TWM582747U - Processing fluid pressurization suction device for wet process equipment - Google Patents

Abstract

本新型係有關一種濕製程設備之加工液增壓吸引裝置，其包括有：至少一對吸引筒，各該吸引筒具有一縱向通道、一注液口與一吸液口；至少一對增壓器，各該增壓器將一外環體設置於該縱向通道內，該外環體之頂緣低於該注液口之底緣，該外環體之底緣高於吸液口之底緣，該外環體之底部設為縮口狀，該外環體之內部設置一內管體，而於該外環體之下半部內周緣與該內管體之下半部外周緣之間留設有增壓通道，該內管體之底部設為封閉狀，該內管體之底部相對該增壓通道設有數個噴流口；至少一注液管，兩端與該對吸引筒之注液口連接；至少一吸液管，兩端與該對吸引筒之吸液口連接，該吸液管底面設有複數個吸嘴；以及一供液主管，連接至少一供液支管，各該供液支管連接該注液管，該供液主管設有供液泵。藉此，用以解決先前技術對於加工液吸引效果不佳之問題，而具有提升加工液吸引效果或/及節能之功效。

Description

濕製程設備之加工液增壓吸引裝置

本新型係有關一種濕製程設備之加工液增壓吸引裝置，尤指一種設置增壓器使加工液產生三倍大的噴射壓力，而形成極大的負壓快速吸引噴附在基板頂面加工液之設計者。

按，濕製程設備係為對印刷電路板(軟板丶單面板、雙面板及多層板等)、液晶顯示玻璃板、銘板或不鏽鋼導線板等(簡稱基板)利用噴灑化學加工液進行加工的設備，諸如利用加工液噴灑裝置噴灑蝕刻液對印刷電路板上未設有保護層的銅箔部位進行蝕刻加工，使基板上的銅箔或金屬導電呈現出電路的圖樣，或是用於噴灑顯影液進行顯影加工；其中，若濕製程設備的基板輸送裝置為水平式，則還需在基板輸送裝置的上方配設有加工液吸引裝置，用以將噴附於基板頂面的舊加工液吸引去除，俾讓基板頂面能夠持續接觸到新噴灑出來的加工(蝕刻、顯影)液，維持加工板面不積水液可更均勻地增進加工(蝕刻、顯影)品質。

次按，TWI539876B(CN103046049B) 揭露一種蝕刻方法及蝕刻裝置，其加工(蝕刻)液吸引裝置係設置有覆蓋基板全寬的複數支吸引管，各吸引管的下面形成複數個開縫狀吸引噴嘴，各吸引管透過吸引管路而被連接在設於循環管路之途中的射出器的吸引口，循環管路兩端與蝕刻液儲槽相連通，在循環管路途中設有循環泵，而由循環泵汲出蝕刻液儲槽內的蝕刻液，形成為以射出器施加壓力的狀態，而再次送回至蝕刻液儲槽，蝕刻液在通過射出器時會讓將射出器的吸引口形成為負壓，因此被噴附在基板頂面的蝕刻液係由吸引噴嘴通過吸引管路而被吸引至蝕刻液儲槽。

然而，前揭專利案之加工(蝕刻)液吸引裝置，其射出器僅是單純的施加壓力致使射出器的吸引口形成為負壓，射出器所產生的負壓吸引力有限，致使對蝕刻液的吸引效果並不高；再者，由於前揭專利案之加工(蝕刻)液吸引裝置，其連接在射出器吸引口與各吸引管的吸引管路具有一段揚程，對於蝕刻液的吸引效果會予以減損。

