TWM549867U - 取像位置調整裝置 - Google Patents

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朱酉致
林塘棋
施英汝
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環球晶圓股份有限公司
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Description

取像位置調整裝置
本創作係與晶棒鑄造過程之監控裝置有關;特別是指一種用以調整攝影模組取像位置的裝置。
按,長晶爐係用以將固態之原料(例如矽原料)加熱熔化成液態後,再使液態之原料凝固結晶,而製成晶棒。習用的長晶方式包括CZ法、定向凝固法等方法,但所應用的長晶爐通常包含有一坩堝與複數個加熱器,該坩堝供容裝待熔化之原料,該些加熱器設置於該坩堝周圍,用以對該坩堝加熱使該坩堝內的原料熔化。
在長晶的過程中,通常需要觀察長晶爐內部的情形,例如,觀察熔料狀態、觀察拉晶時晶棒的外觀。為此,習用的長晶爐設置有一攝影模組,攝影模組再連接到螢幕上,以方便人員觀察。
然而,習用的攝影模組藉由一固定支架固定於長晶爐上,固定支架由二個架體所組合而成,其中一架體固定於長晶爐,攝影模組固定於另一架體,二個架體之間藉由螺栓結合。若需調整攝影模組的取像位置,則必須將螺栓鬆開,以調整二個架體的相對位置,調整後再將螺栓鎖緊。然而,調整架體相對位置時,需依賴人員的經驗,但即使是有經驗的人員,仍需調整多次才能將攝影模組調到適當的取像位置,如此將造成時間上的延遲,導致效率不彰。
有鑑於此,本創作之目的在於提供一種取像位置調整裝置,可方便人員調整攝影模組的取像位置。
緣以達成上述目的,本創作提供的一種取像位置調整裝置,係裝設於一長晶爐,用以調整一攝影模組之取像位置,該取像位置調整裝置包含有:一基座;一固定架,供固定該攝影模組,且包含有一樞接部樞接於該基座;一第一轉動件,設置於該基座上,且包括相連接之一第一旋鈕與一第一螺桿,該第一旋鈕係受操作而使該第一螺桿轉動;一滑塊,包含一第一螺孔與一長槽孔,,且該第一螺桿穿設該第一螺孔;一移動桿,穿過該長槽孔且穿設於該固定架之樞接部;藉此,該第一旋鈕受操作帶動該第一螺桿為正轉或反轉,使該滑塊沿該第一螺桿於一第一位置與一第二位置之間往復移動,且該滑塊移動時,該長槽孔孔緣扺推該移動桿帶動該固定架的樞接部相對該基座樞擺,以改變該攝影模組的取像位置。
本創作之效果在於藉由操作該第一旋鈕帶動該第一螺桿轉動,使該滑塊沿該第一螺桿軸向移動,且該滑塊之長槽孔孔緣扺推該移動桿,進而帶動該固定架相對該基座樞擺,以改變該攝影模組的取像位置,使該攝影模組的取像位置的調整更為方便且精確。
為能更清楚地說明本創作,茲舉一較佳實施例並配合圖式詳細說明如後。請參圖1至圖7所示,為本創作一較佳實施例之取像位置調整裝置100,包含有:一角度校正機構110係用以調整一攝影模組1之取像角度,與一位移機構120係用以調整該角度校正機構110在一平面上的位置,進而調整該攝影模組1之取像位置。
請參圖4與圖5所示,該角度校正機構110包含有:一固定架10、一基座20、一第一轉動件30、一滑塊40與一移動桿50。
該固定架10包含有一固定板12用以固定該攝影模組1,與一樞擺板14該固定板12相連接,且該樞擺板14與該攝影模組1分別位於該固定板12的相反兩側;該樞擺板14樞接於該基座20,且該樞擺板14兩側各設有一偏擺角度之刻度141,用以顯示該樞擺板14相對於該基座20之偏擺角度。
該基座20包含有一第一側板21與一第二側板22,其中該第一側板21與該第二側板22分別位於該樞擺板14兩側,且該樞擺板14樞接於該第一、二側板21、22,又,該第一、二側板21、22各具有一弧形槽20a與一視窗孔20b對應該偏擺角度之刻度141。
