TWM597872U - 可拆式探針卡裝置 - Google Patents

Abstract

本創作為一種可拆式探針卡裝置，包括一訊號線之一端設有一訊號接頭，相對另一端則設有至少一訊號連接器。訊號線之訊號接頭上更可供至少一探針卡測頭安裝，探針卡測頭上設有至少一插頭，令探針卡測頭透過插頭卡接於訊號線之訊號接頭，以連接訊號線。本創作能根據使用者需求將訊號線與探針卡測頭快速分離，以進行探針卡測頭的更換，能大幅減省作業時間，同時能降低重複拆裝訊號線與測試機台，導致探針卡裝置損壞的問題。

Description

可拆式探針卡裝置

本創作係有關一種檢測裝置，特別是一種可任意更換探針卡測頭之可拆式探針卡裝置。

探針卡為一種連接待測晶圓與電子測試系統，以進行晶圓測試之裝置。探針卡在進行檢測時，探針卡的接點須與待測晶圓的焊盤或凸塊形成良好的電接觸，令電子測試系統能發出的訊號，能確實的傳遞至待測晶圓，以進行待測晶圓的測試。

一家半導體製造商內所產生的晶圓的種類有許多種，該些種類的晶圓皆應進行測試後才能一一分類封裝販售，因此每家半導體製造商應具有偵測不同種類晶圓的技術。

在進行晶圓檢測時，就需要針對不同種類的晶圓準備不同型號的探針卡。請參照第一圖所示，目前的探針卡50均採用一體式方式製作而成，也就是說每一副探針卡50都配有專屬的接頭52及接線54，為不可拆卸也無法更換。因此晶片測試者在測試不同種類的晶圓時，皆須對應更換不同型號的探針卡，在重複插拔接頭的狀態之下，易造成接頭損壞，導致線頭外漏，此時就可能有漏電等風險，恐造成職業傷害。

除此之外，探針卡生產端面臨到的問題是，探針卡都有專屬的接頭及接線，使得在探針卡生產過程中，增加了在每一個探針卡上逐一製造接頭及接線生產的工時，及製作接頭及接線等原物料的成本，相對的也提升了販售的價格。探針卡在客戶端面臨到的問題則是，在收納時所需空間較大，若將接線凹折收納，線組則容易產生彎折斷線的問題。

有鑑於此，本創作遂針對上述習知技術之缺失，提出一種可拆式探針卡裝置，以有效克服上述之該等問題。

本創作之主要目的在提供一種可拆式探針卡裝置，其透過特殊結構能快速拆裝，以根據使用者需求將訊號線與探針卡測頭快速分離，進行探針卡測頭的更換，能大幅減省作業時間，同時能降低重複拆裝訊號線與測試機台，導致探針卡裝置損壞，或使用者因拆裝不便而受傷的風險。

本創作之另一目的在提供一種可拆式探針卡裝置，其能減少重複製作訊號線，可有效降低製作成本，同時提升生產效益。

本創作之再一目的在提供一種可拆式探針卡裝置，其能減少重複製作訊號線，可有效縮小體積，減少收納空間，同時減少收納時因空間不足的需彎折訊號線收納，所形成斷線等問題，有效方便收納保存及管理。

為達上述之目的，本創作提供一種可拆式探針卡裝置，包括一訊號線一端設有一訊號接頭，相對另一端則設有至少一訊號連接器。至少一探針卡測頭上設有至少一插頭，探針卡測頭透過插頭卡接於訊號線之訊號接頭，以連接訊號線。

在本實施例中，訊號接頭為母接頭，探針卡測頭之插頭為公插頭。

在本實施例中，訊號接頭更包括一固定框，且固定框的兩側分別設有至少一插座，每一插座更分別上設有複數插槽，且複數插槽連接訊號線。

在本實施例中，至少一插頭可為二插頭，而探針卡測頭更包括有一基板，基板上具有一開口，令二插頭分別設置於基板上且位於開口兩側，且每一插頭上分別設有複數接點，以對應卡接於訊號接頭之二插座的複數插槽中。基板上且相對設置於插頭的另一側更設有複數探針，複數探針的一端分別穿設出基板，以分別連接開口兩側插頭的複數接點，複數探針另一端則向開口延伸。

