CN102897931A - 半导体产业的污水净化循环系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体产业的污水净化循环系统，包括：以超滤膜滤器为主要滤材所构成的超滤膜净水回收系统中，依污水固体含量多寡在系统适当流程中结合一离心装置，借由离心装置将水中固体微粒以离心力作用，自污水中分离出来，被分离出的固体微粒，其含水率可降低至重量百分比50％以下，可省略掉传统需要再进行污水处理作业的程序，直接依污泥弃物流程丢弃；而部分研磨工艺的污水含高纯度的硅，其固体微粒经离心装置的离心脱水至含水率达重量百分比25％以下，可再行回收；前述经离心装置分离出来的液态水被重新再导入超滤膜净水回收系统的初始端，进行重复过滤作业。

Description

半导体产业的污水净化循环系统

技术领域

本发明是关于一种污水净化循环系统，尤指一种将半导体产业所产生的切割或研磨污水，以超滤膜净水系统结合离心装置的系统加以过滤净化，并且将前述过滤净化后的净水导入作为本发明主要净水来源的半导体产业的污水净化循环系统。

背景技术

目前，在半导体的电子产业中，对于晶圆在切割及研磨的工艺中，需搭配纯水加以清洗，清洗后的纯水带有大量的固体微粒。为了达到回收再利用的目的，目前业界的处理方式及应用流程，常以超滤膜过滤器(UF)为主的净水回收系统过滤水中的固体杂质，达到固体和液体分离的效果，经透析后的净水依水质状况，再导入净水回收系统适当的回收点，以此达到回收再利用的目的。

上述公知净水回收系统仅以超滤膜过滤器作为污水透析的主要滤器，会受限于超滤膜过滤器去除效果及使用年限，必须有部分带着固体的浓缩水被排放，以避免净水回收系统内的固体杂质无限制地升高，造成超滤膜过滤器内部的滤膜严重阻塞无法正常透析滤水。

纵观公知净水回收系统的效益，虽然可以达到部分净水回收再利用的目的，可是浓缩排放的污水仍然有造成下列的困扰之处：

1.浓缩排放后的污水，需再经过混凝、沉淀处理，以污水处理的角度来看，虽然处理的水量减少，但是处理的水中固体浓度却升高，仍须加入等量的混凝剂才能加以沉淀排放，最终无助于减轻污水处理的负荷。

2.浓缩排放水量约占净水回收系统总体水量的10～25％，此10～25％的水量须以污水处理后的方式加以排放，无法再利用，甚为可惜。

发明内容

有鉴于上述公知净水回收系统存在的缺点，本发明的主要目的在于提供一种能充分回收并净化污水的半导体产业的污水净化循环系统。

为达到上述目的，本发明提供一种半导体产业的污水净化循环系统，其由一超滤膜净水回收系统结合一离心装置组成；其中，该超滤膜净水回收系统是以超滤膜滤器为主要滤材所构成，其尚包括：原水储槽、清水储槽、浓缩水储槽、原水泵、逆洗泵、离心供水泵、两个以上开关阀及两个以上管路；该离心装置连结于离心供水泵，能接收来自所述浓缩水储槽的污水，将污水中固体微粒分离出来，前述分离出来的固体微粒以排渣方式排出，而所分离出来的液态水，再以超滤膜净水回收系统进行重复性的循环过滤作业，且经超滤膜净水回收系统透析后的清净水，可供作为加工工艺的清洗用水。该离心装置为卧式离心装置和盘片式离心装置任一种，前述污水可经由离心装置将固体微粒分离出来，所分离出来的固体微粒，可以达到含水率重量百分比50％以下，据此，可直接依污泥污弃物流程丢弃；当部分研磨工艺的污水含高纯度的硅，其固体微粒经离心装置的离心脱水至含水率达重量百分比25％以下，可提供回收再利用。

