TWI749105B - 卡盤 - Google Patents

Abstract

提供一種能夠有效地防止切屑等塵埃侵入，且可以保持長期穩定運作的卡盤。

根據本發明，提供一種卡盤，其正面具有多個朝徑向滑動支承工件的卡爪，該卡盤包括卡盤主體、中心蓋、防塵罩。

所述卡盤主體在其正面包含多個滑槽；所述滑槽從所述卡盤主體中央部向徑向外側延伸，使每個所述卡爪嵌合為可滑動的；所述中心蓋，以遮蓋所述卡盤主體正面中央部的方式，安裝在所述卡盤主體上，所述防塵罩，以遮蓋所述滑槽，被安裝在每個所述卡爪的中央側的端部上，且被構成為在所述卡盤主體的正面上滑動的方式；在每個所述卡爪支承工件的支承位置處，所述防塵罩的突出端部被構成為進入到所述中心蓋周緣部的裡側的方式。

Description

卡盤

本發明涉及一種用於機床的卡盤的防塵結構，該卡盤是用來支承被加工的工件的。

通常，為了支承製造物(工件)，在卡盤的正面上呈放射狀地配置有徑向滑動的多個卡爪。所述卡爪主要由設置在卡盤主體上徑向滑動的主卡爪、以及可拆卸地安裝在主卡爪上的用於支承工件的頂卡爪構成。

當主卡爪處於徑向外側時，主卡爪向徑向內側滑動所需的空間會在卡盤主體的中央部分產生縫隙。如果由加工工件產生的諸如切屑等細小異物(塵埃)進入到這個縫隙的話，會引起卡爪的運作故障。

於是，在發明專利文獻1所涉及的卡盤上，於主體的正面中央部分安裝有遮蓋這些縫隙的蓋16。其中，蓋16的邊緣部分進入到頂卡爪的中央側的端部的下方，且頂卡爪中心側的端部沿著蓋16的上 表面滑動。

【現有技術文獻】

【專利文獻】

【專利文獻1】發明專利文獻第4913055號公報(國際公開號：WO2007/018166)

當對工件進行加工時，特別是對工件的內部進行加工時，由於切屑會飛濺到卡盤的正面，以至於附著堆積在頂卡爪周圍。通常，由於卡盤在加工工件時向規定的方向旋轉，因此在頂卡爪周圍，特別是面臨旋轉方向的一側，也會容易堆積切屑。

因此，如發明專利文獻1中的卡盤一樣即使是用蓋將縫隙遮蓋起來，在加工工件時，由於在向支承工件的卡爪中央側具有較強的力的作用，因此頂卡爪的中央側由蓋向上翹起從而容易形成縫隙。當形成縫隙後，切屑會從這個縫隙進入到卡盤內部。

而且，頂卡爪中央側的端部在蓋上滑動。因此，從縫隙侵入的切屑會隨著所述滑動而擦動。隨之進入到主卡爪的工作區域，以至於引 起卡爪的運作故障。

由此，本發明的目的在於，提供一種能夠有效地防止諸如切屑等塵埃的侵入，並且能夠長期地保持穩定運轉的卡盤。

根據本發明，提供一種卡盤，其在正面具有徑向滑動支承工件的多個卡爪，該卡盤包括卡盤主體、中心蓋、以及防塵罩；其中，所述卡盤主體，在其正面上包括多個滑槽；所述滑槽從所述卡盤主體中央部沿徑向向外側延伸，使每個所述卡爪以可滑動的方式嵌合；所述中心蓋，以遮蓋所述卡盤主體正面中央部的方式，安裝在該卡盤主體上；所述防塵罩，以遮蓋所述滑槽的方式，安裝在每個所述卡爪的中央側的端部上，且構成為沿著所述卡盤主體的正面滑動；在每個所述卡爪支承工件的支承位置上，構成為所述防塵罩的突出端部進入到所述中心蓋周緣部的裡側。

