CN109789492B - 卡盘 - Google Patents

Abstract

提供一种能够有效地防止切屑等尘埃侵入，且可以保持长期稳定运作的卡盘。根据本发明，提供一种卡盘，其正面具有朝径向滑动支承工件的多个卡爪，该卡盘包括卡盘主体、中心盖、防尘罩，所述卡盘主体在其正面包含多个滑槽；所述滑槽从所述卡盘主体中央部向径向外侧延伸，使每个所述卡爪嵌合为可滑动的；所述中心盖，以遮盖所述卡盘主体正面中央部的方式，安装在所述卡盘主体上，所述防尘罩，以遮盖所述滑槽，被安装在每个所述卡爪的中央侧的端部上，且被构成为在所述卡盘主体的正面上滑动的方式；在每个所述卡爪支承工件的支承位置处，所述防尘罩的突出端部被构成为进入到所述中心盖周缘部的里侧的方式。

Description

卡盘

【技术领域】

本发明涉及一种用于机床的卡盘的防尘结构，该卡盘是用来支承被加工的工件的。

【背景技术】

通常，为了支承制造物(工件)，在卡盘的正面上呈放射状地配置有径向滑动的多个卡爪。所述卡爪主要由设置在卡盘主体上径向滑动的主卡爪、以及可拆卸地安装在主卡爪上的用于支承工件的顶卡爪构成。

当主卡爪处于径向外侧时，主卡爪向径向内侧滑动所需的空间会在卡盘主体的中央部分产生缝隙。如果由加工工件产生的诸如切屑等细小异物(尘埃)进入到这个缝隙的话，会引起卡爪的运作故障。

于是，在发明专利文件1所涉及的卡盘上，于主体的正面中央部分安装有遮盖这些缝隙的盖16。其中，盖16的边缘部分进入到顶卡爪的中央侧的端部的下方，且顶卡爪中心侧的端部沿着盖16的上表面滑动。

【现有技术文献】

【专利文件】

专利文件1：日本专利第4913055号公报(国际公开号：WO2007/018166)

【发明内容】

【发明所要解决的课题】

当对工件进行加工时，特别是对工件的内部进行加工时，由于切屑会飞溅到卡盘的正面，以至于附着堆积在顶卡爪周围。通常，由于卡盘在加工工件时向规定的方向旋转，因此在顶卡爪周围，特别是面临旋转方向的一侧，也会容易堆积切屑。

因此，如发明专利文件1中的卡盘一样即使是用盖将缝隙遮盖起来，在加工工件时，由于在向支承工件的卡爪中央侧具有较强的力的作用，因此顶卡爪的中央侧由盖向上翘起从而容易形成缝隙。当形成缝隙后，切屑会从这个缝隙进入到卡盘内部。

而且，顶卡爪中央侧的端部在盖上滑动。因此，从缝隙侵入的切屑会随着所述滑动而擦动。随之进入到主卡爪的工作区域，以至于引起卡爪的运作故障。

由此，本发明的目的在于，提供一种能够有效地防止诸如切屑等尘埃的侵入，并且能够长期地保持稳定运转的卡盘。

【为了解决课题的手段】

根据本发明，提供一种卡盘，其在正面具有径向滑动支承工件的多个卡爪，该卡盘包括卡盘主体、中心盖、以及防尘罩；其特征在于，

所述卡盘主体，在其正面上包括多个滑槽；所述滑槽从所述卡盘主体中央部沿径向向外侧延伸，使每个所述卡爪以可滑动的方式嵌合；所述中心盖，以遮盖所述卡盘主体正面中央部的方式，安装在该卡盘主体上；所述防尘罩，以遮盖所述滑槽的方式，安装在每个所述卡爪的中央侧的端部上，且构成为沿着所述卡盘主体的正面滑动；在每个所述卡爪支承工件的支承位置上，构成为所述防尘罩的突出端部进入到所述中心盖周缘部的里侧。

根据这种卡盘，即使是在加工工件时切屑飞溅，由于各个滑槽中央侧的缝隙是被防尘罩所遮盖着的，因此能够防止向缝隙侵入切屑。此外，由于防尘罩的突出端部是构成为进入到中心盖周缘部的里侧的，因此能够抑制诸如切屑在防尘罩突出端部上的附着、以及切屑进入到中心盖里侧的情况。甚至，即使是将卡爪中央侧的端部提起，在防尘罩突出端部与卡盘主体正面之间形成缝隙，也能够抑制切屑进入到这个缝隙中的情况的发生。因此，可以使卡盘在很长一段时间内保持稳定的运转。

