TWM423693U - Polluted water purifying device - Google Patents

Description

M423693 五、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 本創作係關於一種污水淨化裝置，尤指一種針對半導體產 業所產生之切割或研磨污水，以超濾膜遽器為主要滤材所構成 的過濾、裝置’在其適當的流程中連結一離心裝置，藉由離心裝 置的離心個制快速進行汗水固、雜分離之技術創作。 【先前技術】 按以，半導體電子產業中，進行晶圓切割或研磨時，都須 要搭配以純水清洗，清洗後的純水帶有大量的固體微粒。 為了達到淨水回收再利用的目的，目前業界的處理方式及 應用流程，常以超濾膜濾器(UF)為主的淨水回收系統來過濾水 中的固體雜質，達到固體和液體分離的效果，經透析後的淨水 依水質狀況’再導入淨水回收系統適當的回收點，以此達到回 收再利用的目的。 上述習知淨水回收系統僅以超濾膜過濾器作為污水透析 的主要渡’會受限於超渡膜過渡器去除效果及使用年限，必 須有部分帶著固體的濃縮水被直接排放，以避免淨水回收系統 内的固體雜質無限制地升高，造成超濾膜過濾器内部的濾膜嚴 重阻塞無法正常透析濾水。 综觀習知淨水回收系統的效益，雖然可以達到部分淨水回 收再利用的目的，可是濃縮排放的污水仍造成下列困擾： 1·濃縮棑放後的污水，需再經過混凝、沉殿處理，以污水 3 M423693 處理的角度看來’_處理的水量齡，但是處理的水中固體 濃度卻升高，傭加人等量的賴射能加以沉麟放，最終 無助於減輕污水處理的負荷。 2.以超/慮膜濾、益為主的淨水回收系統，其濃结排放水量約 占淨水回1¾統總體水量的1G〜25%，此1()〜娜的水量須 以水處理後的方式加輯放，無法侧用，甚為可惜。 【新型内容】 有鑑於上述習知結構之缺點所在，本創作主要目的，係提 供一種半導·業之污水淨倾⑽統，其具有可將污水中固 體微粒以細力作財式，自污水中分軸來，被分離出的固 體微粒，可依污泥棄紐程直接轉，峨分離妹的液態水 可被重新進行彳純再猶的健程序，_職猶低污水中 固體微粒含量之功能。 .為達到上述目的’本創作提供一種污水淨化裝置，其包括 •一過濾裝置及一離心裝置組成；其中， 該過濾裝置’心原水儲槽、縣泵、觸麟器、清 =、逆洗^縮水儲槽、離心供杨、複數開關 數管路連結而成； 别述原水储槽，-端連結於切割研磨污水，一端與原水果 =水口連結，該原侧配合管路連結於超濾麟器之入水 官路’且在原水泵與超濾膜•的管路設有-號開關間； 月，】述超慮膜渡器，一端連結有-入水口管路，該端另以管 路連結有八號開關闕和-空厂堅機，該超瀘職器另端連結有一 淨水管路，以及提供排放污水且相互連通的第一管路盘第二管 路；其中’該入水口管路一端與第-管路相連接，且該入水口 管路設有六額m 該淨水管路與清水儲槽相連接’且設有 -號開關閥·’該第-管路—端與原水儲槽相連接，在進入原水 儲槽之前設有四號開關間和第一排水開，且第一、二管路另端

係與漠縮水錯槽相連接’該苐一管路進入漠縮水儲槽之前設有 七號開關閥，該第二管路進入濃縮水儲槽之前設有三號開關閥 及一第二排水閥； 前述清水職’―端與逆洗泵連結，_逆洗泵係配合管 路4水官路相互連結，在前述管路連結五號_閥，前述清 m槽另連結有—制點供水泵，可霜存於清水儲槽内的清 水輸送至作為晶__研斜的清洗财，即輸送至使用點

