TWI791605B - 低溫可共燒介電材料 - Google Patents

低溫可共燒介電材料 Download PDF

Info

Publication number
TWI791605B
TWI791605B TW107131408A TW107131408A TWI791605B TW I791605 B TWI791605 B TW I791605B TW 107131408 A TW107131408 A TW 107131408A TW 107131408 A TW107131408 A TW 107131408A TW I791605 B TWI791605 B TW I791605B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
burnable
low temperature
low
combination
dielectric
Prior art date
Application number
TW107131408A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201922675A (zh
Inventor
麥克 大衛 賀爾
健忠 江
傑佛瑞 艾倫 尚威勒
尼爾 布魯斯 寇特
大衛 馬丁 菲羅
大衛 包伊 庫克山克
Original Assignee
美商天工方案公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 美商天工方案公司 filed Critical 美商天工方案公司
Publication of TW201922675A publication Critical patent/TW201922675A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI791605B publication Critical patent/TWI791605B/zh

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/453Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zinc, tin, or bismuth oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. zincates, stannates or bismuthates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00Auxiliary devices
    • H01P1/32Non-reciprocal transmission devices
    • H01P1/36Isolators
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B18/00Layered products essentially comprising ceramics, e.g. refractory products
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/26Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on ferrites
    • C04B35/265Compositions containing one or more ferrites of the group comprising manganese or zinc and one or more ferrites of the group comprising nickel, copper or cobalt
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/26Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on ferrites
    • C04B35/2675Other ferrites containing rare earth metals, e.g. rare earth ferrite garnets
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/495Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on vanadium, niobium, tantalum, molybdenum or tungsten oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. vanadates, niobates, tantalates, molybdates or tungstates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B37/00Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating
    • C04B37/001Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating directly with other burned ceramic articles
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/70Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
    • H01L21/77Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
    • H01L21/78Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
    • H01L21/82Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
    • H01L21/8258Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being a semiconductor, using a combination of technologies covered by H01L21/8206, H01L21/8213, H01L21/822, H01L21/8252, H01L21/8254 or H01L21/8256
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00Auxiliary devices
    • H01P1/32Non-reciprocal transmission devices
    • H01P1/38Circulators
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P11/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing waveguides or resonators, lines, or other devices of the waveguide type
    • H01P11/001Manufacturing waveguides or transmission lines of the waveguide type
    • H01P11/003Manufacturing lines with conductors on a substrate, e.g. strip lines, slot lines
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3201Alkali metal oxides or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3201Alkali metal oxides or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3203Lithium oxide or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3206Magnesium oxides or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3215Barium oxides or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3217Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
    • C04B2235/3222Aluminates other than alumino-silicates, e.g. spinel (MgAl2O4)
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3239Vanadium oxides, vanadates or oxide forming salts thereof, e.g. magnesium vanadate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3256Molybdenum oxides, molybdates or oxide forming salts thereof, e.g. cadmium molybdate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3258Tungsten oxides, tungstates, or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/327Iron group oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3275Cobalt oxides, cobaltates or cobaltites or oxide forming salts thereof, e.g. bismuth cobaltate, zinc cobaltite
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3298Bismuth oxides, bismuthates or oxide forming salts thereof, e.g. zinc bismuthate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/74Physical characteristics
    • C04B2235/76Crystal structural characteristics, e.g. symmetry
    • C04B2235/762Cubic symmetry, e.g. beta-SiC
    • C04B2235/764Garnet structure A3B2(CO4)3
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/74Physical characteristics
    • C04B2235/77Density
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/96Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
    • C04B2235/9607Thermal properties, e.g. thermal expansion coefficient
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/30Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
    • C04B2237/32Ceramic
    • C04B2237/34Oxidic
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/84Joining of a first substrate with a second substrate at least partially inside the first substrate, where the bonding area is at the inside of the first substrate, e.g. one tube inside another tube

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Inorganic Insulating Materials (AREA)
  • Soft Magnetic Materials (AREA)
  • Insulating Bodies (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

本文中揭示可連同高介電材料使用以尤其針對用於射頻組件之隔離器及循環器形成複合結構之低溫可共燒介電材料之實施例。該等低溫可共燒介電材料之實施例可係白鎢礦或石榴石結構,舉例而言鎢酸鋇。黏合劑及/或膠對於形成該等隔離器及循環器而言並非必需的。