本新型之主要目的，係欲解決先前技術對於加工液吸引效果不佳之問題，而具有提升加工液吸引效果之功效。

本新型之另一目的，則具有節能之功效。

為達上述功效，本新型之結構特徵，係包括有：至少一對吸引筒，各該吸引筒具有一縱向通道、一注液口與一吸液口，該縱向通道頂端為封閉狀，該注液口橫向接通該縱向通道，該吸液口橫向接通該縱向通道且位於該注液口下方；至少一對增壓器，各該增壓器將一外環體設置於該縱向通道內，該外環體之頂緣低於該注液口之底緣，該外環體之底緣高於吸液口之底緣，該外環體之底部設為縮口狀，該外環體之內部設置一內管體，該內管體之底部相對該外環體之底部設為倒錐狀，而於該外環體之下半部內周緣與該內管體之下半部外周緣之間留設有增壓通道，該內管體之底部設為封閉狀，該內管體之底部相對該增壓通道設有數個噴流口；至少一注液管，兩端與該對吸引筒之注液口連接；至少一吸液管，兩端與該對吸引筒之吸液口連接，該吸液管底面設有複數個吸嘴；以及一供液主管，連接至少一供液支管，各該供液支管連接該注液管，該供液主管頭端位於濕製程設備之加工液儲槽內，該供液主管尾端為封閉狀，該供液主管設有供液泵。

此外，該增壓通道之寬度為0.6～2.0mm；該縱向通道底端進一步設置一排液管；該縱向通道頂端設置一封塞成為封閉狀；該內管體之底部相對該增壓通道設有三～六個噴流口，該吸引筒具有六～二十六對而與吸液管構成一吸引面；該注液管與該吸液管利用一對定位板設置於濕製程設備之基板輸送裝置上方。

藉此，利用供液泵自加工液儲槽內抽吸加工液，加工液經由供液主管、供液支管與注液管來到吸引筒之縱向通道，加工液接著通過增壓器之內管體，而由噴流口噴向增壓通道，加工液在噴出增壓通道時會在吸液口形成極大的負壓，致使吸液管透過底面的複數個吸嘴快速吸引噴附在基板頂面的(蝕刻、顯影)加工液。

首先，請參閱〔圖1〕～〔圖3〕所示，本新型係包括有：至少一對吸引筒10，各該吸引筒10具有一縱向通道11、一注液口12與一吸液口13，該縱向通道11頂端設置一封塞14成為封閉狀，該注液口12橫向接通該縱向通道11，該吸液口13橫向接通該縱向通道11且位於該注液口12下方，該縱向通道11底端進一步設置一排液管15；至少一對增壓器20，各該增壓器20將一外環體21設置於該縱向通道11內，該外環體21之頂緣低於該注液口12之底緣，該外環體21之底緣高於吸液口13之底緣，該外環體21之底部設為縮口狀，該外環體21之內部設置一內管體22，該內管體22之底部相對該外環體21之底部設為倒錐狀，而於該外環體21之下半部內周緣與該內管體22之下半部外周緣之間留設有增壓通道23，該增壓通道23之寬度為0.6～2.0mm，該內管體22之底部設為封閉狀，該內管體22之底部相對該增壓通道23設有數個(三～六個)噴流口221；至少一注液管30，兩端與該對吸引筒10之注液口12連接；至少一吸液管40，兩端與該對吸引筒10之吸液口13連接，該吸液管40底面設有複數個吸嘴；以及一供液主管50，連接至少一供液支管51，各該供液支管51連接該注液管30，該供液主管50頭端位於濕製程設備之加工液儲槽內，該供液主管50尾端為封閉狀，該供液主管50設有供液泵52；再者，該注液管30與該吸液管40利用一對定位板60設置於濕製程設備之基板輸送裝置70上方，致使該吸液管40貼近該基板輸送裝置70。

