CN113156780A - 一种曝光机夹紧装置 - Google Patents

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CN113156780A CN202110493395.3A CN202110493395A CN113156780A CN 113156780 A CN113156780 A CN 113156780A CN 202110493395 A CN202110493395 A CN 202110493395A CN 113156780 A CN113156780 A CN 113156780A
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邱田生
詹泽军
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    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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Abstract

本发明公开了一种曝光机夹紧装置,包括一升降驱动机构、连接于升降驱动机构的一旋转驱动机构、及连接于旋转驱动机构的一夹紧件,其中,所述旋转驱动机构包括一安装侧板、设置于安装侧板上的一旋转驱动气缸、连接于旋转驱动气缸的输出端的一齿条、连接于夹紧件的一旋转轴、及连接于旋转轴且啮合于齿条的一齿轮。本发明提供的曝光机夹紧装置,实现将线路板稳固的夹紧定位在曝光机平台上,使得线路板能随着曝光机平台同步移动,不会出现移位、错位等现象,从而提高线路板移动位置的精确度,利于提高线路板移动进入曝光室后的对位操作,提高对位准确度,从而提高曝光准确度。

Description

一种曝光机夹紧装置
技术领域
本发明涉及一种曝光机,尤其涉及一种曝光机夹紧装置。
背景技术
线路板曝光工序是线路板制作过程中的一个重要环节,在目前市面上的内层线路板曝光设备中,通常是通过自动化机构将线路板移动至曝光室内,然后进行线路板对位后,再曝光。
为了防止在移动过程中线路板发生移位现象,通常采用吸嘴吸附的方式将线路板定位在曝光机平台上,但是,由于线路板的外观不一,有薄有厚,有翘有弯等等,采用吸嘴吸附定位的方式,吸附定位不稳定,在移动的过程中,还是容易出现线路板移位、错位等现象,当曝光机平台移动到位后,发现线路板未移动到位,导致线路板移动位置不准,误差大,影响线路板进入曝光室后的对位操作,导致曝光不准,影响曝光质量。
发明内容
针对上述不足,本发明的目的在于提供一种曝光机夹紧装置,实现将线路板稳固的夹紧定位在曝光机平台上,使得线路板能随着曝光机平台同步移动,不会出现移位、错位等现象,从而提高线路板移动位置的精确度,利于提高线路板移动进入曝光室后的对位操作,提高对位准确度,从而提高曝光准确度。
本发明为达到上述目的所采用的技术方案是:
一种曝光机夹紧装置,其特征在于,包括一升降驱动机构、连接于升降驱动机构的一旋转驱动机构、及连接于旋转驱动机构的一夹紧件,其中,所述旋转驱动机构包括一安装侧板、设置于安装侧板上的一旋转驱动气缸、连接于旋转驱动气缸的输出端的一齿条、连接于夹紧件的一旋转轴、及连接于旋转轴且啮合于齿条的一齿轮。
作为本发明的进一步改进,所述夹紧件为一条形板,且在该条形板端部形成有一夹紧钩。
作为本发明的进一步改进,所述旋转驱动气缸与齿条之间通过一连接组件连接,该连接组件主要由连接于旋转驱动气缸的输出端的一气缸连接条、及连接于气缸连接条的一齿条固定块组成,所述齿条设置于齿条固定块上。
作为本发明的进一步改进,所述齿条固定块与安装侧板之间通过一平移导向组件连接,该平移导向组件主要由设置于安装侧板上的一平移导向滑轨、及滑动设置于平移导向滑轨上且连接于齿条固定块的至少一平移导向滑块组成。
作为本发明的进一步改进,在所述安装侧板上设置有一定位座,所述旋转轴通过至少一轴承与定位座连接。