該第一轉動件30包括相連接之一第一旋鈕32與一第一螺桿34,以及至少一固定塊36,本實施例中該第一螺桿34為牙條,固定塊36的數量為二且分別結合於該第一側板21與該第二側板22上相對的二個位置,且其中一個固定塊36的高度高於另一個固定塊的高度。各該固定塊36具有一第一穿孔36a,該第一螺桿34穿過該些固定塊36之第一穿孔36a且伸入該第一側板21與一第二側板22之間,使該第一螺桿34呈傾斜設置;該第一旋鈕32係供人員操作而使該第一螺桿34為正轉或反轉。
該滑塊40係位於該第一、二側板21、22與該些固定塊36之間,且該滑塊40包含有一第一螺孔40a與一凹槽40b,其中該第一螺孔40a之開口朝向該些固定塊36,且該第一螺桿34穿設該第一螺孔40a;該樞擺板14穿過該凹槽40b,且該凹槽40b之兩側槽壁各具有一長槽孔40c。又,該些長槽孔40c之開口朝向該第一、二側板21、22且與該弧形槽20a相對應。
該移動桿50具有一螺紋段51,該移動桿50穿設於該樞擺板14且穿過該滑塊40之長槽孔40c後,使該螺紋段51突伸出該第一、二側板21、22之弧形槽20a。
上述為本創作第一較佳實施例之角度校正機構110之各部構件及相關位置的說明。茲再敘述其使用方式如後。請見圖6與圖7,該第一螺桿34受該第一旋鈕32係帶動轉動,而使該滑塊40受限於二該固定塊36圍設範圍內沿該第一螺桿34於於一第一位置P1(見圖6)與一第二位置P2(見圖7)之間往復移動,於此同時,該滑塊40之長槽孔40c孔壁抵推該移動桿50,而使該樞擺板14相對該第一、二側板21、22樞擺,進而改變該攝影模組1的取像角度,且操作者可由視窗孔20b查看偏擺角度之刻度141,以方便操作者紀錄與調整取像角度。
請參考圖6與圖7,當操作者調整將該攝影模組1調整到較佳之取像角度後,由於該第一螺桿34傾斜之故,該滑塊40掛於該第一螺桿34上,因重力之故,使第一螺孔40a與該第一螺桿34相抵而形成自鎖定,即可固定該滑塊40的位置,而固定該攝影模組1的取像角度。此外,請見圖4,亦可藉由一螺母2結合於該移動桿50突伸出該弧形槽20a之該螺紋段51,並使該螺母2抵接於該第一、二側板21、22,以固定該攝影模組1的取像角度,避免誤觸該第一旋鈕32而改變該攝影模組1的取像角度。
於本實施例中,該基座20更包含有以供該位移機構120穿設之一底塊23、複數個套環24,以及二抵擋片25,其中該底塊23連接該第一側板21與該第二側板22,該底塊23具有二第二穿孔23a與一第二螺孔23b,且該二第二穿孔23a與該第二螺孔23b朝向同一方向;該些套環24設置於相對應之第二穿孔23a中,且該些套環24係為金屬製成,以降低基座20相對該位移機構120移動時之磨擦力;各該抵擋片25設置底塊23上,係用以將該些套環24限制於該底塊23之第二穿孔23a中,且各該抵擋片25具有三貫孔25a分別對應該第二穿孔23a與該些第二螺孔23b。
請復見圖1至圖3所示,該位移機構120包含有一底框60,以及裝設於該底框60上之一橫向位移裝置70與二縱向位移裝置80。
該底框60包含有一框體62與至少一移動塊64,在本實施例中有二移動塊64位於該框體62兩相對側,且各該移動塊64設有一第三穿孔64a與一第三螺孔64b;該框體62設有一長槽固定孔62a,可供一螺栓(圖未示)穿設該長槽固定孔62a以將該框體62固定於長晶爐(圖未示)上。
該橫向位移裝置70包含有一第二轉動件72與至少一第一導桿74,在本實施例中,該至少一第一導桿74之數量皆為兩個。該第二轉動件72包含一第二螺桿721,以及一第二旋鈕722結合於該第二螺桿721上,且該第二螺桿721穿過該底塊23之第二螺孔23b且兩端分別設置於該相對應之該移動塊64上;該些第一導桿74穿過該些套環24(即穿過該底塊23之第二穿孔23a)且兩端分別設置於該相對應之該移動塊64上。
