤與卡槽相配合的卡扣方式組裝固定在一起。該驅動結構用以驅動該移動平台421沿該第一橫方向X、或該第二橫方向Y，或該縱向Z移動，使得該移動平台421能帶動該載具41沿著該第一、第二橫方向X、Y及該縱向Z移動。

參閱圖3，該控制裝置5包括一控制器51、一影像感測器52，及多個壓力感測器53。該控制器51電性連接於該移載機構22的該驅動結構、該運動機構32的該驅動結構，及該移動機構42的該驅動結構。該影像感測器52與該控制器51電性連接，用以擷取影像。該等壓力感測器53與該控制器51電性連接且分別設置於該等施壓件31(如圖1所示)上，各該壓力感測器53用以感測對應的該施壓件31施壓於該黏著膜片21上的壓力。

以下針對利用本第一實施例的該轉移設備200進行轉移工件的方法作詳細說明：

圖4是轉移工件的方法的一步驟流程圖，包含下述步驟:提供步驟S1、對位步驟S2、相對運動步驟S3，及剝離步驟S4。

參閱圖1及圖4，在該提供步驟S1中，提供該黏著膜片21以該黏著面211黏著一晶圓(圖未示)，透過現有常用的切割(dicing)方式切割該黏著膜片21上的該晶圓以形成多個分離的晶片，該等晶片即為黏著在該黏著面211上的該等工件1。之後，透過該等移載夾具222對該黏著膜片21沿該第一橫方向X施加反向拉力，使該黏著膜片21呈圖1所示的平坦緊繃狀態。

參閱圖3、圖4及圖5，在該對位步驟S2中，進行該載具41、該黏著膜片21以及該施壓裝置3之間的對位。在本第一實施例中，是例如將該等施壓件31的該等倒圓角311預設為基準原點，以作為該載具41及該黏著膜片21後續對位時的依據。

首先，透過該等移載夾具222帶動該黏著膜片21移動至該等施壓件31下方的位置，使該黏著膜片21的該頂面212與該等倒圓角311沿該縱向Z相間隔一段適當距離。接著，透過該移動平台421帶動該載具41移動至圖4所示位於該黏著膜片21及該等工件1下方的位置，使該載具41的該頂面410與該等工件1底面沿該縱向Z相間隔一段適當距離，該距離例如為10um~1mm。隨後，透過例如設置於該運動平台321底端的該影像感測器52由該黏著膜片21上方擷取影像，該控制器51接收該影像後，藉由該控制器51的一影像辨識模組(圖未示)辨識該影像以判斷該載具41與該黏著膜片21是否對位完成。在該影像中要判斷該載具41與該黏著膜片21是否對位完成的方式，本第一實施例是例如透過該等凹槽411與該等工件1沿該縱向Z上的位置是否對齊來判斷，當然，也可以透過該載具41上的對位標記與該黏著膜片21上的對位標記沿該縱向Z上的位置是否對齊來判斷。同時，該影像辨識模組還會將該影像與該控制器51所預先儲存的一具有該等倒圓角311基準原點位置資訊的基準影像進行比對，以判斷該等凹槽411及該等工件1的位置是否與該等倒圓角311位置對齊。

當該等工件1或該等凹槽411的位置有偏差時，該控制器51控制該移載機構22的該驅動結構作動以微調該等工件1的位置，或者是控制該移動機構42的該驅動結構作動以微調該等凹槽411的位置。藉此，使得各該凹槽411與對應的該工件1位置對齊，以及各該施壓件31的該倒圓角311與對應的該工件1位置對齊。

需說明的是，本第一實施例也可以將該等凹槽411預設為基準原點，以作為該黏著膜片21及該等施壓件31後續對位時的依據。此時，該影像感測器5例如可設置於該移動平台421頂端由該黏著膜片21下方擷取影像，該影像辨識模組會將該影像與預先儲存的一具有該等凹槽411基準原點位置資訊的基準影像進行比對。

參閱圖3、圖4及圖6，在該相對運動步驟S3中，進行該黏著膜片21、該載具41及該施壓裝置3之間的相對運動。由於該對位步驟S2中是以該等施壓件31的該等倒圓角311預設為基準原點，因此，該等施壓件31是保持固定不動的狀態。