作为本发明的进一步改进,所述齿轮套设于旋转轴外围,所述轴承的数量为两个,分别位于齿轮上方与下方。
作为本发明的进一步改进,在所述定位座侧边形成有供齿轮露出的一让位槽。
作为本发明的进一步改进,所述升降驱动机构包括一横向安装板、连接于横向安装板的一升降驱动气缸、及连接于升降驱动气缸的输出端的一升降连接板,其中,该升降连接板与安装侧板连接。
作为本发明的进一步改进,所述横向安装板与安装侧板之间设置有至少一升降导向组件,该升降导向组件主要由设置于横向安装板侧边上的一升降导向滑轨、及滑动设置于升降导向滑轨上且连接于安装侧板的至少一升降导向滑块组成。
作为本发明的进一步改进,在所述横向安装板上设置有至少一固定块,所述升降导向滑轨设置于固定块侧边上。
本发明的有益效果为:通过升降驱动机构与旋转驱动机构的特殊结构设计相结合,来控制夹紧件执行精确的升降与旋转动作,并实现将线路板稳固的夹紧定位在曝光机平台上,使得线路板能随着曝光机平台同步移动,不会出现移位、错位等现象,从而提高线路板移动位置的精确度,利于提高线路板移动进入曝光室后的对位操作,提高对位准确度,从而提高曝光准确度。
上述是发明技术方案的概述,以下结合附图与具体实施方式,对本发明做进一步说明。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图;
图2为本发明的部分结构示意图;
图3为本发明中旋转轴与定位座相结合的剖面图;
图4为本发明中旋转驱动机构的侧视图;
图5为本发明中升降驱动机构的结构示意图;
图6为本发明中夹紧件未夹紧线路板的状态结构示意图;
图7为本发明中夹紧件夹紧线路板的状态结构示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达到预定目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对本发明的具体实施方式详细说明。
请参照图1,本发明实施例提供一种曝光机夹紧装置10,包括一升降驱动机构1、连接于升降驱动机构1的一旋转驱动机构2、及连接于旋转驱动机构1的一夹紧件3。由升降驱动机构1可带动旋转驱动机构2与夹紧件3整体做升降运动,以便于对曝光机平台20上的线路板30进行夹紧与松开动作;同时,由旋转驱动机构2可带动夹紧件3做旋转动作,实现对曝光机平台20上的线路板30进行夹紧与松开动作。
在具体安装时,将夹紧装置10安装于曝光机平台20的侧边上,如图6与图7所示,且相对的两侧边分别安装至少一个夹紧装置10。曝光机平台20中间部位通常为玻璃,线路板30放置在玻璃上,由夹紧装置10将线路板30夹在玻璃上,以实现对线路板30的夹紧操作。
具体的,如图1与图2所示,本实施例所述旋转驱动机构2包括一安装侧板21、设置于安装侧板21上的一旋转驱动气缸22、连接于旋转驱动气缸22的输出端的一齿条23、连接于夹紧件3的一旋转轴24、及连接于旋转轴24且啮合于齿条23的一齿轮25。由旋转驱动气缸22做伸缩动作以提供驱动力,带动齿条23做平移动作,则会带动与齿条23相啮合的齿轮25发生旋转动作,从而带动旋转轴24旋转起来,最终带动夹紧件3旋转,由此,实现对曝光机平台20上的线路板30进行夹紧与松开动作。整个夹紧与松开动作,顺畅、快速、精确度高,且可实现将线路板3稳固的压在曝光机平台20的玻璃上,防止其走位,即对线路板的夹紧稳定性高。具体的,当旋转驱动气缸22做收缩动作时,带动齿条23往右移动(图2中A方向),则带动齿轮25与旋转轴24顺时针旋转(图2中B方向),则夹紧件3旋转至图2状态,也就是夹紧件3由对线路板30的松开状态(图6所示)旋转至对线路板30的夹紧状态(图7所示),将线路板3稳固的压在曝光机平台20的玻璃上。当旋转驱动气缸22做反向伸出动作时,带动齿条23往左反向移动,则带动齿轮25与旋转轴24逆时针反向旋转,则夹紧件3由对线路板30的夹紧状态(图7所示)旋转至对线路板30的松开状态(图6所示),例如旋转了90°,也就是说,夹紧件3在对线路板30的夹紧与松开两个状态之间切换时,均是旋转90°来实现。
