TWI776974B - 液晶元件的製造方法 - Google Patents

Abstract

本發明的課題在於獲得一種於在基板上依序形成有層間絕緣膜與圖案電極以及液晶配向膜的元件結構中可靠性優異的液晶元件。一種液晶元件的製造方法，包括：於一對基板中的至少一者形成層間絕緣膜21的步驟；於層間絕緣膜21上形成圖案電極（畫素電極19）的步驟；以及於圖案電極上，以與層間絕緣膜21的至少一部分接觸的方式形成液晶配向膜（第1配向膜32）的步驟，所述液晶元件的製造方法中，使用含有聚合物成分以及選自特定的溶劑群組中的至少一種溶劑的液晶配向劑來形成液晶配向膜。

Description

液晶元件的製造方法

[相關申請的交叉參考]

本申請案基於2017年11月20號提出申請的日本專利申請編號2017-223114號，將其記載內容引用於此。

本發明是有關於一種液晶元件的製造方法。

作為液晶裝置，已知有以扭轉向列(Twisted Nematic，TN)型、超扭轉向列(Super Twisted Nematic，STN)型等為代表且使用具有正的介電特性各向異性的向列液晶的水平配向模式、使用具有負的介電特性各向異性的向列液晶的垂直(homeotropic)配向模式的垂直配向(Vertical Alignment，VA)型液晶裝置等各種裝置。另外，亦已知有具有於一側的基板上設置有一對電極的單元結構的共面切換(In-Plane Switching，IPS)型、邊緣場切換(Fringe Field Switching，FFS)型等橫向電場模式的液晶裝置。

作為液晶元件的配向處理方式之一，已知有聚合物穩定配向(Polymer Sustained Alignment，PSA)方式(例如，參照專利文獻1)。PSA方式為如下技術：於一對基板的間隙中，與液晶一起預先混入光聚合性單體來構築液晶單元，然後，於對基板間施加電壓的狀態下照射紫外線而使光聚合性單體聚合，藉此形成聚合物層，並利用該聚合物層對液晶的初始配向進行控制。藉由 該技術，可實現視場角的擴大及液晶分子響應的高速化，從而可消除多域垂直配向(Multi-domain Vertical Alignment，MVA)型面板中透射率及對比度不足的問題。

另外，於專利文獻1中揭示了以下情況：於PSA技術中，將以成為具有大量的開口部(狹縫部)的梳齒形裝(亦稱為魚骨(fish bone)形狀)的方式經圖案化而成的圖案電極用作畫素電極。於該專利文獻1的液晶裝置中，於陣列基板側的玻璃基板上形成汲極匯流線(drain busline)，並於其上形成有層間絕緣膜。另外，於層間絕緣膜上形成有魚骨形狀的畫素電極，於畫素電極上形成有液晶配向膜。液晶配向膜通常是藉由將聚醯胺酸或聚醯亞胺、聚有機矽氧烷、(甲基)丙烯酸系聚合物、聚醯胺等聚合物成分溶解於溶劑中，並將該聚合物組成物塗佈於基板上而將溶劑去除來形成。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2003-149647號公報

於在層間絕緣膜上配置具有大量狹縫部的圖案電極，並於其上形成液晶配向膜的情況下，於液晶裝置的畫素區域(即顯示區域)中，液晶配向劑與層間絕緣膜會於狹縫部中接觸。該情況下有以下擔憂：層間絕緣膜受液晶配向劑的影響從而其特性發生變 化，或者層間絕緣膜中所含的雜質成分等向液晶配向劑中溶出從而液晶配向膜的性能降低，因此液晶裝置的可靠性降低。

本發明是鑑於上述課題而成，其目的之一在於提供一種液晶元件的製造方法，所述液晶元件的製造方法可獲得於在基板上依序形成有層間絕緣膜與圖案電極以及液晶配向膜的元件結構中可靠性優異的液晶元件。

本發明為解決上述課題而採用了以下手段。

<1>一種液晶元件的製造方法，所述液晶元件包括相向配置的一對基板、配置於所述一對基板間的液晶層、以及一對電極，其中所述一對電極中的至少一者為具有多個開口部的圖案電極，所述液晶元件的製造方法包括：於所述一對基板中的至少一者形成層間絕緣膜的步驟；於所述層間絕緣膜上形成所述圖案電極的步驟；以及於所述圖案電極上，以與所述層間絕緣膜的至少一部分接觸的方式形成液晶配向膜的步驟，使用含有聚合物成分以及選自下述所示的溶劑群組中的至少一種溶劑的液晶配向劑來形成所述液晶配向膜。

溶劑群組：

[A]溶劑：下述式(1)所表示的化合物、下述式(2)所表示的化合物、N,N,2-三甲基丙醯胺、及1,3-二甲基-2-咪唑啶酮。

[B]溶劑：二丙二醇單甲醚、二丙二醇二甲醚、二乙二醇單乙醚、4-甲氧基-4-甲基-2-戊酮、4-羥基-2-丁酮、2-甲基-2-己醇、2,6- 二甲基-4-庚醇、二異丁基酮、丙二醇二乙酸酯、二乙二醇二乙醚、二異戊基醚、二丙酮醇、及丙二醇單丁醚。

(式(1)中，R¹為碳數2~5的1價烴基、或者於所述烴基中的碳-碳鍵間具有「-O-」的1價基)

(式(2)中，R²及R³分別獨立地為氫原子、碳數1~6的1價烴基、或者於所述烴基的碳-碳鍵間具有「-O-」的1價基，R²與R³可相互鍵結而形成環結構；R⁴為碳數1~6的烷基)

根據上述構成，於形成液晶配向膜時，即便於圖案電極的開口部中，層間絕緣膜與液晶配向劑接觸，層間絕緣膜或者液晶配向膜的性能亦不易降低，可獲得可靠性優異的液晶元件。

1:ITO電極

2:狹縫部

3:遮光膜

10:液晶裝置

11:畫素

12:掃描訊號線

13:圖像訊號線

14:薄膜電晶體/TFT

15:陣列基板

16:相向基板

17:液晶層

18:透明基板

19:畫素電極

19a:幹線部

19b:分支線部

19c:狹縫部

21:層間絕緣膜

22:閘極電極

23:半導體層

24:源極電極

25:汲極電極

27:接觸孔

28:玻璃基板/透明基板

29:彩色濾光片層

29a:著色圖案

29b:層間絕緣膜

31:共用電極

32:第1配向膜

33:第2配向膜

34、35:PSA層(配向控制層)

36、37:偏光板

圖1為示意性地表示液晶裝置的一部分的圖。

圖2為示意性地表示第1實施形態的液晶裝置的一部分的剖面圖。

圖3為示意性地表示第2實施形態的液晶裝置的一部分的剖面圖。

圖4為表示實施例中所使用的電極的結構的圖。

圖5為表示實施例中所使用的電極的結構的圖。

以下，參照圖式來對實施形態進行說明。再者，於以下的各實施形態中，對於彼此相同或均等的部分，於圖中附注彼此相同的符號，且關於符號相同的部分彼此引用各自的說明。

(液晶裝置10的構成)

液晶裝置10為PSA(聚合物穩定配向(Polymer Sustained Alignment))方式的垂直配向型液晶顯示元件。於液晶裝置10的顯示部中，多個畫素11被配置成矩陣狀。如圖1所示，畫素11形成於由彼此交叉的掃描訊號線12及圖像訊號線13圍成的區域中。於各畫素11中，配置有作為液晶驅動用元件發揮功能的薄膜電晶體(Thin Film Transistor，TFT)14。如圖2所示，液晶裝置10包括陣列基板15、相向基板16、以及液晶層17。

陣列基板15具有玻璃基板或塑膠基板等透明基板18、掃描訊號線12、圖像訊號線13、薄膜電晶體14、畫素電極19、 及層間絕緣膜21(參照圖2)。薄膜電晶體14構成為包含：包含掃描訊號線12的閘極電極22、包含矽(Si)的半導體層23、包含圖像訊號線13的源極電極24、及連接於畫素電極19的汲極電極25。薄膜電晶體14是藉由光微影等習知的方法而設置。作為構成薄膜電晶體14的各部的具體的材料，可使用習知的材料。

畫素電極19是由銦錫氧化物(Indium Tin Oxide，ITO)等透明導電體而形成。如圖1所示，畫素電極19為於平面狀的電極上設置有多個狹縫部(細長的矩形形狀的開口部)19c的圖案電極。具體而言，畫素電極19包括：沿相互正交的兩個方向延伸的幹線部19a、自幹線部19a沿傾斜方向延伸的多個分支線部19b、以及形成於多個分支線部19b之間的多個狹縫部19c，從而具有導電部與非導電部的重覆圖案。畫素電極19電性連接於薄膜電晶體14。薄膜電晶體14電性連接於掃描訊號線12及圖像訊號線13，從而被供給有各種訊號。

陣列基板15具有如下結構：於多個畫素11呈矩陣狀配置而成的顯示區域中，依序積層有透明基板18、層間絕緣膜21及畫素電極19。畫素電極19經由層間絕緣膜21中所設置的接觸孔27而連接於汲極電極25。層間絕緣膜21是使用後述的感放射線性樹脂組成物並藉由光微影法而形成。藉由設置層間絕緣膜21，抑制了畫素電極19與訊號線之間的電容耦合增大。

相向基板16構成為包含玻璃基板28、彩色濾光片層29、作為絕緣層的外塗層(省略圖示)、及共用電極31。彩色濾光 片層29包含以紅色(R)、綠色(G)及藍色(B)著色的子畫素。彩色濾光片層29是藉由光微影等習知的方法而製作。共用電極31為由ITO等透明導電體形成的平面狀的電極，且跨及多個畫素11而設置。

於陣列基板15的電極形成面形成有第1配向膜32，於相向基板16的電極形成面形成有第2配向膜33。第1配向膜32及第2配向膜33是規定液晶層17中的液晶分子的配向的液晶配向膜，且是使用作為含有聚合物成分的聚合物組成物的液晶配向劑而形成於基板上。第1配向膜32於顯示區域中至少於狹縫部19c中與層間絕緣膜21接觸。

陣列基板15及相向基板16以陣列基板15的配向膜形成面與相向基板16的配向膜形成面相向的方式，設置既定的間隙(單元間隔)而配置。經相向配置的一對基板的周緣部藉由密封劑(省略圖示)而貼合。作為密封劑的材料，可使用作為液晶裝置用的密封劑而習知的材料(例如，熱硬化性樹脂或光硬化性樹脂)。於由陣列基板15、相向基板16及密封劑圍成的空間中填充有液晶組成物，藉此，以與第1配向膜32及第2配向膜33相接的方式配置有液晶層17。

液晶層17具有負的介電各向異性。液晶層17分別於與陣列基板15的界面及與相向基板16的界面中具有作為聚合物層的PSA層34、PSA層35。PSA層34、PSA層35是藉由使預先混入至液晶層17中的光聚合性單體，在液晶單元的構築後使液晶分 子預傾配向的狀態下進行光聚合而形成。於液晶裝置10中，藉由PSA層34、PSA層35來控制液晶層17中的液晶分子的初始配向。

於液晶裝置10中，於陣列基板15及相向基板16各自的外側配置有偏光板36、偏光板37。於陣列基板15的外緣部中設置有端子區域，藉由將用以驅動液晶的驅動器積體電路(Integrated Circuit，IC)等連接於該端子區域以驅動液晶裝置10。