根據這種卡盤，即使是在加工工件時切屑飛濺，由於各個滑槽中央側的縫隙是被防塵罩所遮蓋著的，因此能夠防止向縫隙侵入切屑。此外，由於防塵罩的突出端部是構成為進入到中心蓋周緣部的裡側的，因此能夠抑制諸如切屑在防塵罩突出端部上的附著、以及切屑進入到中心蓋裡側的情況。甚至，即使是將卡爪中央側的端部提起，在防塵罩突出端部與卡盤主體正面之間形成縫隙，也能夠抑制切屑進入到這 個縫隙中的情況的發生。因此，可以使卡盤在很長一段時間內保持穩定的運轉。

以下，將舉例說明本發明的各種實施方式。需要說明的是，以下示出的實施方式可以互相組合。

優選，在每個所述卡爪進行滑動移位的全部位置上，構成為防塵罩的突出端部進入到所述中心蓋周緣部的背面。

優選，所述卡盤主體還包括流體供給通道、以及噴出通道；其中，所述流體供給通道是將向所述中心蓋的下方供給流體；所述噴出通道與所述流體供給通道連通，並且向所述中心蓋周緣部的裡側的開口，並構成為能夠從所述中心蓋周緣部的裡側朝向外側噴出流體。

優選，還包括尖的傾斜面、以及逆傾斜面；其中，所述傾斜面，在所述防塵罩突出端部，被設置為朝向突出端的方向上表面逐漸靠近所述卡盤主體的方式；所述逆傾斜面，在所述中心蓋周緣部的裡側，設置為隨著朝向周緣逐漸遠離所述卡盤主體，且構成為能夠通過所述傾斜面的表面與所述逆傾斜面之間的縫隙噴出流體。

優選，所述噴出通道具有至少一個導出通道；其中，所述導出通道是在所述卡盤主體的中央部與所述流體供給通道連通，且朝向所述卡爪向徑向外側延伸。當從正面看所述卡盤時，所述導出通道相對於所述卡爪的中心線，是朝向所述卡盤旋轉方向的前方以規定的角度傾斜延伸的。

優選，所述防塵罩的突出端部被按壓在所述卡盤主體的正面。

優選，所述防塵罩具有突出部；其中，所述突出部是從所述卡爪中央側的端部向側面突出的，其表面位於所述卡盤旋轉方向的前方，且包括一傾斜面；所述傾斜面構成為，隨著朝向突出端逐漸靠近所述卡盤主體。

1:卡盤

1a:卡盤主體

10:卡爪

11:主卡爪

12:頂卡爪

12a:平坦支承面

20:主體

21:安裝螺栓

24:滑槽

24a:縫隙

30:柱塞

40:連結體

50:轉接件

60:中心蓋

70:防塵罩

80:噴嘴

90:噴出通道

100:機床

圖1是從斜前方觀察本實施方式的卡盤正面的示意斜視圖。

圖2是從正面觀察本實施方式的卡盤的示意圖。

圖3是沿著圖2中的線X-X的示意剖面圖。

圖4對應圖3具有不同卡爪位置的示意圖。

圖5A是表示防塵罩的示意斜視圖。

圖5B是沿著圖5A的線Y-Y的示意剖面圖。

圖6是表示放大圖2的主要部分的示意圖。圖示了切屑清除機構等。

圖7是沿著圖6中的線Z-Z的示意剖面圖。

圖8是對應圖3的一個變形例的卡盤的示意圖。

以下，結合附圖對本發明的實施方式進行詳細說明。

<卡盤1的結構>

圖1~圖3所表示的是本實施方式的卡盤1。其中，圖1是從斜前方觀察卡盤1正面的示意斜視圖。圖2是從正面觀察卡盤1的示意圖。圖3是沿著圖2中的線X-X剖面的朝向箭頭觀察的剖面圖。所述卡盤1安裝在機床100上，當加工工件時，該卡盤1以旋轉軸J為中心朝向規定方向旋轉。在本實施方式中，從正面觀察卡盤1，其是朝向逆時針的方向進行旋轉的。

如圖1等所示，卡盤1具有厚度大的圓盤狀外觀的卡盤主體1a，在卡盤主體1a的正面上，等間隔地設置有多個(也可以是2個以上，在本實施方式中為3個)用於支承工件的卡爪10，其中，該卡爪10是沿徑向呈放射狀佈置的。每個卡爪10構成為，當從正面觀察卡盤1時，其在徑向上延伸的中心線T通過卡盤主體1a的中心。