以下，将举例说明本发明的各种实施方式。需要说明的是，以下示出的实施方式可以互相组合。

优选地，在每个所述卡爪进行滑动移位的全部位置上，构成为防尘罩的突出端部进入到所述中心盖周缘部的背面。

优选地，所述卡盘主体还包括流体供给通道、以及喷出通道；其中，所述流体供给通道是将向所述中心盖的下方供给流体；所述喷出通道与所述流体供给通道连通，并且向所述中心盖周缘部的里侧的开口，并构成为能够从所述中心盖周缘部的里侧朝向外侧喷出流体。

优选地，还包括尖的倾斜部、以及逆倾斜面；其中，所述倾斜部，在所述防尘罩突出端部，被设置为朝向突出端的方向上表面逐渐靠近所述卡盘主体的方式；所述逆倾斜面，在所述中心盖周缘部的里侧，设置为随着朝向周缘逐渐远离所述卡盘主体，且构成为能够通过所述倾斜部的表面与所述逆倾斜面之间的缝隙喷出流体。

优选地，所述喷出通道具有至少一个导出通道；其中，所述导出通道是在所述卡盘主体的中央部与所述流体供给通道连通，且朝向所述卡爪向径向外侧延伸。当从正面看所述卡盘时，所述导出通道相对于所述卡爪的中心线，是朝向所述卡盘旋转方向的前方以规定的角度倾斜延伸的。

优选地，所述防尘罩的突出端部被按压在所述卡盘主体的正面。

优选地，所述防尘罩具有突出部；其中，所述突出部是从所述卡爪中央侧的端部向侧面突出的，其表面位于所述卡盘旋转方向的前方，且包括一倾斜面；所述倾斜面构成为，随着朝向突出端逐渐靠近所述卡盘主体。

【附图说明】

图1是从斜前方观察本实施方式的卡盘正面的斜视图。

图2是从正面观察本实施方式的卡盘示意图。

图3是沿着图2中的线X－X截取的截面图。

图4对应图3具有不同卡爪位置的示意图。

图5A是表示防尘罩的斜视图。

图5B是沿着图5A的线Y－Y截取的截面图。

图6是表示图2的主要部分的放大图。图示了切屑清除机构等。

图7是沿着图6中的线Z－Z截取的截面图。

图8对应图3的一个变形例的卡盘的示意图。

【具体实施方式】

以下，结合附图对本发明的实施方式进行详细说明。

＜卡盘1的结构＞

图1～图3所表示的是本实施方式的卡盘1。其中，图1是从斜前方观察卡盘1正面的斜视图。图2是从正面观察卡盘1的示意图。图3是沿着图2中的线X－X截取的朝向箭头观察的截面图。所述卡盘1安装在机床100上，当加工工件时，该卡盘1以旋转轴J为中心朝向规定方向旋转。在本实施方式中，从正面观察卡盘1，其是朝向逆时针的方向进行旋转的。

如图1等所示，卡盘1具有厚度大的圆盘状外观的卡盘主体1a，在卡盘主体1a的正面上，等间隔地设置有多个(也可以是2个以上，在本实施方式中为3个)用于支承工件的卡爪10，其中，该卡爪10是沿径向呈放射状布置的。每个卡爪10构成为，当从正面观察卡盘1时，其在径向上延伸的中心线T通过卡盘主体1a的中心。

每个卡爪10由在卡盘主体1a被设置为能够在径向上滑动的主卡爪11、以及通过螺栓13可拆卸地安装在主卡爪11上的顶卡爪12构成。顶卡爪12可以根据用途具有各种不同的形状，但在本实施方式中，是形成为长方体形状的，并且以其长度方向与卡盘主体1a径向一致的方式安装在主卡爪11上。

在每个顶卡爪12中央侧的端面上形成用于支承工件的平坦支承面12a。通过每个卡爪10在径向上向内侧滑动，每个支承面12a与位于卡盘主体1a正面的中央部以旋转轴J为中心的工件相接触，从而形成工件被3个顶卡爪12夹持地支承。在每个卡爪10中央侧的端部上还安装有防尘罩70，对此将在后面说明。

