TWI747453B

TWI747453B - 線圈裝置

Info

Publication number: TWI747453B
Application number: TW109128429A
Authority: TW
Inventors: 金江東
Original assignee: 韓商斯天克有限公司
Priority date: 2019-08-20
Filing date: 2020-08-20
Publication date: 2021-11-21
Also published as: TW202113881A; JP7338037B2; JP2022543053A; WO2021034088A1; KR102618476B1; US20220122758A1; KR20230023693A

Abstract

本發明提供一種多個線圈圖案形成於一面的線圈裝置。所述線圈裝置包括：基材層；及線圈圖案，在基材層上包含圖案部和通孔焊墊部或外部電極部，另外，對於線圈圖案形成為多個的情況，包含繞線為多重螺旋形結構的線圈基板。

Description

線圈裝置

本發明係有關於線圈裝置。更具體地係有關於一種薄膜型線圈裝置。

智慧型手機、數位相機等小型電子產品問世，內置於小型電子產品的各種電子零件也隨之小型化。對於線圈零件的情況，近來，在適用銅絲的繞組式類型中，對銅進行電解鍍金而圖案化的薄膜型線圈零件備受關注。

薄膜型線圈零件作為用於在各種電子設備中去除雜訊、補正焦點等使用的電子零件，為確保充足的電磁力，而採用擴展線圈圖案的厚度或將線圈圖案形成為多層等方式。

但對於將線圈圖案形成為多層的情況，在線圈零件發生如下所述問題。

第一，對於將線圈圖案形成為三層以上多層的情況，另外要求形成層間絕緣層、形成導通孔、形成沉積膜等多個製程，由此，導致線圈零件的生產力低下。

第二，對於將線圈圖案形成為多層的情況，在上層的線圈圖案由外側向內側繞線的情況下，下層的線圈圖案按與此相反的方向繞線。例如，對於線圈零件100由L1分層110、L2分層120、L3分層130等三個分層構成的情況，L1分層110的第一線圈圖案111、L2分層120的第二線圈圖案121、L3分層130的第三線圈圖案131等如圖1顯示所示繞線，並藉由導通孔電連接。

但對於多層線圈圖案藉由如上所述方式繞線而電連接的情況，陽極端子140和陰極端子150中的任一個處於線圈的卷心側(內側)，由此，難以進行線圈零件和外部電源之間連接。

第三，對於將線圈圖案形成為多層的情況，因區分各層的線圈圖案的層間絕緣層無法完全切斷電流，發生漏電流，由此，線圈零件的電特性低下。

因此，本發明中要解決的課題為提供多個線圈圖案形成於一面的線圈裝置。

本發明的課題並非藉由上述言及的課題限制，未言及的其它課題藉由下面記載而使本領域技術人員明確理解。

本發明的技術方案在於：用於實現所述課題的本發明的線圈裝置的一方面(aspect)形成：基材層；及線圈圖案，在所述基材層上包含圖案部和通孔焊墊部或外部電極部，另外，對於所述線圈圖案形成為多個的情況，包含繞線為多重螺旋形結構的線圈基板。

所述中，對於線圈基板形成多個所述線圈圖案的情況，以多個線圈圖案未發生重疊的方式，各個線圈圖案的圖案部相互平行分隔而繞線為多重螺旋形結構。

對於在所述基材層上形成第一線圈圖案及第二線圈圖案的情況，所述第二線圈圖案的圖案部形成為向所述第一線圈圖案的圖案部的內側平行分隔而整齊繞線的雙重螺旋形結構。

所述多個線圈圖案的線圈數量由全部相同或按至少一個以上相異的線圈數量繞線。

所述多個線圈圖案全部向相同的方向流動電流或向一個以上線圈圖案不同的方向流動電流。

在所述基材層的底面還形成包含圖案部與通孔焊墊部或外部電極部的第三線圈圖案，所述第三線圈圖案的一端部和另一端部藉由基材層表面的不同的線圈圖案和通孔而分別電聯接。

所述通孔包括第一通孔或第二通孔，所述第一通孔電聯接第一線圈圖案和第三線圈圖案，第二通孔電聯接第二線圈圖案和第三線圈圖案。

所述線圈基板具有多個，藉由形成於各個線圈基板之間的層間絕緣層或保護層層壓，並藉由形成於所述層間絕緣層或保護層的多個通孔而電連接。

對於所述線圈基板由第一線圈基板和第二線圈基板構成的情況，在所述第二線圈基板上形成第四線圈圖案，所述多個通孔包含第三通孔或第四通孔，第三通孔聯接第四線圈圖案和第一線圈基板的第二線圈圖案，第四通孔與第四線圈圖案和第一線圈基板的外部聯結部聯接。

