TWM577173U - Automated process work system - Google Patents

Abstract

本創作的自動化製程工作系統包括工作站、輸送軌道、入料輸送裝置、出料輸送裝置及轉載裝置。工作站包括框架、搬送裝置及兩製程設備。搬送裝置連接框架，且可相對框架移動，並用以搬送待測基板。兩製程設備在框架內，且用以對待測基板進行製程作業。輸送軌道穿過工作站的框架。入料輸送裝置連接輸送軌道，用以將待測基板送入工作站。出料輸送裝置連接輸送軌道，用以將待測基板搬出工作站。轉載裝置連接工作站的框架，且搬送出料輸送裝置上的待測基板。

Description

自動化製程工作系統

本創作與製程設備有關，特別是指一種自動化製程工作系統。

半導體及面板等製程需要多種製程設備來進行生產作業，每種製程設備是用來執行對應的製程作業，例如功能測試、外觀檢測、修補或其他製程。

製程作業時需要先將待測基板放置於對應的製程設備，之後完成製程作業後需再將待測基板搬離，而讓下一個待測基板進行相同製程作業，這樣待測基板需等待一個完整製程作業的時間，而發生較長地等待時間。

此外，目前半導體及面板等製程都未考量各整體製程之間的串聯關係，導致各製程作業都是在獨自完成後，再送至下一個製程作業，如此的作業方式是無法達成自動化作業。

有鑑於上述缺失，本創作的目的在於提供一種自動化製程工作系統，其可有效率的搬送待測基板，以提高待測機板傳送效率，並可有效串聯各製程作業所需的設備，來提高生產效率。

本創作的自動化製程工作系統包括工作站、輸送軌道、入料輸送裝置、出料輸送裝置及轉載裝置。工作站包括框架、搬送裝置及兩製程設備。搬送裝置連接框架，且可相對框架移動，並用以搬送待測基板。兩製程設備在框架內，且用以對待測基板進行製程作業。輸送軌道穿過工作站的框架。入料輸送裝置連接輸送軌道，用以將待測基板送入工作站。出料輸送裝置連接輸送軌道，用以將待測基板搬出工作站。轉載裝置連接工作站的框架，且搬送出料輸送裝置上的待測基板。

入料及出料輸送時可透過傳輸軌道、入料輸送裝置、出料輸送裝置及轉載裝置來提高輸送地效率，再者，工作站的數量可以是一個或一個以上，工作站配置與輸送軌道的輸送路徑有關，因此，工作站可藉由輸送軌道來提高自動化能力。此外，本創作還可藉由轉載裝置來串連其他工作站，以使待測基板能有效率的傳輸至其他工作站。

軌道的數量可以是一個或一個以上，入料輸送裝置及出料輸送裝置的數量也可以更多。

有關本創作所提供之自動化製程工作系統的構造、特點、組裝或使用方式，將於後續的實施方式詳細說明中予以描述。然而，在本創作領域中具有通常知識者應能瞭解，該等詳細說明以及實施本創作所列舉的特定實施例，僅係用於說明本創作，並非用以限制本創作之專利申請範圍。

以下，茲配合各圖式列舉對應之較佳實施例來對本創作的自動化製程工作系統的組成構件及達成功效來作說明。然各圖式中自動化製程工作系統的構件、尺寸及外觀僅用來說明本創作的技術特徵，而非對本創作構成限制。

如第1及2圖所示，本創作的自動化製程工作系統10包括兩工作站11a、11b、輸送軌道13、入料輸送裝置15、出料輸送裝置17及轉載裝置19。

工作站11a、11b用以對待測基板30執行製程作業，例如外觀檢查、功能測試及修補異常線路等，外觀檢查可以透過光學檢查來確認待測基板30外觀是否完整，功能測試可以透過供電及測試信號測試待測基板30的各項電性能力，修補可以透過對應設備修補待測基板30上的異常。

兩工作站11a、11b分別包括框架111a、111b、搬送裝置113a、113b及製程設備115a、115b、117a、117b。搬送裝置113a、113b連接框架111a、111b，且可相對框架111a、111b移動，並用以搬送待測基板30。製程設備115a、115b、117a、117b設在框架111a、111b內，且用以對待測基板30進行製程作業。

搬送裝置113a、113b包括移動單元1131a、1131b及搬送單元1133a、1133b。移動單元1131a、1131b連接搬送單元1133a、1133b及框架111a、111b，且位在框架111a、111b的側邊。搬送單元1133a、1133b用以搬送待測基板30，且隨移動單元1131a、1131b沿兩軸方向運動。兩軸方向是垂直關係。本實施例中，兩軸方向分別是三維座標系統的Y軸方向及Z軸方向，因此，移動單元1131a、1131b可配置Y軸方向軌道11311a、11311b及Z軸方向軌道11313a、11313b，以使搬送單元1133a、1133b可透過移動單元1131a、1131b的Y軸方向移動至製程設備1135a、1135b、1137a、1137b上方，並透過Z軸方向接近或遠離製程設備1135a、1135b、1137a、1137b。