本发明还提供一种半导体产业的污水净化循环系统，该污水净化循环系统以超滤膜滤器为主要滤材，配合原水储槽、原水泵、清水储槽、逆洗泵、离心供水泵及两个以上管路组成超滤膜净水回收系统，该超滤膜净水回收系统结合有一离心装置；该离心装置连结于所述离心供水泵，可接收来自浓缩水储槽的污水，可将污水中固体微粒分离出来，前述分离出来的固体微粒以排渣方式排出，而所分离出来的液态水，再以所述超滤膜净水回收系统进行重复性的循环过滤作业，且经所述超滤膜净水回收系统透析后的清净水，可供作为加工工艺的清洗用水。

本发明半导体产业的污水净化循环系统，其由一超滤膜净水回收系统结合一离心装置组成；其中，

本发明较佳实施例一的超滤膜净水回收系统，包括：一原水储槽，其一端连结切割研磨污水，其另一端连结一原水泵将前述污水送入超滤膜滤器，经超滤膜滤器透析后的清净水导入一清水储槽，以供连结至使用点再利用，该清水储槽连结一逆洗泵，可将清净水由超滤膜滤器的净水出口端导入超滤膜滤器内部进行逆冲洗；前述超滤膜滤器设有污水出口连结至一浓缩水储槽，以储存过滤后的高浓度污水，该浓缩水储槽连结一离心供水泵，借由该离心供水泵将高浓度污水输送至一离心装置，利用离心方式将固体微粒直接从污水进行分离作业，以固体排渣方式排出，而经离心装置分离后的水再导入原水储槽，以便进行循环过滤，具省却污水处理作业的特点。

本发明较佳实施例二的超滤膜净水回收系统，包括：一原水储槽，其一端连结切割研磨污水，其另一端连结一原水泵将前述污水送入超滤膜滤器，经超滤膜滤器透析后的清净水导入一清水储槽，以供连结至使用点再利用，该清水储槽连结一逆洗泵，可将清净水由超滤膜滤器的净水出口端导入超滤膜滤器内部进行逆冲洗；前述超滤膜滤器设有污水出口连结至前述原水储槽，该原水储槽连结一离心供水泵，借由该离心供水泵将原水储槽内的污水输送至一离心装置，利用离心方式将固体微粒直接从污水进行分离作业，以固体排渣方式排出，而经离心装置分离后的水再导入原水储槽，以便进行循环过滤，同样可达到具省却污水处理作业的功能。

本发明较佳实施例三的超滤膜净水回收系统，包括：一原水储槽，其一端连结切割研磨污水，其另一端依序连结一离心供水泵和一离心装置，该离心供水泵将原水储槽内的污水输送至一离心装置，利用离心方式将固体微粒直接从污水进行分离作业，以固体排渣方式排出，而经离心装置分离后的水储存于一离心储水槽，该离心储水槽连结一滤膜供水泵，借由滤膜供水泵将离心储水内污水导入超滤膜滤器进行透析净化，经超滤膜滤器透析后的清净水导入一清水储槽，以供连结至使用点再利用，该清水储槽连结一逆洗泵，可将清净水由超滤膜滤器的净水出口端导入超滤膜滤器内部进行逆冲洗；前述超滤膜滤器设有污水出口连结至前述原水储槽，以便重复进行前述循环过滤作业。

本发明离心装置依据切割研磨污水中粒径及排渣物的处理方式不同，分为卧式离心装置和盘片式离心装置，以卧式离心装置处理后的排渣物，含水率可调整到50％左右，经过特殊计算的卧式离心装置，其排渣物含水率甚至能做到20％，便于排渣物的回收或再利用，卧式离心装置转速最高只达4,500RPM(每分钟转速比；转/分钟)，产生的G力(泛指高速移动时承受力道的单位；等同离心力)远低于盘片式，所以对于粒径小于2μm(微米)以下的固体微粒其固、液分离效果远低于盘片式。

