TWI813073B - 抽屜更換式清潔設備 - Google Patents

Abstract

一種抽屜更換式清潔設備，其包含：一箱體、至少一清潔模組及一升降動力模組，箱體具有一容置空間及一抽屜，抽屜位於容置空間中並可自箱體的一側面抽出，抽屜的底面具有至少一安裝槽，至少一清潔模組，可拆卸地設置於安裝槽，升降動力模組位於容置空間中並設置於清潔模組的下方，升降動力模組穿過安裝槽以頂推清潔模組離開抽屜，以及升降動力模組下降使清潔模組重新位於安裝槽。本發明解決了先前技術的清潔模組難以更換的問題。

Description

抽屜更換式清潔設備

本發明係關於一種清潔設備，更特別的是關於一種抽屜更換式清潔設備。

目前市面上的清潔設備特別是針對半導體、電子產品等相關物的清潔設備，為了符合潔淨度、靜電放電等需求，清潔設備變得相當複雜，且其中的清潔模組不易更換。每次更換清潔模組將花費大量時間，導致更換的成本上升，更換的意願降低，如此便無法切實滿足產品潔淨的需求。

因此，為解決習知的清潔設備的種種問題，本發明提出一種抽屜更換式清潔設備。

為達上述目的及其他目的，本發明提出一種抽屜更換式清潔設備，其包含：一箱體，具有一容置空間及一抽屜，該抽屜位於該容置空間中並可自該箱體的一側面抽出，該抽屜的底面具有至少一安裝槽；至少一清潔模組，可拆卸地設置於該安裝槽；以及一升降動力模組，位於該容置空間中並設置於該清潔模組的下方，該升降動力模組穿過該安裝槽以頂推該清潔模組離開該抽屜，以及該升降動力模組下降使該清潔模組重新位於該安裝槽。

於本發明之一實施例中，該升降動力模組的頂端及該清潔模組彼此吸附。

於本發明之一實施例中，該升降動力模組的頂端及該清潔模組彼此磁性吸附。

於本發明之一實施例中，該清潔模組的外周緣大於該安裝槽。

於本發明之一實施例中，該安裝槽的周緣剖面呈梯形。

於本發明之一實施例中，該清潔模組及該安裝槽的數量皆為二，該升降動力模組穿過該二安裝槽以頂推該二清潔模組。

於本發明之一實施例中，該二安裝槽彼此相連。

於本發明之一實施例中，更包括一夾持模組，設置於該箱體的上方。

於本發明之一實施例中，該夾持模組包括一夾頭及一動力臂，該動力臂動力連接該夾頭並驅動該夾頭移動。

於本發明之一實施例中，更包括一控制模組及一即時靜電監控模組，該控制模組訊連接該升降動力模組及該即時靜電監控模組。

藉此，本發明的抽屜更換式清潔設備更換清潔模組十分輕省不費力，可讓清潔模組採取高頻率的更換，維持待清潔物的潔淨度更容易。

100:抽屜更換式清潔設備

1:框架

2:箱體

21:抽屜

211:底面

211a:安裝槽

211b:安裝槽

211c:相連部分

3:清潔模組

31:清潔布構件

32:承載殼

4:升降動力模組

41:吸附頭

42:升降桿

5:夾持模組

51:動力臂

52:夾頭

6:控制模組

7:即時靜電監控模組

8:糾偏模組

9:移動輪

S:容置空間

圖1係為根據本發明實施例之抽屜更換式清潔設備之外觀示意圖。

圖2係為根據本發明實施例之抽屜更換式清潔設備之剖面示意圖。

圖3係為根據本發明實施例之升降動力模組之頂推示意圖。

圖4係為根據本發明實施例之清潔模組之復位示意圖。

圖5係為根據本發明實施例之抽屜抽出清潔模組之示意圖。

圖6係為根據本發明實施例之抽屜之立體示意圖。

為充分瞭解本發明，茲藉由下述具體之實施例，並配合所附之圖式，對本發明做一詳細說明。本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解本發明的目的、特徵及功效。須注意的是，本發明可透過其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節亦可基於不同觀點與應用，在不悖離本發明的精神下進行各種修飾與變更。以下的實施方式將進一步詳細說明本發明的相關技術內容，但所公開的內容並非用以限制本發明的申請專利範圍。說明如後：如圖1、圖2及圖5所示，本發明實施例之抽屜更換式清潔設備100，其包含：一箱體2、至少一清潔模組3及一升降動力模組4。