在本实施例中,所述夹紧件3为一条形板,且在该条形板端部形成有一夹紧钩31,如图2所示。由夹紧钩31直接作用于线路板30,将线路板30压在玻璃上,压得更紧,有效防止线路板30移位。
对于旋转驱动气缸22与齿条23的连接方式,本实施例所述旋转驱动气缸22与齿条23之间通过一连接组件26连接,具体的,如图2所示,该连接组件26主要由连接于旋转驱动气缸22的输出端的一气缸连接条261、及连接于气缸连接条261的一齿条固定块262组成,所述齿条23设置于齿条固定块262上。由连接组件26的气缸连接条261与齿条固定块262组合实现旋转驱动气缸22与齿条23的连动,在旋转驱动气缸22做收缩动作时,通过连接组件26带动齿条23往右移动(图2中A方向),当旋转驱动气缸22做反向伸出动作时,带动齿条23往左反向移动。
为了提高齿条23平移的直线稳定性,本实施例所述齿条固定块262与安装侧板21之间通过一平移导向组件27连接,具体的,如图4所示,该平移导向组件27主要由设置于安装侧板21上的一平移导向滑轨271、及滑动设置于平移导向滑轨271上且连接于齿条固定块262的至少一平移导向滑块272组成。在旋转驱动气缸22与连接组件26相结合,带动齿条23做左右平移运动时,由平移导向滑轨271与平移导向滑块272提供直线运动轨迹,使得连接组件26带动齿条23沿平移导向滑轨271始终能做直线运动,由此,提高齿条23平移的稳定性,则有利于提高齿轮25旋转的稳定性。
对于旋转轴24的安装,如图1至图3所示,本实施例在所述安装侧板21上设置有一定位座28,所述旋转轴24通过至少一轴承29与定位座28连接。具体的,所述齿轮25套设于旋转轴24外围,所述轴承29的数量为两个,分别位于齿轮25上方与下方。通过定位座28将旋转轴24安装于安装侧板21侧边上,并通过轴承29实现旋转轴24可相对于定位座28做旋转动作。
同时,为了齿轮25能够与齿条23啮合,在所述定位座28侧边形成有供齿轮25露出的一让位槽281,如图4所示。
在本实施例中,如图5所示,所述升降驱动机构1包括一横向安装板11、连接于横向安装板11的一升降驱动气缸12、及连接于升降驱动气缸12的输出端的一升降连接板13,其中,该升降连接板13与安装侧板21连接。在具体安装时,将横向安装板11安装在曝光机平台20的侧边上,由此实现将整个夹紧装置10安装于曝光机平台20侧边上。
由升降驱动气缸12做伸缩动作以提供驱动力,驱动升降连接板13做同步升降动作,则可带动旋转驱动机构2与夹紧件3整体做升降动作,以便于对曝光机平台20上的线路板30进行夹紧与松开动作。具体的,当需要压紧线路板30时,通过旋转驱动机构2驱动夹紧件3旋转至位于线路板30正上方,然后由升降驱动机构1带动旋转驱动机构2与夹紧件3整体下降,以使得夹紧件3压住线路板30表面,即将线路板压紧在下方的玻璃上,如图7所示。当需要松开线路板30时,先由升降驱动机构1带动旋转驱动机构2与夹紧件3整体上升,释放对线路板30的作用力,然后,通过旋转驱动机构2驱动夹紧件3旋转90°,即旋转至线路板30侧边即可,如图6所示。
为了提高旋转驱动机构2与夹紧件3升降的直线稳定性,本实施例所述横向安装板11与安装侧板21之间设置有至少一升降导向组件14,具体的,该升降导向组件14主要由设置于横向安装板11侧边上的一升降导向滑轨141、及滑动设置于升降导向滑轨141上且连接于安装侧板21的至少一升降导向滑块142组成。同时,在所述横向安装板11上设置有至少一固定块15,所述升降导向滑轨141设置于固定块15侧边上。由升降导向滑轨141与升降导向滑块142相结合提供直线运动轨迹,使得旋转驱动机构2与夹紧件3整体始终能沿升降导向滑轨141做直线升降运动,由此,提高旋转驱动机构2与夹紧件3整体升降运动的稳定性。
本实施例通过升降驱动机构1与旋转驱动机构2的特殊结构设计相结合,来控制夹紧件3执行精确的升降与旋转动作,并实现将线路板30稳固的夹紧定位在曝光机平台20上,使得线路板30能随着曝光机平台20同步移动,不会出现移位、错位等现象,从而提高线路板30移动位置的精确度,利于提高线路板30移动进入曝光室后的对位操作,提高对位准确度,从而提高曝光准确度。