在本實施例中，複數探針可為L形探針。

在本實施例中，複數接點可為導電細針。

在本實施例中，探針卡測頭可為兩點探針卡測頭或四點探針卡測頭。

在本實施例中，訊號線之訊號連接器係連接一測試機台。

在本實施例中，訊號接頭及探針卡測頭上更設有至少一鎖固元件，以將訊號接頭及探針卡測頭互相固定。

茲為對本創作之結構特徵及所達成之功效更有進一步之瞭解與認識，謹佐以較佳之實施例圖及配合詳細之說明，說明如後。

本創作之可拆式探針卡裝置具特殊結構設計，能將訊號線與探針卡測頭快速拆裝，進行不同形式之探針卡測頭的更換，可避免重複拆裝訊號線與測試機台，能大幅減省作業時間，同時能減少重複拆裝導致探針卡裝置損壞的問題。

為能更加瞭解如何達到上述之功效及本創作可拆式探針卡裝置的設計，在此詳述可拆式探針卡裝置之結構。首先請參照二圖，如圖所示，可拆式探針卡裝置1結構包括一訊號線10以及至少一探針卡測頭20。訊號線10的一端設有一訊號接頭12，相對設置訊號接頭12的另一端則設有至少一訊號連接器14，訊號連接器14可供連接一測試機台(圖中未示)，以接收測試機台之訊號。

探針卡測頭20上設有至少一插頭22，在本實施例中訊號接頭12為母接頭，探針卡測頭20之插頭22為公插頭，亦可互換，因此探針卡測頭20可透過插頭22卡接於訊號線10之訊號接頭12，以與訊號線10連接。在本實施例中，探針卡測頭20可為複數個，且每一個探針卡測頭20為不同型號的卡接頭，如一般的兩點探針卡測頭20，或者四點探針卡測頭20’。在本實施例中，係將兩點探針卡測頭20卡接於訊號接頭12，當使用者欲更換成四點探針卡測頭20’時，僅需將探針卡測頭20由訊號線10的訊號接頭12拔出，即能更換安裝另一四點探針卡測頭20’至訊號接頭12上，令探針卡測頭20’連接訊號線10。

接著請持續參照第二圖與第三圖，以詳細說明本實施例訊號線10之訊號接頭12以及探針卡測頭20之結構。首先說明訊號接頭12之結構，訊號接頭12包括一固定框122，固定框122兩側分別設有至少一插座124，每一插座124分別上設有複數插槽126，且複數插槽126連接訊號線10。

接著請請配合參照第二圖、第三圖以及第四圖，以詳細說明探針卡測頭20之結構，探針卡測頭20包括一基板24上具有一開口242，在本實施例中，探針卡測頭20包括兩個插頭22，二插頭22分別設置於基板24上且位於開口242兩側，每一插頭22上分別設有複數接點222，接點222可為導電細針，以對應卡接於訊號接頭12之插座124的複數插槽126中。在本實施例中，訊號接頭12及探針卡測頭20靠近四個角的位置上更可分別設置鎖固元件30，也就是將鎖固元件30穿設固定在訊號接頭12固定框122以及探針卡測頭20基板24的位置，以將訊號接頭12及探針卡測頭20互相固定。

基板24上且相對於設置插頭22的另一側則設有複數探針26，每一探針26的一端穿設基板24，以分別連接開口242兩側插頭22上的複數接點222；探針26另一端則向前延伸至開口242，在本實施例中探針26可為L形探針，以與待側晶片電連接，以對待測晶片進行檢測。探針卡測頭20’之結構與探針卡測頭20之差異僅在於探針26的排列方式不同，探針卡測頭20探針26的設置方式係並排間隔設置，探針卡測頭20’探針26的設置方式係倆倆靠近的方式設置，探針卡測頭20’其餘結構接與探針卡測頭20相同，故不重覆贅述。