箱體2具有一容置空間S及一抽屜21，抽屜21位於容置空間S中並可自箱體2的一側面抽出，抽屜21的底面211具有至少一安裝槽211a(參考圖6)。

如圖2所示，至少一清潔模組3可拆卸地設置於安裝槽211a。在本實施例中，清潔模組3包括一清潔布構件31及一承載殼32，清潔布構件31設置於承載殼32中以擦拭待清潔物(圖未示)，清潔布構件31例如是無塵布(防靜電材料電子級無塵室專用擦拭布)。承載殼32自抽屜21的上方可拆卸地安裝於安裝槽211a，然而本發明不限於此，清潔模組3的結構、材料可加以改變。在本實施例中，待清潔物為光罩，清潔布構件31擦拭光罩護膜的外側，然而本 發明不限於此，待清潔物可以為其他種類的產品，例如電路板或其他電子元件。

升降動力模組4位於容置空間S中並設置於清潔模組3的下方。如圖3所示，升降動力模組4穿過安裝槽211a以頂推清潔模組3離開抽屜21，而與待清潔物相接觸。依據設計的不同，升降動力模組4可以頂推清潔模組3至箱體2的頂面甚至超過箱體2；升降動力模組4也可以頂推清潔模組3但仍然讓清潔模組3位於容置空間S中(即不超過箱體2的頂面)，待清潔物被移動至容置空間S中與清潔模組3相接觸。升降動力模組4例如是氣缸、步進馬達或伺服馬達等電致動構件。

如圖4所示，當清潔模組3清潔完畢或需要更換，升降動力模組4下降使清潔模組3重新位於安裝槽211a。升降動力模組4繼續下降，清潔模組3被抽屜21的底面211承托而與升降動力模組4分離。

如圖5所示，由於升降動力模組4與清潔模組3已分離，抽出抽屜21即可容易地直接更換清潔模組3(可為取走舊的清潔布構件31或直接更換整組清潔模組3)。當新的清潔模組3置於安裝槽211a，再度將抽屜插回箱體2中即可繼續清潔流程。相對於現有技術，本發明的抽屜更換式清潔設備100更換清潔模組3十分輕省不費力，可讓清潔模組3採取高頻率的更換，維持待清潔物的潔淨度更容易。

進一步地，在本實施例中，升降動力模組4的頂端(吸附頭41)及清潔模組3的底座(承載殼32)彼此吸附。當吸附頭41與承載殼32彼此吸附，二者的同步移動將會更穩定，避免在移動過程中因震動、慣性等因素而產生分離或錯位。在本實施例中，升降動力模組4的頂端(吸附頭41)及清潔模 組3的底座(承載殼32)彼此磁性吸附，即二者之間至少一個具有鐵磁材料，另一者為順磁材料或同樣也是鐵磁材料。然而本發明不限於此，在其他實施例中，吸附頭41及承載殼32之間可為應用別的原理而彼此吸附，例如氣流吸附。該些吸附以容易電動控制、分離為主。

進一步地，如圖2所示，在本實施例中，清潔模組3的外周緣大於安裝槽211a。因此從底面211的上方安裝清潔模組3時，清潔模組3可卡於安裝槽211a中。為了讓清潔模組3更穩固地位於安裝槽211a中而不傾倒，較佳地清潔模組3的下部可為略小於安裝槽211a，使清潔模組3部分穿過安裝槽211a，外周緣大於安裝槽211a的部分則卡於安裝槽211a，藉此達到穩固的效果。然而本發明不限於此，在其他實施例中，清潔模組3與安裝槽211a的形狀可以有不同的形式與態樣。

進一步地，如圖2所示，在本實施例中，安裝槽211a的周緣剖面呈梯形，以梯形的斜面分散承接清潔模組3的重量，避免抽屜21變形，也能引導清潔模組3的安裝。

進一步地，如圖2所示，在本實施例中，清潔模組3及安裝槽的數量皆為二(安裝槽211a、211b)，升降動力模組4穿過二安裝槽211a、211b以頂推二清潔模組3。二清潔模組3彼此相隔一定距離，在本實施例中用於清潔光罩護膜的二側邊。然而本發明不限於此，在其他實施例中，清潔模組3及安裝槽的數量可視需要加以改變。

進一步地，如圖2至圖6所示，在本實施例中，二安裝槽211a、211b彼此相連。彼此相連的目的是為了升降動力模組4的升降桿42通過，其中升降桿42的一端連接動力來源(圖未示)，升降桿42的另一端又分別連接二吸 附頭41。然而本發明不限於此，在其他實施例中，可改變升降桿42的設置而使得在升降動力模組4的移動行程中，升降桿42都不會穿過抽屜21，故二安裝槽211a、211b不需要彼此相連。在其他實施例中，二清潔模組3分別被二升降動力模組4獨立地帶動，在這情況下二安裝槽211a、211b也不需要彼此相連。

