TWM469616U - 晶粒檢測設備之進料機構 - Google Patents

Description

晶粒檢測設備之進料機構

本創作係關於一種晶粒檢測設備之進料機構，尤指一種適用於晶粒之進給供料的進料機構。

晶粒檢測設備一般會有進料機構，其主要用於提供晶粒位移至取放裝置可取放之位置、或檢測裝置上。然而，習知的晶粒檢測設備之進料機構請參閱圖1、及圖2，圖1係習知的晶粒檢測設備之進料機構的俯視圖，圖2係習知的晶粒檢測設備之進料機構的右側視圖。

如圖1、及圖2所示，習知的晶粒檢測設備之進料機構主要包括一震動盤5、一緩衝直震模組6、一吸料直震模組7、以及一回料直震模組8。其中，震動盤5主要用於存放待測晶粒、以及供給待測晶粒；緩衝直震模組6主要介於震動盤5與吸料直震模組7之間，其主要用於承接自震動盤5所流出的晶粒，並將之傳遞至吸料直震模組7；吸料直震模組7則主要負責將來自緩衝直震模組6之待測晶粒傳送至取放機構(圖中未示)之取放位置。然而，通常待測晶粒不見得會很規律地依序進給，所以吸料直震模組7之吸料軌道71會設計有落料的機構，以便進給位置不正確的晶粒得以重新進給。

再者，回料直震模組8便是用於使落料之晶粒重新回到震動盤5，而回料直震模組8包括一返料盤81，其係位於吸料軌道71下方，用於承接自吸料軌道71落下之晶粒。在習知技術中，緩衝直震模組6、吸料直震模組7、以及回料直震模組8之震動器三者皆設置於一共同基板9上。然而，因為回料直震模組8與吸料直震模組7及緩衝直震模組6之位移方向恰為完全相反，所以很容易產生共振，而影響進給速度，甚至導致晶粒於進給過程中不規則跳動，而使取放機構(圖中未示)的取放過程中容易造成取放不順或無法穩固取放等問題。

綜上所述，一種結構簡單、成本低廉，且可有效抑制共振之發生，以提高供料之穩定度、及吸料之準確度，並可加快進給速度之晶粒檢測設備的進料機構實為產業界之迫切的需要。

本創作之主要目的係在提供一種晶粒檢測設備之進料機構，俾能有效抑制進料震動模組與回料震動模組間之共振之發生，可提高供料之穩定度、及吸料之準確度，並可加快進給速度。再且，本創作所提供之新穎、創新設計，在不影響整個進料速度及穩定度下，直接省略習知之緩衝直震模組，可大幅降低成本，且因進給距離之縮短又可顯著提高進給速度。

為達成上述目的，本創作一種晶粒檢測設備之進料機構，主要包括一基座、一震動供料盤、一進料 震動模組、及一回料震動模組。其中，震動供料盤包括一出料口，而震動供料盤係組設於基座上；進料震動模組包括一第一載台、一第一震動器、及一進料軌道，而第一載台係組設於基座上，第一震動器係組設於第一載台上，且進料軌道係組設於第一震動器上，而進料軌道承接自震動供料盤之出料口所流出之晶粒；回料震動模組包括一第二載台、一第二震動器、及一回料軌道，第二載台係組設於基座上，而第二震動器係組設於第二載台上，且回料軌道係組設於第二震動器上，並承接自進料軌道所落下之晶粒。

較佳的是，本創作之回料震動模組的回料軌道可位於進料軌道下方，以便承接自進料軌道所落下之晶粒。而且，本創作之進料震動模組的進料軌道可包括一承接部、及一直行部，而承接部可鄰接於震動供料盤之出料口，且回料軌道可位於直行部下方。據此，本發明完全省略習知之緩衝直震模組，而直接以進料軌道之承接部來承接來自震動供料盤之晶粒。

再者，本創作進料軌道之直行部可開設有一落料孔，而晶粒藉由落料孔落入回料軌道。換言之，落料孔主要用於排除在進料軌道上未以規則排列之晶粒。另外，本創作可更包括一承載架，其可組設於基座上，震動供料盤可組設於承載架上。

此外，本創作之進料震動模組可更包括一X軸位移調整機構、及一Y軸位移調整機構，其可設置於第一載台之下方，可分別用於驅使第一載台於X軸向 上、及Y軸向上位移。換言之，本創作之第一載台可藉由X軸位移調整機構、及Y軸位移調整機構進行位移的調整。

[習知]

5‧‧‧震動盤

6‧‧‧緩衝直震模組

7‧‧‧吸料直震模組

71‧‧‧吸料軌道

8‧‧‧回料直震模組

81‧‧‧返料盤

9‧‧‧共同基板

C‧‧‧晶粒

[本創作]