如图3所示，卡盘主体1a除了含有主卡爪11以外，还包括主体20、柱塞30、连结体40，转接件50以及中心盖60等。

主体20由具有厚度大的圆盘状外观的金属构件构成，并且通过多个安装螺栓21固定在机床100上。在主体20背面中央部形成有大直径圆筒状凹部22，在主体20正面中央部形成有与凹部22连通的圆筒状的圆形开口23。主体20正面是与旋转轴J正交的平坦面。

在凹部22正面的一侧的中央部，以闭合圆形开口23的方式，通过螺栓51将圆柱状的转接件50安装在主体20上。在卡盘主体1a正面的中央部，以遮盖圆形开口23的方式，通过螺栓61将中心盖60安装在转接件50上。有关于中心盖60和转接件50的内容将在后面进行说明。

在主体20的正面上等间隔地形成有3个滑槽24，该滑槽24是从位于中央部的圆形开口23的周围处朝径向外侧的方向上呈放射状地延伸的，并且在这些滑槽24的每一个中安装有主卡爪11。

主卡爪11是由大致长方形的构件而构成的，具有与滑槽24的宽度大致相同的宽度、以及比滑槽24短的径向长度，并且以在径向上能够滑动的状态安装在滑槽24中。在主卡爪11中央侧的端部的下方形成有卡合部11a。

柱塞30为大致圆筒状的构件，在与每个滑槽24对应的3处形成有被卡合部31。柱塞30以每个主卡爪11的卡合部11a卡合在这些被卡合部31的状态收容在凹部22中。

连结体40由圆筒状的构件构成，通过螺栓41与柱塞30一体地固定。柱塞30和连结体40，以沿着旋转轴J可以滑动的状态，收容在凹部22中。通过将连结体40连接到机床100上，从而能够由机床100来控制柱塞30和连结体40滑动。

通过柱塞30和连结体40进行滑动，使每个卡爪10朝径向滑动移位。即，每个卡爪10可以在，如图3所示的每个卡爪10朝向径向内侧滑动后的位置(图3表示的是朝向径向内侧移位后的位置的最内位置)和如图4所示的每个卡爪10朝向径向外侧滑动后的不支持工件的待机位置(朝向径向外侧移位后的最外位置)之间进行移位。

应当指出，每个卡爪10支承工件的位置根据工件、顶卡爪12的形状、以及支承方式的不同而不同。此外，工件根据其加工项目的不同，有使用每个卡爪10从外侧支承的情况，也有从内侧支承的情况。

＜防尘结构＞

在每个滑槽24的中央侧设置有固定的缝隙24a，得以当卡爪10移位为最内位置时，主卡爪11与主体20和转接件50不接触。当主卡爪11朝向径向外侧滑动后，由于在滑槽24中央侧形成了用于主卡爪11朝径向内侧滑动所需的空间，因此，加上所该空间后缝隙24a会进一步扩大。

如果加工工件时产生的切屑等尘埃(以下，使用切屑进行说明)侵入到这个缝隙24a中，则该切屑会进入到主卡爪11的工作区域，从而引起主卡爪11的运作故障。因此，在这个卡盘1上，有必要采取措施使其能够有效地防止切屑进入到该缝隙24a，从而使其能够保持长期稳定的。

作为第1措施，有将防尘罩70和中心盖60安装在卡盘1上的方法。具体而言，在每个主卡爪11中央侧的端部上安装有遮盖滑槽24的缝隙24a的防尘罩70，并且在卡盘主体1a正面中央处安装有中心盖60。

在图5A和图5B中表示了防尘罩70。防尘罩70是由使用了弹簧钢材而形成的长方形板状构件构成的。防尘罩70是由固定部71、倾斜部72、以及突出部73等构成的。固定部71指的是固定在防尘罩70的主卡爪11上的部分，被设置在防尘罩70一侧的长边的中央部的位置上。在固定部71上设置有一对儿螺孔71a、71a，其是用来插入被螺合固定在主卡爪11上的螺丝的。

倾斜部72设置在防尘罩70的另一侧的长边上。倾斜部72指的是，当被安装到主卡爪11上时的，主卡爪11的突出端部，也就是说，是从主卡爪11中央侧的端部向内侧突出的部分。倾斜部72的表面是随着朝向突出端靠近卡盘主体1a的倾斜面，其中，倾斜部72的突出端是细尖的。