在本實施例中，如圖6所示，相連部分211c的長度略短於二安裝槽211a、211b，以使二清潔模組3各自穩固地位於安裝槽211a、211b中，然而本發明不限於此。

進一步地，如圖1所示，抽屜更換式清潔設備100更包括一夾持模組5，設置於箱體2的上方，用以夾持一待清潔物。在本實施例中，夾持模組5以氣流吸取的方式夾持待清潔物，然而本發明不限於此，可為力學上以機械直接接觸夾持，或利用電磁及其他科學原理夾持。

進一步地，如圖1所示，夾持模組5包括一夾頭52及一動力臂51，動力臂51動力連接夾頭52並驅動夾頭52移動(如箭頭所示)。動力臂51例如是步進馬達或伺服馬達等電致動構件。藉由可移動的夾持模組5，可夾持待清潔物至清潔模組3的上方而受到擦拭。

進一步地，如圖2所示，在本實施例中，抽屜更換式清潔設備100更包括一控制模組6及一即時靜電監控模組7，控制模組6訊號連接升降動力模組4、動力臂51及即時靜電監控模組7。即時靜電監控模組7偵測環境、待清潔物或設備的靜電，控制模組6依據即時靜電監控模組7的偵測數據決定是否停止清潔或讓即時靜電監控模組7即時釋放中和用之電荷。控制模組6例如是控制晶片或控制電路。

進一步地，如圖2所示，在本實施例中，抽屜更換式清潔設備100更包括一糾偏模組8，訊號連接控制模組6。控制模組6依據糾偏模組8的偵測訊號決定夾持模組5所夾持的待清潔物是否產生偏斜，而控制升降動力模組4停止清潔、動力臂51調整位置或歸回原位。糾偏模組8例如是應用光學糾偏原理的裝置，利用發出的光線(通常為紅外線)並判斷其反射訊號或另一側的接收訊號是否有異常，藉此判定待清潔物在移動的過程中是否偏斜。然而本發明不限於此，糾偏模組8可為應用其他原理之糾偏裝置。

進一步地，如圖1所示，在本實施例中，抽屜更換式清潔設備100更包括一框架1及一組移動輪9，箱體2設置於框架1中，移動輪9設置於框架1底部。框架1使抽屜更換式清潔設備100各部件一體化，移動輪9則可使各部件偕同框架1一起移動。

本發明在上文中已以實施例揭露，然熟習本項技術者應理解的是，該實施例僅用於描繪本發明，而不應解讀為限制本發明之範圍。應注意的是，舉凡與該實施例等效之變化與置換，均應設為涵蓋於本發明之範疇內。因此，本發明之保護範圍當以申請專利範圍所界定者為準。

2:箱體

21:抽屜

211:底面

211a:安裝槽

211b:安裝槽

3:清潔模組

31:清潔布構件

32:承載殼

4:升降動力模組

41:吸附頭

42:升降桿

51:動力臂

52:夾頭

6:控制模組

7:即時靜電監控模組

8:糾偏模組

S:容置空間

Claims (10)

1. 一種抽屜更換式清潔設備，其包含：一箱體，具有一容置空間及一抽屜，該抽屜位於該容置空間中並可自該箱體的一側面抽出，該抽屜的底面具有至少一安裝槽；至少一清潔模組，可拆卸地設置於該安裝槽；以及一升降動力模組，位於該容置空間中並設置於該清潔模組的下方，該升降動力模組穿過該安裝槽以頂推該清潔模組離開該抽屜，以及該升降動力模組下降使該清潔模組重新位於該安裝槽。
2. 如請求項1所述之抽屜更換式清潔設備，其中該升降動力模組的頂端及該清潔模組彼此吸附。
3. 如請求項2所述之抽屜更換式清潔設備，其中該升降動力模組的頂端及該清潔模組彼此磁性吸附。
4. 如請求項1所述之抽屜更換式清潔設備，其中該清潔模組的外周緣大於該安裝槽。
5. 如請求項1所述之抽屜更換式清潔設備，其中該安裝槽的周緣剖面呈梯形。
6. 如請求項1所述之抽屜更換式清潔設備，其中該清潔模組及該安裝槽的數量皆為二，該升降動力模組穿過該二安裝槽以頂推該二清潔模組。
7. 如請求項6所述之抽屜更換式清潔設備，其中該二安裝槽彼此相連。
8. 如請求項1所述之抽屜更換式清潔設備，更包括一夾持模組，設置於該箱體的上方。
9. 如請求項8所述之抽屜更換式清潔設備，其中該夾持模組包括一夾頭及一動力臂，該動力臂動力連接該夾頭並驅動該夾頭移動。
10. 如請求項8所述之抽屜更換式清潔設備，更包括一控制模組及一即時靜電監控模組，該控制模組訊連接該升降動力模組及該即時靜電監控模組。