透過上述結構能令使用者任意插拔探針卡測頭20至訊號線10的訊號接頭12。當拔探針卡測頭20之插頭22的接點222，插入訊號接頭12插座124上的插槽126時，探針卡測頭20探針26即可與訊號線10連接，當訊號線10的訊號連接器14與檢測機台(圖中未示)連接時，探針卡測頭20即可透過探針26對待測晶片進行檢測。當更換不同形式的測試晶片時，使用者僅直接將探針卡測頭20由訊號線10的訊號接頭12拔除，並將另一型號的探針卡測頭20’直接裝設在訊號接頭12上，即可進行另一種晶片檢測。

綜上所述，本創作透過特殊結構能快速拆裝，以根據使用者需求將訊號線與探針卡測頭快速分離，進行探針卡測頭的更換，能大幅減省作業時間，同時能降低重複拆裝訊號線與測試機台，導致探針卡裝置損壞的問題，或使用者因拆裝不便而受傷的風險。且本創作能減少重複製作訊號線，可有效降低製作成本，同時提升生產效益，同時可有效縮小體積，同時減少收納時因空間不足的需彎折訊號線收納，所形成斷線等問題，有效方便收納保存及管理。

唯以上所述者，僅為本創作之較佳實施例而已，並非用來限定本創作實施之範圍。故即凡依本創作申請範圍所述之特徵及精神所為之均等變化或修飾，均應包括於本創作之申請專利範圍內。

1:可拆式探針卡裝置 10:訊號線 12:訊號接頭 122:固定框 124:插座 126:插槽 14:訊號連接器 20:探針卡測頭 22:插頭 222:接點 24:基板 242:開口 26:探針 20’:探針卡測頭 30:鎖固元件 50:探針卡 52:接頭 54:接線

第一圖係為習知探針卡立體示意圖。 第二圖係為本創作之立體示意圖。 第三圖係為本創作之元件分解圖。 第四圖係為本創作之探針卡測頭仰視圖。

1:可拆式探針卡裝置

10:訊號線

12;訊號接頭

14:訊號連接器

20:探針卡測頭

22:插頭

24:基板

242:開口

26:探針

20’:探針卡測頭

30:鎖固元件

Claims (10)

1. 一種可拆式探針卡裝置，包括： 一訊號線，其一端設有一訊號接頭，相對該另一端則設有至少一訊號連接器；以及 至少一探針卡測頭，其上設有至少一插頭，該探針卡測頭透過該插頭卡接於該訊號線之該訊號接頭，以連接該訊號線。
2. 如請求項1所述之可拆式探針卡裝置，其中該訊號接頭為母接頭；該探針卡測頭之該插頭為公插頭。
3. 如請求項1所述之可拆式探針卡裝置，其中該訊號接頭更包括一固定框，該固定框兩側分別設有至少一插座，每一該插座分別上設有複數插槽，且該等插槽連接該訊號線。
4. 如請求項3所述之可拆式探針卡裝置，其中該至少一插頭可為二插頭，該探針卡測頭更包括： 一基板，其上具有一開口，二該插頭分別設置於該基板上且位於該開口兩側，每一該插頭上分別設有複數接點，以對應卡接於該訊號接頭之二該插座的該等插槽中；及 複數探針，設置於該基板上且相對於設置該插頭另一側，該等探針一端分別穿設該基板，以分別連接該開口兩側該插頭的該等接點，該等探針另一端則向該開口延伸。
5. 如請求項4所述之可拆式探針卡裝置，其中該等探針可為L形探針。
6. 如請求項4所述之可拆式探針卡裝置，其中該等接點可為導電細針。
7. 如請求項1所述之可拆式探針卡裝置，其中該探針卡測頭可為兩點探針卡測頭。
8. 如請求項1所述之可拆式探針卡裝置，其中該探針卡測頭可為四點探針卡測頭。
9. 如請求項1所述之可拆式探針卡裝置，其中該訊號線之該訊號連接器係連接一測試機台。
10. 如請求項1所述之可拆式探針卡裝置，其中該訊號接頭及該探針卡測頭上更設有至少一鎖固元件，以將該訊號接頭及該探針卡測頭互相固定。

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