每個卡爪10由在卡盤主體1a被設置為能夠在徑向上滑動的主卡爪11、以及通過螺栓13可拆卸地安裝在主卡爪11上的頂卡爪12構成。頂卡爪12可以根據用途具有各種不同的形狀，但在本實施方式中，是形成為長方體形狀的，並且以其長度方向與卡盤主體1a徑向一致的方式安裝在主卡爪11上。

在每個頂卡爪12中央側的端面上形成用於支承工件的平坦支承 面12a。通過每個卡爪10在徑向上向內側滑動，每個支承面12a與位於卡盤主體1a正面的中央部以旋轉軸J為中心的工件相接觸，從而形成工件被3個頂卡爪12夾持地支承。在每個卡爪10中央側的端部上還安裝有防塵罩70，對此將在後面說明。

如圖3所示，卡盤主體1a除了含有主卡爪11以外，還包括主體20、柱塞30、連結體40，轉接件50以及中心蓋60等。

主體20由具有厚度大的圓盤狀外觀的金屬構件構成，並且通過多個安裝螺栓21固定在機床100上。在主體20背面中央部形成有大直徑圓筒狀凹部22，在主體20正面中央部形成有與凹部22連通的圓筒狀的圓形開口23。主体20正面是與旋轉軸J正交的平坦表面。

在凹部22正面的一側的中央部，以閉合圓形開口23的方式，通過螺栓51將圓柱狀的轉接件50安裝在主體20上。在卡盤主體1a正面的中央部，以遮蓋圓形開口23的方式，通過螺栓61將中心蓋60安裝在轉接件50上。有關於中心蓋60和轉接件50的內容將在後面進行說明。

在主體20的正面上等間隔地形成有3個滑槽24，該滑槽24是從位於中央部的圓形開口23的周圍處朝徑向外側的方向上呈放射 狀地延伸的，並且在這些滑槽24的每一個中安裝有主卡爪11。

主卡爪11是由大致長方形的構件而構成的，具有與滑槽24的寬度大致相同的寬度、以及比滑槽24短的徑向長度，並且以在徑向上能夠滑動的狀態安裝在滑槽24中。在主卡爪11中央側的端部的下方形成有卡合部11a。

柱塞30為大致圓筒狀的構件，在與每個滑槽24對應的3處形成有被卡合部31。柱塞30以每個主卡爪11的卡合部11a卡合在這些被卡合部31的狀態收容在凹部22中。

連結體40由圓筒狀的構件構成，通過螺栓41與柱塞30一體地固定。柱塞30和連結體40，以沿著旋轉軸J可以滑動的狀態，收容在凹部22中。通過將連結體40連接到機床100上，從而能夠由機床100來控制柱塞30和連結體40滑動。

通過柱塞30和連結體40進行滑動，使每個卡爪10朝徑向滑動移位。即，每個卡爪10可以在，如圖3所示的每個卡爪10朝向徑向內側滑動後的位置(圖3表示的是朝向徑向內側移位後的位置的最內位置)和如圖4所示的每個卡爪10朝向徑向外側滑動後的不支援工件的待機位置(朝向徑向外側移位後的最外位置)之間進行移位。

應當指出，每個卡爪10支承工件的位置根據工件、頂卡爪12的形狀、以及支承方式的不同而不同。此外，工件根據其加工專案的不同，有使用每個卡爪10從外側支承的情況，也有從內側支承的情況。

<防塵結構>

在每個滑槽24的中央側設置有固定的縫隙24a，得以當卡爪10移位為最內位置時，主卡爪11與主體20和轉接件50不接觸。當主卡爪11朝向徑向外側滑動後，由於在滑槽24中央側形成了用於主卡爪11朝徑向內側滑動所需的空間，因此，加上所該空間後縫隙24a會進一步擴大。

如果加工工件時產生的切屑等塵埃(以下，使用切屑進行說明)侵入到這個縫隙24a中，則該切屑會進入到主卡爪11的工作區域，從而引起主卡爪11的運作故障。因此，在這個卡盤1上，有必要採取措施使其能夠有效地防止切屑進入到該縫隙24a，從而使其能夠保持長期穩定的。