Description

低溫可共燒介電材料
本發明之實施例係關於可在不使用黏合劑之情況下形成之可共燒介電材料。
循環器及隔離器係在高頻率(例如,微波)射頻系統中使用以准許一信號在一個方向上傳遞同時在反向方向上提供對反射能量之高隔離的被動電子裝置。循環器及隔離器通常包含同心地安置於一環狀介電元件內之一圓盤形總成,該圓盤形總成包括一圓盤形鐵氧體或其他鐵磁性陶瓷元件。
用於製作上文提及之複合圓盤總成之一習用程序由 1 之流程圖圖解說明。在步驟12 處,由一介電陶瓷材料形成一圓柱體。在步驟14 處,然後在一窯中燒製(未燒製或「未淬火」)圓柱體(通常簡稱為「燒製」)。因此,陶瓷材料係「可燒的」。在步驟16 處,然後機械加工圓柱體之外側表面以確保其外徑(OD)係為一選定尺寸。達成總成元件之精確尺寸係重要的,此乃因該等尺寸影響微波波導特性。在步驟18 處,以類似方式機械加工圓柱體之內側表面以確保其內徑(ID)係為一選定尺寸。另外,在步驟20 處,由一磁性陶瓷材料形成一桿。在步驟22 處,然後燒製該桿,且在步驟24 處,將其表面機械加工至一選定OD。桿OD稍微小於圓柱體OD,使得桿可穩固地裝配在圓柱體內,如下文所闡述。達成促進桿與圓柱體之間的良好黏合之一緊密配合係以精密容限對桿之外側表面及圓柱體之內側表面兩者進行機械加工之一原因。
重要地係,在步驟26 處,將環氧黏合劑施加至桿及圓柱體中之一者或兩者。在步驟28 處,將桿插入至圓柱體內側以形成一桿與圓柱體總成,且允許環氧樹脂固化(硬化),如由步驟30 所指示。在步驟32 處,再次將桿與圓柱體總成之外側表面機械加工至一精確OD。最後,在步驟34 處,將桿與圓柱體總成切片成若干個圓盤總成。因此,每一圓盤總成包括同心地安置於一介電陶瓷環形物內之一磁性陶瓷圓盤。每一圓盤總成之厚度通常係數毫米。
在機械加工圓柱體之內側表面以促進黏合、將環氧樹脂施加至部件、仔細地處置且組裝含環氧樹脂部件及使環氧樹脂固化中涉及之時間導致程序之低效率。提供用於製作複合磁性-介電圓盤總成之一更高效方法將係合意的。
本文中揭示供用作一射頻組件之一複合材料之實施例,該複合材料包括:一低溫可燒外部材料,該低溫可燒外部材料具有一石榴石或白鎢礦結構;及一高介電內部材料,其位於該外部材料內,該高介電內部材料具有高於30之一介電常數,其中該低溫可燒外部材料及該高介電內部材料經組態以在不使用黏合劑或膠之情況下在介於650℃至900℃之間的溫度下共燒在一起。
在某些實施例中,該低溫可燒外部材料可形似一環形物。在某些實施例中,該高介電內部材料可形似一圓盤。
在某些實施例中,該低溫可燒外部材料可係Na0.2 Bi0.8 Mo0.4 V0.6 O4 或Na0.35 Bi0.65 Mo0.7 V0.3 O4
在某些實施例中,該低溫可燒外部材料可具有組合物Bi1-2x A2x V1-x Mx O4 ,A係Li、Na、K或其組合,M係Mo、W或其組合,且x介於0與0.45之間。在某些實施例中,該低溫可燒外部材料可具有介於20與80之間的一介電常數。在某些實施例中,該低溫可燒外部材料可具有組合物C2 BiD2 V3 O12 ,C係Li、Na、K或其組合,且D係Mg、Zn、Co、Ni、Cu或其組合。在某些實施例中,該低溫可燒外部材料可係具有化學式BaWO4 之鎢酸鋇。
在某些實施例中,可以MgAl2 O4 或CoAl2 O4 對鎢酸鋇改質。在某些實施例中,該低溫可燒外部材料可係Na2 BiMg2 V3 O12 。在某些實施例中,該高介電內部材料可具有高於35之一介電常數。
本文中亦揭示形成供用作一射頻裝置中之一隔離器或循環器之一複合材料之一方法之實施例,該方法包括:提供一低溫可燒外部材料,該低溫可燒外部材料具有一石榴石或白鎢礦結構;使一高介電內部材料進入該低溫可燒外部材料中之一孔隙內,該高介電內部材料具有高於30之一介電常數;及在不使用黏合劑或膠之情況下在介於650℃至900℃之間的溫度下將該低溫可燒外部材料與該高介電內部材料共燒在一起以使該低溫可燒外部材料在該高介電內部材料之一外表面周圍收縮。
在某些實施例中,該低溫可燒外部材料可具有組合物Bi1-2x A2x V1-x Mx O4 ,A係Li、Na、K或其組合,M係Mo、W或其組合,且x介於0與0.45之間。在某些實施例中,該低溫可燒外部材料可具有組合物C2 BiD2 V3 O12 ,C係Li、Na、K或其組合且D係Mg、Zn、Co、Ni、Cu或其組合。在某些實施例中,該低溫可燒外部材料可係具有化學式BaWO4 之鎢酸鋇。在某些實施例中,該低溫可燒外部材料可係Na2 BiMg2 V3 O12
在某些實施例中,該方法可進一步包含在共燒之後將該較低溫可燒外部材料與該高介電內部材料切片。
本文中進一步揭示一射頻隔離器或循環器之實施例,該射頻隔離器或循環器包括:一低溫可燒外部材料,該低溫可燒外部材料具有一石榴石或白鎢礦結構;及一高介電內部材料,其位於該外部材料內,該高介電內部材料具有高於30之一介電常數,其中該低溫可燒外部材料及該高介電內部材料經組態以在不使用黏合劑或膠之情況下在介於650℃至900℃之間的溫度下共燒在一起。
在某些實施例中,該低溫可燒外部材料可具有組合物Bi1-2x A2x V1-x Mx O4 ,A係Li、Na、K或其組合,M係Mo、W或其組合,且x介於0與0.45之間。在某些實施例中,該低溫可燒外部材料可具有組合物C2 BiD2 V3 O12 ,C係Li、Na、K或其組合且D係Mg、Zn、Co、Ni、Cu或其組合。在某些實施例中,該低溫可燒外部材料可係具有化學式BaWO4 之鎢酸鋇。
以引用方式併入至任何優先權申請案
本申請案主張2017年9月8日提出申請之標題為「LOW TEMPERATURE CO-FIREABLE DIELECTRIC MATERIALS」之第62/555,811號美國臨時申請案之權益,該美國臨時申請案之全文以引用方式併入本文中。
本文中揭示低溫燒製介電材料之實施例。此等材料可與高介電材料共燒以形成用於磁性-介電總成(諸如用於隔離器及循環器應用)之複合材料。有利地,所揭示材料之實施例可在不需要任何黏合劑(諸如膠、環氧樹脂或其他化學黏合劑)之情況下經共燒。因此,由本發明之實施例形成之複合材料可係無膠的、無環氧樹脂的、無化學附著的或無黏合劑的。因此,在某些實施例中,當形成複合總成時不使用膠、環氧樹脂及黏合劑。
本發明之實施例可有利地允許5G系統(特定而言,以3 GHz及高於3 GHz來操作)形成整合式架構,該等整合式架構可包含不同組件,諸如天線、循環器、放大器及/或基於半導體之放大器。藉由允許將此等組件整合至一單個基板上,此可改良裝置之總體小型化。在某些實施例中,所揭示裝置可以介於大約1.8 GHz與大約30 GHz之間的頻率來操作。在某些實施例中,所揭示裝置可以大於大約1 GHz、2 GHz、3 GHz、4 GHz、5 GHz、10 GHz、15 GHz、20 GHz或25 GHz之頻率來操作。在某些實施例中,所揭示裝置可以小於30 GHz、25 GHz、20 GHz、15 GHz、10 GHz、5 GHz、4 GHz、3 GHz或2 GHz之頻率來操作。
在某些實施例中,整合式架構可在不比一標準隔離器大很多之一封裝大小中包含一定向耦合器及/或隔離器。在某些實施例中,整合式架構可包含一高功率開關。除使用介電方塊作為用於阻抗變壓器之基板之外,亦可使用介電方塊作為用於耦合器、開關及終端設備之基板。
圖2 示意性地展示可如何處理一或多個化學元素(區塊1 )、化學化合物(區塊2 )、化學物質(區塊3 )及/或化學混合物(區4 )以產生具有本文中所闡述之一或多個特徵之一或多種材料(區塊5 )。在某些實施例中,此等材料可形成至經組態以包含一合意介電性質(區塊7 )、一磁性性質(區塊8 )之陶瓷材料(區塊6 )中。
在某些實施例中,可在諸如射頻(RF)應用之應用(區塊10 )中實施具有前述性質中之一或多者之一材料。此等應用可在裝置12 中包含如本文中所闡述之一或多個特徵之實施方案。在某些應用中,可進一步在產品11 中實施此等裝置。在本文中闡述此等裝置及/或產品之實例。微帶循環器 / 隔離器
循環器係可接收且發射諸如微波或射頻(RF)之不同信號之被動多埠裝置。此等埠可係連接至循環器且自循環器連接之一外部波導或發射線路。隔離器類似於循環器,但可封堵埠中之一或多者。因此,可在本文中互換地使用循環器及隔離器,此乃因其在大體結構方面可係類似的。因此,下文之所有論述可適用於循環器及隔離器兩者。
微帶循環器及隔離器係此項技術中已知之由沈積在一基板(諸如一介電鐵氧體基板)上方之一薄膜電路組成之裝置。在某些實施例中,可將一或多個鐵氧體圓盤黏合至基板上。然後可進一步附接(若干)磁鐵以使一信號循環穿過鐵氧體圓盤。
此外,亦已尤其針對雷達T/R模組而使用全鐵氧體微帶循環器。可將電路印刷至全鐵氧體微帶循環器上且可在頂部添加一磁鐵以引導信號。舉例而言,使一金屬化圖案形成至一鐵氧體基板上。通常,該金屬化圖案由一中央圓盤及多個發射線路組成。
循環器一般可在高於或低於共振之操作區域中之任一者中操作。 3 中展示此情形。在某些實施例中,高於共振之頻率對於窄頻帶、在4 GHz以下之循環器可係有利的。對於較高頻率,低於共振之區域可係更有利的。
微帶循環器尤其通常在低於共振之操作區域中工作。其使用一非常小磁鐵或可係自偏壓的,諸如在六方晶鐵氧體之情形中。然而,尤其對於此項技術中已知之全鐵氧體微帶循環器,正方形方塊可係難以均勻地磁化之一形狀。因此,其將靠近於低場損耗區域而操作。當變壓器安裝於有損未磁化鐵氧體上時,效能受影響。此外,經增加功率將使不良效能甚至更顯著。因此,此項技術中已知之循環器由於鐵氧體方塊經不良地磁化而存在問題,從而導致不良插入損耗及互調變失真(IMD)及降低功率效能。經共燒微帶循環器 / 隔離器
本發明之實施例可改良總體磁化且減少針對當前已知微帶循環器可發生之效能問題。一般而言,可藉由將一鐵氧體圓盤(諸如由釔鐵石榴石(YIG)製成之一個氧化物鐵氧體圓盤)直接嵌入至一介電基板中而形成微帶循環器。然後可共燒組合以形成一更牢固複合結構。可添加諸如由銀或其他金屬化物質形成之額外電路。在不具有共燒程序之情況下,將不能夠施加電路金屬化物。本發明之實施例可減輕此項技術之顯著問題中之某些問題。
可使用任一數目個不同鐵氧體圓盤材料。在某些實施例中,鐵氧體圓盤材料之飽和磁化位準可介於1000高斯至5000高斯(或大約1000高斯至大約5000高斯)之間的範圍內。
此外,可使用此項技術中已知之任一數目個不同介電基板。此外,介電質可由介電粉末或低溫共燒陶瓷(LTCC)帶形成。在某些實施例中,介電常數可高於6、10、15、20、25、30、40、50或60。在某些實施例中,介電常數可介於自6至30 (或大約6至大約30)之範圍內。在某些實施例中,介電常數可低於大約60、50、40、30、25、20、15或10。
特定而言,為形成複合微帶循環器100 ,可將一磁性氧化物圓盤102 或其他磁性圓盤插入至一介電基板104 之一孔隙中,如 4A 至圖4B 中所展示。在某些實施例中,圓盤102 可係一圓柱形桿,但特定形狀並非限制性的。圓盤102 可係未淬火的、預先燒製的或未預先燒製的。
此外,基板104 一般可係如 4A 中所展示之一矩形稜柱,但亦可使用其他形狀,諸如 4B 中所展示之圓柱體。下文更詳細地揭示基板104 之實施例。一旦圓盤102 在基板104 內側,便可使用諸如第7,687,014號或第8,282,763號美國專利中所論述之一方法將組件燒製在一起(例如,共燒),該等美國專利特此以其全文引用方式併入本文中且在下文經論述。下文進一步詳述之此共燒程序可致使基板104 在圓盤102 周圍收縮且連同黏合劑將其固持於適當位置中從而形成複合結構100 。然後可將此複合結構100 切片以形成如 5A 至圖5B 中所展示之晶片結構(圖5A 展示矩形稜柱切片且 5B 展示圓柱體切片)。然而,在某些實施例中,不執行切片且組件以其最終厚度共燒在一起。在某些實施例中,可將複數個不同圓盤插入至一單個基板中之複數個不同孔隙中。
因此,在某些實施例中,可將一磁性氧化物圓盤共燒至一正方形或矩形介電基板或任何其他形狀之基板中,該正方形或矩形介電基板或任何其他形狀之基板然後可用作用於其他組件(諸如電路)之一平台。此複合結構然後可經磁化以用作一微帶循環器及/或隔離器封裝(舉例而言)或可在插入之前已使鐵氧體圓盤磁化。在某些實施例中,可在共燒步驟之前使鐵氧體圓盤磁化。
一旦形成複合結構,便可將諸如額外薄膜電路及諸如此類之其他組件添加至基板上。因此,本發明之實施例可形成一整合式解決方案,該整合式解決方案可在不比一標準隔離器大很多之一封裝大小中包含一定向耦合器及/或隔離器。此外,有利地,損耗可不受磁場位準影響,或可至少經減少。在某些實施例中,所揭示循環器將不比所有當前鐵氧體微帶循環器大(且取決於所選擇之鐵氧體/介電質組合,可比所有當前鐵氧體微帶循環器小)。