其他實施例中，移動單元1131a、1131b可以是兩軸或兩軸以上的機械手臂，如此，可擴大搬送單元的運動範圍。

輸送軌道13穿過工作站11a、11b的框架111a、111b，輸送軌道13可以固定連接框架111a、111b或固定在地板上。本實施例中，框架111a、111b內的製程設備115a、115b、117a、117b分別位在輸送軌道13的兩相對側。其他實施例中，框架111a、111b內也可以只有一台製程設備，因此，不以兩台製程設備為限。

入料輸送裝置15連接輸送軌道13，用以將待測基板30送入工作站11a、11b內，也就是說，入料輸送裝置15在輸送軌道13的入料區131及搬送區133a、133b之間往復移動，本實施例中，搬送區133a、133b有兩個，分別位在工作站11a、11b內，因此，本領域之人能理解搬送區133a、133b的數量與工作站11a、11b的數量是有關連的。

出料輸送裝置17連接輸送軌道13，用以將待測基板30搬出工作站11a、11b，也就是說，出料輸送裝置17是在搬送區133a、133b及出料區135之間往復移動。

其中，入料區131、搬送區133a、133b及出料區135藉由雙點鏈線標示的範圍是為了說明，以便於理解，實務中，該些區域不會顯示在系統中，且該些區域不是本創作的限制。

入料輸送裝置15及出料輸送裝置17可以是相同的結構及配置，且分別有水平旋轉單151、171元及承載台153、173。水平旋轉單元151、171連接輸送軌道13，且沿著輸送軌道13移動。承載台153、173連接水平旋轉單元151、171，且隨著水平旋轉單元151、171進行X-Y軸轉動，承載台153、173承接待測基板30。承載台153、173可以是氣浮平台、夾爪平台、真空吸附平台、靜電平台或其他能暫時固定待測基板30的機構。

轉載裝置19包括轉移單元191及轉載單元193。轉移單元191連接框架111a、111b及轉載單元193。轉載單元193隨著轉移單元191沿兩方向運動以搬送待測基板30，兩方向是垂直關係。本實施例中，轉移單元191包括X軸方向軌道1911及Z軸方向軌道1913，X軸方向及Z軸方向是三維系統的兩個方向，因此，轉移單元191可隨X軸方向軌道1911進入或離開工作站11a、11b，並隨Z軸方向軌道1913向下或向上運動。其他實施例中，轉移單元191可以是兩軸或兩軸以上的機械手臂，以擴大轉載單元的運動範圍。

入料運作時，入料運作是指將待測基板30輸送至製程設備115a、115b、117a、117b，本創作的自動化製程工作系統10的入料輸送裝置15先將待測基板30逐一傳送至工作站11a、11b的搬送區133a、133b內，以讓工作站11a、11b的搬送裝置113a、113b接收待測基板30，並搬送至製程設備115a、115b、117a、117b以進行製程作業。搬送的過程，入料輸送裝置15及搬送裝置113a、113b是重複運行，以將待測基板30分別輸送至製程設備115a、115b、117a、117b上，以進行製程作業。因此，本創作的自動化製程工作系統10可利用製程作業進行期間持續輸送待測基板給其他閒置的製程設備，來提高入料的效率，並減少等待時間。

特別地，待測基板30被送到搬送區133a、133b之前透過入料輸送裝置15的水平旋轉單元151來預先調整待測基板30的方向，以優化待測基板30與製程設備115a的對位程序，對位程序是待測基板的導電接腳位在製程設備115a的探針的運行路徑上，以確保探針能順利接觸待測基板的導電接腳。

出料運作時，出料運作是指待測基板30被搬離工作站11a、11b，本創作的自動化製程工作系統10的出料輸送裝置17是先移動至工作站11a、11b的搬送區133a、133b內，以等待接收搬送裝置113a、113b送來的待測基板30，隨後，出料輸送裝置17接收到待測基板30後，出料輸送裝置17就沿著輸送軌道13離開工作站11a、11b而至出料區135。出料輸送裝置17及搬送裝置113a、113b是重複出料運作，而逐一將完成製程作業的待測基板30搬離工作站11a、11b。因此，本創作可提升待測基板30的出料效率。

此外，轉載裝置19可在出料區135搬送待測基板30，以輸送待測基板30進入另一製程作業或出貨。

因此，本創作可透過工作站、輸送軌道、入料輸送裝置、出料輸送裝置及轉載裝置達成自動化且有效率地執行待測基板的傳輸、檢查、測試及修補等製程作業，而可避免製程作業的等待時間，以提高工作效率及實現製程自動化。

上述實施例中，工作站11a、11b的數量以兩個為例，其他實施例中，工作站的數量可以是更多或更少，也就是工作站數量可隨著製程需求任意增加或減少，以彈性規劃製程順序及規模。當工作站增加或減少時，傳輸軌道的長度也可以順應調整，且入料輸送裝置及出料出送裝置也可以順應增加。