作為第1措施，有將防塵罩70和中心蓋60安裝在卡盤1上的方法。具體而言，在每個主卡爪11中央側的端部上安裝有遮蓋滑槽24的縫隙24a的防塵罩70，並且在卡盤主體1a正面中央處安裝有中心蓋60。

在圖5A和圖5B中表示了防塵罩70。防塵罩70是由使用了彈簧鋼材而形成的長方形板狀構件構成的。防塵罩70是由固定部71、傾斜面72、以及突出部73等構成的。固定部71指的是防塵罩70的固定在主卡爪11上的部分，被設置在防塵罩70一側的長邊的中央部的位置上。在固定部71上設置有一對兒螺孔71a、71a，其是用來插入被螺合固定在主卡爪11上的螺絲的。

傾斜面72設置在防塵罩70的另一側的長邊上。傾斜面72指的是，當被安裝到主卡爪11上時的，主卡爪11的突出端部，也就是說，是從主卡爪11中央側的端部向內側突出的部分。傾斜面72的表面是隨著朝向突出端靠近卡盤主體1a的傾斜面，其中，傾斜面72的突出端是細尖的。

突出部73設置在防塵罩70的兩個短邊上。當突出部73被安裝在主卡爪11上時，是從主卡爪11中央側的端部向一側橫向突出的部分。在突出部73的表面上設置有，隨著朝向突出端的方向向卡盤主體1a靠近的傾斜面，其中，突出部73的突出端是細尖的。

應當指出，傾斜面可以是僅僅形成在位於卡盤1旋轉方向的前方的突出部73的表面上，但如果是形成在防塵罩70的兩側的話，則可以適用於卡盤1朝向任意旋轉方向進行旋轉的情況，從而泛用性優 異。

防塵罩70的內面形成為平坦的，得以能夠沿著主體20正面滑動而沒有任何間隙。在隔著防塵罩70內面上的螺孔71a且在與突出端部相反的一側(基端部)設置有沿著邊緣部分延伸的細長的微小凸部74。因此，當將防塵罩70安裝在主卡爪11上時，通過微小凸部74使防塵罩70的基端部向上抬起並被突出端部向下按壓，從而使突出端部處於被按壓在卡盤主體1a正面的狀態。其結果是，防塵罩70突出端部始終可以無間隙地與主體20正面緊密接觸，得以能夠阻止切屑進入。

特別是，在對卡爪10支承的工件進行加工時，在卡爪10中央側的端部上施以強力從而具有被向上抬起的傾向，然而即使是在這樣的情況下，也能夠防止在防塵罩70與主體20正面之間形成縫隙。

如圖6和圖7所示，中心蓋60具有與圓形開口23嵌合的圓柱狀的嵌合部62、以及從嵌合部62的一端向外突出很多的凸緣狀的蓋部63。所述蓋部63形成為大致三角形的形狀，其中角部形成為當從正面看時的弧形形狀，並且被配置成每個邊分別面對每個卡爪10的方式。蓋部63的每個邊的大小被形成為與防塵罩70的寬度(長邊的一側)大致相同的大小。

主體20正面與蓋部63內面是間隔微小的縫隙(構成後面將描述的橫向環形通道95)彼此相對的。在蓋部63周緣部的裡側上設置有，沿著朝向周緣的方向從主體20的正面離開的逆傾斜面63a。該逆傾斜面63a形成為與防塵罩的70傾斜面72的傾斜面呈大致平行。通過這樣的構成，就不存在切屑容易堆積的角落，因此即使是切屑附著也難以堆積。在噴出流體的情況下(稍後說明)，能夠利用流體將切屑不留痕跡地除去。

然後，每個防塵罩70突出端部進入到中心蓋60周緣部的裡側(從正面看的話，中心蓋60與防塵罩70是上下重疊的)。特別是，在這個卡盤1中，在每個卡爪10滑動移位的所有位置(從最內位置到最外位置)上，防塵罩70的突出端部進入到中心蓋60周緣部的裡側。

在加工工件時產生的切屑，其主要產生在卡盤1正面的中央部上方並且會發生飛散。由於防塵罩70是遮蓋在每個滑槽24中央側的縫隙24a及其周圍的，從而可以防止切屑向縫隙24a的侵入。