因此,使用一共燒程序,可將一鐵氧體圓盤嵌入至一介電方塊中,如 5A 至圖5B 中所展示。圖中所展示之薄鐵氧體圓盤可比一正方形或此項技術中已知之其他奇形怪狀件顯著容易地均勻磁化。在某些實施例中,介電方塊可係大約25 mm正方形,但特定尺寸並非限制性的。此可在3 GHz至4 GHz (或大約3 GHz至大約4 GHz)區域中使用。
然後可使用介電方塊產生一變壓器,如 6 中所展示。如所展示,基板104 給其他組件附件留有空間。在形成變壓器之後,僅需要將一小磁鐵放置在方塊上,如 7 中所展示。因此,組裝時間可比先前進行組裝之時間短得多。
除使用介電方塊作為用於阻抗變壓器之基板之外,亦可使用介電方塊作為用於耦合器、開關及終端設備之基板。因此,可在共燒之後將若干個其他組件添加至基板上,從而減少裝置之總體佔用面積。此外,可添加電路金屬化物,但僅在裝置已經共燒之後。用於環形物之低溫燒製介電材料
本發明之實施例對於與一磁性材料之一共燒程序、諸如對於形成用於射頻組件(諸如天線)之循環器/隔離器可係尤其有利的。特定而言,磁性材料可係具有低燒製溫度之高介電磁性材料(例如,其可係在一低溫下可燒的)。
具體而言,可將磁性材料之一桿(或其他形狀,諸如一圓盤或正方形)插入至由所揭示低溫燒製介電材料之實施例形成之一未燒製環形物中,諸如上文在 4A 至圖4B 中所展示(104 係環形物且102 係桿)。然後可將環形物與桿之組合共燒在一起,使得環形物在桿周圍收縮。此兩種材料可係「可燒的」,此意味其具有在一爐/窯/其他加熱裝置中經燒製或燒結之能力。在某些實施例中,燒製可改變材料(諸如本文中所論述之陶瓷材料)之一或多個性質。因此,使環形物材料及桿材料具有大體類似燒製溫度以便避免消極地影響其實體性質中之任一者可係有利的。此等總成之實施例可用作用於射頻應用(諸如用於5G應用)之隔離器及/或循環器。
有利地,此共燒程序可在不使用黏合劑/環氧樹脂/膠之情況下經執行且因此可被視為一「無膠組裝」或「無黏合劑組裝」。由於用於燒製環形物之溫度太高(此可導致熔融或至少相當大地損害內部桿之性質),因此總成之先前反覆對與可燒桿分開之可燒環形物進行燒製。對於先前方法,可單獨燒製兩個節段,或可首先燒製環形物且然後一起燒製環形物/桿總成。對於此等方法中之每一者,環形物將不在桿周圍充分地收縮且因此將需要一黏合劑或其他化學附接構件以使環形物與桿彼此附接。因此,本發明之實施例可係在不使用任何黏合劑之情況下在一磁性桿周圍收縮之一環形物材料。收縮環形物在桿周圍之機械拘束(諸如摩擦力)使桿在環形物內保持於適當位置中。
使用所揭示無黏合劑總成可係有利的,此乃因使用黏合劑具有若干個缺點。有利地,所揭示材料可在不需要此黏合劑之情況下形成一複合結構,此乃因桿與環形物可共燒在一起。舉例而言,一旦存在黏合劑,使總成金屬化便係極其困難的(若並非不可能的)。此乃因金屬化所需要之溫度比黏合劑之使用溫度高得多,從而致使黏合劑熔融及/或損失黏合劑。此外,黏合劑係有損的,從而增加膠合組件之插入損耗。膠/黏合劑在高頻率下之介電損耗比磁性或介電材料大。因此,有利地,所揭示總成不需要使用黏合劑。
以下材料可用作固持在環形物內之磁性桿。具體而言,尤其對於高頻率(5G)應用,環形物材料之實施例可具有適合用於與高磁化尖晶石(舉例而言,鎳鋅鐵氧體)之桿共燒之低介電常數(<10),諸如特此以其全文引用方式併入本文中之第2017/0098885號美國專利公開案中所揭示。此可包含諸如Ni1-w-x-y-z Znw Cox Mny Cuz Fe2 O4 之材料,其中w介於自0.2至0.6之範圍內,且x、y及z各自介於自0至0.2之範圍內,且a介於自0至0.2之範圍內。在一較佳實施方案中,w = 0.4725,x = 0.0225,y = 0.02,z = 0,且a = 0.08。在另一較佳實施方案中,w = 0.4,x = 0.0275,y = 0.01,z = 0,且a = 0.08。在一項實施方案中,桿材料可由式Ni1-x-y Znx Coy Fe2 O4 表示,其中x = 0.2至0.6,且0 y < 0.2。
此外,以下材料亦可用作固持在環形物內之磁性桿。因此,所揭示低溫燒製介電環形物材料之實施例可具有可與高介電常數桿材料共燒之一白鎢礦或石榴石結構,諸如第2018/0016155號美國專利公開案中所揭示,該美國專利公開案之全文特此以其全文引用方式併入本文中。高介電常數磁性桿可係一鉍代高介電常數磁性石榴石。亦可使用其他材料,諸如標題為「INDIUM CONTAINING MAGNETIC GARNET MATERIALS」且2018年5月7日提出申請之第15/972,617號美國專利申請案中所揭示,且本發明之全文以引用方式併入本文中。實例性石榴石包含:Y3-x-y Bix Cay Zry Fe5-y O12 。在某些實施例中,0 < x < 1.8且0 < y < 1.0。在某些實施例中,經改質合成石榴石組合物可由一般組合物定義:Y3-x-y-2a Bix Cay+2a Zry Inz Va Fe5-y-z-a O12 。在某些實施例中,0 < x < 1.8,0 < y < 1.0,0 z 1.0,且0 a 1.0。
上文關於磁性桿材料所給出之實例僅僅係實例且亦可使用其他材料。在某些實施例中,磁性桿材料(例如,高介電內部材料)可具有大約20、30、35、40或50之一介電常數。在某些實施例中,磁性桿材料可具有低於60、50或40之一介電常數。
如上文所論述,使用可與一高磁性桿材料(諸如上文所論述之磁性桿材料)相容(例如,燒製/燒結溫度相容)之一外部環形物材料以便避免化學黏合劑之使用可係有利的。
在某些實施例中,可燒環形物材料(例如,低溫燒製介電材料)可基於具有化學式BiVO4 之釩酸鉍。舉例而言,材料之實施例可具有一般式Bi1-2x A2x V1-x Mx O4 。在某些實施例中,x可介於0與0.45之間(或介於大約0與大約0.45之間)。在某些實施例中,0 <x< 0.45。在某些實施例中,x可等於0.45。A可係Li、Na、K或其組合。M可係Mo、W或其組合。
此環形物材料可具有低於900℃ (特定而言650℃至800℃)之一燒結溫度(例如,燒製溫度)。在某些實施例中,該材料可具有低於850℃之一燒結溫度。在某些實施例中,該材料可具有低於900℃、850℃、800℃或750℃ (或低於大約900℃、大約850℃、大約800℃或大約750℃)之一燒結溫度。在某些實施例中,該材料可具有高於500℃、550℃、600℃、650℃或700℃ (或高於大約500℃、大約550℃、大約600℃、大約650℃或大約750℃)之一燒結溫度。
此外,環形物材料之實施例可具有介於20與80 (或大約20與大約80)之間或介於20與70 (或大約20與大約70)之間的一介電常數範圍。在某些實施例中,該材料可具有高於10、20、30、40、50、60或70 (或高於大約10、20、30、40、50、60或70)之一介電常數。在某些實施例中,該材料可具有低於80、70、60、50、40、30或20 (或低於大約80、70、60、50、40、30或20)之一介電常數。
在替代實施例中,環形物材料可具有組合物:C2 BiD2 V3 O12 。C可係Li、Na、K或其組合。D可係Mg、Zn、Co、Ni、Cu或其組合。此組合物可具有一石榴石結構。
此環形物材料可具有低於900℃ (特定而言650℃至800℃)之一燒結溫度。在某些實施例中,該材料可具有低於850℃之一燒結溫度。在某些實施例中,該材料可具有低於900℃、850℃、800℃或750℃ (或低於大約900℃、大約850℃、大約800℃或大約750℃)之一燒結溫度。在某些實施例中,該材料可具有高於500℃、550℃、600℃、650℃或700℃ (或高於大約500℃、大約550℃、大約600℃、大約650℃或大約750℃)之一燒結溫度。
此外,環形物材料之實施例可具有介於10與30 (或大約10與大約30)之間的一介電常數範圍。在某些實施例中,該材料可具有高於10、15、20、25或30 (或高於大約10、15、20、25或30)之一介電常數。在某些實施例中,該材料可具有低於30、25、20、15或10 (或低於大約30、25、20、15或10)之一介電常數。
在替代實施例中,環形物材料可係Na2 BiMg2 V3 O12 。此材料可具有25 (或大約25)之一介電常數。
此材料可具有低於900℃ (特定而言650℃至800℃)之一燒結溫度。在某些實施例中,該材料可具有低於850℃之一燒結溫度。在某些實施例中,該材料可具有低於900℃、850℃、800℃或750℃ (或低於大約900℃、大約850℃、大約800℃或大約750℃)之一燒結溫度。在某些實施例中,該材料可具有高於500℃、550℃、600℃、650℃或700℃ (或高於大約500℃、大約550℃、大約600℃、大約650℃或大約750℃)之一燒結溫度。
在某些實施例中,可將黏結劑摻合至上文所揭示之環形物材料組合物中。舉例而言,單獨或組合地,黏結劑可係聚乙烯醇(PVA)或聚乙二醇(PEG)。然而,黏結劑類型並非限制性的。舉例而言,黏結劑可作為總組合物之2%位準經引入。
下文之表I提供可有利地用作一外部環形物材料之若干種材料之燒製溫度及介電常數。因此,在某些實施例中,該外部環形物材料可具有一白鎢礦結構。 表I:具有白鎢礦結構之材料
Figure 107131408-A0304-0001
在某些實施例中,鎢酸鋇可用作用於外部環形物之低溫燒製介電材料。該鎢酸鋇可具有式BaWO4 且可形成一白鎢礦結構。此外,可使用具有鎢酸鋇之一固溶體作為一主要組份。此尤其可用作一低介電常數可共燒材料以與諸如上文所論述之高磁化尖晶石(諸如鋰鐵氧體或鎳鋅鐵氧體)一起燒製。使用此材料來避免模變且抵消在高頻率下亦必需之較薄基板之阻抗效應可係有利的。
此對於高頻率微帶或表面整合式波導設計可係尤其有用的。
在某些實施例中,可以MgAl2 O4 或CoAl2 O4 對鎢酸鋇改質以修改鐵氧體之熱膨脹。然而,亦可以在上文論述之環形物材料中之任一者進行此改質。舉例而言,可在燒結如上文所論述之外部環形物材料之前混入此等組合物。使鐵氧體外部環形物之熱膨脹與介電磁性桿緊密地匹配可係有利的。
下文之表II圖解說明作為一外部環形物材料有利之材料之實例及其特定性質。 表II:經共燒組合物之表
Figure 107131408-A0304-0002
在某些實施例中,上文所揭示之環形物材料可具有小於10 (或小於大約10)之ɛ’。因此,本發明之實施例可用於5G低於共振之應用。避免模變且抵消亦在高頻率下使用之較薄基板之阻抗效應可係有利的。因此,低於10 (或低於大約10)之值用於高於20 GHz之頻率。5G 應用
所揭示複合微帶循環器之實施例對於第五代無線系統(5G)應用可係尤其有利的,但同樣地亦可用於早期4G及3G應用。5G技術亦在本文中稱為5G新無線電(NR)。5G網路可提供顯著高於當前4G系統之容量,此允許在一區中之較大數目個消費者。此可進一步改良上載/下載限制及要求。特定而言,5G所需要之大數目個循環器(諸如本文中所闡述之彼等循環器) (通常,每前端模組或FEM為1個)需要組件之進一步整合。循環器之所揭示實施例可允許此整合且因此可係尤其有利的。前端模組中之其他組件將係基於微帶或SMT的。在第2018/0166763號美國專利公開案中揭示可與本文中之材料一起使用之整合式微帶循環器之實例,該美國專利公開案之全文特此以引用方式併入本文中。
5G NR之初步規範支援各種特徵,諸如經由毫米波頻譜進行通信、波束成型能力、高頻譜效率波形、低延時通信、多重無線電參數集(numerology)及/或非正交多重存取(NOMA)。儘管此等RF功能性為網路提供彈性且增強使用者資料速率,但支援此等特徵可構成若干個技術挑戰。
本文中之教示可適用於各種各樣通信系統,包含但不限於使用進階蜂巢式技術(諸如進階LTE、進階升級版LTE及/或5G NR)之通信系統。
圖8 係一通信網路410 之一項實例之一示意圖。通信網路410 包含一巨集小區基地台401 、一行動裝置402 、一小型小區基地台403 及一固定無線裝置404
圖8 之所圖解說明通信網路410 使用包含(舉例而言) 4G LTE、5G NR及無線區域網路(WLAN) (諸如Wi-Fi)之各種技術來支援通信。儘管展示所支援通信技術之各種實例,但通信網路410 可經調適以支援各種各樣通信技術。
