CN115194679A - 带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构，包括能够在固定板上滑动的滑动定位板以及相对固定的定位角块；滑动定位板和定位角块分别设置有呈L形的第一直角缺口和第二直角缺口，两个直接缺口的各边沿正方形的四边设置，且两个直接缺口的转角位于正方形的对角处，且在转角处设置有朝向掩膜版表面的抽气孔，两个直角缺口的内壁分别凸设若干个承载定位部，导向驱动组件驱动滑动定位板沿正方形的对角线方向移动，承载定位部抵接定位其上放置的掩膜版，定位后，掩膜版的对角两端被抽气孔吸附固定。该自动定位固定机构能够方便地定位和固定掩膜版，固定牢固，避免掩膜版翘曲，减少对掩膜版的损伤，提高掩膜版的固定效率。

Description

带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构

技术领域

本说明书涉及半导体技术领域，具体涉及一种带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构。

背景技术

在半导体产品的生产制程中，掩膜版(MASK)取放作业一般采用自动夹持装置执行。自动夹持装置从掩膜版的相对两侧同时夹紧掩膜版的边缘，向其中心位置同时施加压力，以固定掩膜版。随着磨损和老化，自动夹持装置的行走部件精度会逐渐降低，从而对夹持效果产生影响。在夹取过程中，若夹持装置移动不到位，无法夹紧掩膜版，掩膜版容易松动；若夹持装置移动过度，会造成掩膜版发生翘曲，不仅对掩膜版造成损伤，还会影响晶圆刻蚀的效果。

发明内容

有鉴于此，本说明书实施例提供一种带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构，能够方便地定位和固定掩膜版，固定牢固，避免掩膜版翘曲。

本说明书实施例提供以下技术方案：

一种带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构，包括：固定板，通过导向驱动组件活动连接所述固定板的滑动定位板，以及固定连接所述固定板的定位角块；

所述滑动定位板具有呈L形的第一直角缺口，所述定位角块具有呈L形的第二直角缺口，所述第一直角缺口的两边和所述第二直角缺口的两边沿正方形的四边设置，且所述第一直角缺口的转角和所述第二直角缺口的转角位于所述正方形的对角处，所述导向驱动组件平行于所述正方形的对角线方向；

所述第一直角缺口和所述第二直角缺口的内壁分别设置有若干个凸出于内壁表面的承载定位部，所述第一直角缺口和所述第二直角缺口的转角处分别设置有至少一个朝向掩膜版表面的抽气孔；

当所述导向驱动组件驱动所述滑动定位板从第一预设位置移动至第二预设位置时，放置于所述承载定位部上的所述掩膜版由所述承载定位部推动定位，随后由所述抽气孔吸附固定。

在上述带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构中，两个呈L形的直角缺口形成一个可变尺寸的正方形结构，首先通过沿正方形的对角线方向推动掩膜版，使得正方形的掩膜版在直角缺口的限制下完成定位，定位过程简单可靠，而且该沿对角线的移动定位过程能够适用于不同尺寸掩膜版；当移动定位完成后，通过位于两个直角缺口转角处的抽气孔吸附固定掩膜版，从而避免挤压掩膜版的相对侧边缘，不会使掩膜版发生翘曲；并且，只需掩膜版被滑动定位板推动至覆盖全部抽气孔的位置，就可以通过吸附作用牢固地固定掩膜版，不会发生由于夹持不到位而发生的松动现象。上述的带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构，夹持执行过程简单，定位准确，固定牢固，不会发生掩膜版松动或翘曲。

本说明书实施例还提供一种方案，所述承载定位部还包括安装板和掩膜版挡块，所述安装板各自固定连接于所述第一直角缺口和/或所述第二直角缺口的内壁，所述掩膜版挡块固定在所述安装板上，所述掩膜版挡块用于抵接推动所述掩膜版的边缘以定位所述掩膜版。

本说明书实施例还提供一种方案，所述承载定位部还包括掩膜版支撑柱，所述掩膜版支撑柱沿竖直方向螺纹连接所述安装板，所述掩膜版支撑柱的上端面低于所述掩膜版挡块的上端面。

本说明书实施例还提供一种方案，所述承载定位部还包括顶丝和第二螺纹孔，所述顶丝螺纹连接第二螺纹孔，所述第二螺纹孔水平设置于所述安装板，并连通所述掩膜版支撑柱螺纹连接所述安装板的第一螺纹孔。

