TWI741385B - 接合裝置及其應用之測試分類設備 - Google Patents

接合裝置及其應用之測試分類設備 Download PDF

Info

Publication number
TWI741385B
TWI741385B TW108136409A TW108136409A TWI741385B TW I741385 B TWI741385 B TW I741385B TW 108136409 A TW108136409 A TW 108136409A TW 108136409 A TW108136409 A TW 108136409A TW I741385 B TWI741385 B TW I741385B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
unit
port
joining
condensation
test
Prior art date
Application number
TW108136409A
Other languages
English (en)
Other versions
TW202115406A (zh
Inventor
謝旼達
李子瑋
Original Assignee
鴻勁精密股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 鴻勁精密股份有限公司 filed Critical 鴻勁精密股份有限公司
Priority to TW108136409A priority Critical patent/TWI741385B/zh
Publication of TW202115406A publication Critical patent/TW202115406A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI741385B publication Critical patent/TWI741385B/zh

Links

Images

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

一種接合裝置,包含箱室單元、接合單元及防結露單元,箱室單元係設有一具作業空間之本體,本體沿作業軸向設有相通作業空間之第一通口,接合單元係設有沿作業軸向位移之移動臂,移動臂裝配可供接觸電子元件之接合器,並穿置於本體之第一通口,防結露單元係於本體之第一通口設有複數個第一噴氣部件,以供噴出之氣體於第一通口形成流體阻隔罩;不僅供移動臂由箱室單元之第一通口且沿作業軸向脫離本體而易於修護,並利用防結露單元於接合單元執行預設作業時避免流入外部氣體而有效防結露,達到便利修護及提升作業品質之實用效益。