由於防塵罩70的突出端部是進入到中心蓋60周緣部的裡側的，因此可以抑制切屑附著在防塵罩70的突出端部上、以及切屑進入到中心蓋60的裡側。即使是卡爪10中央側的端部被抬起，在防塵罩70突出端部與主體20正面之間形成縫隙，也可以抑制切屑進入到 縫隙中。特別是，防塵罩70突出端部通常是進入到中心蓋60的裡側處於垂直地重疊的狀態的，因此不僅是在加工工件時，即使是在不對工件進行加工的時候，也能夠抑制切屑等塵埃侵入到卡盤1內部。

更進一步地，作為第2種措施，為了能夠使附著在每個卡爪10周圍的切屑被吹走，可以構成為從中心蓋60周緣部的裡側向外側噴出冷卻液(流體的一個例子)的方式。通過這種方式，不僅可以抑制切屑等塵埃進入到卡盤1內部，還可以更進一步地將切屑容易附著並發生堆積的每個卡爪的周圍、以及從卡盤主體1a正面對切屑進行去除，因此可以更有效地抑制塵埃向卡盤1內部的侵入。即使是切屑等塵埃進入到中心蓋60裡側，也能夠被噴出的流體排出。

具體而言，如圖3、圖6、圖7所示，在卡盤1上設置有噴射機構，在加工工件時，該噴射機構能夠朝向工件噴射冷卻液。也就是說，穿過轉接件50的中央部形成有向中心蓋60下方供給冷卻液的主通道81(流體供給通道)。在這個主通道81上連接管道101，從而能夠從機床100供給高壓冷卻液。

在中心蓋60的表面中央處設置有具有3個噴射口80a的噴嘴80。其中，每個噴射口80a是以在圓周方向上等間隔地配置的。在嵌合部62中央部形成有與主通道81連通的副通道82(流體供給通道)，該副通道82通過傾斜延伸的3個噴射通道83與噴射口 80a連通。因此，供給到主通道81的高壓冷卻液經過副通道82和噴射通道83後，從3個噴射口80a朝向工件擴散的方式被噴射。在這種情況下，即使是切屑等塵埃進入到中心蓋60裡側，也不存在塵埃滯留的地方，使得能夠通過噴出的流體，將塵埃毫無殘留地順利地被排出。

在卡盤1中，通過利用供給這種噴射機構的冷卻液的通道，構成切屑清除機構。也就是說，在卡盤主體1a形成噴出通道90，該噴出通道90是與副通道82相連通且朝向中心蓋60周緣部的裡側開口的。

具體而言，從位於卡盤主體1a中央部的副通道82分支，且朝向每個卡爪10向徑向外側延伸的3個導出通道91形成於嵌合部62。

在與蓋部63連接的嵌合部62的外周上，設置有直徑略小於圓形開口23的階梯部62a，通過該階梯部62a與構成圓形開口23的轉接件50的內周面之間的縫隙，形成有與這些導出通道91相連接的環狀通道(縱向環形通道92)。在中心蓋60與轉接件50之間、以及嵌合部62與轉接件50之間，安裝有防止冷卻液洩漏的O形環93、94。

縱向環形通道92是與主體20正面和蓋部63內面之間的微小的縫隙(橫向環形通道95)相連通的，並且由導出通道91、縱向環形通道92和橫向環形通道95引導，在整個圓周上形成用來噴出冷卻液的噴出通道90。因此，當加工工件時，冷卻液從噴嘴80噴射的同時，從中心蓋60背面朝向徑向外側也可以噴出冷卻液。其結果是，即使是在每個卡爪10的周圍附著切屑，也能夠被冷卻液吹走，從而能夠從每個卡爪10周圍去除切屑。

即使是切屑進入到中心蓋60的裡側，也能夠通過冷卻液除去，因此可以有效地防止切屑進入到卡盤1內部的發生。另外，由於冷卻液是從傾斜面72的表面與逆傾斜面63a間的縫隙噴出的，所以冷卻液能夠被順暢地噴出，即使是存在已經侵入的切屑，也不會被卡住能夠容易且可靠地被排出。

更進一步地，縱向環形通道92與橫向環形通道95的通道橫截面寬度w1、w2形成為比主通道81和副通道82的通道的直徑小的，聚集冷卻液流出量以使冷卻液能夠更強地被噴出。

