TWI795614B - 烘烤設備 - Google Patents
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Abstract
一種烘烤設備,適用於對至少一物件進行烘烤處理,該物件係可分離地裝載於一夾持機構上。烘烤設備包含一機殼、一導軌裝置及一溫度調節裝置。機殼包括位於相反側的一進出料端及一末端,進出料端適用於供物件饋入及饋出。導軌裝置主要設置於機殼內,並在進出料端及末端之間延伸。導軌裝置適用於供夾持機構裝設於上,以將夾持機構裝載的物件沿一預定路徑由進出料端饋入後往末端移動,再移至進出料端饋出。溫度調節裝置裝設於機殼內,用於控制機殼內的溫度。
Description
本發明是關於一種烘烤設備及導軌裝置,特別是指一種可提升空間利用彈性的烘烤設備及導軌裝置。
烘烤製程是印刷電路板加工過程中的常見製程,例如,在印刷電路板的塗佈製程後,就會進行烘烤製程來讓塗佈的材料固化。一般來說,烘烤製程會藉由烘烤箱來進行,常見的烘烤箱是將印刷電路板的進料口與出料口設置在不同側,印刷電路板從進料口進入烘烤設備內後,會朝出料口的方向直線輸送,並在輸送過程中透過烘烤設備中的高溫環境來完成烘烤程序。然而,依照上述配置的烘烤設備,其設備外觀型態多半為具有相當長度之箱體,如此不僅會佔用較大的平面面積,而且在空間利用上也較缺乏彈性。
因此,本發明之其中一目的,即在提供一種能解決前述問題的烘烤設備。
於是,本發明烘烤設備在一些實施態樣中,適用於對至少一物件進行烘烤處理,該物件可分離地裝載於一夾持機構上。該烘烤設備包含一機殼、一導軌裝置及一溫度調節裝置。該機殼包括位於相反側的一進出料端及一末端,該進出料端適用於供該物件饋入及饋出。該導軌裝置主要設置於該機殼
內,並在該進出料端及該末端之間延伸,該導軌裝置適用於供該夾持機構裝設於上,以將該夾持機構裝載的該物件沿一預定路徑,由該進出料端饋入後往該末端移動,再移至該進出料端饋出。該溫度調節裝置裝設於該機殼內,用於控制該機殼內的溫度。
在一些實施態樣中,該導軌裝置包括一在該進出料端及該末端之間延伸的底段、一位於該底段之上且在該進出料端之間延伸的頂段、一對應該機殼之該進出料端且連結該底段及該頂段的進出料段,以及一對應該機殼之該末端且連結該底段及該頂段的末段,該底段、該頂段、該進出料段、該末段配合界定一迴圈路徑。
在一些實施態樣中,該烘烤設備還包含設置於該機殼之該進出料端的一進料移載裝置及一出料移載裝置,該進料移載裝置適用於將該物件裝載於該夾持機構上,該出料移載裝置適用於將該物件從該夾持機構處移出。
在一些實施態樣中,該機殼區分為一鄰近該進出料端的第一溫區及一遠離該進出料端的第二溫區,該第一溫區的溫度低於該第二溫區。
在一些實施態樣中,該烘烤設備還包含一用於驅動該導軌裝置運作的導軌驅動裝置,以及一控制該溫度調節裝置及該導軌驅動裝置的操控裝置。
本發明至少具有以下功效:該烘烤設備統一由該機殼之該進出料端進行該物件的進出料,配合該導軌裝置的配置方式,能夠調節該機殼的型態,提升空間配置的彈性。在該導軌裝置於包含底段及頂段的實施態樣中,可
有效利用平面面積,縮短該機殼的長度。
100:烘烤設備
200:夾持機構
201:橫桿
202:夾臂
203:夾持件
300:物件
1:機殼
11:進出料端
12:末端
13:第一溫區
14:第二溫區
2:導軌裝置
21:底段
22:頂段
23:進出料段
24:末段
3:溫度調節裝置
4:進料移載裝置
41:進料夾臂推抵機構
42:進料夾持件推抵機構
5:出料移載裝置
51:出料夾臂推抵機構
52:出料夾持件推抵機構
53:輸送機構
6:導軌驅動裝置
7:操控裝置
本發明之其他的特徵及功效,將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現,其中:圖1是一側視示意圖,說明本發明烘烤設備的一實施例;圖2是該實施例的不完整的立體圖;圖3是該實施例的方塊圖;圖4至圖6是立體圖,說明該實施例的進料移載裝置的實施態樣;及圖7至圖9是立體圖,說明該實施例的出料移載裝置的實施態樣。
參閱圖1至圖3,為本發明烘烤設備100的一實施例,該烘烤設備100適用於對多個物件300進行烘烤處理,該等物件300例如是印刷電路板,並且可分離地裝載於一夾持機構200上,以利進行烘烤製程。
該烘烤設備100包含一機殼1、一導軌裝置2及一溫度調節裝置3,在圖中該機殼1是以示意的方式呈現。