Description

接合裝置及其應用之測試分類設備
本發明係提供一種便利修護及提升作業品質之接合裝置。
在現今,電子元件於製作完成後,係以測試設備對電子元件進行冷測作業,而淘汰出不良品;請參閱第1圖, 該電子元件測試設備係於機台11配置測試機構12、冷測箱13、移料機構14及接合機構15,該測試機構12係設有電性連接之電路板121及測試座122,以供測試電子元件,冷測箱13係罩置於測試機構12之上方,並鎖固於機台11 ,冷測箱13係設有頂板131及四個側板132,並於其一側板132開設有供移入/出電子元件之輸送口133,以及設有控制輸送口133啟閉之門板134,移料機構14之移料器141作X-Z方向位移通過冷測箱13之輸送口133,將電子元件移入測試機構12之測試座122,接合機構15係以一架置於機架(圖未示出)之動力源(圖未示出)驅動下壓桿151作Z方向位移,下壓桿151之一端穿置於冷測箱13之頂板131,並裝配下壓頭152及溫控器153,下壓頭152係下壓測試座122內之電子元件,並利用溫控器153使電子元件位於模擬低溫測試環境下而執行冷測作業;惟冷測箱13於關閉門板134時,雖可防結露,但測試分類設備測試不同型式電子元件或執行修護作業時,必須拆卸測試機構12之測試座122及接合機構15之下壓頭152,由於冷測箱13僅於側板132開設尺寸較小之輸送口133供移料器141移入/出電子元件,若工作人員將手部及拆卸工具由此一尺寸較小之輸送口133伸入於冷測箱13之內部,其操作空間相當受限而不利裝拆測試座122或下壓頭152;實際作業上,工作人員為獲得較大之更換修護操作空間,係將鎖固於機台11上之冷測箱13整個拆卸,不僅必須繁瑣卸除複數個鎖固用栓具,由於下壓頭152位於冷測箱13的內部,將具下壓頭152之下壓桿151與冷測箱13分離,更增加修護作業之困難度及作業時間。
本發明之目的一,係提供一種接合裝置,包含箱室單元、接合單元及防結露單元,箱室單元係設有一具作業空間之本體,本體沿作業軸向設有相通作業空間之第一通口,接合單元係設有沿作業軸向位移之移動臂,移動臂裝配可供接觸電子元件之接合器,並穿置於本體之第一通口,防結露單元係於本體之第一通口設有複數個第一噴氣部件,以供噴出之氣體於第一通口形成流體阻隔罩;不僅供移動臂由箱室單元之第一通口且沿作業軸向脫離本體而易於修護,並利用防結露單元於接合單元執行預設作業時避免流入外部氣體而有效防結露,達到便利修護及提升作業品質之實用效益。
本發明之目的二,係提供一種接合裝置,其中,該箱室單元之第一通口與接合單元之移動臂間係設有連接單元,連接單元係設有相互配合之第一連接部件及第二連接部件,藉以使接合單元帶動箱室單元同步位移,而適用不同作業需求,達到提升使用效能之實用效益。
本發明之目的三,係提供一種測試分類設備,包含機台、供料裝置、收料裝置、測試裝置、本發明接合裝置、輸送裝置及中央控制裝置,供料裝置係配置於機台上,並設有至少一容納待測電子元件之供料承置器,收料裝置係配置於機台上,並設有至少一容納已測電子元件之收料承置器,測試裝置係配置於機台上,並設有至少一測試器,以對電子元件執行測試作業,本發明之接合裝置包含箱室單元、接合單元及防結露單元,以供利於修護及防結露,並供於測試裝置處移載或壓接電子元件;輸送裝置係配置於機台上,並設有至少一移載電子元件之移料器;中央控制裝置係用以控制及整合各裝置作動,以執行自動化作業,達到提升作業效能之實用效益。
為使 貴審查委員對本發明作更進一步之瞭解,茲舉一較佳實施例並配合圖式,詳述如後:
請參閱第2圖,本發明接合裝置20之第一實施例,包含箱室單元、接合單元及防結露單元;該箱室單元係設有一具作業空間211之本體21,本體21沿作業軸向L設有第一通口212,第一通口212相通作業空間211,更進一步,該作業軸向L係為升降位移軸向(例如接合單元之壓接位移軸向),於本實施例中,本體21係為一中空箱體,並於內部形成一作業空間211,本體21於頂面沿作業軸向L開設有第一通口212;又本體21之底面可具有面板或第二通口,若具有面板,可供裝配測試座(圖未示出) ,若具有第二通口,則可供接合單元之接合器位移通過,於本實施例中,本體21係於底面開設有第二通口213,第二通口213相通作業空間211;另於本體21設有至少一定位部件214,定位部件214可以鎖固或扣接等方式裝配於待裝配物(如機台或承座),於本實施例中,本體21係於側板215近底部設有定位部件214,定位部件214係以栓具鎖固方式定位於機台(圖未示出);本體21係設有至少一門板22,以控制啟閉作業空間211,於本實施例中,本體21之其一側板215開設有相通作業空間211之輸送口216,而供移入/出電子元件,並於輸送口216處設置門板22,以控制啟閉作業空間211;本體21係設有至少一入氣口217,入氣口217連通供氣設備,以提供預設溫度之乾燥氣體送入本體21之作業空間211。
該接合單元係設有一由驅動源驅動位移之移動臂23,移動臂23穿置於本體21之第一通口212,並沿作業軸向L位移,於本實施例中,驅動源(圖未示出)係裝配於機架,而帶動移動臂23沿作業軸向L位移,移動臂23係穿置於本體21之第一通口212,並與第一通口212間具有適當間隙;移動臂23裝配至少一可供接觸電子元件之接合器24,更進一步,接合器24可作移載電子元件或下壓電子元件,或移載及下壓電子元件,於本實施例中,接合器24之外徑尺寸係小於本體21之第一通口212,並供作下壓電子元件,使得驅動源可驅動移動臂23及接合器24沿作業軸向L位移而通過第一通口212脫離本體21;接合單元係設有至少一溫控器25,溫控器25可為致冷晶片、加熱件或具流體之載具,溫控器25可裝配於接合器24或接合器24上方,使接合器24保持預設作業溫度,以供電子元件位於模擬預設溫度測試環境執行測試作業。