所述第三通孔或所述第四通孔貫通兩個以上層間絕緣層、保護層或基材層而形成。

所述外部電極部形成為多個，多個外部電極部形成於相同的層。

其它實施例的具體事項包含於具體的說明及附圖中。

100:線圈零件

110:L1分層

111:第一線圈圖案

120:L2分層

121:第二線圈圖案

130:L3分層

131:第三線圈圖案

140:陽極端子

150:陰極端子

200:線圈基板，第一線圈基板

210:第一基材層

220:第一線圈圖案

221:第一圖案部

222:第一通孔焊墊部

223:第一外部電極部

225:第一通孔

230:第二線圈圖案

231:第二圖案部

232:第二外部電極部

240:第三線圈圖案

241:第三圖案部

242:第三通孔焊墊部

243:第四通孔焊墊部

245:第二通孔

250:保護層

400:第二線圈基板

410:第二基材層

420:第四線圈圖案

422:第五通孔焊墊部

423:第六通孔焊墊部

425:第三通孔

426:第四通孔

500:線圈基板

510:基材層

520:第五線圈圖案

522:第五通孔

523:第三外部電極部

530:第六線圈圖案

533:第七通孔

540:第四外部電極部

620:第七線圈圖案

622:第八通孔焊墊部

623:第六通孔

630:第八線圈圖案

633:第十通孔

圖1為顯示現有的線圈零件的附圖；圖2為本發明的一實施例的線圈裝置的截面圖；圖3為用於說明構成本發明的一實施例的線圈基板的線圈圖案的分解立體圖；圖4至圖6為用於說明構成本發明的一實施例的線圈基板的線圈圖案的各個分層的平面圖；圖7為用於說明構成本發明的另一個實施例的線圈基板的線圈圖案的分解立體圖。

下面，參照附圖而對本發明的較佳的實施例進行具體說明。本發明的優點及特徵，以及實現其的方法參照附圖及下面具體說明的實施例而變得明確。但本發明並非限定於下面公開的實施例，能夠藉由相互不同的各種形式實現，僅本實施例完全公開本發明，為使本發明所屬的技術領域中一般技術人員完全瞭解發明的範圍而提供，本發明藉由請求項範圍定義。在整個說明書中，相同參照符號表示相同構成要素。

對於指示元件(elements)或層在其它元件或層的“上(on)”或“上面(on)”的情況包括直接處於其它元件或層上，並包括中間介有其它層或其它元件的情況。而對於元件為“直接上(directly on)”或“直接上面”的情況顯示中間未介有其它元件或層。

空間上相對的用語即“下(below)”、“下面(beneath)”、“下部(lower)”、“上面(above)”、“上部(upper)”等如附圖顯示所示，易於記述一個元件或構成要素和其它元件或構成要素的相關關係而使用。空間上相對的用語在顯示於附圖的方向使用或運行時，以包含元件的相互不同的方向的用語理解。例如，對於翻轉顯示於附圖的元件的情況，按其它元件的“下(below)”或“下面(beneath)”記述的元件被設置在其它元件的“上面(above)”。因此，例示的用語即“下面”包括下面和上面的方向。元件也能夠按其它方向定向，由此，空間上相對的用語根據定向而解釋。

即使為了記述第一、第二等各種元件、構成要素及/或部分而使用，但該元件、構成要素及/或部分並未藉由該用語限制。該用語為僅將一個元件、構成要素或部分區別與其它元件、構成要素或部分而使用。因此，下面言及的第一元件、第一構成要素或第一部分也能夠在本發明的技術思想內為第二元件、第二構成要素或第二部分。

本說明書中使用的用語為用於說明實施例而並非限制本發明。在本說明書中，對於單數形未在文中特別言及的，也包含複數形。在說明書中使用的“包含(comprises)”及/或“包括(comprising)”為所言及的構成要素、步驟、動作及/或元件未排除一個以上其它構成要素、步驟、動作及/或元件的存在或增加。

在不存在其它定義的情況下，在本說明書中使用的所有用語(包含技術及科學用語)以本發明所屬技術領域一般技術人員共同理解的意義使用。或普遍使用的詞典定義的用語未作明確特別定義的，未以異常或誇張方式解釋，而不以異常或過度方式解釋。