首先，透過該等移載夾具222帶動該黏著膜片21帶動沿該縱向Z向上移動，同時，透過該移動平台421帶動該載具41沿該縱向Z向上移動。該黏著膜片21上移過程中，當該頂面212被該等施壓件31的該等倒圓角311接觸且阻擋時，該黏著膜片21便無法繼續上移。透過該等移載夾具222再向上移動一段適當距離並且向上拉動該黏著膜片21的兩相反端，使該黏著膜片21的兩相反端略往上翹曲變形，藉此，使得各該倒圓角311能緊迫下壓在該頂面212對齊於對應該工件1的部位。此時，該等移載夾具222便能停止在圖6所示的位置。

藉由該黏著膜片21的兩相反端略往上翹曲變形，能將該黏著面211擴張開來以降低其黏著力。藉由各該倒圓角311以應力集中的方式施加下壓力至該頂面212並通過該黏著膜片21傳遞至對應的該工件1，能破除該黏著面211與對應的該工件1頂面之間的氣密性，以進一步地降低該黏著面211與對應的該工件1頂面之間的黏著力。

該載具41上移過程中，該等工件1會分別先穿伸至該等凹槽411內，隨後，各該承載面412會接觸對應的該工件1底面並將其往上頂推，其頂推力會經由對應的該工件1及該黏著膜片21傳遞至對應的該施壓件31。在本第一實施例中，透過各該壓力感測器53感測對應的該承載面412施加於對應的該工件1上的頂推力，能作為判斷各該工件1是否確實容置於對應的該凹槽411內的資訊。該控制器51接受到該頂推力的訊號後，會將該頂推力的數值與預設的一預設值進行比對。當該頂推力的數值小於該預設值時，該控制器51控制該移動機構42的該驅動結構繼續驅動該移動平台421上移。當該控制器51判斷該頂推力的數值與該預設值相同時，該控制器51控制該移動機構42的該驅動結構停止驅動該移動平台421上移，使該載具41定位在圖6所示的一承載位置。藉此，能確保各該凹槽411容置位置對齊的對應的該工件1。

需說明的是，本第一實施例的該黏著膜片21、該載具41及該施壓裝置3之間的相對運動也可以是下述另外兩種方式:

其中一種方式是該載具41保持固定不動的狀態，透過該等移載夾具222帶動該黏著膜片21帶動沿該縱向Z向下移動，使該等工件1分別容置於該等凹槽411內。透過該運動平台321帶動該等施壓件31沿該縱向Z向下移動，使該等倒圓角311緊迫施壓在該黏著膜片21的該頂面212。

另外一種方式是該黏著膜片21保持固定不動的狀態，先透過該運動平台321帶動該等施壓件31沿該縱向Z向下移動，使該等倒圓角311緊迫施壓在該黏著膜片21的該頂面212，接著再透過該移動平台421帶動該載具41沿該縱向Z向上移動，使該等工件1分別容置於該等凹槽411內。

參閱圖4、圖7及圖8，在該剝離步驟S4中，例如透過該移動平台421帶動該載具41先沿該第一橫方向X移動一小段距離，使其中一個該第一側面413施加橫向推力在容置於對應的該凹槽411內的對應的該工件1側邊。隨後再透過該移動平台421帶動該載具41沿該第二橫方向Y移動一小段距離，使其中一個該第二側面414施加橫向推力在容置於對應的該凹槽411內的對應的該工件1另一側邊。

該第一側面413施加在對應的該工件1側邊的橫向推力以及該第二側面414施加在對應的該工件1另一側邊的橫向推力相當於是平行於該黏著面211的剪力，藉由在該工件1上持續地施加橫向推力，能逐漸地降低該工件1頂面與該黏著面211之間的黏著力，使得該載具41能輕易且迅速地將該等工件1剝離該黏著面211。