該防結露單元係於本體21之第一通口212設有複數個第一噴氣部件261,以供噴出之氣體於第一通口212形成流體阻隔罩,更進一步 ,第一噴氣部件261可為一具噴氣孔之噴氣環,並裝配於第一通口212之內壁,亦或直接於第一通口212之內壁設有可為噴氣孔之第一噴氣部件261,第一噴氣部件261之設置角度可為水平或傾斜,複數個第一噴氣部件261可作多層式排列設計,第一噴氣部件261可噴出乾燥之氣體,於本實施例中,防結露單元係於第一通口212之內壁開設有複數個為噴氣孔之第一噴氣部件261,複數個第一噴氣部件261係以第一氣體輸送管271連通供氣設備(圖未示出),而供對第一通口212噴出乾燥之氣體,利用噴出之氣體於第一通口212與移動臂23間形成流體阻隔罩;防結露單元另於本體21之輸送口216設有複數個第二噴氣部件262,以供噴出之氣體於輸送口216形成流體阻隔罩,第二噴氣部件262之設置角度可為水平或傾斜,複數個第二噴氣部件262可作多層式排列設計,第二噴氣部件262可噴出乾燥之氣體,於本實施例中,係於輸送口216之內頂面設有複數個為噴氣孔之 第二噴氣部件262,複數個第二噴氣部件262係以第二氣體輸送管272連通供氣設備(圖未示出),而供由上向下對輸送口216噴出氣體,利用噴出之氣體於輸送口216形成流體阻隔罩。
請參閱第3圖,測試分類設備之機台31係裝配電性連接之電路板32及測試座33,以供測試電子元件;本發明接合裝置20之本體21的定位部件214係以栓具鎖固裝配於機台31,並罩置於測試座33之上方,使得本體21之作業空間211經第二通口213而相通測試座33;於執行冷測作業時,接合單元之溫控器25降溫接合器24,使接合器24保持預設低溫,由於接合單元之移動臂23與箱室單元之第一通孔212間具有間隙,為防止外部空氣流入本體21之作業空間211而導致接合器24及移動臂23發生結露,防結露單元係以第一氣體輸送管271將氣體輸送至複數個第一噴氣部件261,令複數個第一噴氣部件261朝向第一通口212噴出氣體 ,利用氣體於第一通口212與移動臂23之間形成流體阻隔罩,以有效避免外部空氣經由本體21之第一通口212而流入作業空間211,進而防止接合器24及移動臂23結露,另防結露單元係以第二氣體輸送管272將氣體輸送至複數個第二噴氣部件262,令複數個第二噴氣部件262朝向輸送口216噴出氣體,利用氣體於輸送口216形成另一流體阻隔罩,以有效避免外部空氣經由本體21之輸送口216流入作業空間211,而可更進一步防止接合器24及移動臂23結露;於開啟本體21之門板22後,一吸附待測電子元件35之移料器34作X-Y-Z方向位移通過本體21之輸送口216而進入作業空間211,然於移料器34通過輸送口216之過程中,防結露單元即利用複數個第二噴氣部件262於輸送口216處形成之流體阻隔罩 ,而有效避免流入外部空氣,移料器34將待測電子元件35移入測試座33 ,以待執行冷測作業。
請參閱第4圖,移料器34退出箱室單元之本體21,箱室單元之門板22關閉本體21之輸送口216,接合單元係以驅動源驅動移動臂23沿作業軸向L而帶動接合器24及溫控器25同步向下位移,接合器24即壓抵測試座33內之電子元件35,使電子元件35之接點確實接觸測試座33之探針,接合單元之溫控器25並使電子元件35位於低溫模擬測試環境執行冷測作業,由於防結露單元係以複數個第一噴氣部件261於第一通口212與移動臂23之間形成流體阻隔罩,並以複數個第二噴氣部件262於輸送口216處形成另一流體阻隔罩,使得防結露單元有效避免外部空氣經由本體21之第一通口212及輸送口216流入作業空間211,進而防止接合器24及移動臂23結露,達到提升測試品質之實用效益。
請參閱第5圖,欲修護接合單元之接合器24時,由於移動臂23及接合器24的外徑尺寸係小於本體21之第一通口212的內徑尺寸,使得接合單元係以驅動源驅動移動臂23沿作業軸向L向上位移,令移動臂23帶動接合器24同步向上位移且通過第一通孔212而脫離本體21,而且,作業軸向L即為升降位移軸向,毋需於箱室單元之本體21周側另外騰出可供移動臂23及接合器24位移之空間,進而利於接合裝置20周側之空間配置 ,於接合單元之接合器24位於本體21之上方時,即可使接合器24之周側具有較大之修護空間,以供工作人員便利進行修護作業;因此,於修護作業時 ,箱室單元可供移動臂23及接合器24沿作業軸向L由第一通口212脫離本體21而易於修護,於測試作業時,防結露單元可利用複數個第一噴氣部件261於第一通口212與移動臂23之間形成流體阻隔罩,而避免外部氣體流入本體21之作業空間211以有效防結露,達到便利修護及提升作業品質之實用效益。
請參閱第6圖,本發明接合裝置20之第二實施例與第一實施例之差異在於除了包含箱室單元、接合單元及防結露單元以外,更包含一連接單元;於本實施例中,該箱室單元係於本體21之第二通口213設有二向外開啟之門板22,以控制啟閉作業空間211;該接合單元之移動臂23穿置於本體21之第一通口212,並沿作業軸向L位移,接合器24係作移載及下壓電子元件,該防結露單元係於本體21之第一通口212設有複數個第一噴氣部件261,以供噴出之氣體於第一通口212形成流體阻隔罩;該連接單元係於箱室單元之本體21的第一通口212與接合單元之移動臂23間設有相互配合之第一連接部件及第二連接部件,更進一步,第一連接部件及第二連接部件可為相互配合之滑軌與滑座,或為相互配合之卡珠與卡槽,或為相互配合之擋座與擋塊等設計,不以本實施例為限,以使移動臂23帶動本體21同步位移至不同作業位置;於本實施例中,連接單元係於本體21之第一通口212內壁面設有為滑座281之第一連接部件,以及於移動臂23之外環面設有為滑軌282之第二連接部件,移動臂23之滑軌282與本體21之滑座281相互配合作動,使得移動臂23可沿作業軸向L位移,並帶動本體21同步位移。
