TWI737958B - 金屬線及鋸線 - Google Patents

Abstract

於含有鎢之金屬線中，金屬線中鎢之含有率為90 wt%以上，金屬線之拉伸強度為4000 MPa以上，金屬線之彈性模數為350 GPa以上且450 GPa以下，金屬線之線徑為60 μm以下，金屬線之與線軸正交之剖面之平均結晶粒度為0.20 μm以下。

Description

金屬線及鋸線

本發明係關於一種金屬線及鋸線。

先前，已知使用由拉伸強度較高之鋼琴線構成之導線將矽鑄錠切片之多線鋸(例如，參照專利文獻1)。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2008-213111號公報

[發明所欲解決之問題]

然而，鋼琴線存在彈性模數及硬度較低之問題。又，鋼琴線亦存在難以細線化之問題。因此，作為替代鋼琴線之金屬線，要求拉伸強度、彈性模數及硬度均較高且較細之金屬線。

因此，本發明之目的在於提供一種拉伸強度、彈性模數及硬度均較高且較細之金屬線及鋸線。 [解決問題之技術手段]

為達成上述目的，本發明之一態樣之金屬線係含有鎢之金屬線，上述金屬線中鎢之含有率為90 wt%以上，上述金屬線之拉伸強度為4000 MPa以上，上述金屬線之彈性模數為350 GPa以上且450 GPa以下，上述金屬線之線徑為60 μm以下，上述金屬線之與線軸正交之剖面之平均結晶粒度為0.20 μm以下。

又，本發明之一態樣之鋸線具備上述金屬線。 [發明之效果]

根據本發明，可提供一種拉伸強度、彈性模數及硬度均較高且較細之金屬線及鋸線。

以下，使用圖式對本發明之實施形態之金屬線及鋸線詳細地進行說明。再者，以下說明之實施形態均表示本發明之一具體例。因此，以下實施形態中所示之數值、形狀、材料、構成要素、構成要素之配置及連接形態、步驟、步驟之順序等為一例，主旨並非限定本發明。由此，以下實施形態之構成要素中表示本發明之最上位概念之獨立請求項中未記載之構成要素作為任意之構成要素而說明。

又，各圖係模式圖，未必嚴格地圖示。因此，例如各圖中縮小比例等未必一致。又，各圖中，對於實質上相同之構成標註相同之符號，省略或簡化重複之說明。

又，本說明書中，表示平行或相等等要素間之關係性之術語、及表示圓形等要素之形狀之術語、以及數值範圍的表達並非僅表示嚴格之含意，而是指實質上同等之範圍，例如亦包含數%左右之差異。

(實施形態) [切斷裝置] 首先，使用圖1對具備實施形態之鋸線之切斷裝置之概要進行說明。圖1係表示本實施形態之切斷裝置1之立體圖。

如圖1所示，切斷裝置1係具備鋸線2之多線鋸。切斷裝置1例如藉由將鑄錠20切斷成薄板狀而製造晶圓。鑄錠20例如係由單晶矽構成之矽鑄錠。具體而言，切斷裝置1藉由利用複數根鋸線2將鑄錠20切片而同時製造複數個矽晶圓。

再者，鑄錠20並不限於矽鑄錠，亦可為矽碳化物或藍寶石等其他鑄錠。或者，切斷裝置1之切斷對象物亦可為混凝土或玻璃等。

本實施形態中，鋸線2具備金屬線10。具體而言，鋸線2係金屬線10本身。

如圖1所示，切斷裝置1進而具備2個導引輥3、支持部4、及張力緩和裝置5。

於2個導引輥3上複數次捲繞有1根鋸線2。此處，為方便說明，將鋸線2之1周量作為1根鋸線2，以將複數根鋸線2捲繞於2個導引輥3之情形進行說明。亦即，於以下之說明中，複數根鋸線2形成1條連續之鋸線2。再者，複數根鋸線2亦可為各自分離之複數根鋸線。

2個導引輥3藉由於將複數根鋸線2以特定之張力筆直地繃緊之狀態下各自旋轉，而使複數根鋸線2以特定之速度旋轉。複數根鋸線2相互平行，且等間隔地配置。具體而言，於2個導引輥3上，分別以特定之間距設置有複數個供鋸線2裝入之槽。槽之間距根據欲切下之晶圓之厚度而決定。槽之寬度與鋸線2之線徑f大致相同。

再者，切斷裝置1亦可具備3個以上之導引輥3。亦可將複數根鋸線2捲繞於3個以上之導引輥3。

支持部4支持作為切斷對象物之鑄錠20。藉由支持部4將鑄錠20朝複數根鋸線2推壓，而由複數根鋸線2將鑄錠20切片。

張力緩和裝置5係緩和施加至鋸線2之張力之裝置。例如，張力緩和裝置5係螺旋彈簧或板彈簧等彈性體。如圖1所示，例如作為螺旋彈簧之張力緩和裝置5之一端連接於導引輥3，另一端固定於特定之壁面。張力緩和裝置5藉由調整導引輥3之位置而可緩和施加至鋸線2之張力。

再者，雖未圖示，但切斷裝置1係游離研磨粒方式之切斷裝置，且亦可具備對鋸線2供給漿料之供給裝置。漿料係使研磨粒分散於冷卻劑等切削液中者。藉由漿料中所含之研磨粒附著於鋸線2而可容易地進行鑄錠20之切斷。

圖2係表示利用本實施形態之切斷裝置1進行鑄錠20之切片之狀態之剖視圖。圖2表示圖1所示之Ⅱ-Ⅱ線之剖面、即與鋸線2之延伸方向(即，金屬線10之線軸方向)正交之剖面之一部分。具體而言，表示由複數根鋸線2中之3根鋸線2對鑄錠20進行切片之狀態。

