TWM582748U - Processing fluid pressurized spray device for wet process equipment - Google Patents

Abstract

本新型係有關一種濕製程設備之加工液增壓噴灑裝置，其包括有：一噴灑盤，將複數支噴液管安裝於一框架內，各該噴液管各安裝有複數個增壓器；一供液主管，連接複數支供液支管，各該供液支管連接各該噴液管，該供液主管頭端位於濕製程設備之加工液儲槽內，該供液主管尾端為封閉狀，該供液主管設有供液泵；各該增壓器將一內管體頭部結合於該噴液管，該內管體之底部為封閉倒錐狀，該內管體外周緣結合一外環體，該外環體之內部相對該內管體之底部設為頸縮狀，而於該外環體包含頸縮處之中段部內周緣與該內管體之下半部外周緣之間留設有增壓通道，該內管體之底部相對該增壓通道設有數個噴流口；以及複數個噴嘴，結合於各該增壓器之外環體底部。藉此，用以解決先前技術必須額外設置壓縮空氣輸送管線與耗費壓縮空氣致使加工液粒徑微小化之問題，而無需耗費壓縮空氣即可使加工液和空氣混合成粒徑微小化之加工噴液。

Description

濕製程設備之加工液增壓噴灑裝置

本新型係有關一種濕製程設備之加工液增壓噴灑裝置，尤指一種設置增壓器使噴出的加工液產生三倍大的噴射壓力，而形成極大的中空負壓大量吸引外部空氣而與加工液自然混合成粒徑微小化加工液，並具有節能效率之設計者。

按，濕製程設備係為對印刷電路板(軟板丶單面板、雙面板及多層板等)、液晶顯示玻璃板、銘板或不鏽鋼導線板等(簡稱基板)利用噴灑化學加工液進行加工的設備：諸如利用加工液噴灑裝置噴灑蝕刻液對印刷電路板上未設有保護層的銅箔部位進行蝕刻加工，使基板上的銅箔或金屬導電呈現出電路的圖樣，或是用於噴灑顯影液進行顯影加工；然而，濕製程設備之加工液噴灑裝置，廣泛使用單流體噴嘴對基板噴射加工液，而單流體噴嘴噴射出的加工液因粒徑大，會有加工品質的精細度受限的問題，故有使用二流體噴嘴混合噴射出加工液與壓縮空氣，可使加工液粒徑微小化，提升加工品質的精細度，但二流體噴嘴另有額外設置壓縮空氣輸送管線與耗費壓縮空氣的問題。

本新型之主要目的，係欲解決先前技術必須額外設置壓縮空氣輸送管線與耗費壓縮空氣致使加工液粒徑微小化之問題，而具有無需耗費壓縮空氣即可使加工液粒徑微小化之功效。

本新型之另一目的，則具有加工液噴灑均勻之功效。

本新型之又一目的，乃具有避免加工液噴灑死角之功效。

本新型之再一目的，遂具有節能之功效。

為達上述功效，本新型之結構特徵，係包括有：一噴灑盤，將複數支噴液管安裝於一框架內，各該噴液管各安裝有複數個增壓器；一供液主管，連接複數支供液支管，各該供液支管連接各該噴液管，該供液主管頭端位於濕製程設備之加工液儲槽內，該供液主管尾端為封閉狀，該供液主管設有供液泵；各該增壓器將一內管體頭部結合於該噴液管，該內管體之底部為封閉倒錐狀，該內管體外周緣結合一外環體，該外環體之內部相對該內管體之底部設為頸縮狀，而於該外環體包含頸縮處之中段部內周緣與該內管體之下半部外周緣之間留設有增壓通道，該內管體之底部相對該增壓通道設有數個噴流口；以及複數個噴嘴，結合於各該增壓器之外環體底部。

此外，該增壓通道之寬度為0.6～2.0mm；各該噴液管之間平行且相對該框架為傾斜狀；各該噴嘴相對被加工基板輸送軸向之橫向間距相等且橫向座標皆不同；該框架進一步與一搖擺單元結合；該內管體之底部相對該增壓通道設有三～六個噴流口，該噴灑盤將六～九支噴液管安裝於該框架內，該供液主管連接六～九支供液支管；該內管體頭部螺合於該噴液管，該外環體緊配合於該內管體外周緣，該噴嘴緊配合於該外環體之底部；該噴灑盤成對相向或/及連續設置。

藉此，利用供液泵自加工液儲槽內抽吸加工液，加工液經由供液主管、供液支管來到與噴液管內，加工液接著通過增壓器之內管體，而由噴流口噴向增壓通道，加工液在噴出增壓通道時會在外環體底部形成極大的負壓，大量吸引外部的空氣而與加工液混合，致使噴嘴噴出的加工液粒徑得以自然微小化。