需說明的是，本第一實施例的該剝離步驟S4也可透過下述方式實施：

透過該移動平台421帶動該載具41沿該第一橫方向X移動，只透過其中一個該第一側面413對該工件1施加橫向推力；

透過該移動平台421帶動該載具41沿該第二橫方向Y移動，只透過其中一個該第二側面414對該工件1施加橫向推力；

透過該移動平台421先帶動該載具41沿該第一橫方向X往復移動，接著再沿該第二橫方向Y往復移動，使得該等第一側面413及該等第二側面414皆能對對應的該工件1施加橫向推力；

透過該移動平台421只帶動該載具41沿該第一橫方向X往復移動，使得該等第一側面413皆能對對應的該工件1施加橫向推力；

透過該移動平台421只帶動該載具41沿該第二橫方向Y往復移動，使得該等第二側面414皆能對對應的該工件1施加橫向推力。

參閱圖9，當該等工件1與該黏著面211分離而不被其黏著後，該移動平台421便能帶動該載具41沿該縱向Z向下移動。之後，將該載具41拆離該移動平台421，該載具41便能帶動所承載的該等工件1進行後續的封裝製程。

參閱圖10，是本新型轉移設備200的第二實施例，其整體結構及轉移工件的方法大致與第一實施例相同，不同處在於該載具41的結構。

在本第二實施例中，該載具41還形成有多個分別連通該等凹槽411底端的吸附孔415，各該吸附孔415形成於對應的該承載面412。透過外力作用使各該吸附孔415內產生負壓，使得各該吸附孔415能以真空吸附的方式吸附對應的該工件1底面。

在該相對運動步驟S3中，當各該工件1容置於對應的該凹槽411後，各該吸附孔415以真空吸附的方式吸附對應的該工件1底面，藉此，使得各該工件1能穩固地定位在對應的該凹槽411內。在該剝離步驟S4中，各該吸附孔415保持真空吸附對應的該工件1的狀態。該移動平台421帶動該載具41沿該第一橫方向X或該第二橫方向Y移動的過程中，該載具41透過該等吸附孔415所產生的吸力分別帶動該等工件1橫向移動，藉此，能逐漸地降低該工件1頂面與該黏著面211之間的黏著力，使得該載具41能輕易且迅速地將該等工件1剝離該黏著面211。

參閱圖11，是本新型轉移設備200的第三實施例，其整體結構及轉移工件的方法大致與第二實施例相同，不同處在於該載具41的結構。

在本第三實施例中，例如各該凹槽411其中一側的該第一側面413’為一傾斜地連接於該承載面412的導引斜面，該導引斜面用以供對應的該工件1接觸，且該導引斜面允許對應的該工件1於其上滑動。

在該相對運動步驟S3中，若該移動平台421帶動該載具41沿該縱向Z向上移動的過程中沿該第一橫方向X略產生偏移，使得各該凹槽411的該第一側面413’與對應的該工件1底端接觸時，該第一側面413’施加於對應的該工件1的側向分力會促使其沿該第一橫方向X移動，同時該工件1會沿著該第一側面413’向下滑動，使得該工件1被該第一側面413’導引而能夠與該承載面412接觸。藉此，能確保該載具41在該第一橫方向X上有位置偏差的狀況下，各該工件1能夠確實地穿伸至對應的該凹槽411內並且接觸對應的該承載面412。

需說明的是，在本第三實施例中，導引斜面也可以是下述不同的設計方式：例如各該凹槽411其中一側的該第二側面414為導引斜面；或者各該凹槽411兩側的該等第一側面413皆為導引斜面；或者各該凹槽411另兩側的該等第二側面414皆為導引斜面；或者各該凹槽411兩側的該等第一側面413以及另兩側的該等第二側面414皆為導引斜面。

參閱圖12，是本新型轉移設備200的第四實施例，其整體結構及轉移工件的方法大致與第一實施例相同，不同處在於該等工件1、該等凹槽411以及該等施壓件31的佈設方式不同。

在本第四實施例中，該等凹槽411與該等工件1的佈設方式不同，該第二間距P2與該第一間距P1不同。具體而言，該第二間距P2是以大於該第一間距P1為例，該第二間距P2是該第一間距P1的整數N倍，該整數N的數值是例如為2。當然，該整數N的數值也可為2以上的正整數。該等施壓件31與該等工件1的佈設方式不同，但與該等凹槽411的佈設方式相同，該第三間距P3的大小與該第二間距P2相同。