下面，參照附圖而對本發明的實施例進行具體說明，在參照附圖而進行說明時，與附圖標記無關，相同或對應的構成要素賦予相同的參照符號，並省略對其重複說明。

在本發明中，以提供減少線圈圖案的層壓數量，並確保高(high)電磁力，電路自由度高的薄膜型線圈裝置為目的。下面，參照附圖而對本發明進行具體說明。

圖2為本發明的一實施例的線圈基板的截面圖。

線圈基板在本實施例中包含基材層、線圈圖案及保護層，適用於薄膜型線圈裝置，由此，能夠適用於電感器、電容器、傳動器等電子零件，而且，也能夠適用於智慧型手機、數位相機等小型電子產品或振動電機、揚聲器、天線等各種電子設備。

圖2顯示的線圈基板200例如，包含第一基材層210、第一及第二線圈圖案220、230及保護層250。

第一基材層210作為基材(base film)，由具有規定厚度(例如，5μm~100μm)的平板狀的薄膜形成。該第一基材層210由可撓性薄膜(flexible film)、剛性薄膜(rigid film)及剛性可撓性薄膜(rigid flexible film)中的任一種形式形成。

第一基材層210為將從各種高分子物質中選擇的至少一種物質作為材料製造。例如，第一基材層210為將在聚亞醯胺(polyimide)、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET；Poly-Ethylene Terephthalate)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN；Poly-Ethylene Naphthalate)、聚碳酸酯(poly-carbonate)、環氧樹脂(epoxy)、玻璃纖維(glass fiber)等高分子物質中選擇的至少一種物質作為材料製造。

在第一基材層210的一面上或兩面上形成由導電性物質構成的種晶層(seed layer；未圖示)或底層(under layer；未圖示)。

種晶層或底層利用從鎳(Ni)、鉻(Cr)、銅(Cu)、金(Au)等選擇的至少一種金屬作為導電性物質而形成於第一基材層210上。該種晶層或底層藉由沉積、貼合、鍍金等物理方式或化學方式形成於第一基材層210上。但本實施例並非限定於此。第一基材層210在一面或兩面上也能夠以未包含種晶層或底層的形式形成。

第一線圈圖案220用於引導電磁力，形成於第一基材層210的一面上。該第一線圈圖案220將導電性物質作為材料而形成於第一基材層210的一面上。例如，第一線圈圖案220將從銀(Ag)、鈀(Pd)、鋁(Al)、鎳(Ni)、鈦(Ti)、金(Au)、鉑(Pt)、銅(Cu)等選擇的至少一種金屬作為材料而形成於第一基材層210的一面上。

第一線圈圖案220利用鍍金、印刷、塗覆等各種方法形成於第一基材層210上。例如，對於利用鍍金方法的情況，第一線圈圖案220利用電解鍍金和無電解鍍金中的任一種方法而形成於第一基材層210上。並且，鍍金被實施一次以上，此時，根據鍍金進行次數或鍍金條件變更等，而第一線圈圖案220在截面形成多個分界線。

例如電解鍍金方式，第一線圈圖案220形成於在第一基材層210上未形成抗蝕圖案層(未圖示)的部分。在此，抗蝕圖案層為由絕緣性物質構成的樹脂層，與第一線圈圖案220相比，首先形成於第一基材層210上。第一線圈圖案220以與抗蝕圖案層相同的厚度形成於第一基材層210上，或以比抗蝕圖案層薄的厚度形成於第一基材層210上。在第一線圈圖案220由此形成於第一基材層210上的情況下，防止在上部發生鍍金不均的情況，均勻地形成上部的寬度和下部的寬度。

另外，抗蝕圖案層在第一線圈圖案220形成於第一基材層210上之後，由第一基材層210去除。例如，抗蝕圖案層在將第一線圈圖案220形成於第一基材層210上之後，在第一線圈圖案220上形成保護層250之前由第一基材層210去除。

另外，第一線圈圖案220如圖3顯示所示，包括第一圖案部221、第一通孔焊墊部222或第一外部電極部223。

圖3為用於說明構成本發明的一實施例的線圈基板的線圈圖案的分解立體圖，圖4至圖6為用於說明構成本發明的一實施例的線圈基板的線圈圖案的各個分層的平面圖。下面說明參照圖3至圖6。

第一線圈圖案220的第一圖案部221是指形成為線狀的圖案，藉由連續的單一的線，按相同的寬度形成於第一基材層210上。但本實施例並非限定於此，連續的線的一部分也能夠按不同的寬度形成於第一基材層210上。