已在 8 中繪示通信網路410 之各種通信鏈路。可以各種各樣方式使通信鏈路雙工,舉例而言,包含使用分頻雙工(FDD)及/或分時雙工(TDD)。FDD係使用不同頻率來發射及接收信號之一射頻通信類型。FDD可提供若干個優點,諸如高資料速率及低延時。相比之下,TDD係針對發射信號及接收信號使用大約相同頻率之一射頻通信類型,且其中在時間上切換發射通信與接收通信。TDD可提供若干個優點,諸如頻譜之高效使用及輸送量在發射方向與接收方向之間的可變分配。
8 中所展示,行動裝置402 經由使用4G LTE技術與5G NR技術之一組合之一通信鏈路與巨集小區基地台401 通信。行動裝置402 亦與可包含本發明之實施例之小型小區基地台403 通信。在所圖解說明實例中,行動裝置402 與小型小區基地台403 經由使用5G NR、4G LTE及Wi-Fi技術之一通信鏈路進行通信。
在特定實施方案中,行動裝置402 使用5G NR技術經由小於6吉赫(GHz)之一或多個頻帶與巨集小區基地台401 及小型小區基地台403 通信。在一項實施例中,行動裝置402 支援一HPUE電力類規範。
併入有本發明之實施例之所圖解說明小型小區基地台403 亦與一固定無線裝置404 通信。舉例而言,小型小區基地台403 可用於使用5G NR技術經由高於6 GHz之一或多個頻帶(舉例而言,包含在30 GHz至300 GHz之頻率範圍中之毫米波段)提供寬頻服務。
在特定實施方案中,小型小區基地台403 使用波束成型與固定無線裝置404 通信。舉例而言,波束成型可用於聚焦信號強度以克服路徑損耗,諸如與經由毫米波頻率進行通信相關聯之高損耗。
圖8 之通信網路410 包含巨集小區基地台401 (其可包含本發明之實施例)及小型小區基地台403 。在特定實施方案中,小型小區基地台403 可以相對較低功率、較短範圍及/或以較少併發用戶(相對於巨集小區基地台401 )來操作。小型小區基地台403 亦可稱為一毫微微型小區、一微微型小區或一微型小區。
儘管通信網路410 經圖解說明為包含兩個基地台,但通信網路410 可經實施以包含更多或更少基地台及/或其他類型之基地台。
圖8 之通信網路410 經圖解說明為包含一個行動裝置及一個固定無線裝置。行動裝置402 及固定無線裝置404 圖解說明使用者裝置或使用者設備(UE)之兩個實例。儘管通信網路410 經圖解說明為包含兩個使用者裝置,但通信網路410 可用於與更多或更少使用者裝置及/或其他類型之使用者裝置通信。舉例而言,使用者裝置可包含行動電話、平板電腦、膝上型電腦、IoT裝置、穿戴式電子器件及/或各種各樣其他通信裝置。
通信網路410 之使用者裝置可以各種各樣方式共用可用網路資源(例如,可用頻譜)。
增強行動寬頻(eMBB)係指用於使LTE網路之系統容量增長之技術。舉例而言,eMBB可係指以至少10 Gbps且針對每一使用者裝置最少100 Mbps之一峰值資料速率進行之通信。超可靠低延時通信(uRLLC)係指用於以非常低延時(例如,小於2 ms)進行通信之技術。uRLLC可用於關鍵任務通信,諸如用於無人駕駛及/或遠端手術應用。大規模機器類型通信(mMTC)係指與至日常用品之無線連接相關聯之低成本且低資料速率通信,諸如與物聯網(IoT)應用相關聯之彼等通信。
圖8 之通信網路410 可用於支援各種各樣進階通信特徵,包含但不限於eMBB、uRLLC及/或mMTC。
一通信鏈路(例如,在一基地台與一使用者裝置之間)之一峰值資料速率取決於各種因素。舉例而言,峰值資料速率可受頻道頻寬、調變階數、一分量載波數目及/或用於通信之一天線數目影響。
例如,在特定實施方案中,一通信鏈路之一資料速率可大約等於M*B*log2 (1+S/N),其中M係通信頻道數目,B係頻道頻寬,且S/N係信雜比(SNR)。
因此,可藉由增加通信頻道數目(例如,使用多個天線進行發射及接收)、使用更寬頻寬(例如,藉由聚合載波)及/或改良SNR (例如,藉由增加發射功率及/或改良接收器靈敏度)而增加一通信鏈路之資料速率。
5G NR通信系統可採用各種各樣技術來增強資料速率及/或通信效能。
圖9 係使用載波聚合之一通信鏈路之一項實例之一示意圖。載波聚合可用於藉由經由多個頻率載波支援通信而加寬通信鏈路之頻寬,從而藉由利用片段式頻譜分配而增加使用者資料速率且增強網路容量。
在所圖解說明實例中,在一基地台421 與一行動裝置422 之間提供通信鏈路。如 9 中所展示,通信鏈路包含用於自基地台421 至行動裝置422 之RF通信之一下行鏈路頻道及用於自行動裝置422 至基地台421 之RF通信之一上行鏈路頻道。
儘管 9 在FDD通信之內容脈絡中圖解說明載波聚合,但載波聚合亦可用於TDD通信。
在特定實施方案中,一通信鏈路可針對一下行鏈路頻道及一上行鏈路頻道提供非對稱資料速率。舉例而言,一通信鏈路可用於支援一相對高下行鏈路資料速率以達成多媒體內容至一行動裝置之高速流式發射,同時提供用於將資料自該行動裝置上載至雲端之一相對較緩慢資料速率。
在所圖解說明實例中,基地台421 與行動裝置422 經由載波聚合通信,此可用於選擇性地增加通信鏈路之頻寬。載波聚合包含連續聚合,其中聚合在同一操作頻帶內之連續載波。載波聚合亦可係非連續的,且可包含在一共同頻帶中或在不同頻帶中之在頻率上分開之載波。
9 中所展示之實例中,上行鏈路頻道包含三個聚合分量載波fUL1 、fUL2 及fUL3 。另外,下行鏈路頻道包含五個聚合分量載波fDL1 、fDL2 、fDL3 、fDL4 及fDL5 。儘管展示分量載波聚合之一項實例,但可針對上行鏈路及/或下行鏈路聚合更多或更少載波。此外,一聚合載波數目可隨著時間而變化以達成所要上行鏈路及下行鏈路資料速率。
舉例而言,用於關於一特定行動裝置之上行鏈路及/或下行鏈路通信之一聚合載波數目可隨著時間而改變。舉例而言,該聚合載波數目可在裝置移動穿過通信網路時及/或在網路利用率隨著時間而改變時改變。
參考 9 ,在載波聚合中使用之個別分量載波可係為各種頻率,包含(舉例而言)在同一頻帶中或在多個頻帶中之頻率載波。另外,載波聚合可適用於其中個別分量載波係為大約相同頻寬之實施方案而且可適用於其中個別分量載波具有不同頻寬之實施方案。
圖10A 係使用多輸入與多輸出(MIMO)通信之一下行鏈路頻道之一項實例之一示意圖。 10B 係使用MIMO通信之一上行鏈路頻道之一項實例之示意圖。
MIMO通信使用多個天線以經由共同頻譜同時傳遞多個資料串流。在特定實施方案中,資料串流以不同參考信號來操作以增強接收器處之資料接收。MIMO通信受益於由於無線電環境之空間多工差異而產生之較高SNR、經改良編碼及/或經減少信號干擾。
MIMO階數係指所發送或所接收之單獨資料串流之一數目。例如,用於下行鏈路通信之MIMO階數可由一基地台之發射天線之一數目及UE (諸如一行動裝置)之接收天線之一數目闡述。舉例而言,二乘二(2×2) DL MIMO係指使用兩個基地台天線及兩個UE天線之MIMO下行鏈路通信。另外,四乘四(4×4) DL MIMO係指使用四個基地台天線及四個UE天線之MIMO下行鏈路通信。
10A 中所展示之實例中,藉由使用基地台441 之M個天線443a443b443c 、…443m 進行發射且使用行動裝置442 之N個天線444a444b444c 、…444n 進行接收而提供下行鏈路MIMO通信。因此, 10A 圖解說明M×N DL MIMO之一實例。
同樣地,用於上行鏈路通信之MIMO階數可由UE (諸如一行動裝置)之發射天線之一數目及一基地台之接收天線之一數目闡述。舉例而言,2×2 UL MIMO係指使用兩個UE天線及兩個基地台天線之MIMO上行鏈路通信。另外,4×4 UL MIMO係指使用四個UE天線及四個基地台天線之MIMO上行鏈路通信。
10B 中所展示之實例中,藉由使用行動裝置442 之N個天線444a444b444c 、…444n 進行發射且使用基地台441 之M個天線443a443b443c 、…443m 進行接收而提供上行鏈路MIMO通信。因此, 10B 圖解說明N×M UL MIMO之一實例。
藉由增加MIMO位準或階數,可增加一上行鏈路頻道及/或一下行鏈路頻道之頻寬。
儘管在FDD之內容脈絡中經圖解說明,但MIMO通信亦可適用於使用TDD之通信鏈路。
對於此等5G網路,一種形式之基地台將係基於大規模多輸入多輸出(MIMO)的,其中可能64至128個天線之一陣列能夠多波束成型以在非常高資料速率下與手持式終端機交互。因此,本發明之實施例可併入至基地台中以提供高容量應用。
此方法類似於雷達相位陣列T/R模組,其中個別收發器針對每一天線元件,但大規模MIMO在雷達意義上並非一相位陣列。目標係在終端機處之最佳同調信號強度而非尋向。此外,信號分離將係基於分時(TD)的,從而需要雙工/切換至單獨Tx及Rx信號之一手段。
為了論述,假定每天線存在一個Tx、一個Rx模組、一個雙工循環器及一個天線濾波器。然而,亦可使用其他組態。
圖8 展示省略驅動器及交換邏輯之一RF發射系統之一經簡化版本。如所展示,該系統可包含若干個不同組件,包含一循環器。因此,本發明之實施例可用作RF系統中之循環器,以用於新創建之系統或作為先前系統之經改良替換。具體而言,本發明之實施例係關於使用一帶狀線循環器及其餘組件之微帶或帶狀線拓撲之混合解決方案。
圖9 圖解說明經簡化RF天線結構上之上文所論述之 5A 至圖5B 之整合式組件。如所展示,基板可包含用於循環器之經共燒鐵氧體/介電方塊。另外,一耦合器、開關及負載亦可施加至在鐵氧體外側之介電方塊。導體及接地平面可在一厚銀膜中。在某些實施例中,循環器子總成亦可與功率放大器(PA)及低雜訊放大器(LNA)模組整合在一起。
本發明之實施例可具有優於此項技術中已知之循環器之優點。舉例而言, • 耦合器及其他發射線路具有與諸如半導體耦合器之其他耦合器相比較低得多之插入損耗 • 耦合係更一致的 • 與軟基板相比較,負載可更容易地消散熱 • 循環器具有比基於全鐵氧體基板之裝置低之損耗 • 介電質係溫度穩定的,從而輔助耦合器及循環器之效能 • 可藉由使用較高介電常數陶瓷介電質(若需要)而減小裝置之大小
此外,陶瓷循環器之實施例可具有以下優點: • PA及負載之熱/功率消散/熱導率 • 耦合器/濾波器設計之各向同性介電質(惟TTB除外) • 用於大小減小之介電常數範圍(4至100+) • 低介電損耗(耦合器/濾波器) • 緊密介電常數容限(耦合器/濾波器/天線) • 相對於溫度之穩定介電常數(耦合器/濾波器/循環器) • 適度成本
另一方面,軟基板(例如,軟板)可具有以下缺點: • 由於塑膠導率引起之不良導率 • 各向異性(xy對z方向) • 某些僅為3至10,其他為固定的 • 較高損耗 • 較寬鬆容限 • 相對於溫度不穩定
因此,本發明之實施例可具有優於此項技術中先前已知之循環器之顯著優點。
圖13 圖解說明一MIMO系統之另一實施例,所揭示微帶循環器可併入至該MIMO系統中。隨著用於5G系統之大容量MIMO之出現,將用具有(舉例而言) 64個陣列元件之天線陣列替換當前天線。可由包含 11 12 中所展示之區塊之一單獨前端模組(FEM)對每一元件進行饋入,其中形成於經共燒方塊上之微帶循環器之實施例可係一整體組件。
圖14 係一行動裝置800 之一項實例之一示意圖。行動裝置800 包含一基頻系統801 、一收發器802 、一前端系統803 、若干天線804 、一功率管理系統805 、一記憶體806 、一使用者介面807 及一電池808 且可與包含本文中所揭示之微帶循環器之實施例之基地台交互。
行動裝置800 可用於使用各種各樣通信技術進行通信,包含但不限於2G、3G、4G (包含LTE、進階LTE及進階升級版LTE)、5G NR、WLAN (例如,Wi-Fi)、WPAN (例如,藍芽及紫蜂)及/或GPS技術。
收發器802 產生用於發射之RF信號且處理自天線804 接收之傳入RF信號。將理解,與發射及接收RF信號相關聯之各種功能性可由在 14 中共同表示為收發器802 之一或多個組件達成。在一項實例中,可提供單獨組件(例如,單獨電路或晶粒)以用於處置特定類型之RF 信號。
在特定實施方案中,行動裝置800 支援載波聚合,藉此提供彈性以增加峰值資料速率。載波聚合可用於分頻雙工(FDD)及分時雙工(TDD)兩者,且可用於聚合複數個載波或頻道。載波聚合包含連續聚合,其中聚合在同一操作頻帶中之連續載波。載波聚合亦可係非連續的,且可包含在一共同頻帶內或在不同區帶中之在頻率上分開之載波。
天線804 可包含用於各種各樣類型之通信之天線。舉例而言,天線804 可包含與發射及/或接收相關聯於各種各樣頻率及通信標準之信號相關聯之天線。
在特定實施方案中,天線804 支援MIMO通信及/或交換分集通信。舉例而言,MIMO通信使用多個天線以經由一單個射頻頻道傳遞多個資料串流。MIMO通信受益於由於無線電環境之空間多工差異而產生之較高信雜比、經改良編碼及/或經減少信號干擾。交換分集係指其中一特定天線經選擇以在一特定時間處操作之通信。舉例而言,一開關可用於基於各種因素(諸如一觀測位元錯誤率及/或一信號強度指示符)而自一天線群組選擇一特定天線。
