TWI747374B - 刀片更換機構、切斷裝置以及切斷品的製造方法 - Google Patents

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Abstract

本發明即便在刀片對於凸緣的嵌合公差嚴格的情況下，也可以進行刀片的自動更換，包括：第一吸附部（711），吸附刀片（61）；第二吸附部（712），與第一吸附部（711）分開設置，吸附具有安裝刀片（61）的刀片安裝部（641）的凸緣（64）；裝卸構件旋轉部（713），位於第二吸附部（712）的內側，使可針對主軸（62）裝卸刀片（61）的裝卸構件（65）旋轉；以及刀片搬送部（72），吸附刀片（61）的與由第一吸附部（711）吸附的面為相反側的面，對由第二吸附部（712）所吸附的凸緣（64）搬送刀片（61）。

Description

刀片更換機構、切斷裝置以及切斷品的製造方法
本發明是有關於一種刀片更換機構、切斷裝置以及切斷品的製造方法。
在使用無中樞（hubless）型的刀片的切削裝置中，刀片由一對凸緣夾持而固定在主軸。所述一對凸緣包含靠近主軸一側的內凸緣、及遠離主軸一側的外凸緣。另外，內凸緣固定在主軸，外凸緣以相對於主軸可裝卸的方式構成。
在所述構成的切削裝置中，正在考慮具有自動更換刀片的刀片更換機構的切削裝置。如專利文獻1所示，所述刀片更換機構包括：第一吸附部，以吸附刀片的方式構成；第二吸附部，位於第一吸附部的內側，以獨立於由第一吸附部所進行的吸附來吸附外凸緣的方式構成；以及裝卸構件旋轉部，位於第二吸附部的內側，以可使能夠針對主軸裝卸刀片的裝卸構件旋轉的方式構成。 [現有技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2019-5857號公報
[發明所要解決的問題] 但是，在專利文獻1的刀片更換機構中，刀片所嵌入的刀片安裝部設置在作為近位側凸緣的內凸緣，但關於刀片對於此種凸緣的刀片安裝部的嵌合公差嚴格的情況，在專利文獻1中未記載。
因此，本發明是為了解決所述問題點而成的發明，其將即便在刀片對於凸緣的嵌合公差嚴格的情況下，也可以進行刀片的自動更換作為其主要課題。 [解決問題的技術手段]
即，本發明的刀片更換機構的特徵在於包括：第一吸附部，吸附刀片；第二吸附部，與所述第一吸附部分開設置，吸附具有安裝所述刀片的刀片安裝部的凸緣；裝卸構件旋轉部，位於所述第二吸附部的內側，使可針對主軸裝卸所述刀片的裝卸構件旋轉；以及刀片搬送部，吸附所述刀片的與由所述第一吸附部吸附的面為相反側的面，對由所述第二吸附部所吸附的所述凸緣搬送所述刀片。 [發明的效果]
根據本發明，即便在刀片對於凸緣的嵌合公差嚴格的情況下，也可以進行刀片的自動更換。
繼而，舉例對本發明進行更詳細的說明。但是，本發明不由以下的說明限定。
如上所述，本發明的刀片更換機構的特徵在於包括：第一吸附部，吸附刀片；第二吸附部，與所述第一吸附部分開設置，吸附具有安裝所述刀片的刀片安裝部的凸緣；裝卸構件旋轉部，位於所述第二吸附部的內側，使可針對主軸裝卸所述刀片的裝卸構件旋轉；以及刀片搬送部，吸附所述刀片的與由所述第一吸附部吸附的面為相反側的面，對由所述第二吸附部所吸附的所述凸緣搬送所述刀片。 若為所述刀片更換機構，則通過刀片搬送部來對由第二吸附部所吸附的凸緣搬送刀片，因此只要相對於凸緣來對刀片搬送部進行定位即可，因此與如以往那樣凸緣與主軸的定位調整相比，容易進行凸緣與刀片搬送部的定位調整。因此，可容易地將刀片嵌入至凸緣的刀片安裝部。其結果，即便在刀片對於凸緣的嵌合公差嚴格的情況下，也可以進行刀片的自動更換。