請參閱第7、8圖,測試分類設備之機台31係裝配電性連接之電路板32及測試座33,以供測試電子元件35;接合單元之接合器24係吸附待測之電子元件35,由於防結露單元之複數個第一噴氣部件261於本體21之第一通口212形成流體阻隔罩,而防止外部空氣由第一通口212處流入本體21之作業空間211,並以箱室單元之門板22關閉作業空間211,進而有效防止位於作業空間211之接合器24結露;再者,移動臂23利用連接單元相互配合之滑軌282及滑座281,而可帶動接合器24、本體21及待測電子元件35同步作X-Y方向位移至測試座33之上方;箱室單元之門板22向外位移而開啟本體21之作業空間211,接合單元之驅動源利用移動臂23帶動本體21沿作業軸向L作第一階段向下位移,使本體21置放於機台31上,令本體21之作業空間211相通測試座33,驅動源再驅動移動臂23於本體21之第一通口212內沿作業軸向L作第二階段向下位移,移動臂23上之滑軌282即沿本體21上之滑座281位移,使接合器24移入且壓抵待測電子元件35於測試座33執行測試作業,然由於防結露單元之複數個第一噴氣部件261保持對第一通口212噴氣,而於本體21之第一通口212形成流體阻隔罩,進而有效防止外部空氣由第一通口212處流入本體21之作業空間211,達到提升電子元件測試品質之實用效益。
請參閱第9圖,欲修護接合單元之接合器24時,接合單元係以驅動源驅動移動臂23沿作業軸向L向上位移,移動臂23帶動接合器24同步向上位移而脫離本體21,並令滑軌282脫離本體21上之滑座281,由於作業軸向L即為升降位移軸向,毋需於箱室單元之本體21周側另外騰出可供移動臂23及接合器24位移之空間,進而利於接合裝置20周側之空間配置,於接合單元之接合器24位於本體21之上方時,即可使接合器24之周側具有較大之修護空間,以供工作人員便利進行修護作業。
請參閱第2、10圖,本發明接合裝置20應用於電子元件測試分類設備之示意圖,包含機台40、供料裝置50、收料裝置60、測試裝置70、本發明之接合裝置20、輸送裝置80及中央控制裝置(圖未示出);供料裝置50係配置於機台40上,並設有至少一容納待測電子元件之供料承置器51;收料裝置60係配置於機台40上,並設有至少一容納已測電子元件之收料承置器61;測試裝置70係配置於機台40上,並設有至少一測試器,以對電子元件執行測試作業,於本實施例中,測試器包含電性連接之電路板71及測試座72;本發明之接合裝置20包含箱室單元、接合單元及防結露單元,以供利於修護及防結露,並供於測試裝置70處移載或壓接電子元件,於本實施例中,箱室單元係裝配於測試裝置70之上方,接合單元係壓接測試座72內的電子元件執行測試作業,防結露單元係防止接合單元及電子元件結露;輸送裝置80係配置於機台40上,並設有至少一移料器,以移載電子元件,於本實施例中,輸送裝置80係設有作X-Y-Z方向位移之第一移料器81,第一移料器81於供料裝置50取出待測之電子元件,並移載至載台82,第二移料器83於載台82取出待測之電子元件,並移載至接合單元之本體21的作業空間211,第三移料器84於測試座72取出已測之電子元件後,第二移料器83再將待測之電子元件移入測試裝置70之測試座72,接合單元之接合器24係壓接電子元件執行測試作業,第三移料器84依測試結果,將已測之電子元件移載至收料裝置60之收料承置器61而分類收置;中央控制裝置係用以控制及整合各裝置作動,以執行自動化作業,達到提升作業效能之實用效益。
[習知] 11:機台 12:測試機構 121:電路板 122:測試座 13:冷測箱 131:頂板 132:側板 133:輸送口 134:門板 14:移料機構 141:移料器 15:接合機構 151:下壓桿 152:下壓頭 153:溫控器 [本發明] 25:溫控器 261:第一噴氣部件 262:第二噴氣部件 271:第一氣體輸送管 272:第二氣體輸送管 281:滑座 282:滑軌 31:機台 32:電路板 33:測試座 34:移料器 35:電子元件 40:機台 50:供料裝置 51:供料承置器 60:收料裝置 61:收料承置器 70:測試裝置 71:電路板 72:測試座 80:輸送裝置 81:第一移料器 82:載台 83:第二移料器 84:第三移料器 L:作業軸向
第1圖:習知測試分類設備之局部示意圖。 第2圖:本發明接合裝置第一實施例之示意圖。 第3圖:本發明接合裝置第一實施例之使用示意圖(一)。 第4圖:本發明接合裝置第一實施例之使用示意圖(二)。 第5圖:本發明接合裝置第一實施例之使用示意圖(三)。 第6圖:本發明接合裝置第二實施例之示意圖。 第7圖:本發明接合裝置第二實施例之使用示意圖(一)。 第8圖:本發明接合裝置第二實施例之使用示意圖(二)。 第9圖:本發明接合裝置第二實施例之使用示意圖(三)。 第10圖:本發明接合裝置應用於測試分類設備之示意圖。
21:本體
211:作業空間
212:第一通口
216:輸送口
22:門板
23:移動臂
24:接合器
25:溫控器
261:第一噴氣部件
262:第二噴氣部件
33:測試座
34:移料器
35:電子元件
L:作業軸向