每個導出通道91設置為，在從正面看卡盤1的情況下，相對於卡爪10中心線T以規定的角度θ朝向在卡盤1旋轉方向的前方傾斜的方向上延伸的方式。

即，在對工件進行加工產生的切屑會附著在卡盤1中，特別是容易附著在每個卡爪10中央側的端部的旋轉方向上的前方的部分。因此，在這個卡盤1上，由每個導出通道91排出的冷卻液的流出方向被設置為朝向這個部分。通過這樣的方式，噴勢強勁的冷卻液能夠噴射這個部分，從而能夠更有效地從每個卡爪10的周圍去除切屑。

此外，由於防塵罩70的傾斜突出部73是位於容易附著切屑的部分，因此能夠容易且可靠地清除切屑。

(變形例)

可以應用於本發明的卡盤並不限於上述實施方式的卡盤1。例如，也可以使用諸如在卡盤主體1a中央部具有直接連接在每個滑槽24上的具有較大圓筒狀開口的類型的卡盤。

在圖8中表示了一個例子。其基本結構與實施方式中的卡盤1相同，因此對於相同構件的使用相同的符號，並且此處省略其說明。在這個卡盤1’上，主要是轉接件50的形狀不同，轉接件50，以堵住開口的方式，用螺絲N安裝在主體20的正面。中心蓋60不是安裝在主體20上而是被安裝在轉接件50上，此外，每個防塵罩70的突出端部被構成為在轉接件50的正面滑動，而不是在主體20的正面。

由於該卡盤1’可以得到與上述卡盤1相同的作用效果，所以能夠有效地防止切屑侵入，並且可以保持長期穩定的運轉。

應當指出，本發明所涉及的卡盤並不限定於上述實施方式，還包含其他各種構件。

例如，上述防塵罩70、中心蓋60、轉接件50等的形狀僅僅是一個例子，其形狀也可以是在確保所希望的作用及效果能夠被得到的範圍內，根據規格進行適宜地變更。同時，傾斜面72的傾斜面和逆傾斜面63a的角度也可以不是大致平行的。此外，還可以根據切屑的種類以及飛散的情況，將傾斜面72傾斜面與逆傾斜面63a間的縫隙形成為朝向外周側逐漸變窄，或者也可以是逐漸變寬的。

在至少能夠支承工件的支承位置上，只要是防塵罩70的突出端部進入到中心蓋60周緣部的裡側即可；在不對工件進行支承的待機位置上，防塵罩70的突出端也可以位於中心蓋60的外側。

以上，對本發明的實施方式及其變形例進行了說明，上述說明僅僅是作為示例而被列舉的，並不旨於限定本發明的範圍。以上所述實施方式也可以是以其他的各種方式的形式而被實施的，並且，只要是在不脫離本發明宗旨的範圍下，可以對其進行各種省略、替換和改變。應當指出，上述實施方式及其變形例均被包含在本發明的範圍和主旨 內，並且同時被包含在請求項書及其同等範圍中。

1‧‧‧卡盤

1a‧‧‧卡盤主體

10‧‧‧卡爪

11‧‧‧主卡爪

12‧‧‧頂卡爪

12a‧‧‧平坦支承面

24‧‧‧滑槽

21‧‧‧安裝螺栓

60‧‧‧中心蓋

70‧‧‧防塵罩

80‧‧‧噴嘴

100‧‧‧機床

Claims (7)