<液晶配向劑>

接著，對用以形成液晶配向膜(第1配向膜32、第2配向膜33)的液晶配向劑進行說明。液晶配向劑含有聚合物成分與溶劑成分。

(聚合物成分)

關於液晶配向劑中所含有的聚合物，其主骨架並無特別限定，例如可列舉：聚醯胺酸、聚醯胺酸酯、聚醯亞胺、聚有機矽氧烷、聚酯、纖維素衍生物、聚縮醛、聚苯乙烯衍生物、聚(苯乙烯-苯基馬來醯亞胺)衍生物、聚(甲基)丙烯酸系聚合物等主骨架。該些中，較佳為選自由聚醯胺酸、聚醯胺酸酯、聚醯亞胺及聚有機矽氧烷所組成的群組中的至少一種聚合物(以下亦稱為[P]聚合物)。再者，於液晶配向劑的製備時，作為聚合物，可單獨使用一種，亦可將兩種以上組合使用。於本說明書中，「(甲基)丙烯酸」為包含「丙烯酸」及「甲基丙烯酸」的含義。

合成[P]聚合物的方法並無特別限定。例如，於[P]聚合物為聚醯胺酸的情況下，該聚醯胺酸可藉由使四羧酸二酐與二胺 反應而獲得。

(聚醯胺酸)

作為聚醯胺酸的合成中使用的四羧酸二酐，例如可列舉：脂肪族四羧酸二酐、脂環式四羧酸二酐、芳香族四羧酸二酐等。作為該些的具體例，脂肪族四羧酸二酐例如可列舉：1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐、伸乙二胺四乙酸二酐等； 脂環式四羧酸二酐例如可列舉：1,2,3,4-環丁烷四羧酸二酐、1,3-二甲基-1,2,3,4-環丁烷四羧酸二酐、2,3,5-三羧基環戊基乙酸二酐、1,3,3a,4,5,9b-六氫-5-(四氫-2,5-二氧代-3-呋喃基)-萘并[1,2-c]呋喃-1,3-二酮、1,3,3a,4,5,9b-六氫-8-甲基-5-(四氫-2,5-二氧代-3-呋喃基)-萘并[1,2-c]呋喃-1,3-二酮、3-氧雜雙環[3.2.1]辛烷-2,4-二酮-6-螺環-3'-(四氫呋喃-2',5'-二酮)、5-(2,5-二氧代四氫-3-呋喃基)-3-甲基-3-環己烯-1,2-二羧酸酐、2,4,6,8-四羧基雙環[3.3.0]辛烷-2：4,6：8-二酐、環己烷四羧酸二酐、環戊烷四羧酸二酐等； 芳香族四羧酸二酐例如可列舉：均苯四甲酸二酐、4,4'-(六氟亞異丙基)二鄰苯二甲酸酐、對伸苯基雙(偏苯三甲酸單酯酐)、乙二醇雙(偏苯三甲酸酐酯)、1,3-丙二醇雙(偏苯三酸酐酯)等，除此以外，還可使用日本專利特開2010-97188號公報中記載的四羧酸二酐。再者，四羧酸二酐可單獨使用一種或者將兩種以上組合使用。

就可使所獲得的聚合物對溶劑的溶解性更高的方面而言，合成中使用的四羧酸二酐較佳為包含脂環式四羧酸二酐，更 佳為包含具有以下環結構的四羧酸二酐(以下亦稱為「特定四羧酸二酐」)：所述環結構為選自由環丁烷環、環戊烷環及環己烷環所組成的群組中的至少一種。相對於聚醯胺酸的合成中使用的四羧酸二酐的總量，特定四羧酸二酐的使用比例較佳為10莫耳%以上，更佳為20莫耳%~100莫耳%。

作為聚醯胺酸的合成中使用的二胺，例如可列舉：脂肪族二胺、脂環式二胺、芳香族二胺、二胺基有機矽氧烷等。作為該些的具體例，脂肪族二胺例如可列舉：間苯二甲胺、1,3-丙二胺、四亞甲基二胺、六亞甲基二胺、1,3-雙(胺基甲基)環己烷等；脂環式二胺例如可列舉：1,4-二胺基環己烷、4,4'-亞甲基雙(環己基胺)等； 芳香族二胺例如可列舉：對苯二胺、4,4'-二胺基二苯基甲烷、4,4'-二胺基二苯基硫醚、1,5-二胺基萘、2,2'-二甲基-4,4'-二胺基聯苯、4,4'-二胺基-2,2'-雙(三氟甲基)聯苯、4,4'-二胺基二苯基醚、1,3-雙(4-胺基苯氧基)乙烷、1,3-雙(4-胺基苯氧基)丙烷、9,9-雙(4-胺基苯基)茀、2,2-雙[4-(4-胺基苯氧基)苯基]六氟丙烷、4,4'-(對伸苯基二亞異丙基)雙苯胺、1,4-雙(4-胺基苯氧基)苯、2,6-二胺基吡啶、3,6-二胺基咔唑、N,N'-雙(4-胺基苯基)聯苯胺、1,4-雙-(4-胺基苯基)-哌嗪、1-(4-胺基苯基)-2,3-二氫-1,3,3-三甲基-1H-茚-5-胺、1-(4-胺基苯基)-2,3-二氫-1,3,3-三甲基-1H-茚-6-胺、3,5-二胺基苯甲酸、膽甾烷氧基-3,5-二胺基苯(cholestanyloxy-3,5-diaminobenzene)、膽甾烯氧基-3,5-二胺基苯 (cholestenyloxy-3,5-diaminobenzene)、膽甾烷氧基-2,4-二胺基苯(cholestanyloxy-2,4-diaminobenzene)、3,5-二胺基苯甲酸膽甾烷基酯(cholestanyl 3,5-diaminobenzoate)、3,5-二胺基苯甲酸膽甾烯基酯(cholestenyl 3,5-diaminobenzoate)、3,5-二胺基苯甲酸羊毛甾烷基酯(lanostanyl 3,5-diaminobenzoate)、3,6-雙(4-胺基苯甲醯基氧基)膽甾烷(3,6-bis(4-aminobenzoyloxy)cholestane)、4-(4'-三氟甲氧基苯甲醯氧基)環己基-3,5-二胺基苯甲酸酯、1,1-雙(4-((胺基苯基)甲基)苯基)-4-庚基環己烷、1,1-雙(4-((胺基苯基)甲基)苯基)-4-(4-庚基環己基)環己烷、2,4-二胺基-N,N-二烯丙基苯胺、4-胺基苄基胺、N-[4-(2-胺基乙基)苯基]苯-1,4-二胺、N-[4-(胺基甲基)苯基]苯-1,4-二胺、1,3-雙(4-胺基苯基)脲、4,4'-[4,4'-丙烷-1,3-二基雙(哌啶-1,4-二基)]二苯胺、2-丙炔基氧基-2,4-苯二胺及下述式(D-1)

(式(D-1)中，X^I及X^II分別獨立地為單鍵、-O-、*-COO-、*-OCO-或者*-NH-CO-(其中，帶有「*」的結合鍵與二胺基苯基鍵結)，R^I及R^II分別獨立地為碳數1~3的烷烴二基，a為0或者1，b為0~2的整數，c為1~20的整數，n為0或者1，m為0 或者1；其中，a及b不會同時為0，於X^I為*-NH-CO-的情況下，n為0)

所表示的化合物等；二胺基有機矽氧烷例如可列舉：1,3-雙(3-胺基丙基)-四甲基二矽氧烷等；除此以外，還可使用日本專利特開2010-97188號公報中記載的二胺。再者，於合成聚醯胺酸時，二胺可單獨使用一種或者將兩種以上組合使用。

聚醯胺酸可藉由使如上所述的四羧酸二酐與二胺，視需要與分子量調整劑一併進行反應而獲得。被供於聚醯胺酸的合成反應的四羧酸二酐與二胺的使用比例較佳為相對於二胺的胺基1當量而四羧酸二酐的酸酐基成為0.2當量~2當量的比例。作為分子量調整劑，例如可列舉：馬來酸酐、鄰苯二甲酸酐、衣康酸酐等酸一酐；苯胺、環己胺、正丁基胺等單胺化合物；異氰酸苯酯、異氰酸萘酯等單異氰酸酯化合物等。分子量調整劑的使用比例較佳為相對於所使用的四羧酸二酐及二胺的合計量而設為20質量%以下。

聚醯胺酸的合成反應較佳為於有機溶媒中進行。此時的反應溫度較佳為-20℃~150℃，反應時間較佳為0.1小時~24小時。

作為反應中使用的有機溶媒，例如可列舉：非質子性極性溶媒、酚系溶媒、醇、酮、酯、醚、鹵化烴、烴等。較佳的有機溶媒較佳為使用選自由N-甲基-2-吡咯啶酮、N,N-二甲基乙醯胺、 N,N-二甲基甲醯胺、二甲基亞碸、γ-丁內酯、四甲基脲、六甲基磷醯三胺、間甲酚、二甲酚、鹵化酚、及後述的特定溶劑所組成的群組中的一種以上作為溶媒，或者使用該些中的一種以上與其他有機溶媒(例如，丁基溶纖劑、二乙二醇二乙醚等)的混合物。有機溶媒的使用量較佳為設為四羧酸二酐及二胺的合計量相對於反應溶液的總量而成為0.1質量%~50質量%的量。以所述方式，可獲得將聚醯胺酸溶解而成的反應溶液。該反應溶液可直接供於液晶配向劑的製備，亦可將反應溶液中所含的聚醯胺酸離析之後供於液晶配向劑的製備。

(聚醯亞胺)

聚醯亞胺例如可藉由將如上述般合成的聚醯胺酸脫水閉環且醯亞胺化而獲得。聚醯亞胺可為將作為其前驅物的聚醯胺酸所具有的醯胺酸結構全部進行脫水閉環而成的完全醯亞胺化物，亦可為將僅醯胺酸結構的一部分脫水閉環且醯胺酸結構與醯亞胺環結構併存的部分醯亞胺化物。聚醯亞胺較佳為其醯亞胺化率為30%以上，更佳為40%~99%，進而較佳為60%~99%。該醯亞胺化率是以百分率來表示醯亞胺環結構的數量相對於聚醯亞胺的醯胺酸結構的數量與醯亞胺環結構的數量的合計而言所佔的比例。此處，醯亞胺環的一部分亦可為異醯亞胺環。

聚醯胺酸的脫水閉環較佳為藉由如下方法進行：將聚醯胺酸溶解於有機溶媒中，於該溶液中添加脫水劑及脫水閉環觸媒並視需要進行加熱。於該方法中，作為脫水劑，例如可使用乙酸 酐、丙酸酐、三氟乙酸酐等酸酐。脫水劑的使用量較佳為相對於聚醯胺酸的醯胺酸結構的1莫耳而設為0.01莫耳~20莫耳。作為脫水閉環觸媒，例如可使用吡啶、三甲吡啶、二甲吡啶、三乙胺等三級胺。脫水閉環觸媒的使用量較佳為相對於所使用的脫水劑1莫耳而設為0.01莫耳~10莫耳。作為所使用的有機溶媒，可列舉作為聚醯胺酸的合成所使用者而例示的有機溶媒。脫水閉環反應的反應溫度較佳為0℃~180℃，反應時間較佳為1.0小時~120小時。所獲得的反應溶液可直接供於液晶配向劑的製備，亦可將聚醯胺酸離析之後供於液晶配向劑的製備。

(聚醯胺酸酯)