在該對位步驟S2中，首先，透過該等移載夾具222帶動該黏著膜片21移動至該等施壓件31下方的位置，以及透過該移動平台421帶動該載具41移動至位於該黏著膜片21及該等工件1下方的位置。隨後，透過該影像感測器52與該影像辨識模組相配合以判斷該等凹槽411以及該等該等倒圓角311是否與選擇的該等工件1位置對齊。藉此，使得各該凹槽411能選擇性地與對應的該工件1位置對齊，以及各該施壓件31的該倒圓角311能選擇性地與對應的該工件1位置對齊。其中，該等工件1的另一部分則不會與該等凹槽411及該等施壓件31對齊。

參閱圖13，在該相對運動步驟S3中，首先，透過該等移載夾具222帶動該黏著膜片21帶動沿該縱向Z向上移動，同時，透過該移動平台421帶動該載具41沿該縱向Z向上移動。當該等移載夾具222停止在圖13所示的位置時，該黏著膜片21的兩相反端略往上翹曲變形，各該倒圓角311緊迫下壓在該頂面212且與選擇的對應的該工件1位置對齊。當該載具41停止並定位在圖13所示的承載位置時，各該凹槽411供選擇的對應的該工件1容置。其中，未與該等凹槽411對齊的該等工件1的另一部分則會被該載具41的該頂面410往上頂撐，使得該等工件1的另一部分將該黏著膜片21往上頂撐使其變形。

參閱圖14，在該剝離步驟S4中，藉由該載具41持續地在該等工件1上施加橫向推力，使得該載具41能輕易且迅速地將容置於該等凹槽411內的對應該等工件1剝離該黏著面211。將該黏著膜片21上的該等工件1的一部分剝離後，重複進行上述步驟對該等工件1的另一部分進行剝離，便能將該黏著膜片21上的所有該等工件1剝離。

參閱圖15，是本新型轉移設備200的第五實施例，其整體結構及轉移工件的方法大致與第一、二實施例相同，不同處在於該施壓件31的數量。

在本第五實施例中，該施壓件31的數量為一個。該載具41和第二實施例一樣形成該等吸附孔415。在該對位步驟S2中，首先，透過該等移載夾具222帶動該黏著膜片21移動至該施壓件31下方的位置，以及透過該移動平台421帶動該載具41移動至位於該黏著膜片21及該等工件1下方的位置。隨後，透過該影像感測器52(如圖5所示)及該影像辨識模組相配合以判斷該載具41與該黏著膜片21是否對位完成，以及判斷該施壓件31的該倒圓角311是否與其中一個該凹槽411及其中一個該工件1的位置對齊。具體而言，該施壓件31的該倒圓角311是與沿著該第一橫方向X排列的該等工件1中的一個最鄰近於側邊的該工件1位置對齊。

參閱圖16及圖17，在該相對運動步驟S3中，首先，透過該等移載夾具222帶動該黏著膜片21沿該縱向Z向上移動，同時，透過該移動平台421帶動該載具41沿該縱向Z向上移動。當該等移載夾具222停止在圖16所示的位置時，該施壓件31的該倒圓角311緊迫下壓在該頂面212且與對應的該工件1位置對齊。當該載具41停止並定位在圖16所示的承載位置時，該等工件1分別容置於該等凹槽411內。

隨後，該運動機構32的該運動平台321帶動該施壓件31沿該第一橫方向X於該黏著膜片21的該頂面212上移動，該施壓件31移對的過程中該倒圓角311透過該黏著膜片21依序施加壓力於該等工件1上，從而能依序破除該黏著面211與該等工件1頂面之間的氣密性，以降低該黏著面211與該等工件1頂面之間的黏著力，同時，還能依序地將該等工件1分別擠壓入該等凹槽411內。該施壓件31在前述移動過程中，當該施壓件31位在將對應的該工件1擠壓入對應的該凹槽411內的位置時，對應的該吸附孔415產生吸力吸附對應的該工件1，藉此，能確保該施壓件31移離前述位置時，前述對應的該工件1能夠被吸附而仍位在對應的該凹槽411內。當該施壓件31移動到與該等工件1中的另一個最鄰近於側邊的該工件1位置對齊時，該運動平台321即停止帶動該施壓件31移動。