另外，在專利文獻1中所示的以往構成中，可考慮減小固定在主軸的近位側凸緣即內凸緣的刀片安裝部的直徑尺寸，但刀片的同心偏離而對切斷品質造成影響。另外，若在內凸緣的刀片安裝部設置誘入錐形物，則與設置所述誘入錐形物相應地，外凸緣的尺寸變大。例如在使兩個主軸相向的雙主軸構成的情況下，相向的主軸的與刀片的距離變大，而使生產性（切斷效率）惡化。 在本發明中，將刀片安裝部設置在由第二吸附部所吸附的凸緣（外凸緣），通過刀片搬送部來將刀片搬送至所述刀片安裝部，因此可消除將在固定在主軸的固定凸緣即內凸緣設置有刀片安裝部的構成作為前提的所述不良情況。
此處，為了容易地將刀片安裝在由第二吸附部所吸附的凸緣（外凸緣）的刀片安裝部，理想的是在所述刀片安裝部的外側周面形成有錐面。
作為刀片搬送部的具體的實施方式，理想的是所述刀片搬送部具有吸附所述刀片的第三吸附部、及可插入至所述凸緣的中央開口部的凸部。 此處，刀片搬送部具有可插入至凸緣（外凸緣）的中央開口部的凸部，因此可容易地實現相對於由第二吸附部所吸附的凸緣（外凸緣）進行刀片搬送部的定位的構成。
為了高精度地進行由第二吸附部所吸附的凸緣（外凸緣）與刀片搬送部的定位，理想的是在所述凸緣的中央開口部的內側周面、或所述刀片搬送部的凸部的外側周面的至少一者形成有錐面。
可考慮刀片更換機構還包括可收納更換用刀片的收納部，所述收納部具有插通至所述刀片的中央開口部的懸掛部。 在所述構成中，為了不僅防止因懸掛部與刀片搬送部的凸部的接觸而妨礙更換，而且高精度地進行懸掛部與刀片搬送部的定位，順利地進行其後的朝凸緣（外凸緣）的刀片安裝部的安裝，理想的是在所述懸掛部形成有所述刀片搬送部的凸部可插入的凹部。
為了高精度地進行懸掛部與刀片搬送部的定位，理想的是在所述懸掛部的外側周面、所述懸掛部中的凹部的內側周面、或所述刀片搬送部的凸部的外側周面的至少一者形成有錐面。
例如，可考慮通過人手來將更換用刀片事先收納在收納部。此時，若懸掛部與更換用刀片的嵌合公差嚴格，則利用人手的更換用刀片的收納作業變得困難。因此，可考慮減小懸掛部的直徑尺寸來使利用人手的更換用刀片的收納作業變得容易。另外，在不利用人手而使用機器人等機械式的機構的情況下，也同樣地考慮減小懸掛部的直徑尺寸。另一方面，若設為所述構成，則刀片搬送部與更換用刀片的定位變得困難。 因此，本發明的刀片更換機構理想的是還包括定位部，所述定位部用於從所述收納部暫時地收納由所述刀片搬送部所吸附的更換用刀片，並進行所述刀片搬送部與所述更換用刀片的定位。
所述凸緣是與固定在所述主軸的固定凸緣一同夾持所述刀片的凸緣。因此，為了可確實地夾持刀片，理想的是所述固定凸緣具有收容所述凸緣的刀片安裝部的凹部。
為了將刀片從由第二吸附部所吸附的凸緣順利地交接至刀片搬送部，理想的是所述刀片搬送部在所述第一吸附部對於所述刀片的吸附已被解除的狀態下，吸附所述刀片來將其從所述刀片安裝部卸下。
當在由刀片搬送部吸附的狀態下將刀片嵌入至刀片安裝部時，由刀片搬送部所吸附的刀片的姿勢固定，因此存在刀片與刀片安裝部發生干涉而導致刀片不進一步進入的擔憂，進而甚至存在刀片破損的擔憂。因此，理想的是所述刀片搬送部在吸附更換用刀片並使其移動至所述刀片安裝部後，解除所述刀片的吸附，將所述更換用刀片壓入至規定位置為止。