前魏缩水· ’係接收來自超遽膜遽器排出的污水，其 一端連結一離心供水泵； 。亥離心裝置，為臥式離心裝置和碟片式離心裝置任一種， =水端錢結於離心供水泵，_处置另設能體排放口 二^放刀離出的固體微粒，及液體排放口，該液體排放口係 配ό管路連結於原水儲槽； '達至〗、’查超濾臈濾器透析後的淨水可回收再利用，而經 離裝置刀離出的固體微粒，可依污泥棄物流裎直接丢棄或回 5 收再利用’娜心裝置分離出的液態水則可被導人原水儲槽進 行重複過濾之作業者。 本創作過濾裴置在原水泵與超濾膜濾器的連結管路中設 有-袋滤n ’可對污水巾的細微顆粒、懸浮物進行初步過渡， 以降低對超滤膜渡器的過遽負擔，具有實質提昇其使用期限的 功能_。 【實施方式】 餘下’茲再配合本創作較佳實施例之圖式進一步說明如后 ，以期能使熟悉本創作相關技術之人士，得依本說明書之陳述 據以實施： 首先’敬請配合參閱第-圖所示，為本創作一種污水淨化 農置之較佳實施例-示意圖，其包括：—過濾裝置⑽及一離 心裝置200組成；其中， 該過遽裝置議，包括：原水職1()、原水泵2()、超遽 膜遽器30、清水儲槽40、逆洗泵5〇、濃縮水儲賴、離心供 水泉7〇、—1Q1〜⑽以及複數管路⑽連結而成 ;其中， 該原水儲槽10，-端連結於切割或研磨污水，_端與原 水泵20的入水口連結，該原水栗2〇的出水口配合管路⑽連 結於超_額3〇之人水π管路31，且在原核2()與超遽 膜遽器30的管路109設有一號開關閥〖Μ ; 該超渡膜遽器3G ’ -端連結有—入水口管路3卜該端另 M423693 以管路109連結有八號開關閥108和-空壓機130，該超遽膜 濾◎ 30另端連結有一淨水管路&，以及提供排放污水且相互 連通的第-管路33與第二管路34 ;其中，該人水口管路Μ 端”第s路33相連接’且該人水σ管路31設有六號開關 閥106 ;該淨水管路32與清水儲槽4〇相連接 關謂；該第-管路33-端與原水儲㈣相連接有= 原綱t Η)之前設有四號開關閥1〇4 ’和可手動調整水流量 =管路33、％输與濃縮水 連接，該第—管路33進人濃縮水觸60之前対 七號開關間107,該第二管路34進入濃縮 設 三號開關閥103及一第二排水間12〇; 之月“又有 前述清水儲槽40，-端與逆洗系5〇連社 雜奸路109與淨水料32相互連結，麵 結玉號開關閥105，前述清水儲槽40另連結右一 連 泵4!，可將儲存於清水儲槽4〇内的清= 占供水 或研磨時的清洗用水，即輸送至使用胃占.作為曰曰固切割 前述灌縮水儲㈣，係接絲自超魏 水，其一端連結一離心供水泵7〇; 排出的污 雜心裝置200，為叹離心鼓和 種’其人相係連結於離心供n u裝置任-有固體排放口，可排放分離出的固體微教:裝置200另設 液體排放口係配合管路109連結於 液體排放口，該 、口、眾7JC錯槽; 7 M423693 俾以藉由上述構件組成，當污水淨化裝置運行時，污水可 經超遽膜遽器30透析出淨水供回收再利用，而經超遽膜滤器 3〇排出的濃縮水可由離心褒置·，以離心作用力分離出的固 體微粒和液態水’前述固體微粒可依污泥棄麟程直接吾棄或 回收再利用’崎態水難新再被導人原水職1()進行重複 過濾之作業者。 