1‧‧‧基座

2‧‧‧震動供料盤

20‧‧‧承載架

21‧‧‧出料口

3‧‧‧進料震動模組

31‧‧‧第一載台

32‧‧‧第一震動器

33‧‧‧進料軌道

331‧‧‧承接部

332‧‧‧直行部

333‧‧‧落料孔

34‧‧‧X軸位移調整機構

35‧‧‧Y軸位移調整機構

4‧‧‧回料震動模組

41‧‧‧第二載台

42‧‧‧第二震動器

43‧‧‧回料軌道

圖1係習知的晶粒檢測設備之進料機構的俯視圖。

圖2係習知的晶粒檢測設備之進料機構的右側視圖。

圖3係本創作晶粒檢測設備之進料機構一較佳實施例之俯視圖。

圖4係本創作晶粒檢測設備之進料機構一較佳實施例之右側視圖。

本創作晶粒檢測設備之進料機構在本實施例中被詳細描述之前，要特別注意的是，以下的說明中，類似的元件將以相同的元件符號來表示。

請同時參閱圖3、及圖4，圖3係本創作晶粒檢測設備之進料機構一較佳實施例之俯視圖，圖4係本創作晶粒檢測設備之進料機構一較佳實施例之右側視圖。

如圖中所示，本實施例之晶粒檢測設備之進料機構，主要包括：一基座1、一震動供料盤2、一進料震動模組3、一回料震動模組4、以及一承載架20。其中，承載架20，其係組設於基座1上，而震動供料盤2係組設於該承載架20上，震動供料盤2主要用於存放晶 粒C、以及供給晶粒C。另外，震動供料盤2包括一出料口21，而晶粒C便是透過出料口21供給而出。

再者，進料震動模組3包括一第一載台31、一第一震動器32、一進料軌道33、一X軸位移調整機構34、及一Y軸位移調整機構35。其中，第一載台31係組設於基座1上，而第一震動器32係組設於第一載台31上，且進料軌道33係組設於第一震動器32上。然而，進料軌道33包括一承接部331、及一直行部332，而承接部331係鄰接於該震動供料盤2之出料口21，以承接來自震動供料盤2之晶粒C。

而且，直行部332開設有一落料孔333，晶粒C可藉由落料孔333落入回料軌道43。換言之，落料孔333主要用於排除在進料軌道33上未以規則排列之晶粒C。至於，X軸位移調整機構34、及Y軸位移調整機構35，其係設置於第一載台31之下方，分別用於驅使第一載台31於X軸向上、及Y軸向上位移。也就是說，本實施例之第一載台31可藉由X軸位移調整機構34、及Y軸位移調整機構35進行位移的調整。

另外，回料震動模組4包括一第二載台41、一第二震動器42、及一回料軌道43，而第二載台41係組設於基座1上，第二震動器42係組設於第二載台41上，進料軌道43係組設於第二震動器42上，並承接自進料軌道33所落下之晶粒C。其中，回料軌道43係位於進料軌道33之直行部332下方。

據此，本創作藉由將進料震動模組3與回料震動模組4分別獨立設置於不同的載台31,41上，以有效抑制進料震動模組3與回料震動模組4間之共振之發生，可提高供料之穩定度、及吸料之準確度，並可加快進給速度。此外，本創作又直接省略習知之緩衝直震模組，可大幅降低成本，且因進給距離之縮短又可顯著提高進給速度，實為一新穎、又極富巧思之創新設計。

上述實施例僅係為了方便說明而舉例而已，本創作所主張之權利範圍自應以申請專利範圍所述為準，而非僅限於上述實施例。

1‧‧‧基座

2‧‧‧震動供料盤

20‧‧‧承載架

3‧‧‧進料震動模組

31‧‧‧第一載台

32‧‧‧第一震動器

33‧‧‧進料軌道

4‧‧‧回料震動模組

41‧‧‧第二載台

42‧‧‧第二震動器

43‧‧‧回料軌道

Claims (6)

1. 一種晶粒檢測設備之進料機構，包括：一基座；一震動供料盤，其包括一出料口，該震動供料盤係組設於該基座上；一進料震動模組，其包括一第一載台、一第一震動器、及一進料軌道，該第一載台係組設於該基座上，該第一震動器係組設於該第一載台上，該進料軌道係組設於該第一震動器上，該進料軌道承接自該震動供料盤之該出料口所流出之晶粒；以及一回料震動模組，其包括一第二載台、一第二震動器、及一回料軌道，該第二載台係組設於該基座上，該第二震動器係組設於該第二載台上，該回料軌道係組設於該第二震動器上，並承接自該進料軌道所落下之晶粒。
2. 如申請專利範圍第1項所述晶粒檢測設備之進料機構，其中，該回料軌道係位於該進料軌道下方。
3. 如申請專利範圍第2項所述晶粒檢測設備之進料機構，其中，該進料軌道包括一承接部、及一直行部，該承接部係鄰接於該震動供料盤之該出料口，該回料軌道係位於該直行部下方。
4. 如申請專利範圍第3項所述晶粒檢測設備之進料機構，其中，該直行部開設有一落料孔，該晶粒藉由該落料孔落入該回料軌道。
5. 如申請專利範圍第1項所述晶粒檢測設備之進料機構，其更包括一承載架，其係組設於該基座上，該震動供料盤係組設於該承載架上。
6. 如申請專利範圍第1項所述晶粒檢測設備之進料機構，其中，該進料震動模組更包括一X軸位移調整機構、及一Y軸位移調整機構，該X軸位移調整機構、及該Y軸位移調整機構係設置於該第一載台之下方，分別用於驅使該第一載台於X軸向上、及Y軸向上位移。