聚醯胺酸酯例如可利用以下方法來獲得：[I]使藉由上述反應而獲得的聚醯胺酸與酯化劑進行反應的方法；[II]使四羧酸二酯與二胺進行反應的方法；[III]使四羧酸二酯二鹵化物與二胺進行反應的方法等。此處，作為上述[I]的酯化劑，例如可列舉甲醇、乙醇等。上述[II]中使用的四羧酸二酯可藉由利用醇類等對四羧酸二酐進行開環而獲得。上述[III]中使用的四羧酸二酯二鹵化物可藉由使如上述般獲得的四羧酸二酯與亞硫醯氯等適當的氯化劑進行反應而獲得。所獲得的聚醯胺酸酯可僅具有醯胺酸酯結構，亦可為使醯胺酸結構與醯胺酸酯結構併存的部分酯化物。將聚醯胺酸酯溶解而成的反應溶液可直接供於液晶配向劑的製備，亦可將反應溶液中所含的聚醯胺酸酯離析之後供於液晶配向劑的製備。

以上述方式獲得的聚醯胺酸、聚醯胺酸酯及聚醯亞胺較 佳為當將其製成濃度10質量%的溶液時，具有10mPa．s~800mPa．s的溶液黏度者，更佳為具有15mPa．s~500mPa．s的溶液黏度者。再者，上述聚合物的溶液黏度(mPa．s)是對使用該聚合物的良溶媒(例如γ-丁內酯、N-甲基-2-吡咯啶酮等)來製備的濃度10質量%的聚合物溶液，使用E型旋轉黏度計於25℃下測定而得的值。關於聚醯胺酸、聚醯胺酸酯及聚醯亞胺，利用凝膠滲透層析法(gel permeation chromatography，GPC)來測定的聚苯乙烯換算的重量平均分子量較佳為500~100,000，更佳為1,000~50,000。

(聚有機矽氧烷)

聚有機矽氧烷例如可藉由對水解性的矽烷化合物較佳為於適當的有機溶媒、水及觸媒的存在下進行水解或者水解與縮合而獲得。

作為聚有機矽氧烷的合成中使用的水解性的矽烷化合物，例如可列舉：四甲氧基矽烷、四乙氧基矽烷、甲基三甲氧基矽烷、甲基三乙氧基矽烷、苯基三甲氧基矽烷、苯基三乙氧基矽烷、三甲氧基矽烷基丙基琥珀酸酐、二甲基二甲氧基矽烷、二甲基二乙氧基矽烷等烷氧基矽烷化合物；3-巰基丙基三甲氧基矽烷、3-巰基丙基三乙氧基矽烷、巰基甲基三甲氧基矽烷、巰基甲基三乙氧基矽烷、3-醯脲丙基三甲氧基矽烷、3-胺基丙基三甲氧基矽烷、3-胺基丙基三乙氧基矽烷、N-(3-環己基胺基)丙基三甲氧基矽烷等含氮與硫的烷氧基矽烷化合物；3-縮水甘油氧基丙基三甲 氧基矽烷、3-縮水甘油氧基丙基三乙氧基矽烷、3-縮水甘油氧基丙基甲基二甲氧基矽烷、2-(3,4-環氧環己基)乙基三乙氧基矽烷、2-(3,4-環氧環己基)乙基三甲氧基矽烷等含環氧基的矽烷化合物；3-(甲基)丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷、3-(甲基)丙烯醯氧基丙基甲基二甲氧基矽烷、3-(甲基)丙烯醯氧基丙基甲基二乙氧基矽烷、乙烯基三甲氧基矽烷、對苯乙烯基三甲氧基矽烷等含不飽和鍵的烷氧基矽烷化合物等。水解性矽烷化合物可單獨使用該些中的一種或者將兩種以上組合使用。再者，於本說明書中，「(甲基)丙烯醯~」為包含「丙烯醯~」及「甲基丙烯醯~」的含義。

上述水解與縮合反應藉由使如上所述的矽烷化合物的一種或者兩種以上與水，較佳為於適當的觸媒及有機溶媒的存在下反應而進行。於進行反應時，水的使用比例相對於矽烷化合物(合計量)1莫耳，較佳為1莫耳~30莫耳。作為所使用的觸媒，例如可列舉酸、鹼金屬化合物、有機鹼(例如三乙基胺或四甲基氫氧化銨等)、鈦化合物、鋯化合物等。觸媒的使用量根據觸媒的種類、溫度等反應條件等而不同，應適宜設定，例如相對於矽烷化合物的合計量，較佳為0.01倍莫耳~3倍莫耳。作為所使用的有機溶媒，例如可列舉烴、酮、酯、醚、醇等，該些中，較佳為使用非水溶性或難水溶性的有機溶媒。有機溶媒的使用比例相對於反應中使用的矽烷化合物的合計100質量份，較佳為50質量份~1,000質量份。

上述水解與縮合反應例如較佳為藉由油浴等進行加熱 來實施。此時，加熱溫度較佳為設為130℃以下，加熱時間較佳為設為0.5小時~12小時。於反應結束後，針對自反應液分取的有機溶媒層將溶媒去除，藉此可獲得聚矽氧烷。

於在聚有機矽氧烷的側鏈導入預傾角賦予基或者光配向性基等功能性基的情況下，其合成方法並無特別限定，例如可列舉如下方法：對含環氧基的矽烷化合物、或者含環氧基的矽烷化合物與其他矽烷化合物的混合物進行水解縮合而合成具有環氧基的聚有機矽氧烷，繼而使所獲得的含環氧基的聚有機矽氧烷、與具有上述功能性基的羧酸進行反應的方法等。含環氧基的聚有機矽氧烷與羧酸的反應可依照習知的方法進行。

聚有機矽氧烷藉由GPC測定的聚苯乙烯換算的重量平均分子量(Mw)較佳為處於500~100,000的範圍，更佳為處於1,000~30,000的範圍，進而較佳為1,000~20,000。若聚有機矽氧烷的重量平均分子量處於上述範圍，則於製造液晶配向膜時容易操作，另外，可獲得具有充分的材料強度及特性的液晶配向膜。

液晶配向劑中的[P]聚合物的含有比例(於含有兩種以上的情況下為合計量)較佳為相對於液晶配向劑中的聚合物成分的合計量而為60質量%以上，更佳為80質量%以上。另外，就可獲得可靠性更優異的液晶元件的方面而言，液晶配向劑較佳為包含[p]聚合物，所述[p]聚合物為選自由聚醯胺酸、聚醯胺酸酯及聚醯亞胺所組成的群組中的至少一種。液晶配向劑中的[p]聚合物的含有比例(於包含兩種以上的情況下為其合計量)較佳為相對於液 晶配向劑中的聚合物成分的合計量而為40質量%以上，更佳為60質量%以上。

液晶配向劑中所含有的聚合物成分的至少一部分較佳為具有下述式(3)所表示的部分結構的聚合物。

*-L¹-R¹¹-R¹²-R¹³-R¹⁴…(3)

(式(3)中，L¹為-O-、-CO-、-COO-*¹、-OCO-*¹、-NR¹⁵-、-NR¹⁵-CO-*¹、-CO-NR¹⁵-*¹、碳數1~6的烷烴二基、-O-R¹⁶-*¹、或者-R¹⁶-O-*¹(其中，R¹⁵為氫原子或者碳數1~10的1價烴基，R¹⁶為碳數1~3的烷烴二基；「*¹」表示與R¹¹的結合鍵)；R¹¹及R¹³分別獨立地為單鍵、伸苯基或者伸環烷基，R¹²為單鍵、伸苯基、伸環烷基、-R¹⁷-B¹-*²、或者-B¹-R¹⁷-*²(其中，R¹⁷為伸苯基或者伸環烷基，B¹為-COO-*³、-OCO-*³、或者碳數1~3的烷烴二基；「*²」表示與R¹³的結合鍵，「*³」表示與R¹⁷的結合鍵)；R¹⁴為氫原子、氟原子、碳數1~18的烷基、碳數1~18的氟烷基、碳數1~18的烷氧基、碳數1~18的氟烷氧基、或者具有類固醇骨架的碳數17~51的烴基，亦可具有自由基聚合性基或者光起始劑基；其中，於R¹⁴為氫原子、氟原子或者碳數1~3的基團的情況下，R¹¹、R¹²及R¹³不會全部為單鍵；「*」表示結合鍵)

於上述式(3)中，L¹、B¹的烷烴二基、以及R¹⁴的烷基、氟烷基、烷氧基及氟烷氧基較佳為直鏈狀。作為R¹⁴的具有類 固醇骨架的基團，例如可列舉：膽甾烷基、膽甾烯基、羊毛甾烷基等。R¹¹、R¹²、R¹³及R¹⁷的伸苯基較佳為1,4-伸苯基，伸環烷基較佳為1,4-伸環己基。關於R¹¹及R¹³，該些中的至少一個較佳為伸苯基或者伸環烷基。R¹²較佳為伸苯基、伸環烷基、-R¹⁷-B¹-*²、或者-B¹-R¹⁷-*²。具有上述式(3)所表示的部分結構的聚合物的主骨架並無特別限定，較佳為[P]聚合物。

聚合物中的上述式(3)所表示的部分結構的含有比例較佳為根據聚合物的主鏈而適宜設定，就充分加快液晶的響應速度的觀點而言，較佳為相對於聚合物的所有單體單元而設為1莫耳%~50莫耳%，更佳為設為2莫耳%~40莫耳%。

另外，就可獲得不易產生殘像、且液晶的響應速度快的液晶元件的方面而言，液晶配向劑較佳為含有如下聚合物：所述聚合物具有選自由自由基聚合性基、光起始劑基、自由基聚合抑制劑基、含氮的雜環(其中，聚醯亞胺所具有的醯亞胺環除外)、胺基、及經保護的胺基所組成的群組中的至少一種(以下亦稱為「特定部分結構」)作為聚合物成分。

作為自由基聚合性基，例如可列舉：(甲基)丙烯醯基、乙烯基、烯丙基、乙烯基苯基、馬來醯亞胺基、乙烯氧基、乙炔基等。該些中，就反應性高的方面而言，尤佳為(甲基)丙烯醯基。

光起始劑基為藉由光而產生聚合起始能力的部位或者具有光增感作用的部位，且為具有源自可藉由可見光線、紫外線、遠紫外線、電子束、X射線等放射線的照射而使聚合性成分的聚合起 始的化合物(光起始劑)的結構的基團。作為光起始劑基，較佳為具有源自可藉由光照射而產生自由基的自由基聚合起始劑的結構的基團。具體而言，例如可列舉具有源自以下化合物的結構的基團等：苯乙酮系化合物、肟酯系化合物、二苯甲醯基系化合物、安息香系化合物、二苯甲酮系化合物、烷基苯酮系化合物、或者醯基氧化膦系化合物。該些中，光起始劑基較佳為具有苯乙酮結構的基團。於聚合物具有自由基聚合性基及光起始劑基的至少任一者的情況下，較佳為於側鏈具有該些基團。

自由基聚合抑制劑基作為使以紫外線或熱等能量為契機而產生的過氧化自由基或過氧化氫無效化的過氧化物分解劑、或者捕捉聚合中途的自由基性中間體而抑制聚合反應的進行的自由基捕捉劑發揮功能。藉由使液晶配向膜中含有此種具有聚合抑制劑基的聚合物，可抑制於PSA模式中混入液晶層中的光聚合性化合物因光照射而進行反應。聚合抑制劑基較佳為具有選自由受阻胺結構、受阻酚結構及苯胺結構所組成的群組中的至少一種的基團。