圖15 係根據一項實施例之一功率放大器系統840 之一示意圖。所圖解說明功率放大器系統840 包含一基頻處理器821 、一發射器822 、一功率放大器(PA)823 、一定向耦合器824 、一帶通濾波器825 、一天線826 、一PA偏壓控制電路827 及一PA供應控制電路828 。所圖解說明發射器822 包含一I/Q調變器837 、一混頻器838 及一類比轉數位轉換器(ADC)839 。在特定實施方案中,發射器822 包含於一收發器中使得提供發射及接收功能性兩者。所揭示微帶循環器之實施例可併入至功率放大器系統中。方法
本文中揭示用於製作一整合式微帶組件之一程序之實施例。 16 揭示可使用之一程序300 之一實施例。
返回至 16 ,在步驟302 處,可藉由此項技術中已知之用於製作此等元件之任何適合習用程序由一磁性陶瓷材料(亦即,在高頻率電子組件中所使用之類型之磁性氧化物)形成一鐵氧體圓盤或圓柱體。類似地,在步驟304 處,可藉由任何適合習用程序由一介電材料形成一基板。在某些實施例中,鐵氧體圓盤可藉由在一窯中燒製其而經燒結。在此程序流程闡述之後,下文陳述材料及燒製溫度之某些實例。然而,熟習與本發明有關之技術者理解,藉以製作此類型之磁性陶瓷及介電陶瓷元件之材料及程序係此項技術中眾所周知的。因此,未詳盡地列出適合材料及溫度。用於製作此等桿、圓柱體及此類型之類似元件之所有此等適合材料及程序意欲在本發明之範疇內。
在步驟306 處,可將圓盤組合至具有孔隙之介電基板中。舉例而言,可機械加工圓盤之外側表面以確保其係為比基板孔隙之內徑(ID)小之一外徑(OD)。在某些實施例中,OD稍微小於ID以使得圓盤能夠插入至基板中。
在某些實施例中,可在一未燒製或「未淬火」基板中接納預燒製圓盤以形成 4A 至圖4B 中所展示之複合總成100
在步驟308 處,可共燒圓盤及基板。亦即,燒製複合總成100 。共燒溫度可低於燒製圓盤之溫度,以確保圓盤之實體及電性質保持不變。共燒溫度可在習用地燒製此等組件之眾所周知之範圍內。重要地係,共燒致使基板在圓盤周圍收縮,藉此將其緊固在一起。後來,然後可機械加工複合總成100 之外側表面以確保其係為一指定或以其他方式預定之OD。此外,若先前未使鐵氧體圓盤磁化,則此步驟可用於使複合總成100 金屬化及/或磁化。
步驟310312 展示可在共燒複合總成100 之後採取之選用步驟。舉例而言,可將額外組件(諸如電路)添加310 至基板上以形成最後電子組件。此外,在某些實施例中,可將複合總成100 切片312 ,或以其他方式分割複合總成100 ,以形成若干個離散總成。在某些實施例中,可執行此兩個選用步驟且特定次序並非限制性的。在某些實施例中,可採取選用步驟中之僅一者。在某些實施例中,可不採用選用步驟中之任一者。
因此,可在製造高頻率電子組件中以與此類型之習用地產生之總成相同之方式使用複合總成100 。然而,本發明之方法比習用方法經濟,此乃因本發明不涉及黏合劑之使用。
圖17 圖解說明如本文中所論述之一循環器之一實例性實施例。可將厚銀膜印刷為電路。按照標準循環器應用,循環器包含埠1、埠2及埠3。可封堵此等埠中之一者以形成一隔離器。電信基地台
可在諸如一無線基地台之RF應用中實施具有如本文中所闡述之一或多個特徵之電路及裝置。此一無線基地台可包含經組態以促進RF信號之發射及/或接收之一或多個天線。此(等)天線可耦合至具有如本文中所闡述之一或多個循環器/隔離器之電路及裝置。
因此,在某些實施例中,上文所揭示材料可併入至諸如用於蜂巢式網路及無線通信之一電信基地台之不同組件中。在 18 中展示一基地台2000 之一實例性透視圖,基地台2000 包含一蜂巢塔2002 及電子裝置建築物2004 兩者。蜂巢塔2002 可包含通常面對不同方向以最佳化服務之若干個天線2006 ,此可用於在電子裝置建築物2004 可固持諸如下文所論述之濾波器、放大器等電子組件時既接收又發射蜂巢式信號。天線2006 及電子組件兩者皆可併入有所揭示陶瓷材料之實施例。
圖19 展示一基地台2010 。該基地台可包含經組態以促進RF信號之發射及/或接收之一天線。可由一收發器產生及/或由該收發器處理此等信號。對於發射,收發器可產生由一功率放大器(PA)放大且經濾波(Tx濾波器)以由天線發射之一發射信號。對於接收,自天線接收之一信號可在傳遞至收發器之前經濾波(Rx濾波器)且由一低雜訊放大器(LNA)放大。在此等Tx及Rx路徑之實例性內容脈絡中,可在(舉例而言) PA電路及LNA電路處或結合PA電路及LNA電路實施具有如本文中所闡述之一或多個特徵之循環器及/或隔離器。循環器及隔離器可包含本文中所揭示之材料之實施例。此外,天線可包含本文中所揭示之材料,從而允許其在較高頻率範圍上工作。
圖20 圖解說明可在電子裝置建築物2004 中使用且可包含上文關於 12 所論述之組件之硬體2020 。舉例而言,硬體2020 可係一基地台子系統(BSS),其可處置用於行動系統之訊務及發信號。
圖21 圖解說明上文所論述之硬體2020 之一額外詳述。具體而言, 21 繪示可併入至基地台中之具有一空腔濾波器/組合器3002 之一電路板3004 。空腔濾波器3002 可包含(舉例而言)諸如併入有所揭示材料之實施例之彼等之帶通濾波器,且可允許兩個或兩個以上發射器在不同頻率上之輸出經組合。
依據前文闡述,將瞭解,揭示用於複合微帶循環器/隔離器之發明性產品及方法。雖然數個組件、技術及態樣已經以一特定詳細程度來闡述,但顯然可在上文中所闡述之特定設計、構造及方法方面做出諸多改變而不背離本發明之精神及範疇。
亦可將在本發明中在單獨實施方案之內容脈絡中闡述之特定特徵以組合形式實施於一單個實施方案中。相反地,亦可將在一單個實施方案之內容脈絡中闡述之各種特徵單獨地或以任何適合子組合之形式實施於多項實施方案中。此外,儘管特徵可在上文經闡述為以特定組合形式起作用,但在某些情形中,來自一所主張組合之一或多個特徵可自該組合去除,且該組合可經主張為任何子組合或任何子組合之變化形式。
此外,雖然可以一特定次序在圖式中繪示或在說明書中闡述方法,但不需要以所展示之特定次序或以順序次序執行此等方法,且不需要執行所有方法以達成合意結果。未繪示或闡述之其他方法可併入於實例性方法及程序中。舉例而言,可在所闡述方法中之任一者之前、之後、與其同時或其之間執行一或多個額外方法。此外,可在其他實施方案中重新配置該等方法或將該等方法重新排序。而且,上文所闡述之實施方案中之各種系統組件之分離不應被理解為需要在所有實施方案中進行此分離,而應理解為所闡述之組件及系統一般可一起整合於一單個產品中或封裝至多個產品中。另外,其他實施方案亦在本發明之範疇內。
除非另有具體陳述或在如所使用之內容脈絡內以其他方式來理解,否則諸如「可(can)」、「可(could)」、「可(might)」或「可(may)」之條件語言一般意欲表達特定實施例包含或不包含特定特徵、元件及/或步驟。因此,此條件語言一般不意欲暗示特徵、元件及/或步驟呈一或多項實施例所需要之任一方式。
除非另有具體陳述或在如所使用之內容脈絡內以其他方式來理解,否則諸如片語「X、Y及Z中之至少一者」之連結語言一般意欲表達一項目、術語等可係X、Y或Z。因此,此連接語言一般不意欲暗示特定實施例需要存在X之至少一者、Y之至少一者及Z之至少一者。
本文中所使用之程度語言(諸如如本文中所使用之術語「大致」、「大約」、「大體」及「實質上」)表示仍執行一所要功能或達成一所要結果之接近於所述值、量或特性之一值、量或特性。舉例而言,術語「大致」、「大約」、「大體」及「實質上」可係指在小於或等於所述量之10%以內、在小於或等於所述量之5%以內、在小於或等於所述量之1%以內、在小於或等於所述量之0.1%以內且在小於或等於所述量之0.01%以內之一量。若所述量係0 (例如,無、不具有),則以上所陳述範圍可係特定範圍,且不在值之一特定%內。舉例而言,在小於或等於所述量之10 wt./vol. %內、在小於或等於所述量之5 wt./vol. % 內、在小於或等於所述量之1 wt./vol. %內、在小於或等於所述量之0.1 wt./vol. %內且在小於或等於所述量之0.01 wt./vol. %內。
已結合附圖闡述某些實施例。按比例繪製各圖,但此比例不應為限制性的,此乃因除所展示之尺寸及比例以外之尺寸及比例係預期的且在所揭示發明之範疇內。距離、角度等僅僅係說明性的且不必具有與所圖解說明之裝置之實際尺寸及佈局之一精確關係。可添加、移除及/或重新配置組件。此外,本文中結合各種實施例對任何特定特徵、態樣、方法、性質、特性、品質、屬性、元件或類似者之揭示可在本文中所陳述之所有其他實施例中使用。另外,將認識到,可使用適合用於執行所陳述步驟之任何裝置實踐本文中所闡述之任何方法。
雖然已詳細闡述若干個實施例及其變化形式,但熟習此項技術者將明瞭其他修改及使用其之方法。因此,應理解,各種應用、修改、材料及替代者可由等效物製作而不背離本文中之獨特且發明性揭示內容或申請專利範圍之範疇。
1‧‧‧區塊2‧‧‧區塊3‧‧‧區塊4‧‧‧區塊5‧‧‧區塊6‧‧‧區塊7‧‧‧區塊8‧‧‧區塊10‧‧‧區塊11‧‧‧產品12‧‧‧步驟14‧‧‧步驟16‧‧‧步驟18‧‧‧步驟20‧‧‧步驟22‧‧‧步驟24‧‧‧步驟26‧‧‧步驟28‧‧‧步驟30‧‧‧步驟32‧‧‧步驟34‧‧‧步驟100‧‧‧複合微帶循環器/複合結構/複合總成102‧‧‧磁性氧化物圓盤/圓盤104‧‧‧介電基板/基板300‧‧‧程序302‧‧‧步驟304‧‧‧步驟306‧‧‧步驟308‧‧‧步驟310‧‧‧步驟312‧‧‧步驟401‧‧‧巨集小區基地台402‧‧‧行動裝置403‧‧‧小型小區基地台404‧‧‧固定無線裝置410‧‧‧通信網路421‧‧‧基地台422‧‧‧行動裝置441‧‧‧基地台442‧‧‧行動裝置443a-443m‧‧‧天線444a-443m‧‧‧天線800‧‧‧行動裝置801‧‧‧基頻系統802‧‧‧收發器803‧‧‧前端系統804‧‧‧天線805‧‧‧功率管理系統806‧‧‧記憶體807‧‧‧使用者介面808‧‧‧電池821‧‧‧基頻處理器822‧‧‧發射器823‧‧‧功率放大器824‧‧‧定向耦合器825‧‧‧帶通濾波器826‧‧‧天線827‧‧‧功率放大器偏壓控制電路828‧‧‧功率放大器功率控制電路837‧‧‧I/Q調變器838‧‧‧混頻器839‧‧‧類比轉數位轉換器840‧‧‧功率放大器系統2000‧‧‧基地台2002‧‧‧蜂巢塔2004‧‧‧電子裝置建築物2006‧‧‧天線2010‧‧‧基地台2020‧‧‧硬體3002‧‧‧空腔濾波器/組合器3004‧‧‧電路板fDL1‧‧‧分量載波fDL2‧‧‧分量載波fDL3‧‧‧分量載波fDL4‧‧‧分量載波fDL5‧‧‧分量載波FUL1‧‧‧分量載波FUL2‧‧‧分量載波FUL3‧‧‧分量載波
圖1 圖解說明根據先前技術之用於製作複合磁性-介電圓盤總成之一方法之一流程圖。
圖2 示意性地展示可如何設計、製作及使用具有本文中所闡述之一或多個特徵之材料。
圖3 圖解說明一磁場對損耗圖表。
圖4A 至圖4B 圖解說明在一矩形稜柱或圓柱形基板內具有一鐵氧體圓柱體之一複合結構之一實施例。
圖5A 至圖5B 圖解說明具有一正方向或圓圈形狀之一複合方塊之一實施例。
圖6 圖解說明不具有一磁鐵之一整合式微帶循環器。
圖7 圖解說明具有一磁鐵之一整合式微帶循環器。
圖8 係一通信網路之一項實例之一示意圖。
圖9 係使用載波聚合之一通信鏈路之一項實例之一示意圖。
圖10A 係使用多輸入與多輸出(MIMO)通信之一下行鏈路頻道之一項實例之一示意圖。
圖10B 係使用MIMO通信之一上行鏈路頻道之一項實例之示意圖。
圖11 圖解說明一天線系統之一示意圖。
圖12 圖解說明具有一整合式微帶循環器之一實施例之一天線系統之一示意圖。
圖13 圖解說明併入有本發明之實施例之一MIMO系統。
圖14 係一行動裝置之一項實例之一示意圖。
圖15 係根據一項實施例之一功率放大器系統之一示意圖。
圖16 圖解說明形成一複合整合式微帶循環器之一方法。
圖17 圖解說明用於測試之一整合式微帶循環器之一實施例。
圖18 圖解說明併入有本發明之實施例之一蜂巢式天線基地台之一透視圖。
圖19 圖解說明併入有所揭示材料之實施例之一基地台之外殼組件。
圖20 圖解說明在併入有本文中所揭示之材料之實施例之一基地台中使用之一空腔濾波器。
圖21 圖解說明包含本文中所揭示之材料之實施例之一電路板之一實施例。
100‧‧‧複合微帶循環器/複合結構/複合總成
102‧‧‧磁性氧化物圓盤/圓盤
104‧‧‧介電基板/基板