更少工作站的實施例如第3及4圖所示，自動化製程工作系統50的配置、組成、及運作大致與上述實施例(自動化製程工作系統10)相同，不同之處在於自動化製程工作系統50僅有一個工作站51。如此，自動化製成工作系統50能以最少工作站數量來達成自動化運作及有效率地輸送待測基板。

更多工作站的實施例如第5及6圖所示，自動化製程工作系統70的配置、組成及運作大致與前述實施例(自動化製程工作系統10)相同，不同之處在於自動化製程工作系統70有四個工作站71a、71b、71c、71d，這四個工作站71a、71b、71c、71d與輸送軌道73是串聯關係。本實施例中，工作站71a、71b與工作站71c、71d分別被規畫成執行不同的製程作業，因此，自動化製程工作系統70有兩入料輸送裝置75a、75b、兩出料輸送裝置77a、77b及兩轉載裝置79a、79b。轉載裝置79a可將工作站71a、71b中完成製程作業的待測基板傳送給工作站71c、71d來進行下一製程作業，因此，本創作的自動化製程工作系統70可以串聯更多製程作業而有效率地製造產品。

最後，再次強調，本創作於前揭實施例中所揭露的構成元件，僅為舉例說明，並非用來限制本案之範圍，其他等效元件的替代或變化，亦應為本案之申請專利範圍所涵蓋。

10‧‧‧自動化製程工作系統

11a、11b‧‧‧工作站

111a、111b‧‧‧框架

113a、113b‧‧‧搬送裝置

1131a、1131b‧‧‧移動單元

11311a、11311b‧‧‧Y軸方向軌道

11313a、11313b‧‧‧Z軸方向軌道

1133a、1133b‧‧‧搬送單元

115a、115b、117a、117b‧‧‧製程設備

13‧‧‧輸送軌道

131‧‧‧入料區

133a、133b‧‧‧搬送區

135‧‧‧出料區

15‧‧‧入料輸送裝置

151、171‧‧‧水平旋轉單

153、173‧‧‧承載台

17‧‧‧出料輸送裝置

19‧‧‧轉載裝置

191‧‧‧轉移單元

1911‧‧‧X軸方向軌道

1913‧‧‧Z軸方向軌道

193‧‧‧轉載單元

30‧‧‧待測基板

50‧‧‧自動化製程工作系統

51‧‧‧工作站

70‧‧‧自動化製程工作系統

71a、71b、71c、71d‧‧‧工作站

73‧‧‧輸送軌道

75a、75b‧‧‧入料輸送裝置

77a、77b‧‧‧出料輸送裝置

79a、79b‧‧‧轉載裝置

第1圖係本創作的自動化製程工作系統的第一實施例的側視示意圖。 第2圖是第1圖的俯視示意圖。 第3圖係本創作的自動化製程工作系統的第二實施例的側視示意圖。 第4圖是第3圖的俯視示意圖。 第5圖係本創作的自動化製程工作系統的第三實施例的側視示意圖。 第6圖是第5圖的俯視示意圖。

Claims (8)

1. 一種自動化製程工作系統，包括： 　　一工作站，包括一框架、一搬送裝置及兩製程設備，該搬送裝置連接該框架，且可相對該框架移動，並用以搬送待測基板，該兩製程設備設在框架內，且用以對該待測基板進行一製程作業； 　　一輸送軌道，穿過該工作站的框架； 　　一入料輸送裝置，連接該輸送軌道，用以將該待測基板送入該工作站； 　　一出料輸送裝置，連接該輸送軌道，用以將該待測基板搬出該工作站；及 　　一轉載裝置，連接該工作站的框架，且搬送該出料輸送裝置上的該待測基板。
2. 如申請專利範圍第1項所述的自動化製程工作系統，其中，該搬送裝置包括一移動單元及一搬送單元，該移動單元連接該搬送單元及該框架，且位在該框架的側邊，該搬送單元用以搬送該待測基板，且隨該移動單元進行兩方向運動，該兩方向是垂直關係。
3. 如申請專利範圍第2項所述的自動化製程工作系統，其中，該移動單元包括一Y軸方向軌道及一Z軸方向軌道。
4. 如申請專利範圍第1項所述的自動化製程工作系統，其中，該兩製程設備分別位在該輸送軌道的兩相對側。
5. 如申請專利範圍第1項所述的自動化製程工作系統，其中，該入料輸送裝置及該出料輸送裝置分別有一水平旋轉單元及一承載台，該水平旋轉單元連接該輸送軌道，且沿該輸送軌道移動，該承載台連接該水平旋轉單元，且隨該水平旋轉單元轉動，該承載台承接該待測基板。
6. 如申請專利範圍第1項所述的自動化製程工作系統，其中，該轉載裝置包括一轉移單元及一轉載單元，該轉移單元連接該框架及該轉載單元，該轉載單元隨著該轉移單元沿兩方向運動以搬送該待測基板，該兩方向是垂直關係。
7. 如申請專利範圍第6項所述的自動化製程工作系統，其中，該轉移單元包括一X軸方向軌道及一Z軸方向軌道。
8. 如申請專利範圍第1項所述的自動化製程工作系統，其中，該兩製程設備是執行相同製程作業。