以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明的技术范围作任何限制,故采用与本发明上述实施例相同或近似的技术特征,而得到的其他结构,均在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种曝光机夹紧装置,其特征在于,包括一升降驱动机构、连接于升降驱动机构的一旋转驱动机构、及连接于旋转驱动机构的一夹紧件,其中,所述旋转驱动机构包括一安装侧板、设置于安装侧板上的一旋转驱动气缸、连接于旋转驱动气缸的输出端的一齿条、连接于夹紧件的一旋转轴、及连接于旋转轴且啮合于齿条的一齿轮。
2.根据权利要求1所述的曝光机夹紧装置,其特征在于,所述夹紧件为一条形板,且在该条形板端部形成有一夹紧钩。
3.根据权利要求1所述的曝光机夹紧装置,其特征在于,所述旋转驱动气缸与齿条之间通过一连接组件连接,该连接组件主要由连接于旋转驱动气缸的输出端的一气缸连接条、及连接于气缸连接条的一齿条固定块组成,所述齿条设置于齿条固定块上。
4.根据权利要求3所述的曝光机夹紧装置,其特征在于,所述齿条固定块与安装侧板之间通过一平移导向组件连接,该平移导向组件主要由设置于安装侧板上的一平移导向滑轨、及滑动设置于平移导向滑轨上且连接于齿条固定块的至少一平移导向滑块组成。
5.根据权利要求1所述的曝光机夹紧装置,其特征在于,在所述安装侧板上设置有一定位座,所述旋转轴通过至少一轴承与定位座连接。
6.根据权利要求5所述的曝光机夹紧装置,其特征在于,所述齿轮套设于旋转轴外围,所述轴承的数量为两个,分别位于齿轮上方与下方。
7.根据权利要求5所述的曝光机夹紧装置,其特征在于,在所述定位座侧边形成有供齿轮露出的一让位槽。
8.根据权利要求1至7中任一所述的曝光机夹紧装置,其特征在于,所述升降驱动机构包括一横向安装板、连接于横向安装板的一升降驱动气缸、及连接于升降驱动气缸的输出端的一升降连接板,其中,该升降连接板与安装侧板连接。
9.根据权利要求8所述的曝光机夹紧装置,其特征在于,所述横向安装板与安装侧板之间设置有至少一升降导向组件,该升降导向组件主要由设置于横向安装板侧边上的一升降导向滑轨、及滑动设置于升降导向滑轨上且连接于安装侧板的至少一升降导向滑块组成。
10.根据权利要求9所述的曝光机夹紧装置,其特征在于,在所述横向安装板上设置有至少一固定块,所述升降导向滑轨设置于固定块侧边上。
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CN114047674A (zh) * 2021-12-10 2022-02-15 广东科视光学技术股份有限公司 一种用于光刻机的压紧装置
CN113777892B (zh) * 2021-08-19 2024-07-02 杭州新诺微电子有限公司 压板机构及具有该机构的曝光机及曝光机压板方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113777892A (zh) * 2021-08-19 2021-12-10 杭州新诺微电子有限公司 压板机构及具有该机构的曝光机及曝光机压板方法
CN113777892B (zh) * 2021-08-19 2024-07-02 杭州新诺微电子有限公司 压板机构及具有该机构的曝光机及曝光机压板方法
CN114047674A (zh) * 2021-12-10 2022-02-15 广东科视光学技术股份有限公司 一种用于光刻机的压紧装置
CN114047674B (zh) * 2021-12-10 2024-05-14 广东科视光学技术股份有限公司 一种用于光刻机的压紧装置

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