突出部73设置在防尘罩70的两个短边上。当突出部73被安装在主卡爪11上时，是从主卡爪11中央侧的端部向一侧横向突出的部分。在突出部73的表面上设置有，随着朝向突出端的方向向卡盘主体1a靠近的倾斜面，其中，突出部73的突出端是细尖的。

应当指出，倾斜面可以是仅仅形成在位于卡盘1旋转方向的前方的突出部73的表面上，但如果是形成在防尘罩70的两侧的话，则可以适用于卡盘1朝向任意旋转方向进行旋转的情况，从而泛用性优异。

防尘罩70的内面形成为平坦的，得以能够沿着主体20正面滑动而没有任何间隙。在隔着防尘罩70内面上的螺孔71a且在与突出端部相反的一侧(基端部)设置有沿着边缘部分延伸的细长的微小凸部74。因此，当将防尘罩70安装在主卡爪11上时，通过微小凸部74使防尘罩70的基端部向上抬起并被突出端部向下按压，从而使突出端部处于被按压在卡盘主体1a正面的状态。其结果是，防尘罩70突出端部始终可以无间隙地与主体20正面紧密接触，得以能够阻止切屑进入。

特别是，在对卡爪10支承的工件进行加工时，在卡爪10中央侧的端部上施以强力从而具有被向上抬起的倾向，然而即使是在这样的情况下，也能够防止在防尘罩70与主体20正面之间形成缝隙。

如图6和图7所示，中心盖60具有与圆形开口23嵌合的圆柱状的嵌合部62、以及从嵌合部62的一端向外突出很多的凸缘状的盖部63。所述盖部63形成为大致三角形的形状，其中角部形成为当从正面看时的弧形形状，并且被配置成每个边分别面对每个卡爪10的方式。盖部63的每个边的大小被形成为与防尘罩70的宽度(长边的一侧)大致相同的大小。

主体20正面与盖部63内面是间隔微小的缝隙(构成后述的横向环形通道95)彼此相对的。在盖部63周缘部的里侧上设置有，沿着朝向周缘的方向从主体20的正面离开的逆倾斜面63a。该逆倾斜面63a形成为与防尘罩的70倾斜部72的倾斜面呈大致平行。通过这样的构成，就不存在切屑容易堆积的角落，因此即使是切屑附着也难以堆积。在喷出流体的情况下(稍后说明)，能够利用流体将切屑不留痕迹地除去。

然后，每个防尘罩70突出端部进入到中心盖60周缘部的里侧(从正面看的话，中心盖60与防尘罩70是上下重叠的)。特别是，在这个卡盘1中，在每个卡爪10滑动移位的所有位置(从最内位置到最外位置)上，防尘罩70的突出端部进入到中心盖60周缘部的里侧。

在加工工件时产生的切屑，其主要产生在卡盘1正面的中央部上方并且会发生飞散。由于防尘罩70是遮盖在每个滑槽24中央侧的缝隙24a及其周围的，从而可以防止切屑向缝隙24a的侵入。

由于防尘罩70的突出端部是进入到中心盖60周缘部的里侧的，因此可以抑制切屑附着在防尘罩70的突出端部上、以及切屑进入到中心盖60的里侧。即使是卡爪10中央侧的端部被抬起，在防尘罩70突出端部与主体20正面之间形成缝隙，也可以抑制切屑进入到缝隙中。特别是，防尘罩70突出端部通常是进入到中心盖60的里侧处于垂直地重叠的状态的，因此不仅是在加工工件时，即使是在不对工件进行加工的时候，也能够抑制切屑等尘埃侵入到卡盘1内部。

更进一步地，作为第2种措施，为了能够使附着在每个卡爪10周围的切屑被吹走，可以构成为从中心盖60周缘部的里侧向外侧喷出冷却液(流体的一个例子)的方式。通过这种方式，不仅可以抑制切屑等尘埃进入到卡盘1内部，还可以更进一步地将切屑容易附着并发生堆积的每个卡爪的周围、以及从卡盘主体1a正面对切屑进行去除，因此可以更有效地抑制尘埃向卡盘1内部的侵入。即使是切屑等尘埃进入到中心盖60里侧，也能够被喷出的流体排出。