Claims (14)

  1. 一種供用作一射頻組件之一複合材料,其包括:一低溫可燒外部材料,該低溫可燒外部材料具有一石榴石結構,該石榴石結構具有組合物C2BiD2V3O12,C係Li、Na、K或其組合,且D係Mg、Zn、Co、Ni、Cu或其組合或具有一白鎢礦結構,該白鎢礦結構係基於釩酸鉍(BiVO4)或係Li0.5Bi0.5Mo0.4W0.6O4或Li0.5Sm0.5MoO4;及一高介電內部材料,其位於該外部材料內,該高介電內部材料具有高於30之一介電常數,該低溫可燒外部材料及該高介電內部材料經組態以在不使用黏合劑或膠之情況下在介於650℃至900℃之間的溫度下共燒在一起。
  2. 如請求項1之複合材料,其中該低溫可燒外部材料係Na0.2Bi0.8Mo0.4V0.6O4或Na0.35Bi0.65Mo0.7V0.3O4
  3. 如請求項1之複合材料,其中該高介電內部材料形似一圓盤且該低溫可燒外部材料形似一環形物。
  4. 如請求項1之複合材料,其中該低溫可燒外部材料具有組合物Bi1-2xA2xV1-xMxO4,A係Li、Na、K或其組合,M係Mo、W或其組合,且x介於0與0.45之間。
  5. 如請求項4之複合材料,其中該低溫可燒外部材料具有介於20與80之 間的一介電常數。
  6. 如請求項1之複合材料,其中該低溫可燒外部材料具有組合物C2BiD2V3O12,C係Na且D係Mg。
  7. 如請求項1之複合材料,其中該低溫可燒外部材料係Na2BiMg2V3O12
  8. 如請求項1之複合材料,其中該高介電內部材料具有高於35之一介電常數。
  9. 一種形成供用作一射頻裝置中之一隔離器或循環器之一複合材料之方法,該方法包括:提供一低溫可燒外部材料,該低溫可燒外部材料具有一石榴石結構,該石榴石結構具有組合物C2BiD2V3O12,C係Li、Na、K或其組合,且D係Mg、Zn、Co、Ni、Cu或其組合或具有一白鎢礦結構,該白鎢礦結構係基於釩酸鉍(BiVO4)或係Li0.5Bi0.5Mo0.4W0.6O4或Li0.5Sm0.5MoO4;使一高介電內部材料進入該低溫可燒外部材料中之一孔隙內,該高介電內部材料具有高於30之一介電常數;及在不使用黏合劑或膠之情況下在介於650℃至900℃之間的溫度下將該低溫可燒外部材料與該高介電內部材料共燒在一起以使該低溫可燒外部材料在該高介電內部材料之一外表面周圍收縮。
  10. 如請求項9之方法,其中該低溫可燒外部材料具有組合物Bi1-2x A2xV1-xMxO4,A係Li、Na、K或其組合,M係Mo、W或其組合,且x介於0與0.45之間。
  11. 如請求項9之方法,其中該低溫可燒外部材料具有組合物C2BiD2V3O12,C係Na且D係Mg。
  12. 如請求項9之方法,其中該低溫可燒外部材料係Na2BiMg2V3O12
  13. 如請求項9之方法,其進一步包含在共燒之後將該低溫可燒外部材料與該高介電內部材料切片。
  14. 一種射頻隔離器或循環器,其包括如請求項1-8中任一項之複合材料。
TW107131408A 2017-09-08 2018-09-07 低溫可共燒介電材料 TWI791605B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201762555811P 2017-09-08 2017-09-08
US62/555,811 2017-09-08