本说明书实施例还提供一种方案，所述掩膜版挡块包括位于所述第一直角缺口和/或所述第二直角缺口的转角处的方形掩膜版挡块，所述方形掩膜版挡块的上端面向下凹陷形成底面为正方形的凹陷部，所述抽气孔开设于所述底面。

本说明书实施例还提供一种方案，所述掩膜版挡块和所述掩膜版支撑柱的材料包括聚醚醚酮材料。

本说明书实施例还提供一种方案，所述抽气孔的孔径为5mm。

本说明书实施例还提供一种方案，所述带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构还包括安装在所述滑动定位板移动路径上的第一限位装置和第二限位装置，用于限制所述滑动定位板在初始位置和所述第二预设位置之间移动。

本说明书实施例还提供一种方案，所述第一限位装置和所述第二限位装置中的至少一个包括光电限位开关。

本说明书实施例还提供一种方案，所述导向驱动组件包括伺服电机、丝杆和滑块，所述丝杆固定连接所述伺服电机的输出轴，所述滑块套设于所述丝杠并固定连接所述滑动定位板。

与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：本发明提供的带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构，能够提供简单可靠的定位和夹持掩膜版的自动执行过程，不仅定位准确，固定牢固；而且通用性好，适用于不同尺寸的掩膜版；此外，通过吸附掩膜版对角两端，减少定位固定机构与掩膜版的接触面积，减少对掩膜版的损伤，保护掩膜版；定位和固定过程简单快捷，能够提高掩膜版的固定效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本发明一个实施例中从第一限位装置和第二限位装置侧观察带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构的立体示意图；

图2是本发明一个实施例中从定位角块侧观察带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构的立体示意图；

图3是本发明一个实施例中从导向驱动组件侧观察带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构的立体示意图；

图4是本发明一个实施例中的带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构的俯视示意图；

其中，1、固定板，2、单轴直线模组，3、直线滑轨，4、滑动定位板，5、安装板A，6、掩膜版挡块A，7、掩膜版挡块B，8、掩膜版支撑柱，9、安装板B，10、定位角块，11、掩膜版挡块C，12、掩膜版挡块D，13、7寸掩膜版，14、6寸掩膜版，15、5寸掩膜版，16、限位开关安装板，17、光电限位开关A，18、光电限位开关B，19、拖线板，20、抽气孔，21、抽气接头A，22、抽气接头B，31、主动导轨，32、从动导轨，33、伺服电机，200、吸附位，800、支撑位。

具体实施方式

下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。

以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

需要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。

还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

需要理解的是，“部件A与部件B的连接”是指部件A直接与部件B接触连接，或者部件A通过其他部件与部件B进行间接连接。本说明书的示例实施例中所描述的“上”、“下”、“内”、“外”、“侧”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本说明书的示例实施例的限定。

另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践所述方面。

参考背景技术中所述，掩膜版的自动夹持装置在使用过程中，由于磨损或老化等问题，会发生夹持精度的变化，尤其是当自动夹持装置使用时间增长，夹持精度的问题愈发明显，不论是夹持不到位引起的松动，或夹持过度引起的翘曲，都会对半导体的产品品质、生产效率带来影响。并且，随着掩膜尺寸越来越大，夹取时的翘曲问题会愈发明显，不仅会影响掩膜版的使用寿命，而且会使掩膜版上的图案开口发生变形，引起尺寸偏差，影响刻蚀的产品品质。

为了解决上述问题，发明人通过仔细的研究和反复的探索，提出一种带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构，该定位固定机构包括执行定位和固定的两部分装置。其中定位装置被设计成一个可沿正方形对角方向变化大小的可变结构，当掩膜版被放置在该正方形结构中时，通过沿对角方向移动滑动组件，利用正方形的四边对正方形的掩膜版进行定位，而且可变的正方形结构还增加了该设备的对不同尺寸掩膜版的通用性；固定装置利用真空(或负压)吸附固定掩膜版，该吸附固定装置被设置在滑动组件移动方向的对角线的两端，也就是说，当掩膜版被定位后，吸附装置从掩膜版的两个对角处吸附掩膜版，从而无需从掩膜版的边缘夹持固定，可以避免翘曲现象的发生，防止掩膜版变形，延长掩膜版使用寿命，保证刻蚀效果，而且也不会因为边缘位置的夹持不到而引起掩膜版松动等问题。