繼續，更進一步詳細說明’本創作污水淨化裝置在進行污 水淨化的作業程序·· ^ 當原水儲槽10收集的污水累積至預定水位後，該一至四 號開關閥1(U、102、103 ' 104開啟，其他五至八號開關閥1〇5 106 107、1〇8呈酬狀態；在此同時原水泵2〇啟動，原 水儲槽10⑽污水經過一號開關閥1(H，轉入水口管路31進 入超濾'膜遽器30内部進行透析，經透析的淨水由淨水管路犯 經二號開關閥102輸入清水儲槽4〇，以供作為加工製程的清 洗用水；而超遽膜遽器3〇在透析污水過程中，為避免其内部 φ 的微粒子無_上升，财部分濃縮林直接從帛二管路％ 經三號開_⑽和第二排水閥12()排人濃縮水儲槽6〇，其 排出水量佔導入超濾膜據器3〇内部的總水量1〇〜25%，前述 排欠置的⑺L昼控制係由第二排水閥12〇以手控方式設定。經超 遽膜濾、器30透析後被排放出的濃污水或逆洗水被集中於遭縮 水儲槽60 ’之後，、經由離心供水栗7〇輸送進入離心裝置咖 以離心方式將固體微粒直接從污水中抽離，再以固體排渔方式 8 排出，而分離後的液態水係經管路⑽再被導人原水儲槽10 ’進行重複循環過濾處理。 當超滤膜濾、器30内部膜體累積大量高濃度的微粒子時， 必須進行清洗糾’吨昇其造水舰，本實補在運行逆沖 洗時，係配合魏洗健，魏行方式為：氣洗、下逆洗、氣 洗、上逆洗、沖洗，詳細程序如下： 1. 氣洗一 將第七、八號開關閥107、⑽打開，其餘一至六號開關 闕101 102 103 104、105、106呈關閉狀態，以空壓機13〇⑽A) 產生的乾懸縮空氣由人號開_⑽進人超濾麟器3〇内 部’藉由氣流擾動使附著在臈體表面的微粒子鬆脫，再由第一 管路33經七號開_ 1G7排人濃縮水儲槽6〇。 2. 下逆洗 將第五、六號開關閥105、106打開，其餘開關閥呈關閉 狀態，並起動逆洗泵50，以清水騎4〇的清淨水從五號開關 經超渡職器30的淨水管路32導入其内部，即可將高 濃度林由人水口管路31經六號開_⑽接第—管路％直 接排入濃縮水儲槽60收集’待濃縮水儲槽60累積至預定水位 後，再啟動離心裝置2〇〇進行固液分離作業。 3.氣洗二 再一次的氣洗’開啟第七、人號開_ 1()7、⑽，以空 壞機130 _)產生乾燥壓縮空氣由第八號開關闕⑽進入超 =膜應器30内部，使内部膜體造成擾動，藉以鬆脫附著在超 的微粒子’再由第七號開關閥浙排出。 4. 上逆洗 主丁開弟五、七號開關閥105、107，並起動逆洗泵5〇，以 狀绪槽40的清淨水從五號開關闊1〇5經超渡膜濾器的淨 水S路32導入其内部，將高濃度廢水從第-管路33經第七號 哥107排入濃縮水儲槽收集，之後再由離心裝置2〇〇 做固液分離。 5. 沖洗 開啟第一號開關閥101和第四號開關閥104，並起動原水 栗20 ’以污水(原水）沖刷超濾膜濾器30内部，再次將附著在 膜體表面殘餘的微粒子帶走。 上述超濾、膜;慮器30内部的清洗作業，可視需求省略氣洗 作業或上、下逆洗作業程序。 再者’本創作過濾裝置100在原水泵20與超濾膜濾器30 的連結官路109中設有-袋遽$ 14〇，可先行對污水中的細微 顆粒、懸浮物進行初步過濾’以降低對超濾膜濾器3〇的過濾 負擔，具有實質提昇其使用期限的功能。 