然而盘片式的离心装置其排渣物的含水率几乎呈现泥状，不利于后续的污弃物处理。因此对于离心装置的选择须考虑原水粒径的大小及污弃物处理的方式。

当水中固形物粒径为2～20μm，要求排渣物含水率为重量百分比5～20％，离心装置的转速是设定在2500～5000(RPM)时，采用卧式离心装置。

当水中固形物粒径小于2μm，要求排渣物含水率大于重量百分比50％以上，离心装置的转速是设定在4500～12000(RPM)时，采用盘片式离心装置。

离心装置在超滤膜净水回收系统中的作用，除了上述说明的功能外，还可以降低超滤膜净水回收系统水中的固体浓度，减轻超滤膜滤器的处理负担。

本发明最少可达到下列目标的1～2项或全部：

1.增加超滤膜净水回收系统的固体微粒回收率，最高可达99.5％以上；

2.被分离的固体微粒，可不经污水处理场处理，直接以污弃物处理流程处理，或依其固体种类及纯度再回收利用；

3.可提高超滤膜(UF)滤器的使用寿命；

4.可减少超滤膜(UF)滤器的药洗频率；

5.污水净化循环系统为全自动化作业，可减少人工操作费用。

附图说明

图1为本发明半导体产业的污水净化循环系统结构较佳实施例一的配置图；

图2为图1的局部结构衍生示意图；

图3为本发明半导体产业的污水净化循环系统结构较佳实施例二的配置图；

图4为本发明半导体产业的污水净化循环系统结构较佳实施例三的配置图。

附图标记说明

具体实施方式

下面配合本发明较佳实施例的附图进一步说明如后，以便能使熟悉本发明相关技术的人士，能依照本说明书的陈述据以实施：

首先，本发明一种半导体产业的污水净化循环系统，其主要是以超滤膜滤材构成的超滤膜净水回收系统，再根据污水中固体微粒含量和粒径的大小状况，在超滤膜净水回收系统适当的流程中连结一离心装置，借由离心装置直接从污水中将固体微粒分离出来，所分离出来的固体微粒，可以达到含水率重量百分比50％以下的功能，而所分离出来的液态水再被导入超滤膜净水回收系统的原始端，进行重复性的循环过滤作业，此外，经超滤膜净水回收系统透析后的清净水，可提供作为晶圆切割或研磨等加工工艺中的清洗用水。

如图1所示，为本发明较佳实施例一的一种半导体产业的污水净化循环系统，其由一超滤膜净水回收系统100结合一离心装置200组成；其中，

该超滤膜净水回收系统100，包括：一原水储槽10、一原水泵20、一超滤膜滤器30、一清水储槽40、一逆洗泵50、浓缩水储槽60、离心供水泵70、第一排水阀110、第二排水阀120、一空压机130、一至八号开关阀101～108及配合两个以上管路109连结而成；

该原水储槽10，配合管路109依序连结有一原水泵20和一超滤膜滤器30；前述原水储槽10一端连结有来自冲洗晶圆切割或研磨等加工工艺时所收集的污水接收端11；前述原水泵20可提高水压压力将污水由超滤膜滤器30的入水口管路31导入至可运行透析作业状态；该超滤膜滤器30设有清净水出口端连结至清水储槽40，储存在清水储槽40的清净水可提供作为晶圆切割或研磨工艺中所需要的清洗用水，并且在清水储槽40连结一逆洗泵50，可将清净水由超滤膜滤器30的净水出口端导入超滤膜滤器30内部进行逆冲洗；

该超滤膜滤器30在其污水入口端设有一入水口管路31，在出口连结相通的第一管路32和第二管路33，该第一、二管路32、33一端与浓缩水储槽60相连，而第一管路32另一端与原水储槽10相连接，并且提供入水口管路31一端连结，前述该浓缩水储槽60提供储存来自超滤膜滤器30所排出的高浓度污水，该浓缩水储槽60连结有一离心供水泵70，而该离心供水泵70可将前述高浓度污水输入连结在其一端的离心装置200；