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201922675A TW201922675A (zh) 2019-06-16
TWI791605B true TWI791605B (zh) 2023-02-11

Family

ID=63683630

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW107131408A TWI791605B (zh) 2017-09-08 2018-09-07 低溫可共燒介電材料
TW112100743A TW202325685A (zh) 2017-09-08 2018-09-07 低溫可共燒介電材料

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW112100743A TW202325685A (zh) 2017-09-08 2018-09-07 低溫可共燒介電材料

Country Status (5)

Country Link
US (3) US11081770B2 (zh)
EP (1) EP3453682B1 (zh)
JP (2) JP7115941B2 (zh)
CN (1) CN109467427B (zh)
TW (2) TWI791605B (zh)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20180166763A1 (en) 2016-11-14 2018-06-14 Skyworks Solutions, Inc. Integrated microstrip and substrate integrated waveguide circulators/isolators formed with co-fired magnetic-dielectric composites
US11373788B2 (en) 2017-05-10 2022-06-28 Skyworks Solutions, Inc. Indium containing magnetic garnet materials
JP7115941B2 (ja) * 2017-09-08 2022-08-09 スカイワークス ソリューションズ,インコーポレイテッド 複合材料の形成方法、及び無線周波数アイソレータ又はサーキュレータの形成方法
US11603333B2 (en) 2018-04-23 2023-03-14 Skyworks Solutions, Inc. Modified barium tungstate for co-firing
US11565976B2 (en) 2018-06-18 2023-01-31 Skyworks Solutions, Inc. Modified scheelite material for co-firing
WO2019246364A1 (en) 2018-06-21 2019-12-26 Skyworks Solutions, Inc. Low firing temperature dielectric materials designed to be co-fired with high bismuth garnet ferrites for miniaturized isolators and circulators
US11891340B2 (en) 2018-07-23 2024-02-06 Skyworks Solutions, Inc. Spinel-based oxides containing magnesium, aluminum and titanium and methods of forming articles having same
CN112868074A (zh) 2018-11-15 2021-05-28 罗杰斯公司 高频磁性膜、其制造方法及用途
KR20220035040A (ko) 2019-07-16 2022-03-21 로저스코포레이션 자기-유전 물질, 이의 제조 방법, 및 용도
CN110357628B (zh) * 2019-08-01 2021-09-24 电子科技大学 一种Ca5Mg4-xCox(VO4)6低温烧结微波陶瓷材料及其制备方法
US11783975B2 (en) 2019-10-17 2023-10-10 Rogers Corporation Nanocrystalline cobalt doped nickel ferrite particles, method of manufacture, and uses thereof
JP2023516133A (ja) 2020-02-21 2023-04-18 ロジャーズ・コーポレイション ナノ結晶構造を有するz型ヘキサフェライト
CN111484328A (zh) * 2020-04-09 2020-08-04 咸阳陶瓷研究设计院有限公司 一种微波介质陶瓷材料及其制备方法和应用
CN113387695A (zh) * 2021-06-08 2021-09-14 杭州电子科技大学 一种5g通信用低介高品质微波介质陶瓷及其制备方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101981753A (zh) * 2008-03-26 2011-02-23 天工方案公司 用于制造循环器和隔离器用复合组件的磁性和介电材料的共烧制
CN102249663A (zh) * 2011-04-21 2011-11-23 西安交通大学 一种铋基钒基低温烧结微波介质陶瓷材料及其制备方法