具体而言，如图3、图6、图7所示，在卡盘1上设置有喷射机构，在加工工件时，该喷射机构能够朝向工件喷射冷却液。也就是说，穿过转接件50的中央部形成有向中心盖60下方供给冷却液的主通道81(流体供给通道)。在这个主通道81上连接管道101，从而能够从机床100供给高压冷却液。

在中心盖60的表面中央处设置有具有3个喷射口80a的喷嘴80。其中，每个喷射口80a是以在圆周方向上等间隔地配置的。在嵌合部62中央部形成有与主通道81连通的副通道82(流体供给通道)，该副通道82通过倾斜延伸的3个喷射通道83与喷射口80a连通。因此，供给到主通道81的高压冷却液经过副通道82和喷射通道83后，从3个喷射口80a朝向工件扩散的方式被喷射。在这种情况下，即使是切屑等尘埃进入到中心盖60里侧，也不存在尘埃滞留的地方，使得能够通过喷出的流体，将尘埃毫无残留地顺利地被排出。

在卡盘1中，通过利用供给这种喷射机构的冷却液的通道，构成切屑清除机构。也就是说，在卡盘主体1a形成喷出通道90，该喷出通道90是与副通道82相连通且朝向中心盖60周缘部的里侧开口的。

具体而言，从位于卡盘主体1a中央部的副通道82分支，且朝向每个卡爪10向径向外侧延伸的3个导出通道91形成于嵌合部62。

在与盖部63连接的嵌合部62的外周上，设置有直径略小于圆形开口23的阶梯部62a，通过该阶梯部62a与构成圆形开口23的转接件50的内周面之间的缝隙，形成有与这些导出通道91相连接的环状通道(纵向环形通道92)。在中心盖60与转接件50之间、以及嵌合部62与转接件50之间，安装有防止冷却液泄漏的O形环93、94。

纵向环形通道92是与主体20正面和盖部63内面之间的微小的缝隙(横向环形通道95)相连通的，并且由导出通道91、纵向环形通道92和横向环形通道95引导，在整个圆周上形成用来喷出冷却液的喷出通道90。因此，当加工工件时，冷却液从喷嘴80喷射的同时，从中心盖60背面朝向径向外侧也可以喷出冷却液。其结果是，即使是在每个卡爪10的周围附着切屑，也能够被冷却液吹走，从而能够从每个卡爪10周围去除切屑。

即使是切屑进入到中心盖60的里侧，也能够通过冷却液除去，因此可以有效地防止切屑进入到卡盘1内部的发生。另外，由于冷却液是从倾斜部72的表面与逆倾斜面63a间的缝隙喷出的，所以冷却液能够被顺畅地喷出，即使是存在已经侵入的切屑，也不会被卡住能够容易且可靠地被排出。

更进一步地，纵向环形通道92与横向环形通道95的通道横截面宽度w1、w2形成为比主通道81和副通道82的通道的直径小的，聚集冷却液流出量以使冷却液能够更强地被喷出。

每个导出通道91设置为，在从正面看卡盘1的情况下，相对于卡爪10中心线T以规定的角度θ朝向在卡盘1旋转方向的前方倾斜的方向上延伸的方式。

即，在对工件进行加工产生的切屑会附着在卡盘1中，特别是容易附着在每个卡爪10中央侧的端部的旋转方向上的前方的部分。因此，在这个卡盘1上，由每个导出通道91排出的冷却液的流出方向被设置为朝向这个部分的方式。通过这样的方式，喷势强劲的冷却液能够喷射这个部分，从而能够更有效地从每个卡爪10的周围去除切屑。

此外，由于防尘罩70的倾斜的突出部73是位于容易附着切屑的部分，因此能够容易且可靠地清除切屑。

(变形例)

可以应用于本发明的卡盘并不限于上述实施方式的卡盘1。例如，也可以使用诸如在卡盘主体1a中央部具有直接连接在每个滑槽24上的具有较大圆筒状开口的类型的卡盘。

在图8中表示了一个例子。其基本结构与实施方式中的卡盘1相同，因此对于相同构件的使用相同的符号，并且此处省略其说明。在这个卡盘1’上，主要是转接件50的形状不同，转接件50，以堵住开口的方式，用螺丝N安装在主体20的正面。中心盖60不是安装在主体20上而是被安装在转接件50上，此外，每个防尘罩70的突出端部被构成为在转接件50的正面滑动，而不是在主体20的正面。