另外，本發明的切斷裝置的特徵在於包括：所述刀片更換機構、所述刀片、以及所述主軸。 若為所述切斷裝置，則可自動更換對於凸緣的嵌合公差嚴格的刀片，因此可製造品質良好的切斷品。
進而，本發明的切斷品的製造方法的特徵在於：使用由所述刀片更換機構所更換的刀片將切斷對象物切斷，製造多個切斷品。 若為所述切斷品的製造方法，則可使用對於凸緣的嵌合公差嚴格的刀片來製造切斷品，因此可提升切斷品的品質。
＜本發明的一實施方式＞ 以下，參照圖式對本發明的裝入有檢查系統的切斷裝置的一實施方式進行說明。另外，關於以下所示的任一圖，為了容易理解，均適宜省略或加以誇張來示意性地描繪。對相同的構成元件附加相同的符號並適宜省略說明。
＜切斷裝置100的整體構成＞ 本實施方式的切斷裝置100是將切斷對象物W切斷，由此製造經單片化的多個切斷品即製品P的裝置。作為切斷對象物W，例如為已密封的基板。所述已密封的基板例如包括：印刷基板或包含引線框架等的基板、安裝在基板所具有的多個區域的多個功能元件（半導體元件等晶片）、及以一併覆蓋多個區域的方式形成的密封樹脂。另外，將所述已密封的基板切斷，由此製造作為製品P的電子零件。
具體而言，切斷裝置100如圖1所示，分別包括供給已密封的基板W的供給模塊100A、將已密封的基板W切斷的切斷模塊100B、及對被切斷而單片化的製品P進行檢查的檢查模塊100C作為構成元件。各構成元件100A～100C分別相對於其他構成元件可裝卸且可更換。
包含以下所示的各模塊100A～100C的切斷裝置100的動作控制由設置在供給模塊100A的控制部CTL來進行。所述控制部CTL也可以設置在供給模塊100A以外的其他的模塊100B、模塊100C。另外，控制部CTL也可以分割成多個，並設置在供給模塊100A、切斷模塊100B及檢查模塊100C中的至少兩個模塊。
供給模塊100A是從外部供給被切斷的已密封的基板W，並收容已密封的基板W的模塊。在所述供給模塊100A設置收容已密封的基板W的基板收容部2。已密封的基板W由搬送機構（未圖示）從供給模塊100A搬送至切斷模塊100B。
切斷模塊100B是將已密封的基板W切斷來單片化成多個製品P的模塊。所述切斷模塊100B包括：切斷用平台3，載置已密封的基板W；移動機構4，使切斷用平台3在Y方向上移動；旋轉機構5，使切斷用平台3在θ方向上旋轉；切斷機構6，具有用於將已密封的基板W切斷的刀片61；以及刀片更換機構7，更換切斷機構6的刀片61。而且，使切斷用平台3與切斷機構6相對地移動，由此已密封的基板W被刀片61切斷。另外，切斷機構6及刀片更換機構7的具體構成將後述。
檢查模塊100C是對通過切斷模塊100B而單片化的製品P進行檢查的模塊。所述檢查模塊100C包括：檢查用平台8，載置經單片化的製品P；以及拍攝裝置9，拍攝載置在檢查用平台8的製品P。所述檢查模塊100C通過由拍攝裝置9所獲得的拍攝圖像，將製品P區分成良品與不良品。而且，利用移送機構（未圖示）將良品移送至良品用托盤10來進行收納，將不良品移送至不良品用托盤11來進行收納。
＜關於切斷機構6及刀片更換機構7＞ 本實施方式的切斷機構6如圖2所示，包括：無中樞的刀片（hubless blade）61；主軸62，使所述刀片61旋轉；以及一對凸緣63、64，將刀片61可裝卸地固定在主軸62。本實施方式的刀片61例如為成為具有圓形的中央開口部的圓板形狀的刀片。
