CN210781579U - 湿制程设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种湿制程设备，在机架设置有：一基板输送装置、一加工液增压吸引装置以及一加工液增压喷洒装置，利用加工液增压吸引装置的第一供液泵抽吸加工液，加工液通过第一增压器的第一内管体，而由第一喷流口喷向第一增压通道，加工液在喷出第一增压通道时会在吸液口形成极大的负压，致使吸液管通过底面的复数个吸嘴快速吸引喷附在基板顶面的加工液，利用加工液增压喷洒装置的第二供液泵抽吸加工液，加工液通过第二增压器的第二内管体，而由第二喷流口喷向第二增压通道，加工液在喷出第二增压通道时会在第二外环体底部形成极大的负压，大量吸引外部的空气而与加工液混合，致使喷嘴喷出的加工液粒径得以自然微小化。

Description

湿制程设备

技术领域

本实用新型涉及一种湿制程设备，尤指一种设置第一增压器使加工液产生三倍大的喷射压力，而形成极大的负压快速吸引喷附在基板顶面加工液，且设置第二增压器使加工液产生三倍大的喷射压力，而形成极大的中空负压大量吸引外部空气而与加工液自然混合成粒径微小化加工液的设计。

背景技术

湿制程设备是对印刷电路板(软板、单面板、双面板及多层板等)、液晶显示玻璃板、铭板或不锈钢导线板等(简称基板)利用喷洒化学加工液进行加工的设备，诸如利用加工液喷洒装置喷洒蚀刻液对印刷电路板上未设有保护层的铜箔部位进行蚀刻加工，使该基板上的铜箔或金属导电呈现出电路的图样，或是用于喷洒显影液进行显影加工；其中，若湿制程设备的基板输送装置为水平式，则还需在基板输送装置的上方配设有加工液吸引装置，用以将喷附于基板顶面的旧加工液吸引去除，俾让基板顶面能够持续接触到新喷洒出来的加工(蚀刻、显影)液，维持加工板面不积水液可更均匀地增进加工(蚀刻、显影)品质。

中国台湾专利TWI539876B(CN103046049B)揭示一种蚀刻方法及蚀刻装置，其加工(蚀刻)液吸引装置设置有覆盖基板全宽的复数支吸引管，各吸引管的下面形成复数个开缝状吸引喷嘴，各吸引管通过吸引管路而被连接在设于循环管路的途中的射出器的吸引口，循环管路两端与蚀刻液储槽相连通，在循环管路途中设有循环泵，而由循环泵汲出蚀刻液储槽内的蚀刻液，形成为以射出器施加压力的状态，而再次送回至蚀刻液储槽，蚀刻液在通过射出器时会让将射出器的吸引口形成为负压，因此被喷附在基板顶面的蚀刻液由吸引喷嘴通过吸引管路而被吸引至蚀刻液储槽。

然而，前揭专利案的加工(蚀刻)液吸引装置，其射出器仅是单纯的施加压力致使射出器的吸引口形成为负压，射出器所产生的负压吸引力有限，致使对蚀刻液的吸引效果并不高；再者，由于前揭专利案的加工(蚀刻)液吸引装置，其连接在射出器吸引口与各吸引管的吸引管路具有一段扬程，对于蚀刻液的吸引效果会予以减损：此外，湿制程设备的加工液喷洒装置，广泛使用单流体喷嘴对基板喷射加工液，而单流体喷嘴喷射出的加工液因粒径大，会有加工品质的精细度受限的问题，故有使用二流体喷嘴混合喷射出加工液与压缩空气，可使加工液粒径微小化，提升加工品质的精细度，但二流体喷嘴另有额外设置压缩空气输送管线与耗费压缩空气的问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的，系欲解决背景技术对于加工液吸引效果不佳的问题，而具有提升加工液吸引效果的功效。