各該縱向位移裝置80包含有至少一第三轉動件82與至少一第二導桿84,在本實施例中,該至少一第三轉動件82與第二導桿84之數量皆為一個。每一該第三轉動件82包括一第三螺桿821,以及一第三旋鈕822結合於該第三螺桿821上。各該縱向位移裝置80之第三螺桿821穿設相對應滑塊40之第三螺孔64b,且該第三螺桿821兩端設置於該框體62;各該縱向位移裝置80之第二導桿84穿設相對應滑塊40之該第三穿孔64a,且各該第二導桿84兩端設置於該框體62。在本實施例中之該些第三螺桿821與該些第二導桿84相互平行設置,該些第三螺桿821與該第二螺桿721相互垂直設置。
操作者可藉由操作該第二旋鈕722帶動該第二螺桿721轉動,使該基座20沿該第一導桿74與該第二螺桿721之軸向移動;同樣地,亦可藉由操作該二第三旋鈕822帶動該二第三螺桿821轉動,使該二移動塊64分別沿該二第二導桿84與該二第三螺桿821之軸向移動。
該框體62更可設有一第一尺標621與一第二尺標622,其中該第一尺標621沿該第二螺桿721軸向設置,與第二尺標622沿該第三螺桿821之軸向設置,且該基座20包含有一第一指針26指向該第一尺標621,用以顯示該基座20相對於該第二螺桿721之位置;該些移動塊64各包含有一第二指針641指向該第二尺標622,用以顯示該些移動塊64對於該第三螺桿821之位置。藉此,使用者可輕易得之基座20相對於框體62之相對位移,進而以方便操作者紀錄與調整該攝影模組1之位置。
在本實施例中,更包含有四個刻度板90,各該刻度板90具有一環形排列之刻度,且該第一、二、三螺桿34、721、821穿過相對應之刻度板90,並使該第一、二、三螺桿34、721、821相連之該第一、二、三旋鈕32、722、822對為該刻度所環繞,以方便操作者紀錄與微調取像位置調整裝置100之角度與位置。
本創作之效果在於藉由操作該第一旋鈕32帶動該第一螺桿34轉動,使該滑塊40沿該第一螺桿34軸向移動,且該滑塊40之長槽孔40c孔緣扺推該移動桿50,進而帶動該固定架10相對該基座20樞擺,以改變該攝影模組1的取像角度位置;以及藉由操作該第二、三旋鈕722、822帶動該第二、三螺桿721、821轉動,使該基座20沿該第二、三螺桿721、821之軸向移動,以改變該攝影模組1的取像位置,使該攝影模組1取像位置的調整更為方便及精確,藉以提升操作效率。
以上所述僅為本創作較佳可行實施例而已,舉凡應用本創作說明書及申請專利範圍所為之等效變化,理應包含在本創作之專利範圍內。
[本創作]
1‧‧‧攝影模組
2‧‧‧螺母
100‧‧‧取像位置調整裝置
110‧‧‧角度校正機構
10‧‧‧固定架
12‧‧‧固定板
14‧‧‧樞擺板
141‧‧‧刻度
20‧‧‧基座
20a‧‧‧弧形槽
20b‧‧‧視窗孔
21‧‧‧第一側板
22‧‧‧第二側板
23‧‧‧底塊
23a‧‧‧第二穿孔
23b‧‧‧第二螺孔
24‧‧‧套環
25‧‧‧抵擋片
25a‧‧‧貫孔
26‧‧‧第一指針
30‧‧‧第一轉動件
32‧‧‧第一旋鈕
34‧‧‧第一螺桿
36‧‧‧固定塊
36a‧‧‧第一穿孔
40‧‧‧滑塊
40a‧‧‧第一螺孔
40b‧‧‧凹槽
40c‧‧‧長槽孔
50‧‧‧移動桿
51‧‧‧螺紋段
120‧‧‧位移機構
60‧‧‧底框
62‧‧‧框體
621‧‧‧第一尺標
622‧‧‧第二尺標
62a‧‧‧長槽固定孔
64‧‧‧移動塊
641‧‧‧第二指針
64a‧‧‧第三穿孔
64b‧‧‧第三螺孔
70‧‧‧橫向位移裝置
72‧‧‧第二轉動件
721‧‧‧第二螺桿
722‧‧‧第二旋鈕
74‧‧‧第一導桿
80‧‧‧縱向位移裝置
82‧‧‧第三轉動件
821‧‧‧第三螺桿
822‧‧‧第三旋鈕
84‧‧‧第二導桿
90‧‧‧刻度板
P1‧‧‧第一位置
P2‧‧‧第二位置
圖1為本創作一較佳實施例之取像位置調整裝置的立體圖。 圖2為上述較佳實施例之取像位置調整裝置的俯視圖。 圖3為上述較佳實施例之取像位置調整裝置的正視圖。 圖4為上述較佳實施例之部分構件的立體圖。 圖5為上述較佳實施例之部分構件的分解圖。 圖6為上述較佳實施例之部分構件的局部剖示圖。 圖7為上述較佳實施例之部分構件的局部剖示圖。
1‧‧‧攝影模組
2‧‧‧螺母
100‧‧‧取像位置調整裝置