该第一排水阀110连结在上述第二管路33，而该第二排水阀120连结在第一管路32通往原水储槽10的一端，前述第一、二排水阀110、120可供手动设定水流量的大小；

该空压机130连结在超滤膜滤器30的另一入口端；

该一号开关阀101，设在原水泵20连结超滤膜滤器30的管路；

该二号开关阀102，设在超滤膜滤器30连结清水储槽40的管路；

该三号开关阀103，设在第二管路33；

该四号开关阀104，设在超滤膜滤器30连结原水储槽10的第一管路32；

该五号开关阀105，设在逆洗泵50连结超滤膜滤器30的管路；

该六号开关阀106，设在超滤膜滤器30的入水口管路31；

该七号开关阀107，设在超滤膜滤器30连结浓缩水储槽60的第一管路32；

该八号开关阀108，设在超滤膜滤器30与空压机130连结在管路；

该离心装置200连结于离心供水泵70的出口端，以接收自来离心供水泵70传送的高浓度污水，其利用离心方式将固体微粒直接从高浓度污水中进行分离作业，分离出的固体以排渣方式排出，而分离后的液态水被导入回原水储槽10，再进行重复性的循环过滤；其中，该离心装置200为卧式离心装置或盘片式离心装置任一种。

当超滤膜滤器30在透析上述切割或研磨污水时，由于超滤膜滤器30的处理特性，必须借由第一、二排水阀110、120酌量排放固定比例的浓缩水，一般排放比例约重量百分比10～25％，且超滤膜滤器30运行一段时间后，必须以清净水逆洗内部的超滤膜，避免超滤膜累积大量的固体微粒，而影响超滤膜滤器30的造水功能。

经超滤膜滤器30透析后被排放出的浓污水或逆洗水均含有高浓度的固体微粒，因此，极为适合以离心方式将固体微粒直接从水中抽离，再以固体排渣方式排出，进而达到污水固、液分离的目的，不但可抑制系统中固体微粒持续升高，且分离后的液态水重复循环过滤处理，因此，也没有产生新的污水，具有省下后段污水处理作业的功能。

本发明半导体产业的污水净化循环系统在运行污水净化的作业程序中，共有：产水、气洗、下逆洗、上逆洗、冲洗等步骤，其动作说明如下：

1.产水

当原水储槽10收集的污水累积至预定水位，该一至四号开关阀101、102、103、104开启，其它五至八号开关阀105、106、107、108呈关闭状态；在此同时原水泵20启动，系统开始造水，污水由一号开关阀101进入，经超滤膜滤器30渗透的净水由二号开关阀102输入清水储槽40，以供作为加工工艺的清洗用水，为避免超滤膜滤器30内部的微粒子无限制上升，必须有部分浓缩污水直接从三号开关阀103排入浓缩水储槽60，其排出水量占导入超滤膜滤器30内部的总水量10～25％，前述排水量的控制是由第一排水阀110以手控方式设定。经超滤膜滤器30透析后被排放出的浓污水或逆洗水被集中于浓缩水储槽60，之后，经由离心供水泵70输送进入离心装置200，以离心方式将固体微粒直接从污水中抽离，再以固体排渣方式排出，而分离后的液态水经管路109再被导入原水储槽10，进行重复循环过滤处理。

当超滤膜滤器30经长期产水后，其内部膜体会累积大量高浓度的微粒子，必须进行清洗排出，以免影响超滤膜滤器30的造水功能，为达到此目的，必须执行气洗、下逆洗、上逆洗、冲洗等的动作，前述执行步骤如下：

2.气洗一

将七、八号开关阀107、108打开，其余一至六号开关阀101、102、103、104、105、106呈关闭状态，以空压机130(CDA)产生的干燥压缩空气由八号开关阀108进入超滤膜滤器30内部，再由七号开关阀107排出，使超滤膜滤器30内部造成扰动，借以松脱附着在膜体表面的微粒子。