一對凸緣63、64包含：靠近主軸62一側的內凸緣63，固定在主軸62；以及遠離主軸62一側的外凸緣64，以相對於主軸62可裝卸的方式構成。而且，外凸緣64以安裝在內凸緣63的中心軸部631的狀態，通過例如螺母等裝卸構件65來固定。通過所述裝卸構件65而可針對主軸62裝卸刀片61。
外凸緣64具有安裝刀片61的刀片安裝部641。所述刀片安裝部641嵌入至刀片61的中央開口部，成為與刀片61的中央開口部對應的形狀，在本實施方式中成為圓筒形狀。
另一方面，內凸緣63是固定在主軸62的固定凸緣，在與外凸緣64的相向面形成有收容外凸緣64的刀片安裝部641的凹部632。所述凹部632成為環繞內凸緣63的中心軸部631所形成的環狀。通過所述構成，當已將外凸緣64安裝在內凸緣63時，外凸緣64的刀片安裝部641進入至內凸緣63的凹部632，並且通過一對凸緣63、64來夾持刀片61。
用於所述切斷機構6的刀片更換機構7如圖3所示，包括：吸附臂71，吸附刀片61及外凸緣64；刀片搬送部72，對吸附臂71搬送刀片61；以及收納部73，收納刀片61。
吸附臂71如圖4～圖6所示，包括：第一吸附部711，吸附刀片61；第二吸附部712，吸附外凸緣64；以及裝卸構件旋轉部713，使裝卸構件65旋轉。所述吸附臂71以通過移動機構（未圖示）而相對於主軸62相對地移動的方式構成（參照圖3）。
第一吸附部711吸附刀片61的其中一個面（外凸緣64側的面）。具體而言，第一吸附部711具有：第一圓筒構件711a，接觸刀片61的外表面；多個第一吸附口711b，形成在所述第一圓筒構件711a的與刀片61的接觸面；以及第一吸氣流路711c，形成在第一圓筒構件711a的內部，與多個第一吸附口711b連接。第一吸氣流路711c與設置在吸附臂71的外部的抽吸泵（未圖示）連接。
第二吸附部712位於第一吸附部711的內側，吸附外凸緣64的外側的面（與內凸緣63為相反側的面）。另外，第二吸附部712獨立於第一吸附部711的吸附來吸附外凸緣64。具體而言，第二吸附部712具有：第二圓筒構件712a，接觸外凸緣64的外表面；多個第二吸附口712b，形成在所述第二圓筒構件712a的與外凸緣64的接觸面；以及第二吸氣流路712c，形成在第二圓筒構件712a的內部，與多個第二吸附口712b連接。第二圓筒構件712a以變成同軸上的方式配置在所述第一圓筒構件711a的中空部。另外，第二吸氣流路712c與設置在吸附臂71的外部的抽吸泵（未圖示）連接。
裝卸構件旋轉部713位於第二吸附部712的內側，與主軸62的裝卸構件65（此處為螺母）卡合來使裝卸構件65裝卸。具體而言，裝卸構件旋轉部713具有與裝卸構件65卡合的卡合部713a，且具有以可旋轉的方式設置的旋轉構件713b、及使所述旋轉構件713b旋轉的例如具有馬達的旋轉機構（未圖示）。卡合部與形成在裝卸構件65的被卡合部卡合。例如在裝卸構件65的被卡合部為凹部的情況下，卡合部是與所述凹部卡合的突起。而且，在卡合部已與裝卸構件65的被卡合部卡合的狀態下使旋轉構件713b旋轉，由此可針對內凸緣63的中心軸部631安裝或卸下裝卸構件65。
刀片搬送部72如圖6所示，對由第二吸附部712所吸附的外凸緣64搬送刀片61，進行刀片61的從外凸緣64的卸下及刀片61的朝外凸緣64的安裝。所述刀片搬送部72以通過移動機構（未圖示）而在吸附臂71及收納部73之間移動的方式構成（參照圖3）。
