TWI752634B - 閥 - Google Patents

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Abstract

[課題] 提供一種閥，具備可實現大流量的主體。 [解決手段] 閥(1)，具備：主體(11)，形成有閥室(11e)、第1流入路(11f)、第2流入路(11g)、流出路(11h)及環狀溝槽(11i)，並設置有座部(12)，及隔膜(14)，藉著抵接於座部(12)及從座部(12)分離，連通及阻斷第2流入路(11g)與流出路(11h)。第2流入路(11g)的端部是在閥室(11e)開口。座部(12)是設置在閥室(11e)與第2流入路(11g)連通之處的周緣。環狀溝槽(11i)是在閥室(11e)開口，形成於第2流入路(11g)的周圍。流出路(11k)的端部是在環狀溝槽(11i)開口。第1流入路(11f)具有由一個流入口(11j)與複數個流出口(11k)所構成的複數流路，各流出口(11k)是在環狀溝槽(11i)開口。

Description

閥
本說明是有關使用於半導體製造裝置等的閥。
提出一種具備形成有成為氣體流入路的第1側溝槽及成為氣體流出路的第2側溝槽的閥箱的閥。第1側溝槽是在閥室附近，使其直徑擴大所構成。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1] 日本特開平08-511853號公報
[發明所欲解決之課題]
為增加氣體的流路，如專利文獻1的閥，雖是在閥室附近擴大第1側溝槽的直徑，但僅此並不能充分增加流量。
為此本說明是以提供可實現大流量之主體的閥為目的之一。 [用於解決課題的手段]
為解決上述目的，本說明之一樣態的閥，具備：形成有閥室、第1流入路、第2流入路、流出路及環狀溝槽，設有閥座的主體，及藉著抵接於上述閥座及從上述閥座分離，連通及阻斷上述第2流入路與上述流出路的隔膜，上述第2流入路的端部是在上述閥室開口，上述閥座是設置在上述閥室與上述第2流入路連通之處的周緣，上述環狀溝槽是在上述閥室開口，形成於上述第2流入路的周圍，上述流出路的端部是在上述環狀溝槽開口，上述第1流入路具有由一個流入口與複數個流出口所構成的複數流路，各流出口是在上述環狀溝槽開口。
上述主體也可具有位在上述流入口與上述環狀溝槽的中心軸之間，將上述第1流入路分支成複數流路的分支部。
上述第1流入路的流入口及上述第2流入路的流入口也可以在上述主體的同一面開口，各流入口的直徑彼此不同。
上述第1流入路其剖面積也可以是從上述流入口隨著朝上述環狀溝槽增加。 [發明效果]
根據本說明，可提供具備可實現大流量之主體的閥。
針對本說明之一實施形態相關的閥1，參閱圖示說明。
圖1是本實施形態處於開啟狀態之閥1的剖面圖。 圖2是沿著圖1之II-II線的主體11的剖面圖。
如圖1表示，閥1具備：主體部10，及致動器20。本實施形態相關的閥1即是所謂的三通閥。並且，在以下的說明中，以閥1的致動器20側為上側，以主體部10側為下側進行說明。
[主體部10] 主體部10具備：主體11、閥座的座部12、閥帽13、隔膜14、加壓配件15、隔膜壓件16、支架17及壓縮螺旋彈簧18。
主體11是成大致立方體，具有：上面的第1面11A、下面的第2面11B、側面且彼此相對的第3面11C及第4面11D。在主體11形成有閥室11e、第1流入路11f、第2流入路11g、流出路11h及環狀溝槽11i。
閥室11e是形成朝第1面11A開口。第2流入路11g在圖1中成大致逆L字型，一端朝第3面11C開口，另一端朝閥室11e開口。樹脂製的座部12是成環狀，在主體中，設置在閥室11e與第2流入部11g連通之處的周緣。
環狀溝槽11i為上端是在閥室11e開口，形成在朝著第2流入部11g的上下方向延伸的部分的周圍。流出部11h為一端是在環狀溝槽11i開口，另一端是在第4面11D開口。流出路11h是相對於第1流入路11f位在相反側以夾持朝著第2流入路11g的上下方向延伸的部分。並且，主體11的第4面11D中在對應流出路11h另一端的部分連接有配管2。
第1流入路11f是位在朝第2流入路11g的水平方向(圖1的左右方向)延伸的部分的上側。如圖2表示，第1流入路11f具有一個流入口11j與複數個流出口11k所成的複數流路，各流出口11k是在環狀溝槽11i開口。本實施型態中，第1流入路11f是由一個流入口11j與2流出口11k所構成。亦即，第1流入路11f分支成2條流路。主體11具有位在第1流入路11f的流入口11j與環狀溝槽11i的中心軸C之間的分支部11L。第1流路11f藉分支部11L分支成2條流路。分支部11L為平面看去(剖面)成大致等邊三角形的大致三角柱形狀。
第1流入路11f的流入口11j是在第3面11C開口。藉此，第2流入路11g的一端與第1流入路11f的流入口11j是在同一面開口。第1流入路11f的流入口11j的直徑(開口面積)是構成比第2流入路11g的一端(流入口)的直徑(開口面積)小。亦即，第1流入路11f的流入口11j的直徑是與第2流入路11g的一端(流入口) 的直徑彼此不同。第1流入路11f是使其剖面積隨著從流入口11j朝環狀溝槽11i增加。
如圖1表示，閥帽13是成有蓋的大致圓筒狀，將其下端部螺合於主體11，藉此包覆閥室11e地固定於主體11。
閥體的隔膜14是藉著配置在閥帽13的下端的加壓配件15與形成主體11的閥室11e的底面，夾壓保持其外周緣部。使隔膜14相對於座部12分離及抵接(壓接)，進行流體通路的開合。
隔膜壓件16是設置在隔膜14的上側，構成可推壓隔膜14的中央部。將隔膜壓件16嵌合於支架17。
支架17是成大致圓柱形，配置成可在閥帽13內上下移動。後述的心柱25相對於支架17螺合。
壓縮螺旋彈簧18是設置在閥帽13內，將支架17經常地向下側彈推。閥1是藉壓縮螺旋彈簧18，通常時(致動器20的非作動時)保持在關閉狀態。