參閱圖18，在該剝離步驟S4中，藉由該載具41持續地在該工件1上施加橫向推力，使得該載具41能輕易且迅速地將容置於該等凹槽411內的對應該等工件1剝離該黏著面211。重覆上述該相對運動步驟S3及該剝離步驟S4的動作直到需轉移的該等工件1皆轉至該載具41上。

參閱圖19，是本新型轉移設備200的第六實施例，其整體結構及轉移工件的方法大致與第五實施例相同，不同處在於該施壓件31的結構。

在本第六實施例中，該施壓件31為一能轉動地樞接於一轉軸322的旋轉件，該施壓件31能夠繞該轉軸322所界定的一垂直於該第一横方向X的軸線A轉動。該運動平台321連接於該轉軸322一端。具體而言，該施壓件31是以一齒輪為例，其具有多個用以施壓於該黏著膜片21的該頂面212的齒輪齒312。

參閱圖19及圖20，在該相對運動步驟S3中，該運動機構32的該運動平台321透過該轉軸322帶動該施壓件31沿該第一橫方向X於該黏著膜片21的該頂面212上移動，同時透過該轉軸322帶動該施壓件31於該頂面212沿一轉動方向R繞該軸線A轉動，使得該施壓件31能夠透過該等齒輪齒312施壓在該黏著膜片21的該頂面212。該施壓件31移對及轉動的過程中透過該等齒輪齒312施壓在該黏著膜片21並且依序將壓力傳遞於該等工件1上，從而能依序破除該黏著面211與該等工件1頂面之間的氣密性，以降低該黏著面211與該等工件1頂面之間的黏著力，同時，還能依序地將該等工件1分別擠壓入該等凹槽411內。該施壓件31在前述移動過程中，當該施壓件31位在將對應的該工件1擠壓入對應的該凹槽411內的位置時，對應的該吸附孔415產生吸力吸附對應的該工件1，藉此，能確保該施壓件31移離前述位置時，前述對應的該工件1能夠被吸附而仍位在對應的該凹槽411內。當該施壓件31移動到與該等工件1中的另一個最鄰近於側邊的該工件1位置對齊時，該運動平台321即停止帶動該施壓件31移動。

參閱圖21，在該剝離步驟S4中，藉由該載具41持續地在該工件1上施加橫向推力，使得該載具41能輕易且迅速地將容置於該等凹槽411內的對應該等工件1剝離該黏著面211。

參閱圖22及圖23，是本新型轉移設備200的第七實施例，其整體結構及轉移工件的方法大致與第四實施例相同，不同處在於該等工件1佈設在該黏著膜片21上的不同區域，以及該等凹槽411佈設在該載具41上的不同區域。

該等工件1區分成佈設在該黏著膜片21上的至少兩個不同的黏著區域A1、A2，其中該黏著區域A1是鄰近於該黏著膜片21外圍，而該黏著區域A2是鄰近於該黏著膜片21中心。該黏著區域A1內的該第一間距P1與該黏著區域A2內的該第一間距P1’ 數值不同，該第一間距P1’ 數值是以小於該第一間距P1數值為例。

該等凹槽411區分成佈設在該載具41上的至少兩個不同的佈設區域L1、L2，其中該佈設區域L1是鄰近於該載具41外圍，而該佈設區域L2是鄰近於該載具41中心。該佈設區域L1內的該第二間距P2與該佈設區域L2內的該第二間距P2’數值不同，該第二間距P2’數值是以小於該第二間距P2數值為例。該佈設區域L1內的該第二間距P2是對應的該黏著區域A1內的該第一間距P1的整數N倍，而該佈設區域L2內的該第二間距P2’是對應的該黏著區域A2內的該第一間距P1’的整數N倍。藉此，該黏著膜片21及該載具41可依據區域分別有不同的該第一間距P1、P1’與該第二間距P2、P2’數值。