第一通孔焊墊部222或第一外部電極部223處於第一線圈圖案220的一端部或另一端部，按與第一圖案部221對比寬的寬度形成於第一基材層210上。

另外，在第一基材層210上形成多個第一及第二線圈圖案220、230，多個線圈圖案繞線為螺旋形結構。在本發明中繞線為多重螺旋形結構的意義是指多個線圈圖案以未相互重疊的方式各個線圈圖案的圖案部線相互平行分隔形成。參照圖4，以在第一基材層210上形成的兩個線圈圖案220、230即第一線圈圖案220及第二線圈圖案230為例，第一線圈圖案220的第一圖案部221按與第二線圈圖案230的第二圖案部231相同的間距平行分隔，第二圖案部231以向第一圖案部221的內側整齊繞線的方式形成於第一基材層210上。即，與線圈基板200的第一基材層210垂直的一端面向中心方向交替形成第一圖案部221和第二圖案部231。此時，對於第一及第二線圈圖案220、230而施加電流的情況，與僅形成第一線圈圖案220的情況相比，確保約1.1~2.5倍的電磁力。但本實施例並非限定於此，也能夠以相互不同的間距分隔的方式形成於第一基材層210上。

並且，所述多個線圈圖案按各個線圈圖案的線圈數量全部相同或至少一個以上相異的線圈數量繞線。其對在第一線圈基板200引導的電磁力強度產生影響，尤其，對於各個線圈圖案的線圈數量全部相同且向相同方向流動電流的情況，加強電磁力的強度。而對於多個線圈圖案中任一個以上線圈圖案相比，在不同的方向的電流流動的情況下，抵消電磁力而強度變弱。此時，對於按不同方向流動電流的線圈圖案的線圈數量減少的情況，減少所抵消的電磁力的大小。即根據線圈圖案的設計而變更各個線圈圖案的線圈數量，獲取所要求的電磁力的強度。

所述中，對在第一基材層210上形成線圈圖案、通孔焊墊部或外部電極部的結構進行具體說明，此外包含用於保持鍍金平衡或層間均衡等虛設圖案(dummy pattern)、散熱圖案、電磁遮罩圖案等或也能夠形成為還包含篩檢程式、感測器等外部元件等結構。

另外，如圖5顯示所示，在第一基材層210的一面還能夠形成包含第三圖案部241、第三及第四通孔焊墊部242、243或外部電極部的第三線圈圖案240。

在圖5中形成於第一基材層210的表面/裡面的線圈圖案220、230、240藉由通孔而電聯接。例如，在第一線圈圖案220及第二線圈圖案230的一端部形成的第一通孔焊墊部222和第三線圈圖案240的一端部形成的第三通孔焊墊部242藉由第一通孔225聯接，形成於第三線圈圖案240的另一端部的第四通孔焊墊部243藉由第二通孔245而與第一基材層210的表面第二外部電極部(或第二通孔焊墊部)電聯接。在本發明中，以三個線圈圖案分別形成在一個線圈基板200的表面/裡面的例子進行了說明，但並非限定於此，還形成多個線圈圖案。

即，形成於第一線圈圖案220及第二線圈圖案230的另一端部的第一外部電極部223和與第三線圈圖案240聯接的第二外部電極部232形成於同一面上，而提高電路自由度並強化電磁力。而且，當前基材層的一面與線圈圖案一對一對應形成，由此，為了形成三個線圈圖案，要求基材層的三面，結果只能層壓兩個以上的基材層。但在本發明中，提供一種對於基材層一面，線圈圖案一對多對應形成，無需增加另外層壓製程，並藉由一個基材層而提供滿足現有電磁力的線圈基板。

另外，在本發明中，線圈基板200設置多個，藉由形成於各個線圈基板之間的層間絕緣層而層壓，藉由形成於所述層間絕緣層的通孔而電連接。層間絕緣層是指由絕緣性物質構成的樹脂層。該層間絕緣層將與第一基材層210相同的高分子物質作為材料形成。或者也能夠在另外的基材層上與形成有線圈圖案的線圈基板層壓形成。

例如，在第一線圈基板的底面下面形成第一層間絕緣層(未圖示)，所述第一層間絕緣層下面形成第四線圈圖案420。下面進行說明，但所述第四線圈圖案420也能夠與第一及第二線圈圖案220、230同時形成。或者還形成包含第四線圈圖案420的第二線圈基板。即第四線圈圖案420也形成於所述第一層間絕緣層，但也能夠形成於第二線圈基板的第二基材層410上。而且，對於還形成第二線圈基板的情況，在第二基材層410上還形成第四線圈圖案420之外單數或複數線圈圖案，但在本發明中，以在第二基材層410的一面形成一個線圈圖案，即以形成第四線圈圖案420為例進行說明。