具體而言，刀片搬送部72吸附刀片61的與由第一吸附部711吸附的面為相反側的面（內凸緣63側的面），具有吸附刀片61的第三吸附部721、及可插入至外凸緣64的中央開口部的凸部722。第三吸附部721具有：第三圓筒構件721a，接觸刀片61的外表面；多個第三吸附口721b，形成在所述第三圓筒構件721a的與刀片61的接觸面；以及第三吸氣流路721c，形成在第三圓筒構件721a的內部，與多個第三吸附口721b連接。第三吸氣流路721c與設置在刀片搬送部72的外部的抽吸泵（未圖示）連接。另外，凸部722形成在第三圓筒構件721a的中央部，插入至形成在外凸緣64的刀片安裝部641的內側的中央開口部。
而且，在本實施方式中，在外凸緣64的刀片安裝部641的外側周面，形成有隨著前往前端（內凸緣63側）而縮徑的第一錐面T1。所述第一錐面T1使由刀片搬送部72所搬送的刀片61容易進入至刀片安裝部641。
另外，在外凸緣64的刀片安裝部641的內側周面，形成有隨著前往前端（內凸緣63側）而擴徑的第二錐面T2。而且，當刀片搬送部72對外凸緣64交接刀片61時，刀片搬送部72的凸部722一邊被第二錐面T2引導一邊插入至中央開口部，由此相對於外凸緣64來對刀片搬送部72進行定位。
收納部73如圖7所示，可收納更換用刀片61及已使用的刀片61。具體而言，收納部73具有插通至更換用刀片61的中央開口部的第一懸掛部731、及插通至已使用的刀片61的中央開口部的第二懸掛部732。在所述懸掛部731、懸掛部732的前端面形成有刀片搬送部72的凸部722可插入的凹部733、凹部734。
在第一懸掛部731中的凹部733的內側周面，形成有隨著前往前端而擴徑的第三錐面T3。而且，當刀片搬送部72從收納部73取出更換用刀片61時，刀片搬送部72的凸部722一邊被第三錐面T3引導一邊插入至凹部733，由此相對於第一懸掛部731來對刀片搬送部72進行定位。另外，在第二懸掛部732中的凹部734的內側周面，與第一懸掛部731同樣地，形成有隨著前往前端而擴徑的第四錐面T4。而且，當刀片搬送部72將已使用的刀片61收納在收納部73時，刀片搬送部72的凸部722一邊被第四錐面T4引導一邊插入至凹部734，由此相對於第二懸掛部732來對刀片搬送部72進行定位。
＜刀片更換機構7的動作＞ 繼而，對利用刀片更換機構7的刀片61的自動更換動作進行說明。
刀片更換機構7的吸附臂71移動來接觸主軸62（參照圖4）。而且，第一吸附部711及第二吸附部712吸附刀片61及外凸緣64。在此狀態下，裝卸構件旋轉部713使裝卸構件65旋轉來卸下裝卸構件65。其後，吸附臂71從主軸62退避。由此，從主軸62卸下已使用的刀片61，並且變成已使用的刀片61與外凸緣64吸附在吸附臂71的狀態（參照圖5）。
繼而，刀片搬送部72朝吸附臂71移動。此時，刀片搬送部72的凸部722由刀片安裝部641的第二錐面T2引導，相對於刀片安裝部641來對刀片搬送部72進行定位。而且，刀片搬送部72的第三吸附部721吸附已使用的刀片61。在此狀態下，使刀片搬送部72相對於吸附臂71相對地移動，由此從外凸緣64卸下已使用的刀片61（參照圖6）。另外，當通過刀片搬送部72來吸附已使用的刀片61時，解除由吸附臂71的第一吸附部711所進行的吸附。由此，可將已使用的刀片61從外凸緣64順利地交接至刀片搬送部72。