該機殼1例如為一金屬材質的長方體狀箱體結構,並包括位於相反側的一進出料端11(圖1中位於右側)及一末端12(圖1中位於左側)。該進出料端11具有圖中未示出的開口,適用於供該等物件300由該處饋入及饋出。在一實施態樣中,該機殼1可區分為一鄰近該進出料端11的第一溫區13及一遠離該進出料端11的第二溫區14,該第一溫區13的溫度低於該第二溫區14,因而讓該第
一溫區13可作為預熱區及冷卻區。
該導軌裝置2主要設置於該機殼1內,並在該進出料端11及該末端12之間延伸。該導軌裝置2適用於供該等夾持機構200以並排方式裝設於上,以將該等夾持機構200裝載的該等物件300沿一預定路徑,由該進出料端11饋入後往該末端12移動,再移至該進出料端11饋出。在一實施態樣中,該導軌裝置2包括一在該進出料端11及該末端12之間延伸的底段21、一位於該底段21之上且在該進出料端11之間延伸的頂段22、一對應該機殼1之該進出料端11且連結該底段21及該頂段22的進出料段23,以及一對應該機殼1之該末端12且連結該底段21及該頂段22的末段24,該底段21、該頂段22、該進出料段23、該末段24配合界定一迴圈路徑。藉由上述實施方式,該導軌裝置2的該底段21及該頂段22在空間上呈現為上下重疊,因此可減少平面空間的佔用,並縮短該機殼1所需的長度配置。要說明的是,視實際需要,該導軌裝置2除了如本實施例般用於烘烤製程外,還可以裝載於任意類型的加工製程設備的機殼中,並可透過類似上述方式提供物件的輸送、加工程序,同樣能達成減少平面空間佔用、縮短機殼長度的效果,而不限於本實施例之烘烤製程的運用方式。
該溫度調節裝置3係裝設於該機殼1內,且包括圖中未示出的加熱器、送風裝置、溫度感測器等,可以透過熱風循環的方式,控制該機殼1內的溫度。
參閱圖1、圖2、圖4、圖7,根據本實施例的一實施態樣,該烘烤設備100還包含設置於該機殼1之該進出料端11的一進料移載裝置4及一出料移
載裝置5,該進料移載裝置4適用於將該等物件300裝載於該等夾持機構200上,且在圖1中以方框示意其裝設位置;該出料移載裝置5適用於將該等物件300從該等夾持機構200處移出,在圖1中以方框示意其裝設位置。因此,藉由該進料移載裝置4及該出料移載裝置5的裝設,即能以自動化方式在該機殼1之該進出料端11處進行印刷電路板(即該等物件300)之烘烤製程的進料程序及出料程序。
參閱圖4至圖6,於本實施例中,該等用於夾持該等物件300的夾持機構200,係分別包括一橫桿201、兩個分別樞設於該橫桿201的兩端以用於夾持該物件300之兩側緣的夾臂202,以及兩個裝設於該橫桿201上以用於夾持該物件300的另一側緣的夾持件203。該進料移載裝置4則包括兩個分別設置於該等夾臂202的外側的進料夾臂推抵機構41,以及兩個分別設置於該等夾持件203的底側的進料夾持件推抵機構42。欲進行該物件300的進料程序時,可如圖4般由該等進料夾臂推抵機構41壓抵該等夾臂202的外側,使得該等夾臂202如圖4般維持在長直狀的狀態,此外還可透過該等進料夾持件推抵機構42壓抵於該等夾持件203的底側,讓該等夾持件203呈現為夾口鬆開的狀態。而後,可如圖5般將該物件300輸送至該夾持機構200處,再如圖6般讓該等進料夾臂推抵機構41及該等進料夾持件推抵機構42分別脫離該等夾臂202、該等夾持件203而呈現為非壓抵在該等夾臂202、該等夾持件203之狀態,此時裝設於該等夾臂202、該等夾持件203內的彈簧(圖中未繪製)就會如圖6般帶動該等夾臂202、該等夾持件203的構件作動,使得該等夾臂202的部分構件樞轉而讓夾臂202的末端夾抵於該物件300上,並讓該等夾持件203的夾口夾持在該物件300上,如此便完成
將該物件300裝載於該夾持機構200上的固定程序,而後即可經由該導軌裝置2送入該機殼1內進行烘烤處理。
參閱圖7至圖9,為本實施例中該出料移載裝置5的實施態樣。該出料移載裝置5包括兩個類似於該等進料夾臂推抵機構41的出料夾臂推抵機構51、兩個類似該等進料夾持件推抵機構42的出料夾持件推抵機構52,以及一輸送機構53。當該物件300完成烘烤處理而可從該夾持機構200上取下時,可將該等進料夾臂推抵機構41、該等出料夾持件推抵機構52分別操作為壓抵在該等夾臂202、該等夾持件203上,使得該等夾臂202、該等夾持件203從圖7的夾持狀態變為如圖8般的非夾持狀態。如此一來,即可如圖9般透過該輸送機構53將未被夾持的該物件300從該機殼1的該進出料端11移往他處,以進行後續之加工程序。