[致動器20] 致動器20為空氣驅動式，整體成大致圓柱形狀，具備：殼體21、間隔圓盤22、第1活塞23、第2活塞24及心柱25。
殼體21具有：下殼體21A，及下端部螺合於下殼體21A的上端部的上殼體21B。下殼體21A是成大致具階差的圓筒狀。將下殼體21A的下端部的外圍螺合於閥帽13之貫穿孔的內周圍。上殼體21B是成有蓋的大致圓筒狀。在上殼體21B的上端部形成有流體導入路21c。
在下殼體21A的下端部的外圍螺合有螺帽26。螺帽26抵接於閥帽13，抑制下殼體21A相對於閥帽13的轉動。
間隔圓盤22是成大致圓盤狀，在殼體21內設置成不能移動，心柱25貫通中央部。
第1活塞23是成大致圓盤狀，心柱25貫通中央部。藉第1活塞23及下殼體21A，形成第1壓力室P1。
第2活塞24是成大致圓盤狀，心柱25貫通中央部。藉第2活塞24、間隔圓盤22及上殼體21B，形成第2壓力室P2。
心柱25是成大致圓柱形，設置成可在上下方向移動，從閥帽13通過下殼體21A，延伸至上殼體21B。將心柱25的下端部螺合於支架17。
心柱25在其上半部分，形成有朝上下方向延伸的流體流路25a，並進一步形成有橫切流體流路25a的第1、第2流體流出孔25b、25c。流體流路25a的上端是在心柱25的上面開口。第1流體流出孔25b是與第1壓力室P1連通。第2流體流出孔25c位在第1流體流出孔25b的上側，與第2壓力室P2連通。
心柱25具有複數階差部，該等階差部抵接於第1活塞23的上面及第2活塞24的上面。藉此，第1活塞23及第2活塞24朝上側移動時，心柱25及支架17朝上側移動。
[閥1的開合動作] 接著，針對本實施形態相關閥1的開合動作說明。
本實施形態的閥1是在驅動流體未流入第1、2壓力室P1、P2的狀態，支架17及心柱25藉著壓縮螺旋彈簧18的彈推力定位於下死點(接近主體11)，並藉隔膜壓件16推壓隔膜14，將隔膜14壓接於座部12使得閥1成為關閉狀態。亦即，閥1在通常狀態(未供應驅動流體的狀態)為關閉狀態。
並且，在驅動流體從未圖示的驅動流體供應源朝著閥1流動的狀態。藉此，朝著閥1供應驅動流體。驅動流體是透過未圖示的致動器及管接頭，通過流體導入路21c、流體流路25a及第1、2流體流出孔25b、25c，流入第1、2壓力室P1、P2。藉此，第1、2活塞23、24抵抗壓縮螺旋彈簧18的彈推力上升。其結果，支架17及心柱25移動至上死點而從主體11離開，藉隔膜14的彈性力及流體(氣體)的壓力使隔膜壓件16朝上側移動，第2流入路11g與流出路11h透過環狀溝槽11i連通，使閥1成為開啟狀態。
在閥1從開啟狀態至關閉狀態，切換未圖示的三通閥，使驅動流體進行從閥1的致動器20(第1、2壓力室P1、P2)排出至外部的流動。藉此，第1、2壓力室P1、P2內的驅動流體透過第1、2流體流入孔25b、25c、流體流路25a及流體導入路21c，排出至外部。藉此，支架17及心柱25藉著壓縮螺旋彈簧18的彈推力移動至下死點，使閥1成為關閉狀態。
第1流入路11f是透過環狀溝槽11i，經常地與流出路11h連通。例如，閥1成關閉狀態，使得流體(氣體)從未圖示的流體供應源朝第1流入路11f流動的狀態。藉此，朝閥1供應流體(氣體)，流入第1流入路11f之流入口11j的流體(氣體)在分支部11L分支，透過2個流出口11k，流至環狀溝槽11i而從流出路11h流出。供應第1流入路11f的流體(氣體)也可與供應第2流入路11g的流體(氣體)不同，也可以相同。
根據以上說明之本實施形態的閥1，第1流入路11f具有一個流入口11j與複數個流出口11k所成的複數流路，各流出口11k是在環狀溝槽11i開口。藉相關的構成，可增大閥1之初級側的流路剖面積，因此可增加流動於閥1之流體(氣體)的流量。藉此，可提供具備可實現大流量之主體11的閥1。
主體11是位在流入口11j與環狀溝槽11i的中心軸C之間，具有將第1流入路11f分支成複數流路的分支部11L。因此，流入第1流入路11f的流體不紊亂地流入環狀溝槽11i。藉此，可增加流動於閥1之流體(氣體)的流量。
第1流入路11f的流入口11j及第2流入路11g的流入口是在主體11的同一面(第3面11C)開口，各流入口的直徑彼此不同。例如，第1流入路11f的流入口11j的直徑即使比第2流入路11g的流入口的直徑小的場合，由於第1流入路11f如上述所構成，因此可以使閥1之初極側的流路剖面積較大，而可增加流動於閥1之流體(氣體)的流量。
第1流入路11f是使其剖面積從流入口11j隨著朝環狀溝槽11k增加，因此可以使閥1之初極側的流路剖面積較大，而可增加流動於閥1之流體(氣體)的流量。
並且，本說明不限於上述的實施例。該業者可根據本說明的範圍內，進行種種的追加或變更等。
如圖3表示，第1流入路11f的流入口11j、第2流入路11g的一端及流出路11h的另一端是構成在第2面11B開口。並且，第1流入路11f是如圖3表示，構成相對於環狀溝槽11i的中心軸傾斜即可。
上述實施形態的第1流入路11f是如圖2表示，平面顯示為分支成2條流路，但也可側面顯示為分支成2條流路。並且，第1流入路11f不限於平面顯示及側面顯示，只要分支成複數的流路即可。分支部11L的形狀，不限於上述實施形態的形狀，只要不使流體的流動紊亂則可以是任意的形狀。
1:閥 11:主體 11B:第2面 11C:第3面 11e:閥室 11f:第1流入路 11g:第2流入路 11h:流出路 11i:環狀溝槽 11j:流入口 11k:流出口 11L:分支部 12:座部 14:隔膜
[圖1]是實施形態處於開啟狀態的閥的剖面圖。 [圖2]是沿著圖1之II-II線的主體的剖面圖。 [圖3]為變形例之相關主體的剖面圖。
11:主體
11C:第3面
11D:第4面
11f:第1流入路
11g:第2流入路
11h:流出路
11i:環狀溝槽
11j:流入口
11k:流出口
11L:分支部
C:中心軸