1. 一種卡盤，在其正面具有多個徑向滑動並支承工件的卡爪，該卡盤包括卡盤主體、中心蓋、以及防塵罩，其中，所述卡爪具有主卡爪，所述主卡爪構成為頂卡爪可拆卸地安裝在所述主卡爪的正面；所述卡盤主體包括其正面上的多個滑槽；所述滑槽從所述卡盤主體的中央部向徑向外側延伸，使每個所述卡爪以可滑動的方式嵌合；所述中心蓋以遮蓋所述卡盤主體的正面中央部的方式，安裝在所述卡盤主體上；所述防塵罩以遮蓋所述滑槽的方式，安裝在每個所述卡爪中央側的端部上，且被構成為在所述卡盤主體的正面上滑動；所述防塵罩固定在所述主卡爪；在每個所述卡爪支承工件的支承位置上，構成為所述防塵罩突出端部進入到所述中心蓋周緣部的裡側，其中，所述防塵罩包含尖的傾斜面，所述傾斜面，在所述防塵罩突出端部上，設置為隨著朝向突出端其表面靠近所述卡盤主體，所述中心蓋包含逆傾斜面，所述傾斜面與所述逆傾斜面之間形成縫隙，所述逆傾斜面，在所述中心蓋周緣部的裡側，設置為隨著朝向邊緣而遠離所述卡盤主體。
2. 根據請求項1所述的卡盤，其中，在每個所述卡爪滑動移位的全部位置，構成為防塵罩的突出端部進入到所述中心蓋周緣部的裡側。
3. 一種卡盤，在其正面具有多個徑向滑動並支承工件的卡爪，該卡盤包括卡盤主體、中心蓋、以及防塵罩，其中，所述卡爪具有主卡爪，所述主卡爪構成為頂卡爪可拆卸地安裝在所述主卡爪的正面；所述卡盤主體包括其正面上的多個滑槽；所述滑槽從所述卡盤主體的中央部向徑向外側延伸，使每個所述卡爪以可滑動的方式嵌合；所述中心蓋以遮蓋所述卡盤主體的正面中央部的方式，安裝在所述卡盤主體上；所述防塵罩以遮蓋所述滑槽的方式，安裝在每個所述卡爪中央側的端部上，且被構成為在所述卡盤主體的正面上滑動；所述防塵罩固定在所述主卡爪；在每個所述卡爪支承工件的支承位置上，構成為所述防塵罩突出端部進入到所述中心蓋周緣部的裡側，其中，所述卡盤主體還包括流體供給通道及噴出通道，所述流體供給通道向所述中心蓋的下方供給流體，所述噴出通道與所述流體供給通道相連通，並且朝向所述中心蓋周緣部的裡側，並且，構成為能夠從所述中心蓋周緣部裡側向外部噴出流體。
4. 根據請求項3所述的卡盤，還包含尖的傾斜面和逆傾斜面；其中，所述傾斜面，在所述防塵罩突出端部上，設置為隨著朝向突出端其表面靠近所述卡盤主體，所述逆傾斜面，在所述中心蓋周緣部的裡側，設置為隨著朝向邊緣逐漸遠離所述卡盤主體，並且，構成為能夠通過所述傾斜面的表面與所述逆傾斜面之間的縫隙噴出流體。
5. 根據請求項3或請求項4中所述的卡盤，其中，所述噴出通道具有至少一個導出通道，所述導出通道在所述卡盤主體的中央部與所述流體供給通道連通且朝向所述卡爪沿徑向向外延伸，從正面看所述卡盤時，所述導出通道構成為相對於所述卡爪的中心線，向所述卡盤旋轉方向的前方以規定的角度傾斜地延伸。
6. 根據請求項1至請求項3中的任意一項所述的卡盤，其中，所述防塵罩的突出端部按壓於所述卡盤主體的正面。
7. 一種卡盤，在其正面具有多個徑向滑動並支承工件的卡爪，該卡盤包括卡盤主體、中心蓋、以及防塵罩，其中，所述卡爪具有主卡爪，所述主卡爪構成為頂卡爪可拆卸地安裝在所述主卡爪的正面；所述卡盤主體包括其正面上的多個滑槽；所述滑槽從所述卡盤主體的中央部向徑向外側延伸，使每個所述卡爪以可滑動的方式嵌合；所述中心蓋以遮蓋所述卡盤主體的正面中央部的方式，安裝在所述卡盤主體上；所述防塵罩以遮蓋所述滑槽的方式，安裝在每個所述卡爪中央側的端部上，且被構成為在所述卡盤主體的正面上滑動；所述防塵罩固定在所述主卡爪；在每個所述卡爪支承工件的支承位置上，構成為所述防塵罩突出端部進入到所述中心蓋周緣部的裡側，其中，所述防塵罩具有突出部，所述突出部從所述卡爪中央側的端部向側方突出，該突出部的表面位於所述卡盤旋轉方向的前方且包括傾斜面，所述傾斜面構成為隨著朝向突出端逐漸靠近所述卡盤主體。

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