參閱圖1至圖3,進一步而言,在本實施例的一實施態樣中,該烘烤設備100還包含一用於驅動該導軌裝置2運作的導軌驅動裝置6,以及一控制該溫度調節裝置3、該進料移載裝置4、該出料移載裝置5及該導軌驅動裝置6的操控裝置7,據以實現該烘烤設備100的整體操控功能。
在使用上,該烘烤設備100的該導軌裝置2上會依一定的間隔距離連續性地設置該等夾持機構200,該等夾持機構200會隨著該導軌裝置2的運作,而沿圖1中的箭頭所示方向在該進出料段23、該底段21、該末段24、該頂段22之間不斷循環前進。當需要進行該物件300的烘烤處理程序時,可將該等物件300移載至該機殼1之該進出料端11處的該進料移載裝置4位置,由該進料
移載裝置4將該等物件300裝載於該進出料段23處的夾持機構200上。而後,該等物件300便會在該導軌裝置2的帶動下,連續性地在該底段21對應的該第一溫區13、該第二溫區14進行預熱處理及烘烤處理。而後,該物件300會經過該末段24、該頂段22,最終又回到該進出料段23,由該出料移載裝置5將已烘烤完成的該物件300卸下,便完成整體之烘烤程序。
綜合上述,本發明烘烤設備100統一由該機殼1之該進出料端11進行該物件300的進出料,配合該導軌裝置2的配置方式,能夠調節該機殼1的型態,提升空間配置的彈性。在該導軌裝置2於包含底段21及頂段22的實施態樣中,可有效利用平面面積,縮短該機殼1的長度。是故,本發明烘烤設備100確實能達成本發明的目的。
惟以上所述者,僅為本發明之實施例而已,當不能以此限定本發明實施之範圍,凡是依本發明申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾,皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。
100:烘烤設備
200:夾持機構
300:物件
1:機殼
11:進出料端
12:末端
13:第一溫區
14:第二溫區
2:導軌裝置
21:底段
22:頂段
23:進出料段
24:末段
4:進料移載裝置
5:出料移載裝置
Claims (4)
- 一種烘烤設備,適用於對至少一物件進行烘烤處理,該物件可分離地裝載於一夾持機構上,該烘烤設備包含:一機殼,包括位於相反側的一進出料端及一末端,並內部區分為一鄰近該進出料端的第一溫區及一遠離該進出料段的第二溫區,該進出料端適用於供該物件饋入及饋出,該第一溫區的溫度低於該第二溫區;一導軌裝置,主要設置於該機殼內,並在該進出料端及該末端之間延伸,該導軌裝置適用於供該夾持機構裝設於上,並包括一在該進出料端及該末端之間延伸的底段、一位於該底段之上且在該進出料端之間延伸的頂段、一對應該機殼之該進出料端及該第一溫區且連結該底段及該頂段的進出料段,以及一對應該機殼之該末端及該第二溫區且連結該底段及該頂段並且位於該機殼中的末段,該底段、該頂段、該進出料段、該末段配合界定一迴圈路徑,該頂段及該底段在空間上為上下重疊,該頂段及該底段之上下重疊的一部分對應於該第一溫區,且該頂段及該底段之上下重疊的另一部分對應於該第二溫區,該導軌裝置能夠將該夾持機構裝載的該物件沿該迴圈路徑,由該進出料端饋入後經由該底段往該末端移動,再經由該頂段移至該進出料端饋出;及一溫度調節裝置,裝設於該機殼內,用於控制該機殼內的溫度。
- 如請求項1所述之烘烤設備,還包含設置於該機殼之該進出料端的一進料移載裝置及一出料移載裝置,該進料移載裝置適用於將該物件裝載於該夾持機構上,該出料移載裝置適用於將該物件從該夾持機構處移出。
- 如請求項2所述之烘烤設備,其中,該夾持機構包括一橫桿、兩個分別樞設於該橫桿的兩端以用於夾持該物件之兩側緣的夾臂,以及兩個裝設於該橫桿上以用於夾持該物件的另一側緣的夾持件;該進料移載裝置包括兩個分別設置於該等夾臂的外側的進料夾臂推抵機構,以及兩個分別對應於該等夾持件設置的進料夾持件推抵機構,該等進料夾臂推抵機構可受控壓抵該等夾臂的外側,使該等夾臂不觸抵該物件的側緣,該等進料夾持件推抵機構可受控壓抵於該等夾持件,使該等夾持件的夾口未夾持該物件。
- 如請求項1所述之烘烤設備,還包含一用於驅動該導軌裝置運作的導軌驅動裝置,以及一控制該溫度調節裝置及該導軌驅動裝置的操控裝置。
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TW (1) | TWI795614B (zh) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN201015242Y (zh) * | 2007-01-19 | 2008-01-30 | 佳辉设备(东莞)有限公司 | 线路板-薄板磁夹机构 |