首先，請參閱〔圖1〕～〔圖3〕所示，本新型係包括有：一噴灑盤10，將複數支(六～九支)噴液管11安裝於一框架12內，各該噴液管11各安裝有複數個增壓器30，各該噴液管11之間平行但相對該框架12為傾斜狀，該框架12進一步與一搖擺單元13結合；一供液主管20，連接複數支(六～九支)供液支管21，各該供液支管21連接各該噴液管11，該供液主管20頭端位於濕製程設備之加工液儲槽內，該供液主管20尾端為封閉狀，該供液主管20設有供液泵22；各該增壓器30將一內管體31頭部結合(螺合)於該噴液管11，該內管體31之底部為封閉倒錐狀，該內管體31外周緣結合(緊配合)一外環體32，該外環體32之內部相對該內管體31之底部設為頸縮狀，而於該外環體32包含頸縮處之中段部內周緣與該內管體31之下半部外周緣之間留設有增壓通道33，該增壓通道33之寬度為0.6～2.0mm，該內管體31之底部相對該增壓通道33設有數個(三～六個)噴流口311；以及複數個噴嘴40，結合(緊配合)於各該增壓器30之外環體32底部；再者，該噴灑盤10可成對相向設置而同時對基板雙面噴灑加工液，該噴灑盤10亦可連續設置而滿足較長的加工時程。

基於如是之構成，本新型藉供液泵22自加工液儲槽內抽吸加工液，加工液經由供液主管20、供液支管21來到與噴液管11內，加工液接著通過增壓器30之內管體31，而由噴流口311噴向增壓通道33，加工液在噴出增壓通道33時會在外環體32底部形成極大的負壓，致使噴嘴40大量吸引外部的空氣而與加工液混合；是以，本新型設置的增壓器30可使噴出的加工液產生約三倍大的噴射壓力，遂可在噴嘴40之入口處形成極大的中空負壓，進而大量吸引外部空氣而與加工液自然混合成粒徑微小化的加工液，而具有無需耗費壓縮空氣即可使加工液粒徑更加微小化之功效。

又，請再參閱〔圖4〕所示，除了各該噴液管11之間平行且相對該框架12為傾斜狀之外，同時令各該噴嘴40相對被加工基板輸送軸向(圖示之X軸向)之橫向(圖示之Y軸向)間距d皆相等且橫向座標皆不同，致使各該噴嘴40相對被加工基板之橫向等距均佈，將可讓加工液均勻地噴灑於被加工基板的每一處，具有加工液噴灑均勻之功效：另者，該框架12與該搖擺單元13結合，可持續改變各該噴嘴40的噴灑角度，具有避免加工液噴灑死角之功效：另外，可視加工液粒徑微小化的使用需求而選用較小馬力的供液泵22，進而達到節能之功效。

綜上所述，本新型所揭示之構造，為昔所無，且確能達到功效之增進，並具可供產業利用性，完全符合新型專利要件，祈請 鈞局核賜專利，以勵創新，無任德感。

惟，上述所揭露之圖式、說明，僅為本新型之較佳實施例，大凡熟悉此項技藝人士，依本案精神範疇所作之修飾或等效變化，仍應包括在本案申請專利範圍內。

10‧‧‧噴灑盤 11‧‧‧噴液管 12‧‧‧框架 13‧‧‧搖擺單元 20‧‧‧供液主管 21‧‧‧供液支管 22‧‧‧供液泵 30‧‧‧增壓器 31‧‧‧內管體 311‧‧‧噴流口 32‧‧‧外環體 33‧‧‧增壓通道 40‧‧‧噴嘴

〔圖1〕係本新型之整體結構立體圖。 〔圖2〕係本新型之部分結構立體圖。 〔圖3〕係本新型之噴液管及增壓器結構剖示圖。 〔圖4〕係本新型之噴嘴等間距設置之示意圖。

Claims (8)

1. 一種濕製程設備之加工液增壓噴灑裝置，係包括有： 一噴灑盤，將複數支噴液管安裝於一框架內，各該噴液管各安裝有複數個增壓器； 一供液主管，連接複數支供液支管，各該供液支管連接各該噴液管，該供液主管頭端位於濕製程設備之加工液儲槽內，該供液主管尾端為封閉狀，該供液主管設有供液泵； 各該增壓器將一內管體頭部結合於該噴液管，該內管體之底部為封閉倒錐狀，該內管體外周緣結合一外環體，該外環體之內部相對該內管體之底部設為頸縮狀，而於該外環體包含頸縮處之中段部內周緣與該內管體之下半部外周緣之間留設有增壓通道，該內管體之底部相對該增壓通道設有數個噴流口；以及 複數個噴嘴，結合於各該增壓器之外環體底部。
2. 如申請專利範圍第1項所述之濕製程設備之加工液增壓噴灑裝置，其中，該增壓通道之寬度為0.6～2,0mm。
3. 如申請專利範圍第1或2項所述之濕製程設備之加工液增壓噴灑裝置，其中，各該噴液管之間平行且相對該框架為傾斜狀。
4. 如申請專利範圍第3項所述之濕製程設備之加工液增壓噴灑裝置，其中，各該噴嘴相對被加工基板輸送軸向之橫向間距相等且橫向座標皆不同。
5. 如申請專利範圍第4項所述之濕製程設備之加工液增壓噴灑裝置，其中，該框架進一步與一搖擺單元結合。
6. 如申請專利範圍第5項所述之濕製程設備之加工液增壓噴灑裝置，其中，該內管體之底部相對該增壓通道設有三～六個噴流口，該噴灑盤將六～九支噴液管安裝於該框架內，該供液主管連接六～九支供液支管。
7. 如申請專利範圍第5項所述之濕製程設備之加工液增壓噴灑裝置，其中，該內管體頭部螺合於該噴液管，該外環體緊配合於該內管體外周緣，該噴嘴緊配合於該外環體之底部。
8. 如申請專利範圍第5項所述之濕製程設備之加工液增壓噴灑裝置，其中，該噴灑盤成對相向或/及連續設置。