Claims (10)

  1. 一種接合裝置,包含:箱室單元:係設有具作業空間之本體,該本體於作業軸向設有相通該作業空間之第一通口;接合單元:係設有由驅動源驅動位移之移動臂,該移動臂係穿置裝配於該本體之該第一通口,並沿該作業軸向位移,另該移動臂裝配至少一供接觸電子元件之接合器;防結露單元:係於該本體之該第一通口設有複數個第一噴氣部件,該複數個第一噴氣部件朝向該第一通口及該移動臂噴出氣體,以供噴出之氣體於該第一通口與該移動臂間形成流體阻隔罩,而阻隔外部空氣。
  2. 如請求項1所述之接合裝置,其中,該箱室單元之該本體之底面係設有相通該作業空間之第二通口,並於該第二通口設有至少一門板。
  3. 如請求項1所述之接合裝置,其中,該箱室單元之該本體之底面係設有相通該作業空間之該第二通口,並於側面設有相通該作業空間之輸送口,以供移入/出電子元件,該輸送口設置至少一門板。
  4. 如請求項3所述之接合裝置,其中,該防結露單元係於該箱室單元之該輸送口設有複數個第二噴氣部件,以供噴出之氣體於該輸送口形成另一流體阻隔罩。
  5. 如請求項1所述之接合裝置,其中,該箱室單元之該本體設有至少一定位部件。
  6. 如請求項1所述之接合裝置,其中,該接合單元之該接合器係供移載電子元件、下壓該電子元件或移載及下壓該電子元件。
  7. 如請求項1所述之接合裝置,其中,該接合單元係設有至少一溫控器。
  8. 如請求項1所述之接合裝置,更包含連接單元,該連接單元係於該箱室單元之該第一通口與該接合單元之該移動臂間設有相互配合之第一連接部件及第二連接部件。
  9. 如請求項8所述之接合裝置,其中,該連接單元之該第一連接部件及該第二連接部件係為相互配合之滑軌與滑座,或為相互配合之卡珠與卡槽,或為相互配合之擋座與擋塊。
  10. 一種測試分類設備,包含:機台;供料裝置:係配置於該機台上,並設有至少一容納待測電子元件之供料承置器;收料裝置:係配置於該機台上,並設有至少一容納已測該電子元件之收料承置器;測試裝置:係配置於該機台上,並設有至少一測試該電子元件之測試器;至少一如請求項1所述之接合裝置:係包含箱室單元、接合單元及防結露單元,以對該電子元件執行預設作業,並防止該接合單元結露; 輸送裝置:係配置於該機台上,並設有至少一移載該電子元件之移料器;中央控制裝置:係用以控制及整合各裝置作動,以執行自動化作業。
TW108136409A 2019-10-08 2019-10-08 接合裝置及其應用之測試分類設備 TWI741385B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW108136409A TWI741385B (zh) 2019-10-08 2019-10-08 接合裝置及其應用之測試分類設備