基於如是之構成，本新型令吸引筒10具有六～二十六對而與吸液管40構成一吸引面，而藉供液泵52自加工液儲槽內抽吸加工液，加工液經由供液主管50、供液支管51與注液管30來到吸引筒10之縱向通道11，加工液接著通過增壓器20之內管體22，而由噴流口221噴向增壓通道23，加工液在噴出增壓通道23時會在吸液口13形成極大的負壓，致使吸液管40透過底面的複數個吸嘴快速吸引噴附在基板頂面的加工液，吸引過來的加工液與增壓通道23噴出的加工液利用排液管15回到加工液儲槽內；是以，本新型於吸引筒10內設置的增壓器20可使噴出的加工液產生約三倍大的噴射壓力，遂可在吸液口13形成極大的負壓快速吸引噴附在基板頂面的加工液，而具有提升加工液吸引效果之功效：另外，可視吸引力的使用需求而選用較小馬力的供液泵52，進而達到節能之功效。

綜上所述，本新型所揭示之構造，為昔所無，且確能達到功效之增進，並具可供產業利用性，完全符合新型專利要件，祈請 鈞局核賜專利，以勵創新，無任德感。

惟，上述所揭露之圖式、說明，僅為本新型之較佳實施例，大凡熟悉此項技藝人士，依本案精神範疇所作之修飾或等效變化，仍應包括在本案申請專利範圍內。

10‧‧‧吸引筒 11‧‧‧縱向通道 12‧‧‧注液口 13‧‧‧吸液口 14‧‧‧封塞 15‧‧‧排液管 20‧‧‧增壓器 21‧‧‧外環體 22‧‧‧內管體 221‧‧‧噴流口 23‧‧‧增壓通道 30‧‧‧注液管 40‧‧‧吸液管 50‧‧‧供液主管 51‧‧‧供液支管 52‧‧‧供液泵 60‧‧‧定位板 70‧‧‧基板輸送裝置

〔圖1〕係本新型之整體結構立體圖。 〔圖2〕係本新型之部分結構立體圖。 〔圖3〕係本新型之吸引筒及增壓器結構剖示圖。

Claims (6)

1. 一種濕製程設備之加工液增壓吸引裝置，係包括有： 至少一對吸引筒，各該吸引筒具有一縱向通道、一注液口與一吸液口，該縱向通道頂端為封閉狀，該注液口橫向接通該縱向通道，該吸液口橫向接通該縱向通道且位於該注液口下方； 至少一對增壓器，各該增壓器將一外環體設置於該縱向通道內，該外環體之頂緣低於該注液口之底緣，該外環體之底緣高於吸液口之底緣，該外環體之底部設為縮口狀，該外環體之內部設置一內管體，該內管體之底部相對該外環體之底部設為倒錐狀，而於該外環體之下半部內周緣與該內管體之下半部外周緣之間留設有增壓通道，該內管體之底部設為封閉狀，該內管體之底部相對該增壓通道設有數個噴流口； 至少一注液管，兩端與該對吸引筒之注液口連接； 至少一吸液管，兩端與該對吸引筒之吸液口連接，該吸液管底面設有複數個吸嘴；以及 一供液主管，連接至少一供液支管，各該供液支管連接該注液管，該供液主管頭端位於濕製程設備之加工液儲槽內，該供液主管尾端為封閉狀，該供液主管設有供液泵。
2. 如申請專利範圍第1項所述之濕製程設備之加工液增壓吸引裝置，其中，該增壓通道之寬度為0.6～2.0mm。
3. 如申請專利範圍第1或2項所述之濕製程設備之加工液增壓吸引裝置，其中，該縱向通道底端進一步設置一排液管。
4. 如申請專利範圍第3項所述之濕製程設備之加工液增壓吸引裝置，其中，該縱向通道頂端設置一封塞成為封閉狀。
5. 如申請專利範圍第3項所述之濕製程設備之加工液增壓吸引裝置，其中，該內管體之底部相對該增壓通道設有三～六個噴流口，該吸引筒具有六～二十六對而與吸液管構成一吸引面。
6. 如申請專利範圍第3項所述之濕製程設備之加工液增壓吸引裝置，其中，該注液管與該吸液管利用一對定位板設置於濕製程設備之基板輸送裝置上方。