以下结合附图，说明本申请各实施例提供的技术方案。

如图1至图4所示的带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构，包括：固定板1，通过导向驱动组件活动连接所述固定板1的滑动定位板4，以及固定连接所述固定板1的定位角块10；

所述滑动定位板4具有呈L形的第一直角缺口，所述定位角块10具有呈L形的第二直角缺口，所述第一直角缺口的两边和所述第二直角缺口的两边沿正方形的四边设置，且所述第一直角缺口的转角和所述第二直角缺口的转角位于所述正方形的对角处，所述导向驱动组件平行于所述正方形的对角线方向；

所述第一直角缺口和所述第二直角缺口的内壁分别设置有若干个承载定位部，每个所述承载定位部均凸出于所处的内壁表面，所述第一直角缺口和所述第二直角缺口的转角处分别设置有至少一个朝向掩膜版表面的抽气孔20；

当所述导向驱动组件驱动所述滑动定位板4从第一预设位置移动至第二预设位置时，放置于所述承载定位部上的所述掩膜版由所述承载定位部推动定位，随后由所述抽气孔20吸附固定。

具体的，如图1至图4所示，以安装在运动台上的带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构为例。固定板1安装在运动台上，其上一侧设置有导向驱动组件，例如单轴直线模组2。参考图1，固定板1上开设有直线滑轨3，滑动定位板4的下端面固定有滑块，上述滑块滑配在直线滑轨3中，以使滑动定位板4能够在单轴直线模组2的驱动下沿直线滑轨3来回移动。在上相对于滑动定位板4的另一侧，设置有固定于固定板1的定位角块10。

滑动定位板4上设置有呈L形的第一直角缺口，定位角块10上设置有第二直角缺口，且两直角缺口相对设置，第一直角缺口的两条直角边和第二直角缺口的两条直角边沿正方形的四边设置，即依次连接直角缺口的各直角边可以构成一个虚拟的正方形，并且两个直角缺口的直角转角位于正方形的对角处。单轴直线模组2和直线滑轨3的设置方向均平行于正方形的对角线方向。当滑动定位板4位于初始位置时，露出固定板1中部的正方形或类正方形的孔洞(如图2所示)。

第一直角缺口和第二直角缺口的内壁各自分别设置有若干个承载定位部，各承载定位部凸出于内壁表面，形成一个类似凸台的结构，该凸台结构既可以与滑动定位板4和/或定位角块10一体成型，也可以是单独部件并固定在内壁上，从而形成用于承载掩膜版的支撑位800(如图4所示)。承载定位部设置有水平面和竖直面(如图2和图3所示)，水平面的上端边缘低于竖直面的上端边缘，水平面用于承托掩膜版，竖直面用于抵接掩膜版的边缘。当滑动定位板4时，各承载定位部协同作用定位掩膜版。

需要说明的是，竖直面可以直接利用直角缺口的内壁，也可以是承载定位部上的竖直面。

在第一直角缺口和第二直角缺口的直角转角处分别设置有至少一个抽气孔20，并且抽气孔20朝向掩膜版表面设置，抽气孔20的设置高度与掩膜版表面齐平，从而形成吸附位200(如图4所示)，能够通过吸附作用固定掩膜版。需要说明的是，抽气孔20可以朝向掩膜版的上表面和/或下表面设置。优选的，抽气孔20朝向掩膜版的下表面的抽气孔20。

在定位和固定掩膜版的过程中，上述的带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构执行如下的步骤：

步骤S1，在单轴直线模组2的驱动下，滑动定位板4沿正方形的对角线方向移动至第一预设位置。

需要说明的是，当滑动定位板4位于第一预设位置时，第一直角缺口和第二直角缺口的相对的两边之间的距离大于待固定的掩膜版的边长，并且各个承载定位部位于掩膜版的竖直投影面中，此时，第一预设位置可以理解为预固定位置，掩膜版被机械臂等移取装置放置在第一直角缺口和第二直角缺口的承载定位部上。