下面的說明參照圖6。

在另一端形成有第一外部電極部223的第一線圈圖案220藉由第一通孔225而電連接至第三線圈圖案240，藉由與第三線圈圖案240的另一端聯接的第二通孔245而與第二線圈圖案230電連接。所述第二線圈圖案230的一端與第一線圈圖案220的第一通孔焊墊部222聯接而藉由貫通第一線圈基板200的第一基材層210和第二基材層410的第三通孔425而與第四線圈圖案420的第五通孔焊墊部 422電連接。並且，形成於第四線圈圖案420的另一端部的第六通孔焊墊部423藉由經過第二線圈基板400的第二基材層410或第二基材層410和第一線圈基板200的第一基材層210的第四通孔426而與形成於第一線圈基板200的第一基材層210表面的第二外部電極部232電連接。即，在本實施例中，各個線圈圖案相互進行電聯接，並在相同的一面上形成第一外部電極部及第二外部電極部，由此，能夠提高電路自由度。

並且，所述中，向分別形成於第一線圈基板200和第二線圈基板的線圈圖案施加相同方向的電流而提供較強的電磁力。也並非限定於此，也能夠以不同的方式施加各個線圈基板或一部分線圈圖案的電流方向。

另外，形成於第一線圈基板200的線圈圖案和形成於第二線圈基板的線圈圖案的線圈數量也全部相同，但也能夠不同。例如，形成於第一線圈基板200的表面的第一線圈圖案210和第二線圈圖案230的線圈數量分別為8回，形成於底面的第三線圈圖案240和形成於第二線圈基板的第四線圈圖案420的線圈數量分別形成為10回。對於該情況，藉由四個線圈圖案而提供總36回的線圈數量，但實際上線圈圖案也能夠形成於三個層。即，保持基於線圈基板的電磁力、電阻特性、感應係數等而整個線圈圖案的線圈數量，並減少總數量而提高生產效率。

因此，本發明的線圈裝置藉由如上第一線圈基板200、第二線圈基板的電連接關係而有效產生引導電磁力的電流的流動。並且，線圈裝置200將第一外部電極223和第二外部電極232全部處於第一線圈基板200的第一基材層210表面而易於實現與外部電源的連接，由此，獲得提高電路自由度的效果。而且，總數減少，並增強電磁力強度，也能夠提高生產效率。

但本發明的實施例並非限定於圖3至6顯示的結構。在圖3中，以第一線圈基板200形成於最上層的結構為例進行了圖示，但第一線圈基板200也能夠形成於中間層或最下層。例如，對於第一線圈基板200處於中間層的情況，即在形成有第一、第二線圈圖案的第一基材層的上/下側分別形成第三、第四線圈圖案。此時，第一外部電極部223與外部電極(未圖示)直接聯接或藉由形成於與第三、第四線圈圖案相同面的第n外部電極部(n為3以上自然數)或第m通孔(m為4以上自然數)而與外部電極間接聯接。而且，外部電極處於最上層或最下層，形成於包含線圈圖案的基材層的一面或形成於未包含線圈圖案的基材層的一面。因此，本發明根據包含線圈基板的電子裝置的內部構造而容易對線圈圖案進行多重繞線的基材層的位置進行變形，並且，也包含上述效果。

圖7為用於說明構成本發明的另一實施例的線圈基板的線圈圖案的分解立體圖。以所述線圈基板500在基材層510的表面/底面上分別包含兩個線圈圖案，將表面上的線圈圖案分別稱為第五線圈圖案520及第六線圈圖案530，將底面的線圈圖案分別稱為第七線圈圖案620及第八線圈圖案630而進行說明。

在由形成於第五線圈圖案520的一端部的第三外部電極部523施加電流的情況下，藉由形成於另一端部的第七通孔焊墊部的第五通孔522而與第七線圈圖案620一端部的第八通孔焊墊部622聯接，藉由另一端部的第九通孔焊墊部的第六通孔623而與第六線圈圖案530一端部聯接。並且，藉由與第六線圈圖案530另一端部聯接的第七通孔焊墊部的第七通孔533而與第八線圈圖案630一端部的第八通孔焊墊部622聯接，另一端部的第九通孔焊墊部的第十通孔633而與第四外部電極部540聯接。即，在一個基材層形成四個線圈，由此，確保高電磁力，而且在相同層的基材層一面設置外部電極。