由于该卡盘1’可以得到与上述卡盘1相同的作用效果，所以能够有效地防止切屑侵入，并且可以保持长期稳定的运转。

应当指出，本发明所涉及的卡盘并不限定于上述实施方式，还包含其他各种构件。

例如，上述防尘罩70、中心盖60、转接件50等的形状仅仅是一个例子，其形状也可以是在确保所希望的作用及效果能够被得到的范围内，根据规格进行适宜地变更。同时，倾斜部72的倾斜面和逆倾斜面63a的角度也可以不是大致平行的。此外，还可以根据切屑的种类以及飞散的情况，将倾斜部72倾斜面与逆倾斜面63a间的缝隙形成为朝向外周侧逐渐变窄，或者也可以是逐渐变宽的。

在至少能够支承工件的支承位置上，只要是防尘罩70的突出端部进入到中心盖60周缘部的里侧即可；在不对工件进行支承的待机位置上，防尘罩70的突出端也可以位于中心盖60的外侧。

以上，对本发明的实施方式及其变形例进行了说明，上述说明仅仅是作为示例而被列举的，并不旨于限定本发明的范围。以上所述实施方式也可以是以其他的各种方式的形式而被实施的，并且，只要是在不脱离本发明宗旨的范围下，可以对其进行各种省略、替换和改变。应当指出，上述实施方式及其变形例均被包含在本发明的范围和主旨内，并且同时被包含在权利要求书及其同等范围中。

【符号说明】

1 卡盘

1a 卡盘主体

10 卡爪

11 主卡爪

12 顶卡爪

20 主体

24 滑槽

24a 缝隙

30 柱塞

40 连结体

50 转接件

60 中心盖

70 防尘罩

80 喷嘴

90 喷出通道

100 机床。

Claims (7)

1.一种卡盘，在其正面具有径向滑动支承工件的多个卡爪，

该卡盘包括卡盘主体、中心盖、以及防尘罩；其特征在于，

所述卡盘主体包括其正面上的多个滑槽；其中，

所述滑槽从所述卡盘主体的中央部向径向外侧延伸，使每个所述卡爪以可滑动的方式嵌合；

所述中心盖以遮盖所述卡盘主体的正面中央部的方式，安装在所述卡盘主体上；

所述防尘罩以遮盖所述滑槽的方式，安装在每个所述卡爪中央侧的端部上，且被构成为在所述卡盘主体的正面上滑动；

在每个所述卡爪支承工件的支承位置上，构成为所述防尘罩突出端部进入到所述中心盖周缘部的里侧。

2.根据权利要求1所述的卡盘，其特征在于，在每个所述卡爪滑动移位的全部位置，构成为防尘罩的突出端部进入到所述中心盖周缘部的里侧。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的卡盘，其特征在于，

所述卡盘主体还包括流体供给通道、喷出通道；其中，

所述流体供给通道向所述中心盖的下方供给流体，

所述喷出通道与所述流体供给通道相连通，并且朝向所述中心盖周缘部的里侧，

构成为能够从所述中心盖周缘部里侧向外部喷出流体。

4.根据权利要求3所述的卡盘，其特征在于，还包含尖的倾斜部和逆倾斜面；其中，

所述倾斜部，在所述防尘罩突出端部上，设置为随着朝向突出端其表面靠近所述卡盘主体，

所述逆倾斜面，在所述中心盖周缘部的里侧，设置为随着朝向边缘逐渐远离所述卡盘主体，构成为能够通过所述倾斜部的表面与所述逆倾斜面之间的缝隙喷出流体。

5.根据权利要求3所述的卡盘，其特征在于，

所述喷出通道具有至少一个导出通道，

所述导出通道在所述卡盘主体的中央部与所述流体供给通道连通且朝向所述卡爪沿径向向外延伸，

从正面看所述卡盘时，所述导出通道构成为相对于所述卡爪的中心线，向所述卡盘旋转方向的前方以规定的角度倾斜地延伸。

6.根据权利要求1或权利要求2所述的卡盘，其特征在于，

所述防尘罩的突出端部按压于所述卡盘主体的正面。

7.根据权利要求1或权利要求2所述的卡盘，其特征在于，

所述防尘罩具有突出部，其中，

所述突出部从所述卡爪中央侧的端部向侧方突出，

该突出部的表面位于所述卡盘旋转方向的前方且包括倾斜面，

所述倾斜面构成为随着朝向突出端逐渐靠近所述卡盘主体。

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