步骤S2，在单轴直线模组2的驱动下，滑动定位板4沿正方形的对角线方向从第一预设位置移动至第二预设位置。

需要说明的是，当滑动定位板4位于第二预设位置时，第一直角缺口和第二直角缺口的相对侧边之间的距离等于或略大于掩膜版的边长，此时，位于第一直角缺口和第二直角缺口处的掩膜版拐角遮蔽抽气孔20。其中，当滑动定位板4移动至第一直角缺口和第二直角缺口的相对侧边之间的距离略大于掩膜版的边长时，掩膜版的边缘不会被夹持，只需保证掩膜版处于同时遮蔽抽气孔20的位置即可。

还需要说明的是，在滑动定位板4从第一预设位置移动至第二预设位置的过程中，如果掩膜版存在歪斜的情况，会在第一直角缺口和第二直角缺口上的多个承载定位部协同作用下，通过承载定位部抵接掩膜版的边缘，对掩膜版进行定位。

步骤S3，启动连通抽气孔20的真空装置(或负压装置)吸附固定掩膜版。

在上述方案中，通过两个呈L形的直角缺口形成一个可变尺寸的正方形结构，首先通过沿正方形的对角线方向推动掩膜版，使得正方形的掩膜版在直角缺口的限制下完成定位，定位过程简单可靠，定位准确；而且该沿对角线的移动定位过程能够适用于不同尺寸掩膜版，如图1所示，通过设置滑动定位板4的初始位置，可以适用于7寸掩膜版13、6寸掩膜版14、5寸掩膜版15。当定位完成后，通过位于两个直角缺口直角转角处的抽气孔吸附固定掩膜版，从而避免挤压掩膜版的相对侧边缘，不会使掩膜版发生翘曲；并且，只需掩膜版被滑动定位板推动至覆盖全部抽气孔的位置，即可通过吸附作用固定掩膜版，固定牢固，不会发生松动现象；抽气孔吸附掩膜版的面积小，能够减少对掩膜版的损伤。使用上述的自动定位固定机构，定位和固定掩膜版的效率高。

需要说明的是，上述带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构，不仅可以用于运动台，也可以安装在其他装置上，例如用于检测掩膜版的机台上。

在一些实施方案中，还可以采用与上述的滑动定位板4一样结构的第二滑动定位板代替定位角块10，第二滑动定位板也通过导向驱动组件活动连接固定板1，从而形成两个移动定位装置，提高定位速度。

在一些实施方案中，承载定位部还包括安装板和掩膜版挡块，即承载定位部的凸台结构由安装板和掩膜版挡块构成。具体的，如图1至图3所示，位于滑动定位板4的第一直角缺口内壁上设置有安装板A5、安装板B9，安装板A5和安装板B9可以与滑动定位板4一体成型，也可以是独立部件然后安装在滑动定位板4上；安装板A5上安装有掩膜版挡块A6，安装板B9上安装有掩膜版挡块B7；位于定位角块10的第二直角缺口内壁上设置有掩膜版挡块C11和掩膜版挡块D12，掩膜版挡块C11和掩膜版挡块D12可以直接安装在定位角块10上，或者与定位角块10一体成型，也可以采用安装在连接于定位角块10的安装板上。掩膜版挡块与安装板可以采用螺接、铆接、粘接等方式。

在滑动定位板4从第一预设位置移动至第二预设位置的过程中，上述的掩膜版挡块推动掩膜版的边缘以定位掩膜版。

在一些实施方案中，安装板的下侧边缘超出掩膜版挡块的下侧边缘，安装板上的该凸出边缘用于承载掩膜版。

在一些实施方案中，掩膜版挡块下沿向外凸出，使掩膜版挡块呈直角L形，掩膜版挡块的凸出部用于承载掩膜版。

在一些实施方案中，安装板A5位于第一直角缺口的直角转角处。

在一些实施方案中，安装板位于第二直角缺口的直角转角处。

在一些实施方案中，安装板B9位于第一直角缺口的端点处(即第一直角缺口的起始位置)。

在一些实施方案中，安装板位于第二直角缺口的端点处(即定位角块10两端的端点处)。

在一些实施方案中，如图1和图2所示，承载定位部还包括掩膜版支撑柱8，例如：安装板B9上安装的掩膜版支撑柱8。具体的，安装板B9中沿竖直方向开设有通孔，并在其内壁设置有内螺纹，掩膜版支撑柱8上设置有与之配套的外螺纹，掩膜版支撑柱8螺纹连接安装板B9，掩膜版支撑柱8的上端面低于掩膜版挡块B7的上端面。这样做的目的是保证绝大多数厚度各异的掩膜版能略微高于掩膜版挡块上表面，致使掩膜版上方镜头不会碰到挡块上部。其他的安装板也可以采用同样的螺纹连接方式安装掩膜版支撑柱8，掩膜版支撑柱8的上端面用于承载掩膜版，通过调节掩膜版支撑柱8伸出安装板的高度，可以解决了掩膜版放置位置平面度的问题。