本实用新型的另一目的，则欲解决背景技术必须额外设置压缩空气输送管线与耗费压缩空气致使加工液粒径微小化的问题，而具有无需耗费压缩空气即可使加工液粒径微小化的功效。

本实用新型的又一目的，乃具有加工液喷洒均匀且避免加工液喷洒死角的功效。

本实用新型的再一目的，遂具有节能的功效。

为达上述功效，本实用新型的结构特征，是在机架设置包括有：一基板输送装置：一加工液增压吸引装置，将复数支吸液管与复数支注液管跨设于该基板输送装置上方，致使该吸液管贴近该基板输送装置所输送的被加工基板，该吸液管底面设有复数个吸嘴，而该注液管跨设于该吸液管上方：并将复数对吸引筒设置于各该吸液管与各该注液管两端，各该吸引筒具有一纵向通道、一注液口与一吸液口，该纵向通道顶端为封闭状，该注液口横向接通该纵向通道且与该注液管结合，该吸液口横向接通该纵向通道且与该吸液管结合，并将复数对第一增压器设置于各对吸引筒内部，各该第一增压器将一第一外环体设置于该纵向通道内，该第一外环体的顶缘低于该注液口的底缘，该第一外环体的底缘高于吸液口的底缘，该第一外环体的底部设为缩口状，该第一外环体的内部设置一第一内管体，该第一内管体的底部相对该第一外环体的底部设为封闭倒锥状，而于该第一外环体的下半部内周缘与该第一内管体的下半部外周缘之间留设有第一增压通道，该第一内管体的底部相对该第一增压通道设有数个第一喷流口；并将复数支第一供液支管连接各该注液管，各该第一供液支管连接至一第一供液主管，该第一供液主管头端位于湿制程设备的加工液储槽内，该第一供液主管尾端为封闭状，该第一供液主管设有第一供液泵：以及一加工液增压喷洒装置，将至少一喷洒盘设置于该加工液增压吸引装置上方，该喷洒盘将复数支喷液管安装于一框架内，各该喷液管各安装有复数个第二增压器；各该第二增压器将一第二内管体头部结合于该喷液管，该第二内管体的底部为封闭倒锥状，该第二内管体外周缘结合一第二外环体，该第二外环体的内部相对该第二内管体的底部设为颈缩状，而于该第二外环体包含颈缩处的中段部内周缘与该第二内管体的下半部外周缘之间留设有第二增压通道，该第二内管体的底部相对该第二增压通道设有数个第二喷流口，且将复数个喷嘴结合于各该第二增压器的第二外环体底部；并将复数支第二供液支管连接各该喷液管，各该第二供液支管连接至一第二供液主管，该第二供液主管头端位于湿制程设备的加工液储槽内，该第二供液主管尾端为封闭状，该第二供液主管设有第二供液泵。

此外，该第一增压通道的宽度为0.6～2.0mm，该第二增压通道的宽度为0.6～2.0mm：各该喷液管之间平行但相对该框架为倾斜状：各该喷嘴相对被加工基板输送轴向的横向间距相等且横向坐标都不同：该框架进一步与一摇摆单元结合：该喷洒盘成对相向和/或连续设置：该纵向通道顶端设置一封塞成为封闭状，该纵向通道底端进一步设置一排液管，该第一内管体的底部相对该第一增压通道设有三～六个第一喷流口，该吸引筒具有六～二十六对而与该吸液管构成一吸引面：该喷洒盘安装六～九支喷液管，该第二供液主管连接六～九支第二供液支管，该第二内管体的底部相对该第二增压通道设有三～六个第二喷流口：第二内管体头部螺合于该喷液管，该第二外环体紧配合于该第二内管体外周缘，该喷嘴紧配合于该第二外环体的底部，该基板输送装置由设置于同一水平面的复数个滚轮所组成。