吸附有已使用的刀片61的刀片搬送部72朝收納部73的第二懸掛部732移動（參照圖7的箭頭（A））。此時，刀片搬送部72的凸部722由第二懸掛部732的第四錐面T4引導，相對於第二懸掛部732來對刀片搬送部72進行定位。而且，刀片搬送部72的第三吸附部721解除已使用的刀片61的吸附，將已使用的刀片61收納在第二懸掛部732。
在收納已使用的刀片61後，刀片搬送部72朝收納部73的第一懸掛部731移動（參照圖7的箭頭（B））。此時，刀片搬送部72的凸部722由第一懸掛部731的第三錐面T3引導，相對於第一懸掛部731來對刀片搬送部72進行定位。而且，刀片搬送部72的第三吸附部721開始更換用刀片61的吸附，吸附被收納在第一懸掛部731的更換用刀片61。
吸附有更換用刀片61的刀片搬送部72朝吸附臂71移動（參照圖7的箭頭（C））。此時，刀片搬送部72的凸部722由刀片安裝部641的第二錐面T2引導，相對於刀片安裝部641來對刀片搬送部72進行定位。而且，刀片搬送部72將更換用刀片61安裝在由吸附臂71所吸附的外凸緣64的刀片安裝部641。此處，通過刀片安裝部641的第一錐面T1而容易安裝更換用刀片61。刀片搬送部72在安裝更換用刀片61後，解除第三吸附部721對於更換用刀片61的吸附，吸附臂71的第一吸附部711吸附更換用刀片61（參照圖5）。
另外，當將更換用刀片61安裝在刀片安裝部641時，刀片搬送部72也可以在使更換用刀片61移動至刀片安裝部641後，解除更換用刀片61的吸附，將更換用刀片61壓入至規定位置為止。此處，所謂規定位置，是指即便壓入更換用刀片61，更換用刀片61也不進一步移動的位置，且為接觸外凸緣64的內側的面（內凸緣63側的面）的位置。具體而言，刀片搬送部72使更換用刀片61朝刀片安裝部641移動，在刀片安裝部641的前端部進入至更換用刀片61的中央開口部後解除更換用刀片61的吸附。此時，更換用刀片61變成掛在刀片安裝部641的狀態。在此狀態下，刀片搬送部72將更換用刀片61壓入至接觸外凸緣64的內側的面的位置為止。通過如此安裝更換用刀片61，可防止更換用刀片61與刀片安裝部641發生干涉而導致更換用刀片61不進一步進入，從而確實地安裝更換用刀片61。
在將更換用刀片61安裝在刀片安裝部641後，吸附臂71朝主軸62移動。而且，裝卸構件旋轉部713使裝卸構件65旋轉，而利用外凸緣64與內凸緣來夾持更換用刀片61（參照圖4）。其後，吸附臂71的第一吸附部711解除更換用刀片61的吸附，並且第二吸附部712解除外凸緣64的吸附，吸附臂71從主軸62退避。通過所述一連串的動作，結束從已使用的刀片61朝更換用刀片61的更換動作。
＜本實施方式的效果＞ 根據本實施方式的切斷裝置100，通過刀片搬送部72來對由第二吸附部712所吸附的外凸緣64搬送刀片61，因此只要相對於外凸緣64來對刀片搬送部72進行定位即可，因此與如以往那樣外凸緣64與主軸62的定位調整相比，容易進行外凸緣64與刀片搬送部72的定位調整。因此，可容易地將刀片61嵌入至外凸緣64的刀片安裝部641。其結果，即便在刀片61對於一對凸緣63、64的嵌合公差嚴格的情況下，也可以進行刀片61的自動更換。
尤其，在外凸緣64的刀片安裝部641形成有第一錐面T1，因此可容易地將刀片61安裝在由第二吸附部712所吸附的外凸緣64的刀片安裝部641。進而，在刀片安裝部641的內側周面形成第二錐面T2，將刀片搬送部72定位在刀片安裝部641，因此可更容易地將刀片61安裝在刀片安裝部641。