藉由將該等施壓件31(如圖12所示)的佈設方式設計成與圖23所示的該等凹槽411佈設方式相同，便能和第四實施例所揭露的內容一樣進行該等工件1的轉移。完成整體轉移後，該載具41將配合後續製程，進行相關後段製程。

綜上所述，藉由各實施例的轉移設備200進行轉移工件1的方法，只要執行少數幾個步驟便能一次將多個工件1快速地轉移至該載具41的該等凹槽411內，藉此能降低轉移工時並能大幅提升轉移效率。此外，由於該載具41為承載該等工件1以帶動其進行後續製程的目標載具，因此，在該載具41將該等工件1剝離該黏著膜片21時，即同時完成該等工件1的放料動作。藉此，將該載具41拆離該移動平台421後，該載具41便能帶動該等工件1進行後續製程，能大幅縮短將該等工件1轉移到後續製程所需的時間，故確實能達成本新型之目的。

惟以上所述者，僅為本新型之實施例而已，當不能以此限定本新型實施之範圍，凡是依本新型申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本新型專利涵蓋之範圍內。

1:工件 200:轉移設備 2:承載裝置 21:黏著膜片 211:黏著面 212:頂面 22:移載機構 221:基座 222:移載夾具 3:施壓裝置 31:施壓件 311:倒圓角 312:齒輪齒 32:運動機構 321:運動平台 322:轉軸 4:剝離裝置 41:載具 410:頂面 411:凹槽 412:承載面 413:第一側面 413’:第一側面 414:第二側面 415:吸附孔 42:移動機構 421:移動平台 5:控制裝置 51:控制器 52:影像感測器 53:壓力感測器 A:軸線 A1:黏著區域 A2:黏著區域 P1:第一間距 P1’:第一間距 P2:第二間距 P2’:第二間距 P3:第三間距 L1:佈設區域 L2:佈設區域 S1:提供步驟 S2:對位步驟 S3:相對運動步驟 S4:剝離步驟 R:旋轉方向 X:第一橫方向 Y:第二橫方向 Z:縱向

本新型之其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中： 圖1是本新型轉移設備的第一實施例的一局部剖視示意圖，說明多個工件、一承載裝置、一施壓裝置，及一剝離裝置之間的配置關係； 圖2是該第一實施例的一局部剖視示意圖； 圖3是該第一實施例的一方塊圖； 圖4是透過該第一實施例進行轉移工件的方法的一步驟流程圖； 圖5是該第一實施例的一局部剖視示意圖； 圖6是該第一實施例的一局部剖視示意圖，說明一載具容置該等工件，以及多個施壓件緊迫下壓在一黏著膜片上； 圖7是該第一實施例的一局部剖視示意圖，說明該載具移動並施加橫向推力於該等工件； 圖8是該第一實施例的一局部剖視示意圖，說明該載具移動並施加橫向推力於該等工件； 圖9是該第一實施例的一局部剖視示意圖，說明該載具帶動剝離的該等工件下移； 圖10是本新型轉移設備的第二實施例的一局部剖視示意圖； 圖11是本新型轉移設備的第三實施例的一局部剖視示意圖； 圖12是本新型轉移設備的第四實施例的一局部剖視示意圖； 圖13是該第四實施例的一局部剖視示意圖； 圖14是該第四實施例的一局部剖視示意圖； 圖15是本新型轉移設備的第五實施例的一局部剖視示意圖； 圖16是該第五實施例的一局部剖視示意圖； 圖17是該第五實施例的一局部剖視示意圖； 圖18是該第五實施例的一局部剖視示意圖； 圖19是本新型轉移設備的第六實施例的一局部剖視示意圖； 圖20是該第六實施例的一局部剖視示意圖； 圖21是該第六實施例的一局部剖視示意圖； 圖22是本新型轉移設備的第七實施例的該黏著膜片的一仰視圖；及 圖23是該第七實施例的該載具的一俯視圖。