作為所述含氮的雜環，例如可列舉：吡咯、咪唑、吡唑、三唑、吡啶、嘧啶、噠嗪、吡嗪、吲哚、苯并咪唑、嘌呤、喹啉、異喹啉、萘啶、喹噁啉、酞嗪、三嗪、咔唑、吖啶、哌啶、哌嗪、吡咯啶、六亞甲基亞胺等。其中，較佳為具有選自由吡啶、嘧啶、吡嗪、哌啶、哌嗪、喹啉、咔唑及吖啶所組成的群組中的至少一種。

上述胺基及經保護的胺基較佳為下述式(N-1)所表示 的基團。

(式(N-1)中，R⁵⁰為氫原子或者1價有機基；「*」為鍵結於烴基的結合鍵)

於上述式(N-1)中，R⁵⁰的1價有機基較佳為1價烴基或者保護基。1價烴基較佳為碳數1~10，具體而言，例如可列舉：甲基、乙基、丙基、丁基等直鏈狀或者分支狀的烷基；環己基等環烷基；苯基、甲基苯基等芳基；苄基等芳烷基等。作為R⁵⁰可具有的取代基，例如可列舉：鹵素原子、氰基、烷基矽烷基、烷氧基矽烷基等。R⁵⁰較佳為碳數1~5的烷基、環己基、苯基或者苄基。作為上述式(N-1)中的「*」所鍵結的烴基，例如可列舉：烷烴二基、伸環己基、伸苯基等。

保護基較佳為藉由熱而脫離的基團，例如可列舉：胺甲酸酯系保護基、醯胺系保護基、醯亞胺系保護基、磺醯胺系保護基、下述式(8-1)~式(8-5)分別所表示的基團等。其中，就藉由熱的脫離性高的方面、或者減少經脫保護的部分於膜中的殘存量的方面而言，保護基較佳為第三丁氧基羰基。

[化5]

(式(8-1)~式(8-5)中，Ar¹¹為自經取代或未經取代的芳香環去掉1個氫原子之後的碳數6~10的1價基，R⁶¹為碳數1~12的烷基，R⁶²為亞甲基或者伸乙基；「*」表示鍵結於氮原子的結合鍵)

具有上述特定部分結構的聚合物的主骨架並無特別限定，較佳為[P]聚合物，更佳為[p]聚合物。聚合物中的上述特定部分結構的含有比例(於含有兩種以上的情況下為其合計量)較佳為相對於聚合物的所有單體單元而設為5莫耳%，更佳為設為10莫耳%~80莫耳%。

(溶劑)

液晶配向劑含有選自下述所示的溶劑群組(包含[A]溶劑與[B]溶劑的群組)中的至少一種的特定溶劑作為溶劑成分。

溶劑群組：

[A]溶劑：下述式(1)所表示的化合物、下述式(2)所表示的化合物、N,N,2-三甲基丙醯胺、及1,3-二甲基-2-咪唑啶酮。

[B]溶劑：二丙二醇單甲醚、二丙二醇二甲醚、二乙二醇單乙醚、4-甲氧基-4-甲基-2-戊酮、4-羥基-2-丁酮、2-甲基-2-己醇、2,6- 二甲基-4-庚醇、二異丁基酮、丙二醇二乙酸酯、二乙二醇二乙醚、二異戊基醚、二丙酮醇、及丙二醇單丁醚。

(式(1)中，R¹為碳數2~5的1價烴基、或者於所述烴基中的碳-碳鍵間具有「-O-」的1價基)

(式(2)中，R²及R³分別獨立地為氫原子、碳數1~6的1價烴基、或者於所述烴基的碳-碳鍵間具有「-O-」的1價基，R²與R³可相互鍵結而形成環結構；R⁴為碳數1~6的烷基)

．關於[A]溶劑

(式(1)所表示的化合物)

關於上述式(1)所表示的化合物，R¹的碳數2~5的1價烴基較佳為鏈狀烴基，例如可列舉：碳數2~5的烷基、烯基、炔基。另外，作為於該烴基中的碳-碳鍵間具有「-O-」的1價基，例如可 列舉碳數2~5的烷氧基烷基。

作為該些的具體例，碳數2~5的烷基例如可列舉：乙基、丙基、丁基、戊基等；碳數2~5的烯基例如可列舉：乙烯基、1-丙烯基、2-丙烯基、3-丁烯基等；碳數2~5的炔基例如可列舉：乙炔基、2-丙炔基、2-丁炔基等；碳數2~5的烷氧基烷基例如可列舉：甲氧基甲基、甲氧基乙基、甲氧基丙基、甲氧基丁基、乙氧基甲基、乙氧基乙基等，該些可為直鏈狀，亦可為分支狀。上述基團中，R¹較佳為碳數2~5的烷基或者烷氧基烷基。

作為上述式(1)所表示的化合物的具體例，例如可列舉：N-乙基-2-吡咯啶酮、N-(正丙基)-2-吡咯啶酮、N-異丙基-2-吡咯啶酮、N-(正丁基)-2-吡咯啶酮、N-(第三丁基)-2-吡咯啶酮、N-(正戊基)-2-吡咯啶酮、N-甲氧基丙基-2-吡咯啶酮、N-乙氧基乙基-2-吡咯啶酮、N-甲氧基丁基-2-吡咯啶酮等。該些中，可尤佳地使用N-乙基-2-吡咯啶酮、N-(正戊基)-2-吡咯啶酮、N-(第三丁基)-2-吡咯啶酮、N-甲氧基丙基-2-吡咯啶酮。再者，上述式(1)所表示的化合物可將該些例示的化合物單獨使用一種或者將兩種以上組合使用。

(式(2)所表示的化合物)

關於上述式(2)所表示的化合物，作為R²及R³的碳數1~6的1價烴基，例如可列舉碳數1~6的鏈狀烴基、碳數3~6的脂環式烴基、碳數5或者6的芳香族烴基等。另外，作為於該烴基的碳-碳鍵間具有「-O-」的1價基，例如可列舉碳數2~6的烷氧 基烷基等。

作為該些的具體例，碳數1~6的鏈狀烴基例如可列舉甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基等，該些可為直鏈狀，亦可為分支狀。另外，碳數3~6的脂環式烴基例如可列舉環戊基、環己基等；芳香族烴基例如可列舉苯基等；碳數2~6的烷氧基烷基例如可列舉R¹中所列舉的烷氧基烷基等。再者，式(2)中的R²及R³相互可相同亦可不同。另外，R²及R³藉由相互鍵結而可與R²及R³所鍵結的氮原子一起形成環。作為R²、R³相互鍵結而形成的環，例如可列舉吡咯啶環、哌啶環等，該些環上亦可鍵結甲基等1價鏈狀烴基。

R²及R³較佳為氫原子或者碳數1~6的烷基，更佳為氫原子或者碳數1~3的烷基，進而較佳為氫原子或者甲基。

作為R⁴的碳數1~6的烷基，可列舉於上述R²及R³的碳數1~6的烷基的說明中所例示的基團。較佳為碳數1~4的烷基，更佳為甲基或者乙基。

作為上述式(2)所表示的化合物的具體例，例如可列舉：3-丁氧基-N,N-二甲基丙醯胺(3-butoxy-N,N-dimethyl propanamide)、3-甲氧基-N,N-二甲基丙醯胺、3-己氧基-N,N-二甲基丙醯胺、異丙氧基-N-異丙基-丙醯胺(isopropoxy-N-isopropyl-propionamide)、正丁氧基-N-異丙基-丙醯胺等。再者，上述式(2)所表示的化合物可單獨使用一種或者將兩種以上組合使用。

作為[A]溶劑，就可進一步減小對層間絕緣膜21帶來的影響的方面而言，其中較佳為選自由上述式(1)所表示的化合物、上述式(2)所表示的化合物及1,3-二甲基-2-咪唑啶酮所組成的群組中的至少一種，更佳為選自由上述式(1)所表示的化合物中R¹為碳數2~5的烷基或者烷氧基烷基的化合物、3-甲氧基-N,N-二甲基丙醯胺及1,3-二甲基-2-咪唑啶酮所組成的群組中的至少一種，尤佳為選自由N-乙基-2-吡咯啶酮、N-(正戊基)-2-吡咯啶酮、N-(第三丁基)-2-吡咯啶酮、N-甲氧基丙基-2-吡咯啶酮、3-甲氧基-N,N-二甲基丙醯胺及1,3-二甲基-2-咪唑啶酮所組成的群組中的至少一種。

作為[B]溶劑，就可進一步減小對層間絕緣膜21帶來的影響的方面而言，上述中較佳為選自由二丙二醇單甲醚、丙二醇二乙酸酯、二乙二醇二乙醚、二異戊基醚、二丙酮醇、及丙二醇單丁醚所組成的群組中的至少一種。

作為溶劑成分，可僅使用特定溶劑，亦可併用特定溶劑以外的其他溶劑。作為所述其他溶劑，可列舉聚合物的溶解性及調平性高的溶劑(以下亦稱為「第1溶劑)、及潤濕擴展性良好的溶劑(以下亦稱為「第2溶劑)。

作為該些的具體例，第1溶劑例如可列舉：N-甲基-2-吡咯啶酮、γ-丁內酯、γ-丁內醯胺、N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二甲基乙醯胺、4-羥基-4-甲基-2-戊酮、碳酸伸乙酯、碳酸伸丙酯等；第2溶劑例如可列舉：乙二醇單甲醚、乳酸丁酯、乙酸丁酯、 甲基甲氧基丙酸酯、乙基乙氧基丙酸酯、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、乙二醇-正丙醚、乙二醇-異丙醚、乙二醇-正丁醚(丁基溶纖劑)、乙二醇二甲醚、乙二醇乙醚乙酸酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單甲醚乙酸酯、二乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇二乙醚乙酸酯、丙酸異戊酯、異丁酸異戊酯等。再者，作為其他溶劑，可單獨使用上述中的一種，亦可將兩種以上混合使用。

於液晶配向劑的製備時，作為特定溶劑，可使用[A]溶劑及[B]溶劑的僅任一者，但就可抑制於形成液晶配向膜時在液晶配向劑與層間絕緣膜21接觸的狀態下對層間絕緣膜21帶來的影響，並且可抑制來自層間絕緣膜21的雜質成分溶出的效果高的方面而言，較佳為含有[A]溶劑的至少一種、以及[B]溶劑的至少一種。

就可充分獲得對層間絕緣膜21帶來的影響的抑制效果以及來自層間絕緣膜21的雜質成分溶出的抑制效果，同時抑制聚合物成分的析出的觀點而言，[A]溶劑的使用比例(於使用兩種以上的情況下為其合計量)較佳為相對於液晶配向劑所含的溶劑的全體量而設為10質量%以上，更佳為設為20質量%以上。另外，就獲得[B]溶劑所帶來的塗佈性的改善效果的觀點而言，其使用比例的上限較佳為相對於液晶配向劑所含的溶劑的全體量而設為90質量%以下，更佳為設為80質量%以下。再者，[A]溶劑可單獨使用一種，或者亦可將兩種以上組合使用。

就可抑制對層間絕緣膜21帶來的影響及來自層間絕緣 膜21的雜質成分的溶出，並且使液晶配向劑的塗佈性良好的觀點而言，[B]溶劑的使用比例(於使用兩種以上的情況下為其合計量)較佳為相對於液晶配向劑所含的溶劑的全體量而設為10質量%以上，更佳為設為20質量%以上。另外，其使用比例的上限較佳為相對於液晶配向劑所含的溶劑的全體量而設為80質量%以下，更佳為設為70質量%以下。再者，[B]溶劑可單獨使用一種，或者亦可將兩種以上組合使用。