如此，利用第一供液泵自加工液储槽内抽吸加工液，加工液经由第一供液主管、第一供液支管与注液管来到吸引筒的纵向通道，加工液接着通过第一增压器的第一内管体，而由第一喷流口喷向第一增压通道，加工液在喷出第一增压通道时会在吸液口形成极大的负压，致使吸液管通过底面的复数个吸嘴快速吸引喷附在基板顶面吸引(蚀刻、显影)的加工液：而且，利用第二供液泵自加工液储槽内抽吸加工液，加工液经由第二供液主管、第二供液支管来到与喷液管内，加工液接着通过第二增压器的第二内管体，而由第二喷流口喷向第二增压通道，加工液在喷出第二增压通道时会在第二外环体底部形成极大的负压，大量吸引外部的空气而与加工液混合，致使喷嘴喷出的加工液粒径得以自然微小化。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构立体图。

图2是本实用新型的加工液增压吸引装置整体结构立体图。

图3是本实用新型的加工液增压吸引装置部分结构立体图。

图4是本实用新型的加工液增压吸引装置增压结构剖示图。

图5是本实用新型的加工液增压喷洒装置整体结构立体图。

图6是本实用新型的加工液增压喷洒装置部分结构立体图。

图7是本实用新型的加工液增压喷洒装置增压结构剖示图。

图8是本实用新型的加工液增压喷洒装置喷嘴等间距设置的示意图。

附图标记说明：10基板输送装置；20加工液增压吸引装置；21吸液管；22注液管；23吸引筒；231纵向通道；232注液口；233吸液口；234封塞；235排液管；24第一增压器；241第一外环体；242第一内管体；243第一增压通道；244第一喷流口；25第一供液主管；251第一供液支管；252第一供液泵；30加工液增压喷洒装置；31喷洒盘；311喷液管；312框架；313摇摆单元；32第二增压器；321第二内管体；322第二外环体；323第二增压通道；324第二喷流口；325喷嘴；33第二供液主管；331第二供液支管；332第二供液泵；40机架。

具体实施方式

首先，请参阅图1所示，本实用新型是在机架40设置包括有：一基板输送装置10，由设置于同一水平面的复数个滚轮所组成：一加工液增压吸引装置20以及一加工液增压喷洒装置30。

接着，请参阅图2～图4所示，该加工液增压吸引装置20将复数支吸液管21与复数支注液管22跨设于该基板输送装置10上方，致使该吸液管21贴近该基板输送装置10所输送的被加工基板，该吸液管21底面设有复数个吸嘴，而该注液管22跨设于该吸液管21上方：并将复数对吸引筒23设置于各该吸液管21与各该注液管22两端，各该吸引筒23具有一纵向通道231、一注液口232与一吸液口233，该纵向通道231顶端设置一封塞234成为封闭状，该注液口232横向接通该纵向通道231且与该注液管22结合，该吸液口233横向接通该纵向通道231且与该吸液管21结合，该纵向通道231底端进一步设置一排液管235；并将复数对第一增压器24设置于各对吸引筒23内部，各该第一增压器24将一第一外环体241设置于该纵向通道231内，该第一外环体241的顶缘低于该注液口232的底缘，该第一外环体241的底缘高于吸液口233的底缘，该第一外环体241的底部设为缩口状，该第一外环体241的内部设置一第一内管体242，该第一内管体242的底部相对该第一外环体241的底部设为封闭倒锥状，而于该第一外环体241的下半部内周缘与该第一内管体242的下半部外周缘之间留设有第一增压通道243，该第一增压通道243的宽度为0.6～2.0mm，该第一内管体242的底部相对该第一增压通道243设有数个(三～六个)第一喷流口244；并将复数支第一供液支管251连接各该注液管22，各该第一供液支管251连接至一第一供液主管25，该第一供液主管25头端位于湿制程设备的加工液储槽内，该第一供液主管25尾端为封闭状，该第一供液主管25设有第一供液泵252。