如第二圖所示，為本創作污水淨化裝置之較佳實施例二， 其包括：一過濾裝置1〇〇及一離心裝置2〇〇組成；其中， 該過濾裝置100，包括：原水儲槽1〇、原水泵2〇、超濾 膜遽器30、清水儲槽4〇、逆水泵5〇、離心供水泵7〇及複數 管路109組成；其中’ 該原水儲槽m連結自來切贼研磨的沖洗污水， 其另端以兩條獨立管路⑽相連結_原杨别和—離心供 水泵70 ; 該原水泵20，係配合官路109與超渡膜渡器3〇之入水口 端相連結； 該超濾膜濾器30 ’設有清淨水出口端配合管路1〇9連結 -清水儲槽40 ’其另設有污水出口連結至前述原水儲槽1〇 ; 該清水儲槽40，可儲存來自超遽膜渡器3〇透析後的淨水 ，其連結一逆洗泵50，該逆洗泵50係配合管路1〇9連結於超 濾膜濾器30的淨水出口端，可將清水儲槽4〇的淨水導入超濾 膜濾器30内部進行逆沖洗； 該離心裝置200，為臥式離心裳置或碟片式離心裝置任一 種’其入水口端係連結於離心供水泵7G，以接收自來離心供 水系7(M專送的高濃度污水，其利用離心方式將固體微粒直接 從高濃度污水中進行分離作t，分離出_體係以排渣方式排 出，而分離後的液態水係配合管路109碰導入原水儲槽1〇 ，進行重複性的循環過濾。 本創作上述較佳實施例二，在原水粟2〇連結超遽膜遽 3〇的吕路在超濾膜濾、器30連結清水儲槽40的管路、在: 濾膜濾器30連社原士 μ & — " ^ 、。原尺储槽1〇的官路、在逆洗泵50連結超;〕 膜慮益30的輯㈣有必備關關，當本污水淨化裝置4 進行污水淨化的健程鱗，可鰣_聽行_作業；並 且在超義__清錢槽4_路爾域膜遽器 3〇連結原水漏㈣管路分別設有可調整水流量的排水闕。 如第三圖所示，為本創作污水淨化裝置之較佳實施例三， 其包括：-過渡裝置1〇〇及一離心裝置200組成；其中， 該過渡裝置100，其包括：原水儲槽10、離心供水泵70 、離心儲水槽80、攄膜供水栗90、超濾膜濾器3〇、清水儲槽 4〇及複數管路109組成；其中， 該原水儲槽10 δ又啕運、，。自來切割或研磨沖洗的污 水接收端1卜其另端配合複數f路⑽依序連結於離心供水 果7〇、離心儲水槽80、_供水栗90及超據膜渡器30 ;前 桃慮观It 3G設有淨水^ σ端，且崎路⑽與清水儲槽 40連結，儲存於清水麟4()的淨水可供作為太陽能光電產業 約刀割或研練財所需要的清洗用水；該清水儲槽40連社 :逆洗泵50 ’該逆水泵5G係配合管路⑽連結於超據膜渡器 的淨水出口端，以便將淨水導入超遽膜渡器3〇内部進行逆 沖洗；前述超軸慮器30設有污水出口，且配合管路⑽連 結至前述原水儲槽1G，以便重複進行前述循環過渡作業； °玄離心裝置200，為臥式離心裝置或碟片式離心裝置任一 種’其係設在離心供縣7G與離㈣水槽8{)的連結管路，可 接收自來離心供水菜7Q輸送而至的污水經離心裝置2〇〇以 離心作用力方式可朗水直接進行固、《分離作業，分離出 12 :可以恤咖，麵_態嫌導入離心儲水 嶋淨化處理。 n 私佳實闕三’麵讀水槽8〇連結超渡膜 ^路、在超細軸3Q連結清水儲槽4G的管路、 雜3〇連結原水儲槽1G的管路、在逆洗泵5〇連結 起’慮膜;慮器30的營跋皆机古v 罢h 路όδΧ有轉綱Μ ’當本污水淨化裝 仃时淨化的作業程序時，可適時的對應執行開關作業 念、且在超濾_、器30連結清水儲槽㈣管路 蝴㈣物她細整水流量的排水 閥0 综合上述’本_污水淨化裝置之錄實施例-〜三所示 的過餘置刚，其構造配合雖有所差異，但皆不脫離以使用 超慮職H為主錢材所組成的基本_，據此，舉凡以超滤 膜遽器為主·材，再配合-般私碎之基本構件所植紅 過滤裝置，料麟本_ ψ請專鄕_做之轉變化與修 飾，皆為本創作專利範圍所涵蓋。 【圖式簡單說明】 第一圖：本_污水淨化裝置難實施例—之示意圖 第二圖：本創作污水淨化裝_佳#_二之示意圖。 第三圖：本創作污水淨化裝置較佳實施例三之示ϋ。 