就可充分獲得抑制對層間絕緣膜21帶來的影響的效果及減少來自層間絕緣膜21的雜質成分溶出的效果的觀點而言，特定溶劑的使用比例(於使用兩種以上的情況下為其合計量)較佳為相對於液晶配向劑所含的溶劑的全體量而設為50質量%以上，更佳為設為70質量%以上，進而較佳為設為90質量%以上，尤佳為設為95質量%以上。

另外，於使用[A]溶劑、[B]溶劑以及其他溶劑的情況下，就充分獲得本發明的效果的觀點而言，其他溶劑的使用比例(於使用兩種以上的情況下為其合計量)較佳為相對於液晶配向劑所含的溶劑的全體量而設為50質量%以下，更佳為設為30質量%以下，更佳為設為10質量%以下，尤佳為設為5質量%以下。

液晶配向劑尤佳為溶劑成分包含[A]溶劑與[B]溶劑。其中，於本說明書中，所謂「溶劑成分包含[A]溶劑與[B]溶劑」容許以不會妨礙本發明的效果的程度含有[A]溶劑及[B]溶劑以外的其他溶劑。

除聚合物成分及溶劑成分以外，液晶配向劑視需要可含有其他成分。作為其他成分，例如可列舉：抗氧化劑、金屬螯合物化合物、硬化促進劑、界面活性劑、填充劑、分散劑、光增感劑等。其他成分的調配比例可於不損及本發明的效果的範圍內，根據各化合物而適宜選擇。

液晶配向劑中的固體成分濃度(液晶配向劑的溶媒以外的成分的合計質量於液晶配向劑的總質量中所佔的比例)可考慮黏性、揮發性等適宜選擇，較佳為1質量%~10質量%的範圍。於固體成分濃度小於1質量%的情況下，塗膜的膜厚過小而難以獲得良好的液晶配向膜。另一方面，於固體成分濃度超過10質量%的情況下，塗膜的膜厚過大而難以獲得良好的液晶配向膜，另外液晶配向劑的黏性增大而有塗佈性降低的傾向。

<感放射線性樹脂組成物>

接著，對用以形成層間絕緣膜21的感放射線性樹脂組成物進行詳細說明。該感放射線性樹脂組成物含有[Q]聚合物以及[R]感光劑。

([Q]聚合物)

[Q]聚合物較佳為含有具有聚合性基的構成單元。[Q]聚合物所具有的聚合性基較佳為選自由氧雜環丁基、氧雜環丙基、(甲基)丙烯醯基、及乙烯基所組成的群組中的至少一種。藉由具有此種聚合性基，可容易地進行感放射線性樹脂組成物的硬化，可獲得良好的層間絕緣膜21，就該方面而言較佳。

[Q]聚合物的主骨架並無特別限定，較佳為選自由(甲基)丙烯酸系聚合物、聚醯胺酸、聚醯胺酸酯、聚醯亞胺、及聚有機矽氧烷所組成的群組中的至少一種。該些中，尤佳為(甲基)丙烯酸系聚合物。再者，(甲基)丙烯酸系聚合物可僅含有源自具有(甲基)丙烯醯基的單體的結構單元，亦可含有源自具有(甲基)丙烯醯基的單體的結構單元、以及源自與具有(甲基)丙烯醯基的單體不同的其他單體的結構單元。(甲基)丙烯酸系聚合物中的源自其他單體的結構單元的含有比例較佳為50莫耳%以下，更佳為40莫耳%以下，進而較佳為30莫耳%以下。

具體而言，[Q]聚合物較佳為含有具有酸性基的第1結構單元、具有氧雜環丁基或者氧雜環丙基的第2結構單元、以及形成與所述第1結構單元及所述第2結構單元不同主鏈結構的第3結構單元的聚合物。

作為第1結構單元所具有的酸性基，可列舉：羧基、磺基、酚性羥基、磷酸基、磺酸基、膦酸基、磺醯胺基、鍵結於碳原子的氫原子被取代為拉電子基的羥基烷基等。作為酸性基，就鹼顯影性的方面而言，該些中較佳為羧基、磺基、酚性羥基、含氟的醇性羥基、磷酸基、磺酸基、膦酸基或者該些的組合，更佳為羧基或者酚性羥基，尤佳為羧基。

第1結構單元較佳為源自選自由(甲基)丙烯酸或者不飽和羧酸酐所組成的群組中的至少一種化合物的結構單元，尤佳為(甲基)丙烯酸及馬來酸酐的至少一種。

相對於構成[Q]聚合物的所有結構單元，[Q]聚合物中的第1結構單元的含有比例較佳為1莫耳%~50莫耳%，更佳為15莫耳%~30莫耳%。第1結構單元可為單獨一種，或者亦可組合兩種以上。

第2結構單元較佳為源自選自由(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯、4-羥基丁基(甲基)丙烯酸酯縮水甘油醚、及3-(甲基)丙烯醯基氧基甲基-3-乙基氧雜環丁烷所組成的群組中的至少一種化合物的結構單元。

相對於構成[Q]聚合物的所有結構單元，[Q]聚合物中的第2結構單元的含有比例較佳為1莫耳%~15莫耳%，更佳為3莫耳%~10莫耳%。第2結構單元可為單獨一種，或者亦可組合兩種以上。

第3結構單元只要為形成與第1結構單元及第2結構單元不同主鏈結構的源自單體的結構單元，則並無特別限定，就可使顯影密接性及對熱或者剝離溶液的耐性更良好的方面而言，較佳為源自選自由苯乙烯、α-甲基苯乙烯、4-甲基苯乙烯、及4-羥基苯乙烯所組成的群組中的至少一種化合物的結構單元。

相對於構成[Q]聚合物的所有結構單元，[Q]聚合物中的第3結構單元的含有比例較佳為25莫耳%~80莫耳%，更佳為30莫耳%~65莫耳%。第3結構單元可為單獨一種，或者亦可組合兩種以上。

再者，[Q]聚合物亦可更具有除第1結構單元、第2結 構單元及第3結構單元以外的其他結構單元。作為此種結構單元，例如可列舉(甲基)丙烯酸烷基酯。

[Q]聚合物可使用提供第1結構單元~第3結構單元等的單體，依照自由基聚合等常法來合成。關於合成條件的詳情，例如可參照日本專利特開2015-92233號公報中記載的各種條件而適宜設定。

([R]感光劑)

作為[R]感光劑，可較佳地使用選自由光自由基聚合起始劑、光酸產生劑及光鹼產生劑所組成的群組中的至少一種。

作為該些的具體例，光自由基聚合起始劑例如可列舉：O-醯基肟化合物、苯乙酮化合物、聯咪唑化合物等；光酸產生劑例如可列舉：肟磺酸酯化合物、鎓鹽、磺醯亞胺化合物、含鹵素的化合物、二偶氮甲烷化合物、碸化合物、磺酸酯化合物、羧酸酯化合物、醌二疊氮化合物等；光鹼產生劑例如可列舉：鈷等過渡金屬錯合物、鄰硝基苄基胺甲酸酯類、α,α-二甲基-3,5-二甲氧基苄基胺甲酸酯類、醯氧基亞胺基類等。

[R]感光劑的使用比例根據所使用的化合物的種類而不同。例如，於光自由基聚合起始劑的情況下，較佳為相對於[Q]聚合物100質量份而設為1質量份~40質量份，更佳為設為5質量份~30質量份。

相對於[Q]聚合物100質量份，光酸產生劑的使用比例較佳為 0.1質量份~50質量份，更佳為1質量份~30質量份。

相對於[Q]聚合物100質量份，光鹼產生劑的使用比例較佳為0.1質量份~20質量份，更佳為1質量份~10質量份。

除上述[Q]聚合物及[R]感光劑以外，感放射線性樹脂組成物可更含有硬化促進劑、聚合性不飽和化合物、界面活性劑、保存穩定劑、接著助劑。該些各任意成分可單獨使用一種，亦可將兩種以上組合使用。

感放射線性樹脂組成物可藉由將[Q]聚合物及[R]感光劑、以及視需要而調配的其他任意成分混合來製備。感放射線性樹脂組成物較佳為溶解於適當的溶媒中而以溶液狀態來使用。作為該溶媒，例如可列舉：醇、二醇醚、乙二醇烷基醚乙酸酯、二乙二醇單烷基醚、二乙二醇二烷基醚、二丙二醇二烷基醚、丙二醇單烷基醚、丙二醇烷基醚乙酸酯、丙二醇單烷基醚丙酸酯、酮、酯等。

關於溶媒的含量，就所獲得的感放射線性樹脂組成物的塗佈性、穩定性等觀點而言，較佳為感放射線性樹脂組成物的除溶媒之外的各成分的合計濃度成為5質量%~50質量%的量，更佳為成為10質量%~40質量%的量。

(液晶裝置10的製造方法)

液晶裝置10可藉由包括以下的步驟A~步驟E的方法來製造。

步驟A：於基板上形成層間絕緣膜21的步驟。

步驟B：於層間絕緣膜21上形成畫素電極19的步驟。

步驟C：於畫素電極19上，以與層間絕緣膜21的一部分接觸的方式形成液晶配向膜(第1配向膜32)的步驟。

步驟D：將陣列基板15與相向基板16介隔包含光聚合性單體的液晶層而相向配置來構築液晶單元的步驟。

步驟E：對液晶單元進行光照射的步驟。

於製造圖1及圖2所示的液晶裝置10時，首先，於玻璃基板等透明基板18上，藉由光微影法等習知的方法形成薄膜電晶體14、掃描訊號線12、圖像訊號線13。繼而，於透明基板18中的薄膜電晶體14及訊號線的形成面上塗佈層間絕緣膜形成用的感放射線性樹脂組成物，從而形成層間絕緣膜21(步驟A)。

感放射線性樹脂組成物的塗佈方法並無特別限定，例如可採用噴霧法、輥塗法、旋塗法、狹縫塗佈法、棒塗法、噴墨塗佈法等適宜的方法。該些方法中，就可形成均勻厚度的膜的方面而言，較佳為旋塗法或者狹縫塗佈法。於感放射線性樹脂組成物的塗佈後，較佳為對塗佈面進行加熱(預烘烤)，並視需要介隔具有規定的圖案的光罩對塗膜進行曝光，然後進行顯影及後烘烤，藉此獲得作為硬化膜的層間絕緣膜21。關於形成層間絕緣膜21時的各種條件，例如可採用日本專利特開2015-92233號公報中記載的條件。

於接下來的步驟B中，於透明基板18中的於步驟A中形成的層間絕緣膜21上形成畫素電極19。畫素電極19是於使用 濺鍍法等習知的方法形成膜厚為50nm~200nm、更佳為100nm~150nm的ITO(銦錫氧化物)膜、氧化銦鋅(Indium Zinc Oxide，IZO)膜後，藉由光微影法來圖案化為魚骨形狀(亦稱為「梳齒形狀」)。藉此，於基板上形成魚骨型的畫素電極19而製作陣列基板15。