1:工件

200:轉移設備

2:承載裝置

21:黏著膜片

211:黏著面

212:頂面

22:移載機構

221:基座

222:移載夾具

3:施壓裝置

31:施壓件

311:倒圓角

32:運動機構

321:運動平台

4:剝離裝置

41:載具

410:頂面

411:凹槽

412:承載面

413:第一側面

42:移動機構

421:移動平台

53:壓力感測器

P1:第一間距

P2:第二間距

P3:第三間距

X:第一橫方向

Y:第二橫方向

Z:縱向

Claims (13)

1. 一種轉移設備，適於進行多個工件的轉移，該轉移設備包含： 一承載裝置，包括一黏著膜片，該黏著膜片具有一用以黏著該等工件的黏著面，及一相反於該黏著面的頂面； 一施壓裝置，位於該黏著膜片上方，用以下壓該頂面； 一剝離裝置，包括一位於該黏著膜片下方的載具，該載具形成有多個凹槽，各該凹槽用以供位置對齊的對應的該工件容置，在該施壓裝置下壓該頂面且各該凹槽容置對應的該工件的狀態下，該載具能夠移動以施力在容置於該等凹槽內的對應該等工件並將其剝離該黏著面；及 一控制裝置，用以控制該黏著膜片、該載具以及該施壓裝置之間的相對位置與位移。
2. 如請求項1所述的轉移設備，其中，該剝離裝置還包括一連接該載具的移動機構，該移動機構用以帶動該載具至少沿一第一橫方向移動。
3. 如請求項2所述的轉移設備，其中，該移動機構還用以帶動該載具沿一垂直於該第一橫方向的第二橫方向移動。
4. 如請求項2或3所述的轉移設備，其中，該承載裝置還包括一連接該黏著膜片的移載機構，該移載機構用以帶動該黏著膜片至少沿一縱向上下移動，該移動機構還用以帶動該載具沿該縱向上下移動。
5. 如請求項1所述的轉移設備，其中，該施壓裝置包括多個分別與該等工件位置相對應的施壓件，各該施壓件用以下壓在該頂面對齊於對應該工件的部位。
6. 如請求項1所述的轉移設備，其中，該等工件沿一橫方向相間隔排列，該施壓裝置包括一用以下壓該頂面的施壓件，及一連接該施壓件的運動機構，該運動機構用以帶動該施壓件至少沿該橫方向於該頂面上移動以依序施壓於該等工件並將該等工件擠壓入該等凹槽內。
7. 如請求項6所述的轉移設備，其中，該施壓件為一能夠繞一垂直於該横方向的軸線轉動的旋轉件，該運動機構還用以帶動該施壓件沿該橫方向移動過程中同時於該頂面上繞該軸線轉動。
8. 如請求項1、6或7所述的轉移設備，該載具還形成有多個分別連通該等凹槽的吸附孔，各該吸附孔用以吸附對應的該工件。
9. 如請求項1所述的轉移設備，其中，該載具具有多個分別位於該等凹槽一側的導引斜面，各該導引斜面用以供對應的該工件接觸，各該導引斜面允許對應的該工件於其上滑動。
10. 如請求項1所述的轉移設備，其中，該等工件中的兩個相鄰工件之間形成有一第一間距，該等凹槽與該等工件的佈設方式相同，該等凹槽中的兩個相鄰凹槽之間形成有一第二間距，該第二間距與該第一間距相同，該等凹槽分別與該等工件位置對齊且分別供該等工件容置。
11. 如請求項1所述的轉移設備，其中，該等工件中的兩個相鄰工件之間形成有一第一間距，該等凹槽與該等工件的佈設方式不同，該等凹槽中的兩個相鄰凹槽之間形成有一第二間距，該第二間距與該第一間距不同，各該凹槽能選擇性地與對應的該工件對位並供其容置。
12. 如請求項11所述的轉移設備，其中，該第二間距大於該第一間距，該第二間距是該第一間距的整數倍。
13. 如請求項11所述的轉移設備，其中，該等工件區分成佈設在該黏著膜片上的至少兩個不同的黏著區域，該等黏著區域內的該第一間距數值不同，該等凹槽區分成佈設在該載具上的至少兩個不同的佈設區域，該等佈設區域內的該第二間距數值不同，各該佈設區域內的該第二間距是對應的該黏著區域內的該第一間距的整數倍。

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