3.下逆洗

将五、六号开关阀105、106打开，其余阀门呈关闭状态，并起动逆洗泵50，以清水储槽40的清净水从五号开关阀105经超滤膜滤器30的清净水出口端导入其内部，即可将高浓度污水由入水口管路31经六号开关阀106接第一管路32直接排入浓缩水储槽60收集，待浓缩水储槽60累积至预定水位后，再启动离心装置200进行固液分离作业。

4.气洗二

再一次的气洗，开启七、八号开关阀107、108，以空压机130(CDA)产生干燥压缩空气由八号开关阀108进入超滤膜滤器30内部，使内部膜体造成扰动，借以松脱附着在UF膜表面的微粒子，再由七号开关阀107排出。

5.上逆洗

打开五、七号开关阀105、107，并起动逆洗泵50，以清水储槽40的清净水从五号开关阀105经超滤膜滤器30的清净水出口端导入其内部，将高浓度废水从第一管路32经七号开关阀107排出，排出的高浓度废水由浓缩水储槽60收集储存，待累积至预定水位后，再由离心装置200做固液分离。

6.冲洗

开启一号开关阀101和四号开关阀104，并起动原水泵20，以污水(原水)冲刷超滤膜滤器30内部，再次将附着在膜体表面残余的微粒子带走。

上述污水净化的作业程序，仅为本发明一较佳实施例，并非用来限定本发明实施的范围。

再者，如图2所示，本发明半导体产业的污水净化循环系统，在连结原水储槽10的原水泵20与超滤膜滤器30间的管路109连结有一袋滤器140，可对污水中的细微颗粒、悬浮物进行初步过滤，以降低对超滤膜滤器30的过滤负担，具有实质提升其使用期限的功能。

如图3所示，其为本发明较佳实施例二的一种半导体产业的污水净化循环系统，其由一超滤膜净水回收系统100结合一离心装置200组成；其中，

该超滤膜净水回收系统100，包括：一原水储槽10，一端连结切割或研磨冲洗的污水接收端11，其依序连结有一原水泵20和一超滤膜滤器30；前述超滤膜滤器30在清净水出口端连结一清水储槽40，该清水储槽40内部的清净水可提供作为晶圆切割或研磨工艺中所需要的清洗用水，并且在清水储槽40连结一逆洗泵50，经由逆洗泵50将储存在清水储槽40的清净水，由超滤膜滤器30的净水出口端再导入超滤膜滤器30内部进行逆冲洗；经超滤膜滤器30透析后的清净水经由其净水出口端导入储存于一清水储槽40，以供作为晶圆切割或研磨工艺中所需要的清洗用水，该清水储槽40连结有一逆洗泵50，可将清净水由超滤膜滤器30的净水出口端导入超滤膜滤器30内部进行逆冲洗；前述超滤膜滤器30设有污水出口连结至前述原水储槽10，该原水储槽10连结一离心供水泵70；

该离心装置200连结于离心供水泵70，以接收自来离心供水泵70传送的高浓度污水，其利用离心方式将固体微粒直接从高浓度污水中进行分离作业，分离出的固体以排渣方式排出，而分离后的液态水被导入回原水储槽10，再进行重复性的循环过滤；其中，该离心装置200为卧式离心装置或盘片式离心装置任一种。

如图4所示，为本发明较佳实施例三的一种半导体产业的污水净化循环系统，其由一超滤膜净水回收系统100结合一离心装置200组成；其中，

该超滤膜净水回收系统100，包括：一原水储槽10，一端设有连结切割或研磨冲洗的污水接收端11，其另依序连结有一离心供水泵70、一离心储水槽80、一滤膜供水泵90及一超滤膜滤器30；前述超滤膜滤器30在其净水出口端将透析后的清净水导入一连结的清水储槽40，以供作为太阳能光电产业于切割或研磨工艺中所需要的清洗用水，此外，该清水储槽40连结一逆洗泵50，可将清净水由超滤膜滤器30的净水出口端导入超滤膜滤器30内部进行逆冲洗；前述超滤膜滤器30设有污水出口连结至前述原水储槽10，以便重复进行前述循环过滤作业；