另外，與上述分開進行，於玻璃基板等透明基板28上，使用光微影法等習知的方法依序形成彩色濾光片層29、外塗層(省略圖示)及共用電極31而製作相向基板16。

於接下來的步驟C中，首先，於形成有電極的基板上塗佈液晶配向劑，較佳為對塗佈面進行加熱，藉此於基板上形成塗膜。對基板的液晶配向劑的塗佈是於電極形成面上較佳為藉由平板印刷法、旋塗法、輥塗佈機法、柔版印刷法或者噴墨印刷法進行。於塗佈液晶配向劑後，出於防止所塗佈的液晶配向劑的滴液等目的，較佳為實施預加熱(預烘烤)。預烘烤溫度較佳為30℃~200℃，預烘烤時間較佳為0.25分鐘~10分鐘。其後，出於將溶劑完全除去、視需要將聚合物中存在的醯胺酸結構加以熱醯亞胺化的目的而實施煆燒(後烘烤)步驟。此時的煆燒溫度(後烘烤溫度)較佳為80℃~300℃，後烘烤時間較佳為5分鐘~200分鐘。如此形成的膜的厚度較佳為0.001μm~1μm。將液晶配向劑塗佈於基板上之後，將有機溶媒去除，藉此形成液晶配向膜或者成為液晶配向膜的塗膜。

此處，於層間絕緣膜21上，於形成有具有大量狹縫部 19c的圖案電極(畫素電極19)的基板的電極形成面上塗佈液晶配向劑。因此，液體狀的液晶配向劑會經由狹縫部19c的開口而與層間絕緣膜21接觸。形成於基板上的液晶配向膜(第1配向膜32)於液晶裝置10的顯示區域中經由狹縫部19c而與層間絕緣膜21接觸。

再者，可將上述中所形成的塗膜直接用作液晶配向膜，亦可施以賦予液晶配向能力的處理(配向處理)。作為配向處理，可列舉：利用捲繞著包含例如尼龍(nylon)、人造絲(rayon)、棉(cotton)等纖維的布的輥對塗膜朝一定方向進行摩擦的摩擦處理、使用液晶配向劑對形成於基板上的塗膜進行光照射而對塗膜賦予液晶配向能力的光配向處理等。

於接下來的步驟D中，將依序形成有層間絕緣膜21、畫素電極19及第1配向膜32的陣列基板15與依序形成有共用電極31及第2配向膜33的相向基板16以相互的配向膜形成面相向的方式配置。於陣列基板15與相向基板16之間配置混入了光聚合性單體的液晶層17，藉此構築液晶單元。

液晶層17例如藉由以下方法而形成：於塗佈有密封劑的其中一個基板上滴加或者塗佈液晶組成物，其後貼合另一個基板的方法(滴下式注入(One Drop Filling，ODF)方式)；或者將隔著單元間隔而相向配置的一對基板的周緣部藉由密封劑而貼合，於由基板表面及密封劑包圍的單元間隔內注入、填充液晶組成物，然後將注入孔密封的方法等。較佳為對於所獲得的液晶單 元，進而進行於加熱直至所使用的液晶成為各向同性相的溫度後緩慢冷卻至室溫的退火處理，藉此將液晶填充時的流動配向去除。

作為光聚合性單體，就藉由光的聚合性高的方面而言，可較佳地使用具有兩個以上(甲基)丙烯醯基的化合物。作為其具體例，例如可列舉：具有聯苯基結構的二(甲基)丙烯酸酯、具有苯基-環己基結構的二(甲基)丙烯酸酯、具有2,2-二苯基丙烷結構的二(甲基)丙烯酸酯、具有二苯基甲烷結構的二(甲基)丙烯酸酯、具有二苯基硫醚結構的二-硫代(甲基)丙烯酸酯等。光聚合性單體的調配比例較佳為相對於液晶層17的形成中使用的液晶組成物的全體量而設為0.1質量%~0.5質量%。再者，作為光聚合性單體，可單獨使用一種，亦可將兩種以上組合使用。

於接下來的步驟E中，對步驟B中所獲得的液晶單元進行光照射。對液晶單元的光照射可於未對電極間施加電壓的狀態下進行，亦可於施加有不會驅動液晶層17中的液晶分子的既定電壓的狀態下進行，或者於對電極間施加有可驅動液晶分子的既定電壓的狀態下進行。較佳為於對一對基板所具有的電極間施加有電壓的狀態下進行光照射。所施加的電壓例如可設為5V~50V的直流或交流。作為所照射的光，例如可使用包含150nm~800nm波長的光的紫外線及可見光線，較佳為包含300nm~400nm波長的光的紫外線。關於光的照射方向，於所使用的放射線為直線偏光或部分偏光的情況下，可自垂直於基板面的方向進行照射，亦可自傾斜方向進行照射，或者可將該些組合來進行照射。於照射 非偏光的放射線的情況下，照射方向設為傾斜方向。

作為照射光的光源，例如可使用低壓水銀燈、高壓水銀燈、氘燈、金屬鹵化物燈、氬共振燈、氙燈、準分子雷射等。再者，所述較佳波長區域的紫外線可藉由將光源與例如濾光片繞射光柵等併用的手段等而獲得。作為光的照射量，較佳為1,000J/m²~200,000J/m²，更佳為1,000J/m²~100,000J/m²。

然後，將偏光板36、偏光板37貼合於液晶單元的外側表面，藉此獲得液晶裝置10。作為偏光板36、偏光板37，可列舉：由乙酸纖維素保護膜夾持被稱為「H膜」的偏光膜而成的偏光板、或者包括H膜其本身的偏光板等，所述H膜是一邊使聚乙烯醇延伸配向一邊吸收碘而成。

於本實施形態中，使用含有特定溶劑作為溶劑成分的液晶配向劑形成了第1配向膜32。藉此，即便於第1配向膜32經由狹縫部19c與層間絕緣膜21接觸的情況下，亦可獲得可靠性優異的液晶裝置10。獲得此種效果的理由雖不確定，但作為一個理由，認為液晶配向劑的製備中所使用的特定溶劑對層間絕緣膜21帶來的影響小，藉此層間絕緣膜21的性能降低得到了抑制。尤其於PSA技術中，為了改善MVA模式的響應特性，例如形成數μm程度的微細條帶狀的電極圖案。於在基板上形成有此種微細的電極圖案的情況下，認為若因液晶配向劑與層間絕緣膜21接觸而層間絕緣膜21膨潤，從而膜的厚度稍有變化，則於畫素電極19中亦容易產生變形而招致元件性能的降低。關於該方面，推測藉由利用特 定溶劑而層間絕緣膜21的膨潤得到抑制，可極力減少對畫素電極19的影響，藉此可充分抑制元件性能的降低。另外亦推測，於液晶配向劑與層間絕緣膜21接觸的狀態下可抑制雜質成分自層間絕緣膜21向液晶配向劑的溶出，藉此可充分抑制元件性能的降低。

(第2實施形態)

接著，關於第2實施形態，以與第1實施形態的不同點為中心進行說明。於本實施形態中，於在陣列基板15上設置有彩色濾光片層的方面與上述第1實施形態不同。

圖3為示意性地表示第2實施形態的元件結構的一部分的剖面圖。與第1實施形態的液晶裝置同樣地，圖3所示的液晶裝置10具有陣列基板15與相向基板16介隔液晶層17相向配置的結構。陣列基板15於透明基板18上具有TFT 14、以及包括著色圖案29a及層間絕緣膜29b而構成的彩色濾光片層29。著色圖案29a包含以紅色(R)、綠色(G)及藍色(B)著色的子畫素，且是藉由光微影等習知的方法而製作。層間絕緣膜29b是使用第1實施形態中所說明的感放射線性樹脂組成物而形成。該層間絕緣膜29b是以保護著色圖案29a並且形成顯示出優異的特性的畫素電極19為目的而設置。畫素電極19配置於層間絕緣膜29b上。

該情況下，亦於在層間絕緣膜29b上形成有魚骨形狀的圖案電極(畫素電極19)的基板的電極形成面上形成第1配向膜32，因此第1配向膜32於狹縫部19c中會與層間絕緣膜29b接觸。關於該方面，藉由使用上述液晶配向劑形成第1配向膜32，可獲 得可靠性優異的液晶裝置10。

(其他實施形態)

．於上述第1實施形態中，將陣列基板15側的畫素電極19設為圖案電極，且層間絕緣膜21與第1配向膜32於狹縫部19c中接觸，但亦可對相向電極16側設置圖案電極及層間絕緣膜，並使圖案電極與層間絕緣膜於狹縫部中接觸。

以上所詳述的本發明的液晶裝置10可有效地應用於各種用途，例如可用作時鐘、可攜式遊戲機、文字處理機、筆記型個人電腦、導航系統、攝錄機、個人數位助理(Personal Digital Assistant，PDA)、數位相機、行動電話、智慧型手機、各種監視器、液晶電視、資訊顯示器等的各種顯示裝置、或調光裝置等。

[實施例]

以下，基於實施例，對本發明的實施形態進行更詳細的說明，但並不藉由以下實施例來限定性地解釋本發明。

於以下的例子中，利用以下方法來測定聚合物溶液中的聚醯亞胺的醯亞胺化率、聚合物溶液的溶液黏度、聚合物的重量平均分子量、及環氧當量。

[聚醯亞胺的醯亞胺化率]

將聚醯亞胺的溶液投入至純水中，於將所獲得的沈澱於室溫下進行充分減壓乾燥後，溶解於氘化二甲基亞碸中，以四甲基矽烷為基準物質，於室溫下測定¹H-核磁共振(Nuclear Magnetic Resonance，NMR)。根據所獲得的¹H-NMR光譜，藉由下述數式 (1)求出醯亞胺化率[%]。

醯亞胺化率[%]=(1-(A¹/(A²×α)))×100...(1)

(數式(1)中，A¹為於化學位移10ppn附近出現的源自NH基的質子的波峰面積，A²為源自其他質子的波峰面積，α為聚合物的前驅物(聚醯胺酸)中的其他質子相對於NH基的一個質子的個數比例)

[聚合物的重量平均分子量]

重量平均分子量為藉由以下條件的凝膠滲透層析法所測定的聚苯乙烯換算值。

管柱：東曹(股)製造、TSKgelGRCXLII

溶劑：四氫呋喃

溫度：40℃

壓力：68kgf/cm²

[環氧當量]

環氧當量是藉由日本工業標準(Japanese Industrial Standards，JIS)C 2105中記載的鹽酸-甲基乙基酮法進行測定。

示出以下例子中所使用的略號。再者，以下有時將式X所表示的化合物簡單表示為「化合物X」。

[化8]

1.感放射線性樹脂組成物(層間絕緣膜形成用)的製備

(1)[Q]聚合物的合成

[合成例1：聚合物(Q-1)的合成]

於具備冷卻管及攪拌機的燒瓶中，裝入8質量份的2,2'-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)、及220質量份的二乙二醇甲基乙醚。繼而，裝入25質量份的甲基丙烯酸、45質量份的甲基丙烯酸3,4-環氧環己基酯、及30質量份的苯乙烯，進行氮氣置換後，一邊緩緩攪拌，一邊使溶液的溫度上昇至70℃，將該溫度保持5小時來進行聚合，藉此獲得含有聚合物(Q-1)的溶液。聚合物(Q-1)的Mw為8000。

[合成例2：聚合物(Q-2)的合成]

於具備冷卻管及攪拌機的燒瓶中，裝入8質量份的2,2'-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)、及220質量份的二乙二醇甲基乙醚。繼而，裝入15質量份的甲基丙烯酸、40質量份的甲基丙烯酸3,4-環氧環己基酯、20質量份的苯乙烯、15質量份的甲基丙烯酸四氫糠酯、及10質量份的甲基丙烯酸正月桂酯，進行氮氣置換後，一邊緩緩攪拌，一邊使溶液的溫度上昇至70℃，將該溫度保持5小時來進行聚合，藉此獲得含有聚合物(Q-2)的溶液。聚合物(Q-2)的Mw為8000。