進而，在第一懸掛部731的內側周面形成第三錐面T3，將刀片搬送部72定位在第一懸掛部731，因此可相對於刀片搬送部72來對更換用刀片61進行定位，可容易地將所述更換用刀片61安裝在刀片安裝部641。此外，在第二懸掛部732的內側周面形成第四錐面T4，將刀片搬送部72定位在第二懸掛部732，因此可確實地將已使用的刀片61收納在第二懸掛部732。
＜其他變形實施方式＞ 另外，本發明並不限於所述實施方式。
例如，除所述實施方式的構成以外，如圖8所示，也可以包括定位部74，所述定位部74用於在從收納部73朝吸附臂71搬送更換用刀片61的中途，進行刀片搬送部72與更換用刀片61的定位。另外，圖8中所示的箭頭表示刀片搬送部72的移動順序。
所述定位部74暫時地收納由刀片搬送部72所吸附的更換用刀片61，並進行刀片搬送部72與更換用刀片61的定位。具體而言，定位部74具有懸掛更換用刀片61的第三懸掛部741。在第三懸掛部741的前端面，形成有刀片搬送部72的凸部722可插入的凹部742。在所述第三懸掛部741的外側周面，形成有隨著前往前端而縮徑的第五錐面T5。另外，在第三懸掛部741的內側周面，形成有隨著前往前端而擴徑的第六錐面T6。進而，第三懸掛部741的外徑以比所述實施方式的第一懸掛部731大，與更換用刀片61的間隙比第一懸掛部731小的方式構成。通過所述定位部74，可進行更換用刀片61相對於刀片搬送部72的位置的微調整。
在所述實施方式中，在刀片安裝部641的內側周面形成第二錐面T2，在第一懸掛部731的內側周面形成第三錐面T3，在第二懸掛部732的內側周面形成第四錐面T4，但也可以在嵌入至這些錐面的刀片搬送部72的凸部722形成隨著前往前端而縮徑的錐面。另外，就減小定位之前的移動量的觀點而言，理想的是僅在刀片搬送部72的凸部722與嵌入至凸部722的其他構件的任一者設置錐面，但也可以設置在兩者。
另外，所述實施方式的切斷裝置100是具有一個主軸62的單主軸構成的切斷裝置，但也可以設為具有兩個主軸62的雙主軸構成的切斷裝置。在此情況下，刀片更換機構7依次更換兩個主軸62各自的刀片61。
此外，本發明並不限於所述實施方式，當然可在不脫離其主旨的範圍內進行各種變形。
2:基板收容部 3:切斷用平台 4:移動機構 5:旋轉機構 6:切斷機構 7:刀片更換機構 8:檢查用平台 9:拍攝裝置 10:良品用托盤 11:不良品用托盤 61:刀片（更換用刀片） 62:主軸 63:固定凸緣（內凸緣） 64:外凸緣 65:裝卸構件 71:吸附臂 72:刀片搬送部 73:收納部 74:定位部 100:切斷裝置 100A:供給模塊（模塊、構成元件） 100B:切斷模塊（模塊、構成元件） 100C:檢查模塊（模塊、構成元件） 631:中心軸部 632、733、734、742:凹部 641:刀片安裝部 711:第一吸附部 711a:第一圓筒構件 711b:第一吸附口 711c:第一吸氣流路 712:第二吸附部 712a:第二圓筒構件 712b:第二吸附口 712c:第二吸氣流路 713:裝卸構件旋轉部 713a:卡合部 713b:旋轉構件 721:第三吸附部 721a:第三圓筒構件 721b:第三吸附口 721c:第三吸氣流路 722:凸部 731:第一懸掛部（懸掛部） 732:第二懸掛部（懸掛部） 741:第三懸掛部 （A）、（B）、（C）:箭頭 CTL:控制部 P:製品 T1:第一錐面 T2:第二錐面 T3:第三錐面 T4:第四錐面 T5:第五錐面 T6:第六錐面 W:切斷對象物（已密封的基板） θ:方向