CN205726684U (zh) * | 2016-03-30 | 2016-11-23 | 深圳市荣泰达节能机械设备有限公司 | 一种用于pcb双面阻焊和文字烘干的隧道炉 |
CN106643019A (zh) * | 2016-10-20 | 2017-05-10 | 精机械(中山)有限公司 | 立式干燥炉 |
CN106793544A (zh) * | 2016-12-20 | 2017-05-31 | 安徽理工大学 | 一种pcb板涂布烘烤一体机及其控制电路 |
CN206771988U (zh) * | 2017-03-31 | 2017-12-19 | 东莞市科隆威自动化设备有限公司 | 一种单线烘干烧结炉 |
CN207305088U (zh) * | 2017-07-06 | 2018-05-01 | 东莞市鹏利节能设备有限公司 | 一种pcb板烘烤装置的进板系统 |
TWI660655B (zh) * | 2018-08-10 | 2019-05-21 | 科嶠工業股份有限公司 | Pcb框夾式托架及利用該托架承載pcb的方法 |
TWM592067U (zh) * | 2019-12-02 | 2020-03-11 | 群翊工業股份有限公司 | 烘烤設備及導軌裝置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2221490Y (zh) * | 1995-07-05 | 1996-03-06 | 王卫文 | 一种双行程烘干作业的印铁烘干炉 |
CN102997633B (zh) * | 2012-12-13 | 2014-12-31 | 上海新旭发机械科技有限公司 | 一种节能隧道烘箱 |
CN105611740A (zh) * | 2016-03-30 | 2016-05-25 | 深圳市荣泰达节能机械设备有限公司 | 一种用于pcb双面阻焊和文字烘干的隧道炉 |
-
2019
- 2019-12-02 TW TW108143892A patent/TWI795614B/zh active
-
2020
- 2020-01-06 CN CN202010009949.3A patent/CN112985029A/zh active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN201015242Y (zh) * | 2007-01-19 | 2008-01-30 | 佳辉设备(东莞)有限公司 | 线路板-薄板磁夹机构 |
CN205726684U (zh) * | 2016-03-30 | 2016-11-23 | 深圳市荣泰达节能机械设备有限公司 | 一种用于pcb双面阻焊和文字烘干的隧道炉 |
CN106643019A (zh) * | 2016-10-20 | 2017-05-10 | 精机械(中山)有限公司 | 立式干燥炉 |
CN106793544A (zh) * | 2016-12-20 | 2017-05-31 | 安徽理工大学 | 一种pcb板涂布烘烤一体机及其控制电路 |
CN206771988U (zh) * | 2017-03-31 | 2017-12-19 | 东莞市科隆威自动化设备有限公司 | 一种单线烘干烧结炉 |
CN207305088U (zh) * | 2017-07-06 | 2018-05-01 | 东莞市鹏利节能设备有限公司 | 一种pcb板烘烤装置的进板系统 |
TWI660655B (zh) * | 2018-08-10 | 2019-05-21 | 科嶠工業股份有限公司 | Pcb框夾式托架及利用該托架承載pcb的方法 |
TWM592067U (zh) * | 2019-12-02 | 2020-03-11 | 群翊工業股份有限公司 | 烘烤設備及導軌裝置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202122728A (zh) | 2021-06-16 |
CN112985029A (zh) | 2021-06-18 |
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