TWM331509U - Buffer apparatus of board material - Google Patents

Description

M331509 八、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 . 本創作係有關~種板狀物之暫¥置，特別是-種 <調赞為 批次暫放二板狀物或三板狀物之暫放駿置。 ♦ 【先前技術】 半導體基板或液晶基板等製造係由多數之處理製释戒檢f 製程所組成，在各製複中為了製程的便利，〆般會將多數片之: 板收藏於卡E(eassette)中，以便將切依次遽送至處理裝置1 查虞置，並藉由基板運送機器人之承載臂自卡匣内逐片取出> 板，進行所需之製程處理或檢查處理，其中當基板運送機器人二 卡匣内逐片取出基板且尚未進行進一步處斑時，會先將基板暫0、 放置於一暫存台上，以利用暫存台上由數個承載架所建構出之承 載區域暫時承載基板。 隨著基板尺寸的改變，基板在卡匣内的酹置可為兩列成^板 配置，因此基板運送機器人批次取出且運送雨片基板或三1二的 時，暫存台亦需對應區隔出二承載區或三承載區；然而在習° 暫存台中，承載架係固定於暫存台上，每/暫存台所建構之承 . 區大小固定，因此需具備有多台各自具有二承載區或三承載區之 暫存台，以隨時依據不同的卡匣做更換，在製程上具有更換繁瑣 « 且成本高之缺失。 因此若能提出一種在同一暫存台中，可隨時調整承載區的大 小以批次放置二板狀物或三板狀物的板狀物暫放裝置，即為本創 作的目標。 M331509 【新型内容】 為了解決上述問題，本創作目的之一係提出一種板狀物暫放 裝置，藉由一傳動機構調整一對具有複數第一承載爪之第一側 板，及一對具有複數第二、第三承載爪之第二側板的位置，使第 一、第二侧板可區隔出二承載區或三承載區，進而藉由第一、第 一及第二承栽爪批次承載二板狀物或三板狀物，以具備有簡化製 私且降低成本之優點。 本創作目的之一係提供板狀物暫放裝置，其係具有較高之承 載強度’將可大幅改善大尺寸基板放置於承載爪上的安全疑慮。 為了達到上述目的，本創作一實施例之板狀物暫放裝置包 含·一本體，其内部設置一傳動機構；二第一側板平行且間隔設置並與傳 動機構連接，二第一側板的相對表面分別延設複數間隔排列之第一承載 爪；二第二側板平行設置於二第一側板之間，且與傳動機構連接，二第二 側板具有彼此面對之二内側面，及分別與二第一側板面對之二外側面，二 内側面刀別延没有相對且偏置排列之複數第二承載爪，每一第二側板上形 成有複數開槽；以及複數第三承載爪間隔排列設置於二第二側板之二外側 面’以與第一承載爪相對；其中，二第二側板受傳動機構驅動進行一第〆 作動及-第二作動其中之-，第—作動係使二第二側板相互遠離一間隔後 停止，第二作動係使一第二側板彼此位移靠近以並排結合，且每一第二側 板上之每-第二承載爪分別相互穿設過另—第二側板上之每一開槽。 【實施方式】 第1圖所示為本創作一實施例板狀物暫放裝置之一作動狀 態結構示意圖，於本實施例中，一板狀物暫放裝置10包括一本 體12,其内部諛置一傳動機構（圖中未示），較佳者為伺服傳動 機構或氣壓傳動機構，二第一側板14、14,係平行間隔設置位於本 體12底面二側，以及一第二側板16、16，平行設置且位於二第一 6 M331509 側板14、14’之間，又第一側板14、14，及第二側板ι6、ι6,的頂緣 皆與傳動機構連接；其中，二第一側板14、14，的相對表面底緣分 別水平延設有複數個間隔排列且相對之第一承載爪18、18,；每〆 第二側板16、16，具有一内側面161、161，及一外側面162、162，，每 一内側面161、16Γ係面對另一第二側板16、16，，每一外側面162、 162’則面對相鄰之第一側板14、14，，二内側面⑹、，的底緣分 別水平延設有相對且偏置排列之複數第二承載爪2〇、2〇，，又第二 側板16、16,上形成有複數開槽22、22,，且一第二側板％、16，上之 開槽22、22’的位置分別對應另一第二側板16,、16上之第二承載爪20’、 2〇的位置；同時二第二側板16、16，之二外侧面162、162，的底緣分 別設置有複數間隔排列之第三承載爪24、24,，以分別對應第，侧 板14、14,上之第一承載爪18、18，。 接續上述說明，二第一側板14、14,係受傳動機構驅動左右 略為位移，而二第二側板16、16,係受傳動機構驅動進行一第一作 動及一第二作動其中之一；當進行第一作動時，請繼續參閱第1 圖’二第二側板16、16,相互遠離一間隔，使二第二側板16、16’ 與其鄰近之第一側板間14、14,分別構成〆第一承栽區30、30’， 而二第二側板16、16，間則構成一第二承載區40，進而具有三個 可承載的區域；另一方面，當進行第二作動時，請參閱第2圖， 二第二側板16、16,彼此位移靠近，且每〆第二側板16、16’上之 第二承載爪20、20,分別相互穿設過另一第二側板16’、16上之開 槽22,、22，使二第二側板16、16,並排結合在一起，進而藉由相 互結合之第二側板16、16,位於兩第一側板14、14’之中間位置以 區隔出二個第三承載區5〇、5〇,。 其中，如第1圖所示，當進行第一作動以構成二第一承載區 3〇、3〇,及一第二承載區40時，在每一第〆承載區3〇、3〇,中係藉 由相對應之第一承載爪18、18,及第三承載爪24二24共同支撐所 欲放置之板狀物，而在每-第二承載區4G中則藉由相對且偏置 M331509 祕；^1> g m、20,块同支撐所欲放置之板狀物，於〆貫施 ί： ί ^ 同尺寸;另-方面，當進行第二作動以構成二第相5二， 時，如第2圖所示，在每4三承載區5°、5〇,中’’ 24'24,7^π 亦同時利用由開槽22、22,聲設出之第二承載爪2 ，、專 板狀物，進而具有較高之承载強度。