[合成例3：聚合物(Q-3)的合成]

於具備冷卻管及攪拌機的燒瓶中，裝入8質量份的2,2'-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)、及220質量份的二乙二醇甲基乙醚。繼而，裝入40質量份的甲基丙烯酸縮水甘油酯、20質量份的4-(α-羥基六氟異丙基)苯乙烯、10質量份的苯乙烯、及30質量份的N-環己基馬來醯亞胺，進行氮氣置換後，一邊緩緩攪拌，一邊使溶液的溫度上昇至70℃，將該溫度保持5小時來進行聚合，藉此獲得含有聚合物(Q-3)的溶液。聚合物(Q-3)的Mw為8000。

(2)感放射線性樹脂組成物的製備

[製備例1]

於上述合成例1中所獲得的含有聚合物(Q-1)的溶液(聚合物(Q-1)相當於100質量份(固體成分)的量)中，加入20質量份的1,2-辛烷二酮1-[4-(苯硫基)-2-(O-苯甲醯基肟)](巴斯夫(BASF)公司製造 豔佳固(Irgacure)(註冊商標)OXE01)，進 而加入100質量份的二季戊四醇五丙烯酸酯與二季戊四醇六丙烯酸酯的混合物(卡亞拉得(KAYARAD)(註冊商標)DPHA，日本化藥公司製造)並加以混合。以固體成分濃度成為30質量%的方式加入二乙二醇乙基甲醚並使其溶解後，利用孔徑0.2μm的膜濾器進行過濾，從而製備感放射線性樹脂組成物(V-1)。

[製備例2~製備例4]

將配方組成變更為如下述表1所記載，除該方面以外，以與製備例1相同的方式分別製備感放射線性樹脂組成物(V-2)~感放射線性樹脂組成物(V-4)。再者，於下述表1中，「-」是指未調配該成分(以下的表中亦同樣如此)。

表1中，化合物的簡稱如以下所示。

R-1：1,2-辛二酮1-[4-(苯硫基)-2-(O-苯甲醯基肟)](巴斯夫(BASF)公司製造，豔佳固(Irgacure)(註冊商標)OXE01)

R-2：4,4'-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚(1.0莫耳)、與1,2-萘醌二疊氮-5-磺醯氯(2.0莫耳)的縮合物

U-1：二季戊四醇五丙烯酸酯與二季戊四醇六丙烯酸酯的混合 物(卡亞拉德(KAYARAD)(註冊商標)DPHA，日本化藥公司製造)

2.聚合物的合成(液晶配向劑用)

[合成例5：聚合物(PI-1)的合成]

使作為四羧酸二酐的2,3,5-三羧基環戊基乙酸二酐100莫耳份、以及作為二胺的膽甾烷氧基-2,4-二胺基苯20莫耳份、3,5-二胺基苯甲酸50莫耳份、及化合物(d-8)30莫耳份溶解於N-甲基-2-吡咯啶酮(N-methyl-2-pyrrolidone，NMP)中，於室溫下進行6小時反應，獲得含有20質量%的聚醯胺酸的溶液。接著，向所獲得的聚醯胺酸溶液中添加吡啶及乙酸酐，並進行化學醯亞胺化。將化學醯亞胺化後的反應溶液濃縮，以濃度成為10質量%的方式利用NMP進行製備。所獲得的聚醯亞胺(設為聚合物(PI-1))的醯亞胺化率為約75%。

[合成例6~合成例8]

將所使用的四羧酸二酐及二胺的種類及量變更為如下述表2所述，除此以外，以與合成例5相同的方式合成聚醯亞胺(聚合物(PI-2)~聚合物(PI-4))。再者，表2中，括弧內的數值表示各化合物相對於聚合物的合成中所使用的四羧酸二酐的合計100莫耳份而言的使用比例[莫耳份]。

[合成例9：聚合物(PAA-1)的合成]

使作為四羧酸二酐的2,3,5-三羧基環戊基乙酸二酐70莫耳份、及1,2,3,4-環丁烷四羧酸二酐30莫耳份、以及作為二胺的膽 甾烷氧基-2,4-二胺基苯20莫耳份、化合物(d-12)30莫耳份、4,4'-二胺基二苯基甲烷40莫耳份、及4,4'-[4,4'-丙烷-1,3-二基雙(哌啶-1,4-二基)]二苯胺10莫耳份溶解於NMP中，於室溫下進行6小時反應，獲得含有20質量%的聚醯胺酸的溶液。將此處所獲得的聚醯胺酸設為聚合物(PAA-1)。

[合成例10]

將所使用的四羧酸二酐及二胺的種類及量變更為如下述表2所述，除此以外，以與合成例9相同的方式合成聚醯胺酸(將其設為聚合物(PAA-2))。

[合成例11]

於具備攪拌機、溫度計、滴加漏斗及回流冷卻管的反應容器中裝入100g的化合物(s-1)、500g的甲基異丁基酮、及10g的三乙基胺，於室溫下加以混合。接著，花30分鐘，自滴加漏斗中滴加100g的去離子水後，於回流下一邊攪拌一邊以80℃進行6小時反應。於反應結束後，取出有機層，藉由0.2質量%硝酸銨水 溶液進行清洗至清洗後的水成為中性為止後，於減壓下蒸餾去除溶媒及水，藉此以黏稠的透明液體的形式獲得反應性聚有機矽氧烷(ESSQ-1)。對該反應性聚有機矽氧烷進行了¹H-NMR分析，結果確認到於化學偏移(δ)=3.2ppm附近可獲得基於環氧基的波峰，反應過程中未發生環氧基的副反應。所獲得的反應性聚有機矽氧烷(ESSQ-1)的重量平均分子量Mw為3000，環氧當量為190g/莫耳。

[合成例12、合成例13]

將所使用的單體的種類及量變更為如下述表3所述，除此以外，以與合成例11相同的方式合成反應性聚有機矽氧烷(聚合物(ESSQ-2)及聚合物(ESSQ-3))。再者，表3中，括弧內的數值表示各化合物相對於聚合物的合成中所使用的單體的合計100莫耳份而言的使用比例[莫耳份]。

[合成例14]

於500mL的三口燒瓶中裝入反應性聚有機矽氧烷(ESSQ-1)10.0g、作為溶媒的甲基異丁基酮300g、作為改質成分的化合物 (c-1)16g及化合物(c-3)16g、以及作為觸媒的UCAT 18X(商品名，三亞普羅(San-Apro)(股份)製造)0.10g，於100℃下攪拌48小時以進行反應。反應結束後，於反應混合物中加入乙酸乙酯，將所獲得的溶液水洗3次，使用硫酸鎂將有機層進行乾燥後，蒸餾去除溶劑，藉此獲得含有聚合性基的聚有機矽氧烷(PSQ-1)75g。所獲得的聚合物的重量平均分子量Mw為6000。

[合成例15、合成例16]

將所使用的反應性聚有機矽氧烷及改質成分的種類及量變更為如下述表4所述，除此以外，以與合成例14相同的方式合成含有聚合性基的聚有機矽氧烷(聚合物(PSQ-2)及聚合物(PSQ-3))。表4中，括弧內的數值表示各化合物相對於聚合物的合成中所使用的單體的合計100莫耳份而言的使用比例[莫耳份]。

3.液晶配向劑及液晶顯示元件的評價

[實施例1]

(1)液晶配向劑的製備

於含有聚合物(PI-1)作為聚合物成分的溶液中，以成為聚 合物(PI-1)：聚合物(PSQ-1)=95：5(質量比)的方式加入聚合物(PSQ-1)，進而加入作為溶劑的NEP、二乙二醇二乙醚(Diethylene Glycol Diethyl Ether，DEDG)及二丙酮醇(Diacetone Alcohol，DAA)並充分進行攪拌，製成溶媒組成為NEP：DEDG：DAA=50：30：20(質量比)、固體成分濃度為6.5質量%的溶液。使用孔徑1μm的過濾器對該溶液進行過濾，藉此製備液晶配向劑(W-1)。

(2)液晶組成物(LC-1)的製備

相對於向列液晶(默克(Merck)公司製造，MLC-6608)10g，以相對於液晶組成物的所有構成成分的總量而成為0.3質量%的方式添加下述式(RM-1)所表示的化合物並加以混合，藉此獲得液晶組成物(LC-1)。

(3)液晶顯示元件的製造

使用旋轉器，於玻璃基板(「康寧(Corning)7059」(康寧(Corning)公司製造))上塗佈感放射線性樹脂組成物(V-1)，然後於90℃的潔淨烘箱內進行10分鐘預烘烤而分別於玻璃基板上形成膜厚2.0μm的塗膜。繼而，使用UV(紫外)曝光機(拓普 康深紫外線(TOPCON Deep-UV)曝光機TME-400PRJ)，經由圖案遮罩來照射100mJ的UV光。然後，使用2.38質量%的濃度的氫氧化四甲基銨水溶液(顯影液)，利用覆液法，於25℃下進行100秒的顯影處理。顯影處理後，以超純水進行1分鐘塗膜的流水清洗，使其乾燥而於基板上形成經圖案化的塗膜後，於烘箱中以230℃進行30分鐘加熱(後烘烤)而使其硬化。接著，使用佳能(Canon)(股份)製造的PLA-501F曝光機(超高壓水銀燈)，不經由光罩，以500J/m²的曝光量對各塗膜的整個面進行曝光。然後，於230℃下進行30分鐘後烘烤而使各塗膜硬化，從而形成層間絕緣膜。

接著，於形成有層間絕緣膜的玻璃基板上，形成經圖案化為魚骨狀的ITO電極。本實施例中，將ITO電極的電極圖案設為線/空間=3.5μm/3.5μm的魚骨狀。將此處所使用的ITO電極的電極圖案示於圖4。另外，藉由進行同樣的操作而準備包括不具有圖案的ITO電極的玻璃基板。所述一對基板中，於包括不具有圖案的ITO電極的玻璃基板的電極側表面形成3.5μm柱間隙物。

接著，於一對基板各自的電極形成面上旋塗液晶配向劑(W-1)後，於80℃的加熱板上加熱(預烘烤)1分鐘而去除溶媒，然後於230℃的加熱板上加熱(後烘烤)15分鐘，從而形成平均膜厚為100nm的塗膜。對該塗膜，於超純水中進行1分鐘超音波清洗後，於100℃的潔淨烘箱中進行10分鐘乾燥，從而獲得具有液晶配向膜的一對基板。

接著，於包括經圖案化的ITO電極的玻璃基板的ITO面的外緣，塗佈放入了直徑為5.5μm的氧化鋯球的環氧樹脂接著劑，然後於環氧樹脂接著劑的內側的面上滴加6點(縱2點×橫3點，各點的間隔設為上下左右為10mm，各點的塗佈量設為0.6mg)液晶組成物(LC-1)。將該基板與另一片玻璃基板以相對的方式重合壓接，並使接著劑硬化而製造液晶單元。對所獲得的液晶單元，依照後述的「PSA製程-1」進行紫外線照射及退火，藉此製作評價用液晶單元。

(PSA製程-1)