M423693 【主要元件符號說明】 過濾裝置一一100 第一排水閥一110 袋濾器------140 三號開關閥一103 六號開關閥一106 管路--------109 原水泵-------20 淨水管路-----32 清水儲槽-----40 濃縮水儲槽—60 濾、膜供水果—90 第二排水閥--120 一號開關閥一101 四號開關閥一104 七號開關閥一107 原水儲槽-----10 超濾、膜遽器—30 第一管路-----33 使用點供水泵-41 離心供水泵---70 離心裝置——200 空壓機------130 二號開關閥一102 五號開關閥一105 八號開關閥一108 污水接收端—11 入水口官路—31 第二管路-----34 逆洗泵-------50 離心儲水槽—80 14

Claims (1)

1. 六、申請專利範圍： 1. 一種污水淨化裝置，包括： 該過遽裝置’包括： 一過濾裝置和一離心裝置紐成； 一原水儲槽，一端連結污水接收端，一端配合管路連妹—原 水泵，該原水栗連結於超滤膜慮器之入水口管路； 、 一超濾膜濾器，一端設有入水口管路，另端設有一淨水管路 ，以及一相互連結的第一、二管路；前述入水口管路一蠕與 第一管路相連結:，該淨水管路連結於一清水儲槽該第一 二管路-端連結於-親水儲槽，且第—管路—端與原 槽相連結； ： -清水儲槽，連結-逆洗泵’該逆洗纽好路連結於超液 膜滤器之淨水管路； 一濃縮水儲槽，連結一離心供水泵； 雜心裝置’將其人水σ端連結於上述離心供水泵，其书 離心方式可將污水錄直接絲出，分離出的固 从排產方式排出，而分離後的液態水另以管路連結導 儲槽。 ，該連結 ，該連結 ;該第一 如申吻專利域第丨項所述之污水淨化裝置，其中 '號開關間 t系與鱗職器之人知管路設有—號開關間 超遽臈相與清水儲槽的淨水管路設有. 15 无 无 過濾裝置和一離心裝置組成 一種污水淨化襄置.，;包括： 該過濾裝置，包括： 、原水儲槽’―端連結自來蝴或研磨的沖洗污水，其另端 以兩條獨:^路分观結_原水系和—離心供水栗； 、栗配5官路與超遽膜滤器之入水口端相連結； ，超;慮慮為’設有清淨水出口端配合管路連結一清水儲槽 其另叹有水出口以管路連結皇前述原水儲槽； 月X儲槽連結一逆洗栗，該逆洗栗配合管路連結於超渡 膜渡益的淨水出口端； k離u裝置’其入水口端連結於上述離心供縣，其利用離 〜方式可將污水巾_體微粒直接分離出，分離出的固體以 排造方式排出，而分離後態水另以管路連結導入原水錯 槽。 .如申π專利lallf 4項所述之污水淨化裝置，其中，該離心 襞置為臥式離心装置或碟片式離心裝置。 .種污7jc淨化裝置，包括：一過遽裝置和—離心裝置組成； 該過濾裝置，包括： —原水儲槽’―猶結污水接《，其另端配合複數管路依 序連結於離^供水儲水槽、細供水狀超濾膜滤 M423693

   器；前述超濾膜濾器設有淨水出口端，且以管路與清水儲槽 連結；該清水儲槽連結一逆洗泵，該逆水泵配合管路連結於 超濾膜濾器的淨水出口端；前述超濾膜遽器設有污水出口， 且配合管路連結至前述原水儲槽； 該離心裝置，係設在離心供水泵與離心儲水槽的連結管路。 7.如申請專利範圍第6項所述之污水淨化裝置，其中，該離心 裝置為臥式離心裝置或碟片式離心裝置。

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