如第3圖所示，於4施例中，本創作之板狀物暫J置 10係與-暫存台60結合，以供暫時存放由基板運送機中 未示）從-切（时未示）内取出且批次運送而㈣二基^ 基板，二第-側板14、14,及二第二側板16、_作動料將依 據卡Ε内基板配置的列數賴進行第—作動或第二作動，其中基 板係可為液晶面板、太陽能板或其他小尺寸且輕質之板狀物。 當卡匣内之基板呈三列狀態配置且基板運送機裔人批一人運 送三基板時，如第4圖所示，傳動機構係驅動第一側板Μ 14 及第二側板16、16,移動以構成三個可承載的區域（二第一承載^ 30、30,與一第二承載區40)，以便藉由每一區之承載爪各自暫時 承載一基板62，其中較佳者，每一基板62的尺寸為12吋至23 吋；當卡匣内之基板呈兩列狀態配置且基板運送機器人批次運送 兩基板時，如第5圖所示，傳動機構係驅動第一、第二側板14 14，、16、16,移動以構成二個可承載的區域（第三承載區50、5〇’） 以便藉由每一區之承載爪各自暫時承載一基板62，其中較隹者 每一基板62的尺寸為23叶至32吋。 綜合上述，本創作藉由第第二側板的位移調整，可自由 變化為批次暫放二基板或三基板，以便在不需更換整個暫存台的 前提下可隨時對應卡匣内之基板的兩列或三列配置設計；將$改 善習知技術中當卡匣内之基板的配置不同時，需整個更換暫存台 所造成之更換麻煩且高成本之缺失，具備有簡化製程且降低成本 8 M331509 之優點；另一方面，當板狀物暫放裝置批次暫放二基板時，藉由 二第二側板結合所穿設過之第二承載爪的輔助，將可大幅提昇大 尺寸基板放置時的支撐強度，以改善安全疑慮。 以上所述之實施例僅係為說明本創作之技術思想及特點，其 目的在使熟習此項技藝之人士能夠瞭解本創作之内容並據 施，當不能以之限定本創作之專利範圍，即大凡依本創作所揭厂、 之精神所作之均等變化或修飾，仍應涵蓋在本創作之專利範圍 内0 【圖式簡單說明】 第1圖所示為本創作一實施例板狀物暫放裴置之一作動 \ 結 構示意圖。 態 第2圖所示為本創作一實施例板狀物暫放裝置之另一作 結構示意圖。 第3圖 不意圖 所不為本創作一實施例板狀物暫放襞置應用於一暫存a 應用 第4圖所示為本創作一實施例板狀物暫放裝置放置爲 示意圖。 * 土反之 第 應用示意圖 圖所示為本創作一實施例板狀物暫放裝置放置美 ΓΓ 陽| 〇 【主要元件符號說明】 1〇 板狀物暫放裝置 12 本體 M331509 14、14， 第一側板 16、16， 第二側板 161 、 161， 内側面 162 、 162， 外側面 18、18， 第一承載爪 20、20， 第二承載爪 22、22， 開槽 24、24， 第三承載爪 30、30， 第一承載區 40 第二承載區 50、50， 第三承載區 60 暫存台 62 基板