對於液晶單元，於電極間施加頻率為60Hz的交流20Vpp，於液晶受到驅動的狀態下，使用將金屬鹵化物燈用作光源的紫外線照射裝置，照射80mW的紫外線50秒鐘。繼而，於未施加電壓的狀態下，使用將金屬鹵化物燈用作光源的紫外線照射裝置，照射3.5mW的紫外線30分鐘。最後，將液晶單元放入120℃的潔淨烘箱中10分鐘來進行退火。再者，照射量是使用以波長365nm基準測量的光量計而測量的值。

(4)電壓保持率(VHR)的評價

將上述(3)中所製造的評價用液晶單元放置於恆溫槽中，於60℃下以60微秒的施加時間、167毫秒的跨度施加5V的電壓後，利用東陽特克尼卡(Toyo Technica)公司製造的「VHR-1」來測定自施加解除起167毫秒後的電壓保持率(VHR)。此時，將VHR為96%以上的情況評價為「非常良好(◎)」，將為93%以上、小 於96%的情況評價為「良好(○)」，將為90%以上、小於93%的情況評價為「可(△)」，將為90%以下的情況評價為「不良(×)」。其結果，該實施例中VHR=97%，為「非常良好(◎)」的評價。

[實施例2~實施例22、比較例1、比較例2]

將所使用的聚合物以及溶劑的種類及量如下述表5中記載般進行變更，除此以外，進行與上述相同的操作而分別製備液晶配向劑。另外，除將層間絕緣膜的製作中使用的感放射線性樹脂組成物變更為下述表5所示的組成物的方面、及使用各例中所製備的液晶配向劑來製作液晶配向膜的方面以外，以與上述相同的方式製造評價用液晶單元，並且使用所獲得的評價用液晶單元進行電壓保持率的評價。將其結果示於下述表5中。

表5中，聚合物欄的括弧內的數值表示各聚合物相對於液晶配向劑的製備中使用的聚合物成分的合計100質量份而言的調配比例[質量份]。溶劑組成欄的數值表示各化合物相對於液晶配向劑的製備中使用的溶劑的總體100質量份而言的調配比例[質量份]。溶劑的簡稱如以下所述(下述表6中亦同樣如此)。

NMP：N-甲基-2-吡咯啶酮

NEP：N-乙基-2-吡咯啶酮

DMI：1,3-二甲基-2-咪唑啶酮

EQM：3-甲氧基-N,N-二甲基丙醯胺

BC：丁基溶纖劑

DEDG：二乙二醇二乙醚

PGDAc：丙二醇二乙酸酯

DPM：二丙二醇單甲醚

DAA：二丙酮醇

PG：丙二醇單丁醚

DIPE：二異戊基醚

如表5所示，於使用包含特定溶劑的液晶配向劑來形成液晶配向膜的實施例1~實施例22中，可獲得與使用不包含特定溶劑的液晶配向劑來形成液晶配向膜的比較例1、比較例2相比可靠性優異的液晶顯示元件。該些中，使用包含[A]溶劑與[B]溶劑的液晶配向劑的實施例1~實施例18為「非常良好」的評價而尤其優異。

進而，於上述實施例1~實施例22中，將玻璃基板所具有的ITO電極的圖案變更為圖5所示的圖案，除此以外，以與上述相同的方式製造液晶顯示元件來進行評價，結果於任一實施例中均獲得了與上述相同的效果。

[實施例23]

(1)ITO配線變形的評價

將N-乙基-2-吡咯啶酮(NEP)及二乙二醇二乙醚(DEDG) 混合並充分進行攪拌，製備溶劑組成為NEP：DEDG=50：50(質量比)的評價用溶劑(Z-1)。

另外，藉由進行與上述實施例1的(3)相同的操作而準備於層間絕緣膜上配有包含ITO的圖案電極的玻璃基板。將該玻璃基板於80℃的評價用溶劑(Z-1)中浸漬30分鐘，並利用下述所示的基準對層間絕緣膜的膨潤程度及ITO電極的變形程度進行評價。於與液晶配向劑的溶劑成分接觸的情況下，層間絕緣膜的膨潤越小且電極的變形越小，則該溶劑對層間絕緣膜及ITO電極帶來的影響越小，越可擔保液晶元件的可靠性，因此可以說作為液晶配向劑的溶劑而較佳。其結果，該實施例為「A」的評價。

(評價基準)

A：無層間絕緣膜的膨潤且無電極的異常

B：可見層間絕緣膜的膨潤，但電極無異常

C：因層間絕緣膜的膨潤而有電極的變形等輕微的異常

D：因層間絕緣膜的膨潤而有電極的斷線等嚴重的異常

[實施例24~實施例44、比較例3、比較例4]

將溶劑組成、及所使用的感放射線性樹脂組成物的種類如下述表6般進行變更，除此以外，進行與上述相同的操作，並對各溶劑進行ITO配線變形的評價。將其結果示於下述表6中。

根據表6的結果，於使用特定溶劑的實施例23~實施例44中，未見層間絕緣膜的膨潤或者即便產生膨潤但其程度小且未見電極的異常。根據該些結果可知，根據特定溶劑，即便於在微細條帶狀的電極圖案上形成液晶配向膜的情況下，電極的形狀亦不易變化，可擔保液晶元件的可靠性。

10‧‧‧液晶裝置

11‧‧‧畫素

12‧‧‧掃描訊號線

13‧‧‧圖像訊號線

14‧‧‧薄膜電晶體/TFT

19‧‧‧畫素電極

19a‧‧‧幹線部

19b‧‧‧分支線部

19c‧‧‧狹縫部

Claims (11)

1. 一種液晶元件的製造方法，所述液晶元件包括相向配置的一對基板、配置於所述一對基板間的液晶層、以及一對電極，其中所述一對電極中的至少一者為具有多個開口部的圖案電極，所述液晶元件的製造方法包括：於所述一對基板中的至少一者形成層間絕緣膜的步驟；於所述層間絕緣膜上形成所述圖案電極的步驟；以及於所述圖案電極上，以與所述層間絕緣膜的至少一部分接觸的方式形成液晶配向膜的步驟，使用含有聚合物成分、以及選自下述所示的溶劑群組中的至少一種溶劑的液晶配向劑來形成所述液晶配向膜，溶劑群組：A溶劑：下述式(1)所表示的化合物、下述式(2)所表示的化合物、N,N,2-三甲基丙醯胺、及1,3-二甲基-2-咪唑啶酮；B溶劑：二丙二醇單甲醚、二丙二醇二甲醚、二乙二醇單乙醚、4-甲氧基-4-甲基-2-戊酮、4-羥基-2-丁酮、2-甲基-2-己醇、2,6-二甲基-4-庚醇、二異丁基酮、丙二醇二乙酸酯、二乙二醇二乙醚、二異戊基醚、二丙酮醇、及丙二醇單丁醚；

   

   式(1)中，R¹為碳數2~5的1價烴基、或者於所述烴基中的碳-碳鍵間具有「-O-」的1價基；

   

   式(2)中，R²及R³分別獨立地為氫原子、碳數1~6的1價烴基、或者於所述烴基的碳-碳鍵間具有「-O-」的1價基，R²與R³可相互鍵結而形成環結構；R⁴為碳數1~6的烷基，其中所述層間絕緣膜是使用含有Q聚合物以及R感光劑的感放射線性樹脂組成物而形成，所述Q聚合物為含有具有酸性基的第1結構單元、具有氧雜環丁基或者氧雜環丙基的第2結構單元、以及形成與所述第1結構單元及所述第2結構單元不同主鏈結構的第3結構單元的聚合物，所述第1結構單元為源自選自由(甲基)丙烯酸及不飽和羧酸酐所組成的群組中的至少一種化合物的結構單元，以及所述第2結構單元為源自選自由(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯、4-羥基丁基(甲基)丙烯酸酯縮 水甘油醚、及3-(甲基)丙烯醯基氧基甲基-3-乙基氧雜環丁烷所組成的群組中的至少一種化合物的結構單元。
2. 如申請專利範圍第1項所述的液晶元件的製造方法，其更包括以下步驟：藉由將所述液晶層中所混入的光聚合性單體聚合，於所述液晶層中的各基板側的界面形成控制所述液晶的配向的配向控制層。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的液晶元件的製造方法，其中所述液晶配向劑含有所述A溶劑的至少一種、以及所述B溶劑的至少一種。
4. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的液晶元件的製造方法，其中所述液晶配向劑含有P聚合物，所述P聚合物為選自由聚醯胺酸、聚醯胺酸酯、聚醯亞胺及聚有機矽氧烷所組成的群組中的至少一種。
5. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的液晶元件的製造方法，其中所述液晶配向劑含有p聚合物，所述p聚合物為選自由聚醯胺酸、聚醯胺酸酯及聚醯亞胺所組成的群組中的至少一種，所述p聚合物具有源自四羧酸衍生物的部分結構，所述四羧酸衍生物具有選自由環丁烷環、環戊烷環及環己烷環所組成的群組中的至少一種環結構。
6. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的液晶元件的製造方法，其中所述液晶配向劑含有以下聚合物：所述聚合物具有選自由自由基聚合性基、光起始劑基、自由基聚合抑制劑基、含氮 的雜環、胺基、及經保護的胺基所組成的群組中的至少一種；所述含氮的雜環中，聚醯亞胺所具有的醯亞胺環除外。
7. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的液晶元件的製造方法，其中所述液晶配向劑含有具有下述式(3)所表示的部分結構的聚合物：*-L¹-R¹¹-R¹²-R¹³-R¹⁴…(3)式(3)中，L¹為-O-、-CO-、-COO-*¹、-OCO-*¹、-NR¹⁵-、-NR¹⁵-CO-*¹、-CO-NR¹⁵-*¹、碳數1~6的烷烴二基、-O-R¹⁶-*¹、或者-R¹⁶-O-*¹，其中，R¹⁵為氫原子或者碳數1~10的1價烴基，R¹⁶為碳數1~3的烷烴二基；「*¹」表示與R¹¹的結合鍵；R¹¹及R¹³分別獨立地為單鍵、伸苯基或者伸環烷基，R¹²為單鍵、伸苯基、伸環烷基、-R¹⁷-B¹-*²、或者-B¹-R¹⁷-*²，其中，R¹⁷為伸苯基或者伸環烷基，B¹為-COO-*³、-OCO-*³、或者碳數1~3的烷烴二基；「*²」表示與R¹³的結合鍵，「*³」表示與R¹⁷的結合鍵；R¹⁴為氫原子、氟原子、碳數1~18的烷基、碳數1~18的氟烷基、碳數1~18的烷氧基、碳數1~18的氟烷氧基、或者具有類固醇骨架的碳數17~51的烴基，亦可具有自由基聚合性基或者光起始劑基；其中，於R¹⁴為氫原子、氟原子或者碳數1~3的基團的情況下，R¹¹、R¹²及R¹³不會全部為單鍵；「*」表示結合鍵。
8. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的液晶元件的製造 方法，其中於形成所述層間絕緣膜的基板上形成有液晶驅動用元件及彩色濾光片層。
9. 如申請專利範圍第1項所述的液晶元件的製造方法，其中所述Q聚合物具有選自由(甲基)丙烯醯基及乙烯基所組成的群組中的至少一種。
10. 如申請專利範圍第1項所述的液晶元件的製造方法，其中所述R感光劑為選自由光自由基聚合起始劑、光酸產生劑、及光鹼產生劑所組成的群組中的至少一種。
11. 如申請專利範圍第1項所述的液晶元件的製造方法，其中所述第3結構單元為源自選自由苯乙烯、α-甲基苯乙烯、4-甲基苯乙烯、及4-羥基苯乙烯所組成的群組中的至少一種化合物的結構單元。

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