Family Cites Families (63)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3781704A (en) 1972-03-30 1973-12-25 Cutler Hammer Inc High isolation circulator arrangement for low noise reflection type amplifiers
US3851279A (en) 1973-10-17 1974-11-26 Hughes Aircraft Co Tee junction waveguide circulator having dielectric matching posts at junction
US4122418A (en) 1975-05-10 1978-10-24 Tsukasa Nagao Composite resonator
USH470H (en) 1986-07-18 1988-05-03 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Millimeter wave microstrip circulator utilizing hexagonal ferrites
DE68904588T2 (de) 1988-03-31 1993-08-19 Mitsui Mining & Smelting Co Duenne supraleitende keramische schichten und verfahren zu ihrer herstellung.
GB2235339B (en) 1989-08-15 1994-02-09 Racal Mesl Ltd Microwave resonators and microwave filters incorporating microwave resonators
US5058265A (en) 1990-05-10 1991-10-22 Rockwell International Corporation Method for packaging a board of electronic components
US5051869A (en) 1990-05-10 1991-09-24 Rockwell International Corporation Advanced co-fired multichip/hybrid package
JPH06112028A (ja) 1992-09-30 1994-04-22 Isuzu Motors Ltd 焼結磁石
JPH07312509A (ja) * 1994-05-16 1995-11-28 Murata Mfg Co Ltd 非可逆回路素子
JPH0878284A (ja) 1994-08-31 1996-03-22 Murata Mfg Co Ltd 複合電子部品とその製造方法
US5896563A (en) 1995-04-27 1999-04-20 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transmitting and receiving switch comprising a circulator and an automatic changeover switch which includes an impedance circuit
US5959059A (en) 1997-06-10 1999-09-28 The B.F. Goodrich Company Thermoplastic polyether urethane
JP3149831B2 (ja) * 1997-11-07 2001-03-26 日本電気株式会社 高周波集積回路およびその製造方法
JP2001028504A (ja) 1999-07-12 2001-01-30 Nec Corp サーキュレータ
DE19958276C1 (de) 1999-12-03 2001-05-03 Heraeus Quarzglas Verfahren für die Herstellung einer Quarzglas-Vorform für eine Lichtleitfaser
US6844789B2 (en) 2001-11-13 2005-01-18 Raytheon Company Low temperature co-fired ceramic (LTCC) circulator
KR100445906B1 (ko) 2001-12-14 2004-08-25 주식회사 이지 다수의 대칭 자계벽이 형성된 프로펠러형 공진기를 갖는아이솔레이터/서큘레이터
US20030126247A1 (en) 2002-01-02 2003-07-03 Exanet Ltd. Apparatus and method for file backup using multiple backup devices
US6611180B1 (en) 2002-04-16 2003-08-26 Raytheon Company Embedded planar circulator
JP3813917B2 (ja) 2002-10-31 2006-08-23 日本特殊陶業株式会社 誘電体磁器組成物及びこれを用いた電子部品
US6842140B2 (en) 2002-12-03 2005-01-11 Harris Corporation High efficiency slot fed microstrip patch antenna
TWI221618B (en) 2003-08-12 2004-10-01 Chilisin Electronics Corp Ni-Zn ferrite low temperature sintered leadfree flux composition
US20050040908A1 (en) 2003-08-21 2005-02-24 Lamina Ceramics Inc. Low temperature co-fired ceramic-metal circulators and isolators
JP2005210044A (ja) 2003-12-26 2005-08-04 Tdk Corp インダクタ素子内蔵基板およびパワーアンプモジュール
US7681069B1 (en) 2004-08-30 2010-03-16 Netapp, Inc. Corruption checking during backup
US8514031B2 (en) 2004-12-17 2013-08-20 Ems Technologies, Inc. Integrated circulators sharing a continuous circuit
US7256661B2 (en) 2005-04-08 2007-08-14 The Boeing Company Multi-channel circulator/isolator apparatus and method
US7242264B1 (en) 2005-04-21 2007-07-10 Hoton How Method and apparatus of obtaining broadband circulator/isolator operation by shaping the bias magnetic field
JP2007051050A (ja) 2005-08-16 2007-03-01 Korea Inst Of Science & Technology 低温焼成用マイクロ波誘電体セラミックの製造方法及びそれから得られる低温焼成用マイクロ波誘電体セラミック
KR100698440B1 (ko) 2005-08-16 2007-03-23 한국과학기술연구원 저온소성용 마이크로파 유전체 세라믹의 제조 방법
US7941404B2 (en) 2006-03-08 2011-05-10 International Business Machines Corporation Coordinated federated backup of a distributed application environment
JP4840935B2 (ja) 2007-09-28 2011-12-21 双信電機株式会社 セラミック多層基板
JP5251119B2 (ja) 2007-12-26 2013-07-31 日立金属株式会社 半導体磁器組成物
CN102187514A (zh) 2008-10-20 2011-09-14 斯盖沃克斯瑟路申斯公司 磁-介电组件及制造方法
US8370307B2 (en) 2009-09-01 2013-02-05 Empire Technology Development Llc Cloud data backup storage manager
WO2011075123A1 (en) 2009-12-16 2011-06-23 Skyworks Solutions, Inc. Dielectric ceramic materials and associated methods
US9505632B2 (en) 2010-09-22 2016-11-29 Skyworks Solutions, Inc. Compositions and materials for electronic applications
US9527776B2 (en) 2010-11-30 2016-12-27 Skyworks Solutions, Inc. Effective substitutions for rare earth metals in compositions and materials for electronic applications
US8696925B2 (en) 2010-11-30 2014-04-15 Skyworks Solutions, Inc. Effective substitutions for rare earth metals in compositions and materials for electronic applications
WO2012082642A2 (en) 2010-12-13 2012-06-21 Skyworks Solutions, Inc. Novel enhanced high q material compositions and methods of preparing same
CN102249664A (zh) * 2011-04-27 2011-11-23 西安工业大学 一种钾基钒基低温烧结微波介质陶瓷材料及其制备方法
US9214712B2 (en) 2011-05-06 2015-12-15 Skyworks Solutions, Inc. Apparatus and methods related to ferrite based circulators
CN103649384B (zh) 2011-06-06 2017-03-22 天工方案公司 稀土减少的石榴石系统和相关的微波应用
JP5725186B2 (ja) 2011-08-24 2015-05-27 株式会社村田製作所 高周波フロントエンドモジュール
CN104380526B (zh) 2012-05-18 2018-02-09 天工方案公司 与具有改进的插入损耗性能的结铁氧体装置相关的设备和方法
CN103011810B (zh) * 2012-12-07 2015-09-23 桂林理工大学 可低温烧结含锂石榴石结构微波介电陶瓷Li2Ca2BiV3O12及其制备方法
US9747169B2 (en) 2012-12-21 2017-08-29 Commvault Systems, Inc. Reporting using data obtained during backup of primary storage
CN103172376B (zh) * 2013-03-20 2014-07-09 华为技术有限公司 一种白钨矿型微波介质陶瓷材料及其制备方法
CN103121843A (zh) * 2013-03-25 2013-05-29 桂林理工大学 可低温烧结微波介电陶瓷Li2Mg2W3O12及其制备方法
JP6685643B2 (ja) 2013-12-18 2020-04-22 スカイワークス ソリューションズ, インコーポレイテッドSkyworks Solutions, Inc. 同調可能な共振器システム、同調可能な共振器システムを含むフィルタリングシステム、および同調可能な共振器システムを形成する方法
CN103715487B (zh) 2014-01-13 2016-03-16 中国科学院紫金山天文台 新型c波段小型化微波隔离器及应用
US9640849B2 (en) 2014-07-23 2017-05-02 Skyworks Solutions, Inc. Impedance matching in very high dielectric constant isolator/circulator junctions
CN107428556B (zh) 2015-01-30 2019-12-27 罗杰斯公司 用于超高频率的Mo掺杂的Co2Z-型铁氧体复合材料
JP6744143B2 (ja) 2015-06-15 2020-08-19 スカイワークス ソリューションズ, インコーポレイテッドSkyworks Solutions, Inc. 合成ガーネット材料、改質された合成ガーネット組成物、および合成ガーネットを製造する方法
CN109563640B (zh) 2016-07-13 2021-11-05 天工方案公司 温度不敏感介电常数石榴石
CA3030426C (en) 2016-07-15 2024-01-23 Ecolab Usa Inc. Method for improving overflow clarity in production of coal
US20180166763A1 (en) 2016-11-14 2018-06-14 Skyworks Solutions, Inc. Integrated microstrip and substrate integrated waveguide circulators/isolators formed with co-fired magnetic-dielectric composites
US11373788B2 (en) 2017-05-10 2022-06-28 Skyworks Solutions, Inc. Indium containing magnetic garnet materials
JP7115941B2 (ja) * 2017-09-08 2022-08-09 スカイワークス ソリューションズ,インコーポレイテッド 複合材料の形成方法、及び無線周波数アイソレータ又はサーキュレータの形成方法
US11603333B2 (en) 2018-04-23 2023-03-14 Skyworks Solutions, Inc. Modified barium tungstate for co-firing
US11565976B2 (en) 2018-06-18 2023-01-31 Skyworks Solutions, Inc. Modified scheelite material for co-firing
WO2019246364A1 (en) 2018-06-21 2019-12-26 Skyworks Solutions, Inc. Low firing temperature dielectric materials designed to be co-fired with high bismuth garnet ferrites for miniaturized isolators and circulators

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101981753A (zh) * 2008-03-26 2011-02-23 天工方案公司 用于制造循环器和隔离器用复合组件的磁性和介电材料的共烧制
CN102249663A (zh) * 2011-04-21 2011-11-23 西安交通大学 一种铋基钒基低温烧结微波介质陶瓷材料及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW202325685A (zh) 2023-07-01
US11715869B2 (en) 2023-08-01
CN109467427A (zh) 2019-03-15
EP3453682B1 (en) 2023-04-19
JP2019048764A (ja) 2019-03-28
US11081770B2 (en) 2021-08-03
EP3453682A1 (en) 2019-03-13
JP2022166037A (ja) 2022-11-01
JP7375130B2 (ja) 2023-11-07
US20190081377A1 (en) 2019-03-14
CN109467427B (zh) 2022-12-16
US20220029263A1 (en) 2022-01-27
TW201922675A (zh) 2019-06-16
US20240030577A1 (en) 2024-01-25
JP7115941B2 (ja) 2022-08-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI791605B (zh) 低溫可共燒介電材料
US11804642B2 (en) Integrated microstrip and substrate integrated waveguide circulators/isolators formed with co-fired magnetic-dielectric composites
US11958778B2 (en) Modified barium tungstate for co-firing
US11936088B2 (en) Co-firing of low firing temperature dielectric materials with high bismuth garnet ferrites for miniaturized isolators and circulators
US11565976B2 (en) Modified scheelite material for co-firing
US20240079753A1 (en) Fabrication of surface mount microstrip circulators using a ferrite and ceramic dielectric assembly substrate
US20210050133A1 (en) Sintering aids for dielectric materials configured for co-firing with nickel zinc ferrites
US20210032167A1 (en) Temperature-stable, low-dielectric constant material with an ultra-low loss tangent
US11891340B2 (en) Spinel-based oxides containing magnesium, aluminum and titanium and methods of forming articles having same