在一些实施方案中，掩膜版挡块朝向掩膜版边缘的侧端面的中间位置向内凹陷，如图3中的掩膜版挡块C11的外侧端面上设置有凹槽，掩膜版支撑柱8的一部分位于该凹槽结构中，从而使得承载定位部的整体结构更加紧凑。

在一些实施方案中，承载定位部还包括顶丝和第二螺纹孔，顶丝螺纹连接于第二螺纹孔，第二螺纹孔水平设置于安装板中，安装板中的第一螺纹孔时沿竖直方向设置的螺纹孔，用于螺纹连接掩膜版支撑柱8，第二螺纹孔连通第一螺纹孔，当掩膜版支撑柱8的伸出高度调节完成后，通过旋转顶丝固定掩膜版支撑柱8。

在一些实施方案中，如图1至图4所示，掩膜版挡块可以设置于第一直角缺口和/或第二直角缺口的转角处，为了能够在滑动定位板4的移动过程中承载和定位掩膜版，该掩膜版挡块的水平截面为正方形或类正方形，并且在朝向掩膜版一侧的端面处沿竖直向下方向凹陷，形成一个底面为正方形的凹陷部，抽气孔20开设于上述的底面上，抽气孔20贯通方形掩膜版挡块的下部，并与设置在掩膜版挡块下方的安装板中的抽气管路或抽气通孔连通。例如，掩膜版挡块A6安装在第一直角缺口的转角处，掩膜版挡块A6的基础形状是一个水平截面为正方形或类正方形的块状物，其上端面在朝向掩膜版的顶点拐角位置向下凹陷，形成一个底面为正方形的凹陷部，该凹陷部的形状与正方形掩膜版的顶点处形状适配，用于在滑动定位板4移动过程中定位掩膜版；抽气孔20开设于该凹陷部的底面上，并连通安装板中的抽气管路或抽气通孔当掩膜版定位后，抽气孔20吸附掩膜版的顶点区域。同样的，又例如，掩膜版挡块C11安装在第二直角缺口的转角处，也向下凹陷形成一个凹陷部，抽气孔20开设于该凹陷部的底面上，掩膜版挡块C11的具体结构可以参考上述的掩膜版挡块A6的结构，此处不再赘述。

在一些实施方案中，参照上述任意一个方案所述的带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构，该定位固定机构中的全部掩膜版挡块和全部掩膜版支撑柱由聚醚醚酮(PEEK)材料制成。通过使用PEEK材料，保证绝缘性，同时避免掩膜版表面出现划伤。

在一些实施方案中，安装板的从上端面向下攻有孔径为5mm的第一通孔，该第一通孔用作为抽气孔20，并在安装板的侧面向内攻入孔径为5mm的第二通孔，使第二通孔连通第一通孔，第二通孔连接抽气接头，如图2中的抽气接头A21和抽气接头B22，抽气接头通过管路连接外部的负压设备或真空设备，以向抽气孔20提供吸附掩膜版的负压。优选的，抽气接头的直径为4mm。

在一些实施方案中，带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构还包括安装在滑动定位板4移动路径上的第一限位装置和第二限位装置，用于限制所述滑动定位板4在初始位置和第二预设位置之间移动。

具体的，如图1至图4所示，第一限位装置和第二限位装置安装在单轴直线模组的一侧，用于与固定在滑动定位板4的限位触发装置配合，以协助控制滑动定位板4的移动时的停止位置。

在上述方案中，通过设置限位装置能够监控滑动定位板4的移动位置，既能够防止移动不足，也能够防止移动过位。

在其他一些实施方案中，带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构还可以包括第三限位装置，该第三限位装置用于协助控制滑动定位板4的停止于第一预设位置。

在一些实施方案中，第一限位装置和所述第二限位装置为光电限位开关。具体的，如图1所示，光电限位开关A17和光电限位开关B18沿平行于单轴直线模组2的方向安装于限位开关安装板16上，滑动定位板4朝向光电限位开关的一侧设置有L形的挡块或凸起，以与光电限位开关配合执行滑动定位板4的定位以及单轴直线模组2的回零等。