另外，雖未圖示，但也能夠根據包含線圈基板500的電子裝置的內部構造，與形成於層間絕緣層或其它基材層的外部電極直接或間接聯接。

本發明並非限定於此，在形成有四個線圈的線圈基板500的上部或下部還另外形成線圈基板，另外線圈基板為以單一繞線或多重繞線類型形成線圈圖案的結構。

另外，雖未圖示，但本發明的線圈基板還包括用於保護線圈圖案而形成的保護層。所述保護層覆蓋線圈圖案的上部，在基材層上在去除抗蝕圖案層之後，形成於線圈圖案上。

保護層將具有絕緣性的物質作為材料，例如，保護層為將阻焊劑(solder resist)作為材料而形成於線圈圖案上。保護層利用印刷、塗覆、光刻(微影製程)技術等製程形成。

下面，對本發明的一實施例的線圈裝置200的製造方法進行說明。

首先，準備第一基材層210。

之後，在第一基材層210上形成線圈圖案。在本步驟中，僅在第一基材層210的一面形成線圈圖案或兩面同時形成線圈圖案。例如，在基材層的一面上將第一線圈圖案220和第二線圈圖案230繞線形成為螺旋形結構。在第一基材層210上形成第一、第二線圈圖案220、230時，在第一基材層210上形成抗蝕圖案層，之後，在未形成抗蝕圖案層的開口形成第一、第二線圈圖案220、230。此時，抗蝕圖案層利用印刷、層壓、光刻(微影製程)技術等製程而形成於第一基材層210上，第一線圈圖案220利用電解鍍金製程而形成於第一基材層210上。並且，第一、第二線圈圖案220、230以未相互重疊包含於各個線圈圖案的圖案部和通孔焊墊部或外部電極部的方式形成，尤其連續的線狀的圖案部相互平行分隔而形成為繞線的雙重繞線結構。

並且，在第一基材層210的底面形成第三線圈圖案240時，利用與第一、第二線圈圖案220、230相同的製程。但並非限定於此，也能夠以與表面的線圈圖案不同的方式形成，也能夠與第一、第二線圈圖案220、230同時或依次形成。

並且，以所述第一、第二線圈圖案220、230和第三線圈圖案240電聯接的方式在第一基材層210還形成單個或多個通孔，導電性物質按油膏形式填充或利用無電解、電解鍍金製程形成。

之後，在各個線圈圖案上形成保護層。在形成保護層250時，去除抗蝕圖案層，之後，以覆蓋線圈圖案的方式利用印刷、層壓、光刻(微影製程)技術等製程形成。

下面，對本發明的另一個實施例的線圈裝置的製造方法進行說明。

在所準備的第一線圈基板200的第一基材層210一面形成第一及第二線圈圖案220、230，在底面形成第三線圈圖案240。

以覆蓋所述第三線圈圖案240的方式形成保護層250。在所述保護層250以與下面所述的第二線圈基板400聯接的方式形成通孔。

準備第二線圈基板400的第二基材層410，具有形成與第一線圈基板200聯接的通孔的洞。

在所述第二線圈基板400的第二基材層410的一面形成第四線圈圖案420，同時向形成於第二基材層410的洞填充導電性物質而形成通孔。

之後，以覆蓋第四線圈圖案420的方式形成保護層。

相互接合所述第二線圈基板400的第二基材層410的底面和覆蓋所述第一線圈基板200的第三線圈圖案240的保護層250。此時，接合方式利用熱壓(hot press)方式、壓延方式等。

藉由本發明的又一實施例，層壓僅在基材層的一面形成線圈圖案的多個線圈基板而構成線圈裝置。

藉由另一方法，在基材層的一面準備將兩個線圈圖案形成為雙重繞線結構的線圈基板。以覆蓋所述線圈圖案的方式形成保護層或層間絕緣層。在所述保護層或層間絕緣層形成洞。之後，在保護層或層間絕緣層的上面及基材層的底面形成線圈圖案，同時填充洞而形成通孔。

綜上參照附圖而對本發明的實施例進行了說明，但本發明所屬技術領域的一般技術人員在不變更本發明技術思想或必要特徵的情況下，以其它具體形式實施。因此，綜上上述實施例在所有面僅用於例示，並非用於限定。

本發明的有益效果在於：本發明提供一種薄膜型線圈裝置，減少線圈圖案的層壓數量，並確保高電磁力，並提高電路自由度。