10‧‧‧固定架
20‧‧‧基座
26‧‧‧第一指針
30‧‧‧第一轉動件
50‧‧‧移動桿
60‧‧‧底框
62‧‧‧框體
621‧‧‧第一尺標
622‧‧‧第二尺標
62a‧‧‧長槽固定孔
64‧‧‧移動塊
641‧‧‧第二指針
64a‧‧‧第三穿孔
64b‧‧‧第三螺孔
70‧‧‧橫向位移裝置
80‧‧‧縱向位移裝置
82‧‧‧第三轉動件
821‧‧‧第三螺桿
822‧‧‧第三旋鈕
84‧‧‧第二導桿
90‧‧‧刻度板

Claims (10)

  1. 一種取像位置調整裝置,係裝設於一長晶爐,用以調整一攝影模組之取像位置,該取像位置調整裝置包含有: 一基座; 一固定架,供固定該攝影模組,且包含有一樞接部樞接於該基座; 一第一轉動件,設置於該基座上,且包括相連接之一第一旋鈕與一第一螺桿,該第一旋鈕係受操作而使該第一螺桿轉動; 一滑塊,包含一第一螺孔與一長槽孔,且該第一螺桿穿設該第一螺孔; 一移動桿,穿過該長槽孔且穿設於該固定架之樞接部; 藉此,該第一旋鈕受操作帶動該第一螺桿為正轉或反轉,使該滑塊沿該第一螺桿於一第一位置與一第二位置之間往復移動,且該滑塊移動時,該長槽孔孔緣扺推該移動桿帶動該固定架的樞接部相對該基座樞擺,以改變該攝影模組的取像位置。
  2. 如請求項1所述之取像位置調整裝置,其中該固定架包含有一固定板與一樞擺板,其中該固定板係用以固定該攝影模組,該樞擺板與該固定板相連接,且該樞擺板與該攝影模組分別位於該固定板的相反兩側,該樞擺板構成該樞接部;該基座具有一弧形槽位於該樞擺板的一側,且該移動桿穿於該弧形槽中並沿該弧形槽的弧線方向移動。
  3. 如請求項2所述之取像位置調整裝置,其中該樞擺板設有一偏擺角度之刻度,係用以顯示該樞擺板相對於該基座之偏擺角度;該基座具有一視窗孔對應該偏擺角度之刻度。
  4. 如請求項3所述之取像位置調整裝置,更包含有一刻度板,該刻度板具有一環形排列之刻度;該第一螺桿穿過該刻度板,且該旋鈕對為該刻度所環繞。
  5. 如請求項2所述之取像位置調整裝置,其中該移動桿固定於該樞擺板,且該移動桿具有一螺紋段突伸出該弧形槽,該螺紋段結合有一螺母,且該螺母供抵接於該基座。
  6. 如請求項2所述之取像位置調整裝置,其中該基座包含有一第一側板與一第二側板,其中該第一側板與該第二側板分別位於該樞擺板兩側,且該第一側板具有該弧形槽;該第一轉動件包括一固定塊,該固定塊結合於該第一側板與該第二側板上,且該固定塊具有一第一穿孔,該第一螺桿穿過該固定塊之第一穿孔且伸入該第一側板與一第二側板之間;該滑塊位於該第一側板與該第二側板之間。
  7. 如請求項1所述之取像位置調整裝置,更包含有一位移機構,該位移機構包含有一底框、一第二轉動件與至少一第一導桿,其中該第二轉動件包含一第二螺桿及一第二旋鈕結合於該第二螺桿上;該第一導桿與該第二螺桿係設置於該底框;該基座設有一第二穿孔與一第二螺孔,且該第二穿孔與該第二螺孔朝向同一方向,其中該第一導桿穿過該第二穿孔,該第二螺桿穿設該第二螺孔;該第二旋鈕受操作轉動,使該基座沿該第一導桿與該第二螺桿之軸向移動。
  8. 如請求項7所述之取像位置調整裝置,其中該底框設有一第一尺標,係用以顯示該基座相對於該第二螺桿之位置。
  9. 如請求項7所述之取像位置調整裝置,其中該底框包含有一框體與至少一移動塊,其中該移動塊設有一第三穿孔與一第三螺孔,且該第一導桿與該第二螺桿係設置於該移動塊上;該位移機構更包含有至少一第三轉動件與至少一第二導桿,其中該第三轉動件包括一第三螺桿與一第三旋鈕結合於該第三螺桿上,該第三螺桿與該第二導桿設置於該框體,且該第二導桿穿過該第三穿孔,該第三螺桿穿設該第三螺孔;該第三旋鈕受操作轉動,使該移動塊沿該第二導桿與該第三螺桿之軸向移動。
  10. 如請求項9所述之取像位置調整裝置,其中該框體設有一第二尺標,係用以顯示該移動塊相對於該第三螺桿之位置。
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