在其他一些实施方案中，光电限位开关中的至少一个也可以采用磁性限位开关代替，相应的滑动定位板4朝向磁性限位开关的一侧设置有倒磁材料制成的限位块。

在一些实施方案中，如图1和图4所示，导向驱动组件包括伺服电机33、丝杆和滑块，丝杆固定连接伺服电机33的输出轴，滑块套设于丝杠并固定连接滑动定位板4，以在丝杆的驱动下带动滑动定位板4移动。固定板1上开设有直线滑轨3，直线滑轨3可以包括主动导轨31和从动导轨32，此时固定在滑动定位板4上的滑块分为主动滑块和从动滑块，主动滑块滑配在主动导轨31中，从动滑块滑配在从动导轨32中，伺服电机33通过丝杆连接主动滑块，并从拖线板19上获取电能驱动滑动定位板4移动。通过设置两根导轨保证滑动定位板4在移动时的稳定性。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例侧重说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于后面说明的方法实施例而言，由于其与系统是对应的，描述比较简单，相关之处参见系统实施例的部分说明即可。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构，其特征在于，包括：固定板，通过导向驱动组件活动连接所述固定板的滑动定位板，以及固定连接所述固定板的定位角块；

所述滑动定位板具有呈L形的第一直角缺口，所述定位角块具有呈L形的第二直角缺口，所述第一直角缺口的两边和所述第二直角缺口的两边沿正方形的四边设置，且所述第一直角缺口的转角和所述第二直角缺口的转角位于所述正方形的对角处，所述导向驱动组件平行于所述正方形的对角线方向；

所述第一直角缺口和所述第二直角缺口的内壁分别设置有若干个凸出于内壁表面的承载定位部，所述第一直角缺口和所述第二直角缺口的转角处分别设置有至少一个朝向掩膜版表面的抽气孔；

当所述导向驱动组件驱动所述滑动定位板从第一预设位置移动至第二预设位置时，放置于所述承载定位部上的所述掩膜版由所述承载定位部推动定位，随后由所述抽气孔吸附固定。

2.根据权利要求1所述的带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构，其特征在于，所述承载定位部还包括安装板和掩膜版挡块，所述安装板各自固定连接于所述第一直角缺口和/或所述第二直角缺口的内壁，所述掩膜版挡块固定在所述安装板上，所述掩膜版挡块用于抵接推动所述掩膜版的边缘以定位所述掩膜版。

3.根据权利要求2所述的带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构，其特征在于，所述承载定位部还包括掩膜版支撑柱，所述掩膜版支撑柱沿竖直方向螺纹连接所述安装板，所述掩膜版支撑柱的上端面低于所述掩膜版挡块的上端面。

4.根据权利要求3所述的带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构，其特征在于，所述承载定位部还包括顶丝和第二螺纹孔，所述顶丝螺纹连接第二螺纹孔，所述第二螺纹孔水平设置于所述安装板，并连通所述掩膜版支撑柱螺纹连接所述安装板的第一螺纹孔。

5.根据权利要求2所述的带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构，其特征在于，所述掩膜版挡块包括位于所述第一直角缺口和/或所述第二直角缺口的转角处的方形掩膜版挡块，所述方形掩膜版挡块的上端面向下凹陷形成底面为正方形的凹陷部，所述抽气孔开设于所述底面。

6.根据权利要求2～5任意一项所述的带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构，其特征在于，所述掩膜版挡块和所述掩膜版支撑柱的材料包括聚醚醚酮材料。

7.根据权利要求1所述的带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构，其特征在于，所述抽气孔的孔径为5mm。

8.根据权利要求1所述的带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构，其特征在于，所述带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构还包括安装在所述滑动定位板移动路径上的第一限位装置和第二限位装置，用于限制所述滑动定位板在初始位置和所述第二预设位置之间移动。

9.根据权利要求8所述的带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构，其特征在于，所述第一限位装置和所述第二限位装置中的至少一个包括光电限位开关。

10.根据权利要求1所述的带真空吸附的掩膜版自动定位固定机构，其特征在于，所述导向驱动组件包括伺服电机、丝杆和滑块，所述丝杆固定连接所述伺服电机的输出轴，所述滑块套设于所述丝杠并固定连接所述滑动定位板。

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