Claims (1)

1. M331509 九、申請專利範圍： 1人種板狀物暫放裂置，用以存放至少一板狀物，該板狀物暫放裝置勺 含· l 一本體，其内部設置一傳動機構； 二第一側板，平行且間隔設置並與該傳動機構連接，二該第一側板 的相對表面分別延設複數間隔排列之第一承載爪； 一二第二側板，平行設置於二該第一側板之間，且與該傳動機構連接， 一该第二側板具有彼此面對之二内側面，及分別與二該第一側板面對之 ^外側面，二該内侧面分別延設有相對且偏置排列之複數第二承栽爪， 每一該第二側板上形成複數開槽；以及 複數弟二承載爪’間隔排列設置於二該第二側板之二該外側面，以 與該第一承載爪相對，其中二該第二侧板受該傳動機構驅動進行一第_ 作動及一第二作動其中之一，該第一作動係使二該第二側板相互遠離_ 間隔，該第二作動係使二該第二側板彼此位移靠近以並排結合，且每一 該第二側板上之每一該第二承載爪分別相互穿設過另一該第二側板上之 每一該開槽。 2·如請求項第1項所述之板狀物暫放裝置，其中進行該第一作動 時，每一該第二側板與其鄰近之該一第一側板間構成一第一承 載區，而二該第二側板之間構成一第二承載區。 3·如請求項第2項所述之板狀物暫放裝置，其中二該第一承載區 與該第二承載區係具有相同之板狀物承載尺寸。 4·如請求項第1項所述之板狀物暫放裝置，其中進行該第二作動 時，每一該第一側板與其鄰近之該一第二側板間構成一第三承 栽區。 5·如請求項第4項所述之板狀物暫放裝置，其中二該第三承載區 係具有相同之板狀物承載尺寸。 6·如請求項第1項所述之板狀物暫放裝置，其中二該第二側扳並 排結合的位置係位於二該第一側板之間的中央位置。 M331509 7. 如請求項1所述之板狀物暫放裝置，其中該傳動機構係為一伺 服傳動機構或一氣壓傳動機構。 8. 如請求項1所述之板狀物暫放裝置，其中該板狀物係為液晶面 板或太陽能板。 9. 如請求項1所述之板狀物暫放裝置，其中該板狀物之尺寸係為 12英吋至32英吋。