该离心装置200，连结在离心供水泵70与离心储水槽80之间，该原水储槽10内的污水经由离心供水泵70输入离心装置200，利用离心方式将固体微粒直接从污水进行分离作业，以固体排渣方式排出，而经离心装置200分离后的水储存于离心储水槽80，以更进行后续一系列的过滤作业。其中，该离心装置200为卧式离心装置或盘片式离心装置任一种。

再者，本发明于上述较佳实施例一～三的污水净化循环系统中，在清水储槽40连结有一使用点供水泵41，借由该使用点供水泵41可将清水储槽40内的清净水，提供作为各种加工工艺的清洗用水。

上述实施例二、三的污水净化循环系统在相对于实施列一配置图的对应管路109上，装设有必要的开关阀，且在超滤膜滤器30的一入口端连结有一空压机130及一开关阀，以供进行超滤膜滤器30的内部清洗作业，由于前述各开关阀及空压机130为基本配备，故在实施列二、三的配置图中将之省略，仅以简图表示。

本发明在超滤膜净水回收系统中所使用的超滤膜滤器，可为微滤膜滤器，或由具有同等效能的各种公知膜体滤器所取代。

综上所陈，仅为本发明较佳实施例而已，并非用来限定本发明实施的范围。即凡是依本发明权利要求所做的均等变化与修饰，均为本发明专利保护范围所涵盖。

Claims (13)

1.一种半导体产业的污水净化循环系统，其特征在于，该污水净化循环系统以超滤膜滤器为主要滤材，配合原水储槽、原水泵、清水储槽、逆洗泵、浓缩水储槽、离心供水泵及两个以上管路组成超滤膜净水回收系统，该超滤膜净水回收系统结合有一离心装置；该离心装置连结于所述离心供水泵，能接收来自所述浓缩水储槽的污水，将污水中固体微粒分离出来，前述分离出来的固体微粒以排渣方式排出，而所分离出来的液态水，再以所述超滤膜净水回收系统进行重复性的循环过滤作业，且经所述超滤膜净水回收系统透析后的清净水，可供作为加工工艺的清洗用水。

2.如权利要求1所述的半导体产业的污水净化循环系统，其特征在于，所述原水储槽，一端连结切割研磨的污水接收端，另一端配合管路依序连结所述原水泵及超滤膜滤器，该超滤膜滤器在污水入口端设有入水口管路，可接收来自所述原水储槽的污水，该超滤膜滤器在净水出口端连结一清水储槽，且在所述超滤膜滤器的污水出口端与所述浓缩水储槽之间连结有相通的第一管路和第二管路，所述第一管路一端连结于所述原水储槽，且与所述入水口管路相连接；所述浓缩水储槽连结所述离心供水泵；所述离心装置连于所述离心供水泵，其利用离心方式将固体微粒直接从高浓度污水中进行分离作业，分离出的固体以排渣方式排出，而分离后的液态水被导入所述原水储槽。

3.如权利要求2所述的半导体产业的污水净化循环系统，其特征在于，连结所述原水泵与所述超滤膜滤器的入水口管路的路管设有一号开关阀；连结所述超滤膜滤器与所述清水储槽的管路设有二号开关阀；所述第一管路设有第二排水阀、四号开关阀和七号开关阀；所述第二管路设有三号开关阀和第一排水阀。