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW108136409A TWI741385B (zh) 2019-10-08 2019-10-08 接合裝置及其應用之測試分類設備

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW202115406A TW202115406A (zh) 2021-04-16
TWI741385B true TWI741385B (zh) 2021-10-01

Family

ID=76604495

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW108136409A TWI741385B (zh) 2019-10-08 2019-10-08 接合裝置及其應用之測試分類設備

Country Status (1)

Country Link
TW (1) TWI741385B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115826640A (zh) * 2021-09-17 2023-03-21 致茂电子股份有限公司 温度控制系统、温度控制方法以及具备该系统的影像传感器测试设备

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030112002A1 (en) * 2001-12-13 2003-06-19 Koji Kawaguchi Probe system
TW201708826A (zh) * 2015-08-21 2017-03-01 Hon Tech Inc 電子元件作業裝置及其應用之測試分類設備
WO2017056461A1 (ja) * 2015-09-30 2017-04-06 セイコーエプソン株式会社 電子部品搬送装置および電子部品検査装置
TW201836034A (zh) * 2017-03-24 2018-10-01 鴻勁精密股份有限公司 電子元件溫控箱單元及其應用之測試分類設備
CN208873701U (zh) * 2018-09-18 2019-05-17 长鑫存储技术有限公司 半导体扩散设备

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030112002A1 (en) * 2001-12-13 2003-06-19 Koji Kawaguchi Probe system
TW201708826A (zh) * 2015-08-21 2017-03-01 Hon Tech Inc 電子元件作業裝置及其應用之測試分類設備
WO2017056461A1 (ja) * 2015-09-30 2017-04-06 セイコーエプソン株式会社 電子部品搬送装置および電子部品検査装置
TW201836034A (zh) * 2017-03-24 2018-10-01 鴻勁精密股份有限公司 電子元件溫控箱單元及其應用之測試分類設備
CN208873701U (zh) * 2018-09-18 2019-05-17 长鑫存储技术有限公司 半导体扩散设备

Also Published As

Publication number Publication date
TW202115406A (zh) 2021-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8704542B2 (en) Thermal chamber for IC chip testing
TWI741385B (zh) 接合裝置及其應用之測試分類設備
TWM485783U (zh) 鎖螺絲裝置
CN210442056U (zh) 一种气泵电磁阀综合测试设备的气密性检测机构
TWI748258B (zh) 接合裝置及其應用之測試分類設備
TW201913111A (zh) 具溫控測區單元之測試裝置及其應用之測試分類設備
KR200483516Y1 (ko) 전자부품 작업장치 및 이를 테스트 분류 설비에 응용
TWI559004B (zh) Electronic components operating equipment and its application of the test classification equipment
TWI797824B (zh) 壓測頭之快速拆裝組件及具備該組件之電子元件測試設備
TWI641842B (zh) Crimp of electronic component crimping mechanism and test classification device thereof
WO2019203635A1 (en) Apparatus for testing led array tile
CN110026800A (zh) 机床夹具快插油路装置及机床
ITRE990006A1 (it) Dispositivo per il carico e lo scarico di circuiti integrati modularisu e da unita' di prova di manipolatori di circuiti integrati modulari
CN111546051B (zh) 一种马达的自动装配工艺及其装置
TWI585419B (zh) Test equipment for electronic components operating equipment with anti - condensation unit and its application
US7676908B2 (en) Pressing member and electronic device handling apparatus
TWI526690B (zh) Electronic component compression device and its application equipment
TWI604206B (zh) Electronic component testing device and its application test classification equipment
TWI610390B (zh) 電子元件溫控箱單元及其應用之測試分類設備
TWI585418B (zh) Electronic components operating units and their application of test classification equipment
TW202314253A (zh) 壓接機構、測試裝置及作業機
CN114604568A (zh) 一种pcb板自动检测装置
TW201515979A (zh) 送料裝置
TWI629490B (zh) 具下置式冷源輸送裝置之電子元件測試設備
JP2015509855A (ja) 焼嵌めチャックを冷却するための装置