Claims (5)

  1. 一種閥，具備：主體，形成有閥室、第1流入路、第2流入路、流出路及環狀溝槽，設置有閥座，及隔膜，藉著抵接於上述閥座及從上述閥座分離，連通及阻斷上述第2流入路與上述流出路，上述第2流入路的端部是在上述閥室開口，上述閥座是設置在上述閥室與上述第2流入路連通之處的周緣，上述環狀溝槽是在上述閥室開口，形成於上述第2流入路的周圍，上述流出路的端部是在上述環狀溝槽開口，上述第1流入路具有由一個流入口與複數個流出口所構成的複數流路，各流出口是在上述環狀溝槽開口。
  2. 如請求項1記載的閥，其中，上述主體具有位在上述流入口與上述環狀溝槽的中心軸之間，將上述第1流入路分支成複數流路的分支部。
  3. 如請求項1或請求項2記載的閥，其中，上述第1流入路的流入口及上述第2流入路的流入口是在上述主體的同一面開口，各流入口的直徑彼此不同。
  4. 如請求項1或請求項2記載的閥，其中，上述第1流入路使其剖面積從上述流入口隨著朝上述環狀溝槽增加。
  5. 如請求項3記載的閥，其中，上述第1流 入路使其剖面積從上述流入口隨著朝上述環狀溝槽增加。
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