4.如权利要求2所述的半导体产业的污水净化循环系统，其特征在于，所述清水储槽连结一逆洗泵，可将清净水由所述超滤膜滤器的净水出口端导入所述超滤膜滤器内部进行逆冲洗，且所述清水储槽的清净水可供作为晶圆切割或研磨工艺中所需要的清洗用水。

5.如权利要求2所述的半导体产业的污水净化循环系统，其特征在于，所述离心装置为卧式离心装置或盘片式离心装置。

6.如权利要求3所述的半导体产业的污水净化循环系统，其特征在于，所述清水储槽连结一逆洗泵，可将清净水由所述超滤膜滤器的净水出口端导入所述超滤膜滤器内部进行逆冲洗，且所述清水储槽的清净水可供作为晶圆切割或研磨工艺中所需要的清洗用水；所述超滤膜滤器在其另一污水入口端依序连结一八号开关阀和一空压机。

7.如权利要求1所述的半导体产业的污水净化循环系统，其特征在于，所述超滤膜净水回收系统，包括：一原水储槽，其一端连结有污水接收端，其另一端依序连结有所述原水泵和一超滤膜滤器，所述超滤膜滤器在清净水出口端连结所述清水储槽，且在所述超滤膜滤器的污水出口连结至所述原水储槽，所述原水储槽连结所述离心供水泵；所述离心装置连结于所述离心供水泵，以接收自来所述离心供水泵传送的高浓度污水，其利用离心方式将固体微粒直接从高浓度污水中进行分离作业，分离出的固体以排渣方式排出，而分离后的液态水被导入回所述原水储槽，再进行重复性的循环过滤。

8.如权利要求7所述的半导体产业的污水净化循环系统，其特征在于，所述清水储槽连结一逆洗泵，可将清净水由所述超滤膜滤器的净水出口端导入所述超滤膜滤器内部进行逆冲洗，且所述清水储槽的清净水可供作为加工工艺中的清洗用水。

9.如权利要求7所述的半导体产业的污水净化循环系统，其特征在于，所述离心装置为卧式离心装置或盘片式离心装置。

10.一种半导体产业的污水净化循环系统，其特征在于，该污水净化循环系统以超滤膜滤器为主要滤材，配合原水储槽、原水泵、清水储槽、逆洗泵、离心供水泵及两个以上管路组成超滤膜净水回收系统，该超滤膜净水回收系统结合有一离心装置；该离心装置连结于所述离心供水泵，可接收来自浓缩水储槽的污水，可将污水中固体微粒分离出来，前述分离出来的固体微粒以排渣方式排出，而所分离出来的液态水，再以所述超滤膜净水回收系统进行重复性的循环过滤作业，且经所述超滤膜净水回收系统透析后的清净水，可供作为加工工艺的清洗用水。

11.如权利要求10所述的半导体产业的污水净化循环系统，其特征在于，所述超滤膜净水回收系统，包括：原水储槽，其一端连结切割或研磨冲洗的污水接收端，其另一端依序连结有所述离心供水泵、一离心储水槽、一滤膜供水泵及一超滤膜滤器；所述超滤膜滤器在其净水出口端将透析后的清净水连结于所述清水储槽；所述超滤膜滤器设有污水出口连结至所述原水储槽，以重复进行前述循环过滤作业；所述离心装置，连结在所述离心供水泵与所述离心储水槽之间，利用离心方式将所述原水储槽传送而至的污水进行固、液态分离作业，分离后的固体以排渣方式排出，而液态水则输入于所述离心储水槽进行过滤作业。

12.如权利要求11所述的半导体产业的污水净化循环系统，其特征在于，所述清水储槽连结一逆洗泵，该逆洗泵一端与所述超滤膜滤器的净水出口端连结，且所述清水储槽连结有一使用点供水泵，以便提供作为太阳能光电产业于切割或研磨工艺中所需要的清洗用水。

13.如权利要求11所述的半导体产业的污水净化循环系统，其特征在于，所述离心装置为卧式离心装置或盘片式离心装置。

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