圖1是表示本發明的一實施方式的切斷裝置的構成的示意圖。 圖2是示意性地表示所述實施方式的切斷機構的構成的剖面圖。 圖3是表示所述實施方式的刀片更換機構的構成的示意圖。 圖4是示意性地表示所述實施方式的刀片更換機構的吸附臂（裝卸構件的裝卸前）的構成的剖面圖。 圖5是示意性地表示所述實施方式的刀片更換機構的吸附臂（裝卸構件的裝卸後）的構成的剖面圖。 圖6是示意性地表示所述實施方式的刀片更換機構的刀片搬送部的構成的剖面圖。 圖7是示意性地表示所述實施方式的刀片更換機構的收納部的構成的剖面圖。 圖8是示意性地表示變形實施方式的收納部及位置調整部的構成的剖面圖。
6:切斷機構
7:刀片更換機構
61:刀片(更換用刀片)
62:主軸
63:固定凸緣(內凸緣)
64:外凸緣
65:裝卸構件
71:吸附臂
72:刀片搬送部
73:收納部

Claims (12)

  1. 一種刀片更換機構，包括：吸附臂及對吸附臂搬送刀片的刀片搬送部，所述吸附臂具有第一吸附部，吸附所述刀片；第二吸附部，與所述第一吸附部分開設置，吸附具有安裝所述刀片的刀片安裝部的凸緣；以及裝卸構件旋轉部，位於所述第二吸附部的內側，使能夠針對主軸裝卸所述刀片的裝卸構件旋轉，且所述刀片搬送部吸附所述刀片的與由所述第一吸附部吸附的面為相反側的面，對由所述第二吸附部所吸附的所述凸緣搬送所述刀片。
  2. 如請求項1所述的刀片更換機構，其中在所述刀片安裝部的外側周面形成有錐面。
  3. 如請求項1所述的刀片更換機構，其中所述刀片搬送部具有吸附所述刀片的第三吸附部、及能夠插入至所述凸緣的中央開口部的凸部。
  4. 如請求項3所述的刀片更換機構，其中在所述凸緣的中央開口部的內側周面、或所述刀片搬送部的凸部的外側周面的至少一者形成有錐面。
  5. 如請求項3所述的刀片更換機構，還包括能夠收納更換用刀片的收納部， 所述收納部具有插通至所述刀片的中央開口部的懸掛部，在所述懸掛部形成有所述刀片搬送部的凸部能夠插入的凹部。
  6. 如請求項5所述的刀片更換機構，其中在所述懸掛部的外側周面、所述懸掛部中的凹部的內側周面、或所述刀片搬送部的凸部的外側周面的至少一者形成有錐面。
  7. 如請求項5所述的刀片更換機構，還包括定位部，所述定位部用於從所述收納部暫時地收納由所述刀片搬送部所吸附的更換用刀片，並進行所述刀片搬送部與所述更換用刀片的定位。
  8. 如請求項1所述的刀片更換機構，其中所述凸緣是與固定在所述主軸的固定凸緣一同夾持所述刀片的凸緣，所述固定凸緣具有收容所述凸緣的刀片安裝部的凹部。
  9. 如請求項1所述的刀片更換機構，其中所述刀片搬送部在所述第一吸附部對於所述刀片的吸附已被解除的狀態下，吸附所述刀片來將其從所述刀片安裝部卸下。
  10. 如請求項1所述的刀片更換機構，其中所述刀片搬送部在吸附更換用刀片並使其移動至所述刀片安裝部後，解除所述刀片的吸附，將所述更換用刀片壓入至規定位置為止。
  11. 一種切斷裝置，包括：如請求項1至請求項10中任一項所述的刀片更換機構、所述刀片、以及所述主軸。
  12. 一種切斷品的製造方法，使用由如請求項1至請求項10中任一項所述的刀片更換機構所更換的刀片將切斷對象物切斷，製造多個切斷品。
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