然后，请参阅图5～图7所示，该加工液增压喷洒装置30将至少一喷洒盘31设置于该加工液增压吸引装置20上方，该喷洒盘31将复数支(六～九支)喷液管311安装于一框架312内，各该喷液管311各安装有复数个第二增压器32，各该喷液管311之间平行但相对该框架312为倾斜状，该框架312进一步与一摇摆单元313结合；各该第二增压器32将一第二内管体321头部结合(螺合)于该喷液管311，该第二内管体321的底部为封闭倒锥状，该第二内管体321外周缘结合(紧配合)一第二外环体322，该第二外环体322的内部相对该第二内管体321的底部设为颈缩状，而于该第二外环体322包含颈缩处的中段部内周缘与该第二内管体321的下半部外周缘之间留设有第二增压通道323，该第二增压通道323的宽度为0.6～2.0mm，该第二内管体321的底部相对该第二增压通道323设有数个(三～六个)第二喷流口324，且将复数个喷嘴325结合(紧配合)于各该第二增压器32的第二外环体322底部；并将复数支(六～九支)第二供液支管331连接各该喷液管311，各该第二供液支管331连接至一第二供液主管33，该第二供液主管33头端位于湿制程设备的加工液储槽内，该第二供液主管33尾端为封闭状，该第二供液主管33设有第二供液泵332；再者，该喷洒盘31可成对相向设置而同时对基板双面喷洒加工液，该喷洒盘31也可连续设置而满足较长的加工时程。

又，请再参阅〔图8所示，除了各该喷液管311之间平行且相对该框架312为倾斜状之外，同时令各该喷嘴325相对被加工基板输送轴向(图示的X轴向)的横向(图示的Y轴向)间距d都相等且横向坐标都不同，致使各该喷嘴325相对被加工基板的横向等距均布，将可让加工液均匀地喷洒于被加工基板的每一处，具有加工液喷洒均匀的功效。

基于如是的构成，本实用新型的加工液增压吸引装置20令吸引筒23具有六～二十六对而与吸液管21构成一吸引面，而凭借第一供液泵252自加工液储槽内抽吸加工液，加工液经由第一供液主管25、第一供液支管251与注液管22来到吸引筒23的纵向通道231，加工液接着通过第一增压器24的第一内管体242，而由第一喷流口244喷向第一增压通道243，加工液在喷出第一增压通道243时会在吸液口233形成极大的负压，致使吸液管21通过底面的复数个吸嘴快速吸引喷附在基板顶面的加工液，吸引过来的加工液与第一增压通道243喷出的加工液利用排液管235回到加工液储槽内；是以，本新型于吸引筒23内设置的第一增压器24可使喷出的加工液产生约三倍大的喷射压力，遂可在吸液口233形成极大的负压快速吸引喷附在基板顶面的加工液，而具有提升加工液吸引效果的功效：另外，可视吸引力的使用需求而选用较小马力的第一供液泵252，进而达到节能的功效。

此外，本实用新型的加工液增压喷洒装置30凭借第二供液泵332自加工液储槽内抽吸加工液，加工液经由第二供液主管33、第二供液支管331来到喷液管311内，加工液接着通过第二增压器32的第二内管体321，而由第二喷流口324喷向第二增压通道323，加工液在喷出第二增压通道323时会在第二外环体322底部形成极大的负压，致使喷嘴325大量吸引外部的空气而与加工液混合；是以，第二增压器30可使喷出的加工液产生约三倍大的喷射压力，遂可在喷嘴325的入口处形成极大的中空负压，进而大量吸引外部空气而与加工液自然混合成粒径微小化的加工液，而具有无需耗费压缩空气即可使加工液粒径更加微小化的功效：另者，框架312与摇摆单元313结合，可持续改变各喷嘴325的喷洒角度，具有避免加工液喷洒死角的功效：另外，可视加工液粒径微小化的使用需求而选用较小马力的第二供液泵332，进而达到节能的功效。

以上说明对本实用新型而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种湿制程设备，其特征在于，在机架设置有：

一基板输送装置：

一加工液增压吸引装置，将复数支吸液管与复数支注液管跨设于该基板输送装置上方，致使该吸液管贴近该基板输送装置所输送的被加工基板，该吸液管底面设有复数个吸嘴，而该注液管跨设于该吸液管上方；并将复数对吸引筒设置于各该吸液管与各该注液管两端，各该吸引筒具有一纵向通道、一注液口与一吸液口，该纵向通道顶端为封闭状，该注液口横向接通该纵向通道且与该注液管结合，该吸液口横向接通该纵向通道且与该吸液管结合，并将复数对第一增压器设置于各对吸引筒内部，各该第一增压器将一第一外环体设置于该纵向通道内，该第一外环体的顶缘低于该注液口的底缘，该第一外环体的底缘高于吸液口的底缘，该第一外环体的底部设为缩口状，该第一外环体的内部设置一第一内管体，该第一内管体的底部相对该第一外环体的底部设为封闭倒锥状，而在该第一外环体的下半部内周缘与该第一内管体的下半部外周缘之间留设有第一增压通道，该第一内管体的底部相对该第一增压通道设有数个第一喷流口；并将复数支第一供液支管连接各该注液管，各该第一供液支管连接至一第一供液主管，该第一供液主管头端位于湿制程设备的加工液储槽内，该第一供液主管尾端为封闭状，该第一供液主管设有第一供液泵：以及

一加工液增压喷洒装置，将至少一喷洒盘设置于该加工液增压吸引装置上方，该喷洒盘将复数支喷液管安装于一框架内，各该喷液管各安装有复数个第二增压器；各该第二增压器将一第二内管体头部结合于该喷液管，该第二内管体的底部为封闭倒锥状，该第二内管体外周缘结合一第二外环体，该第二外环体的内部相对该第二内管体的底部设为颈缩状，而在该第二外环体包含颈缩处的中段部内周缘与该第二内管体的下半部外周缘之间留设有第二增压通道，该第二内管体的底部相对该第二增压通道设有数个第二喷流口，且将复数个喷嘴结合于各该第二增压器的第二外环体底部；并将复数支第二供液支管连接各该喷液管，各该第二供液支管连接至一第二供液主管，该第二供液主管头端位于湿制程设备的加工液储槽内，该第二供液主管尾端为封闭状，该第二供液主管设有第二供液泵。

2.根据权利要求1所述的湿制程设备，其特征在于，该第一增压通道的宽度为0.6～2.0mm，该第二增压通道的宽度为0.6～2.0mm。

3.根据权利要求1或2所述的湿制程设备，其特征在于，各该喷液管之间平行但相对该框架为倾斜状。

4.根据权利要求3所述的湿制程设备，其特征在于，各该喷嘴相对被加工基板输送轴向的横向间距相等且横向坐标都不同。

5.根据权利要求4所述的湿制程设备，其特征在于，该框架与一摇摆单元结合。

6.根据权利要求5所述的湿制程设备，其特征在于，该喷洒盘成对相向和/或连续设置。

7.根据权利要求6所述的湿制程设备，其特征在于，该纵向通道顶端设置一封塞成为封闭状，该纵向通道底端设置一排液管，该第一内管体的底部相对该第一增压通道设有三～六个第一喷流口，该吸引筒具有六～二十六对而与该吸液管构成一吸引面。

8.根据权利要求6所述的湿制程设备，其特征在于，该喷洒盘安装六～九支喷液管，该第二供液主管连接六～九支第二供液支管，该第二内管体的底部相对该第二增压通道设有三～六个第二喷流口。

9.根据权利要求6所述的湿制程设备，其特征在于，第二内管体头部螺合于该喷液管，该第二外环体紧配合于该第二内管体外周缘，该喷嘴紧配合于该第二外环体的底部。

10.根据权利要求6所述的湿制程设备，其特征在于，该基板输送装置由设置于同一水平面的复数个滚轮所组成。

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