藉由將鑄錠20朝複數根鋸線2推壓，鑄錠20被複數根鋸線2同時分割成複數個分割片21。相鄰之分割片21間之間隙22係藉由利用鋸線2將鑄錠20削掉而形成之空間。亦即，間隙22之大小相當於鑄錠20之損耗。

間隙22之寬度d依存於鋸線2之線徑f。即，鋸線2之線徑f越大，則寬度d越大，從而鑄錠20之損耗越多。鋸線2之線徑f越小，則寬度d越小，從而鑄錠20之損耗越少。

具體而言，間隙22之寬度d大於線徑f。寬度d與線徑f之差量之大小依存於附著於鋸線2之研磨粒之大小、與鋸線2旋轉時振動之擺動幅度。此時，鋸線2之擺動幅度可藉由強力繃緊鋸線2而抑制。鋸線2之拉伸強度越高、彈性模數越高，則越能夠強力地繃緊鋸線2。因此，鋸線2之擺動幅度變小，可減小間隙22之寬度d，從而可進一步減少鑄錠20之損耗。

再者，分割片21之厚度D依存於複數根鋸線2之配置間隔。因此，複數根鋸線2以將所需之厚度D與特定之容限相加後之間隔而配置。具體而言，容限係寬度d與線徑f之差量，其值係根據鋸線2之擺動幅度及研磨粒之粒徑而決定。

根據以上所述可知，為減少鑄錠20之損耗，鋸線2之線徑f、拉伸強度、及彈性模數為重要之參數。具體而言，藉由減小鋸線2之線徑f，或提高鋸線2之拉伸強度，提高彈性模數，而可減少鑄錠20之損耗。本實施形態之鋸線2一般具有相較具有80 μm左右線徑之鋼琴線小的線徑f，且一般具有與具有3500 MPa以上拉伸強度之鋼琴線同等以上之拉伸強度。

以下，對鋸線2、即金屬線10之構成及製造方法進行說明。

[金屬線] 金屬線10係含有鎢(W)之金屬線。金屬線10中鎢之含有率為90 wt%以上。例如，鎢之含有率可為95 wt%以上，亦可為99 wt%以上，還可為99.9 wt%以上。

本實施形態中，金屬線10包含鎢與錸(Re)之合金(即，ReW合金)。金屬線10中錸之含有率為0.1 wt%以上且10 wt%以下。例如，錸之含有率可為0.5 wt%以上且5 wt%以下，舉一例而言，可為3 wt%，但亦可為1 wt%。藉由提高錸之含有率，使金屬線10之拉伸強度變大。另一方面，於錸之含有率過高之情形時，金屬線10之細線化變得困難。

包含ReW合金之金屬線10中，線徑f越小，則拉伸強度越強。即，藉由利用包含ReW合金之金屬線10，可實現線徑f較小、且拉伸強度較高之鋸線2，可抑制鑄錠20之損耗。

具體而言，金屬線10之拉伸強度為4000 MPa以上。例如，金屬線10之拉伸強度可為4500 MPa以上，亦可為5000 MPa以上。

又，金屬線10之彈性模數為350 GPa以上且450 GPa以下。再者，彈性模數為縱向彈性係數。再者，鋼琴線之彈性模數一般為150 GPa~250 GPa之範圍。亦即，金屬線10具有鋼琴線之約2倍之彈性模數。

藉由彈性模數為350 GPa以上而使金屬線10不易變形。即，金屬線10不易伸長。另一方面，藉由彈性模數為450 GPa以下而能夠進行某種程度之變形。具體而言，可使金屬線10彎曲，故可將金屬線10(鋸線2)容易地捲繞於導引輥3間。

金屬線10之線徑f為60 μm以下。例如，金屬線10之線徑f可為40 μm以下，亦可為30 μm以下。具體而言，金屬線10之線徑f為20 μm，但亦可為10 μm。再者，於附著有金剛石粒子等研磨粒之情形時，金屬線10之線徑f例如亦可為10 μm以上。

金屬線10之線徑f為均勻。再者，亦可並不完全均勻，根據部位亦可包含例如1%等之數%左右之差。金屬線10之線徑f為60 μm以下，故金屬線10具有柔軟性，容易充分地彎曲。因此，可將金屬線10(鋸線2)容易地捲繞於導引輥3間。

金屬線10例如為與金屬線10之線軸正交之剖面形狀為大致圓形之金屬線，但並不限於此。金屬線10之剖面形狀亦可為正方形等矩形或橢圓形等。

又，金屬線10之與線軸正交之剖面之平均結晶粒度為0.20 μm以下。平均結晶粒度係基於金屬線10之與線軸正交之剖面上每單位面積之ReW合金之結晶數之平均值的值。意味著，平均結晶粒度越小，則各結晶之大小越小，即結晶數越多。

此處，使用圖3~圖6對平均結晶粒度與拉伸強度之關係進行說明。

圖3~圖5分別係拉伸強度為3800 MPa、4000 MPa、4400 MPa之金屬線10之剖視圖。各圖之金屬線10之線徑f為60 μm，錸之含有率為0.1 wt%。各圖表示金屬線10之相對於線軸垂直地切斷後之剖面之SIM(Scanning Ion Microscope，掃描離子顯微鏡)像。各圖中，相同濃度(顏色)之範圍表示1個結晶。

平均結晶粒度可藉由將複數個對象範圍之結晶粒度平均化而算出。結晶粒度例如可將金屬線10之剖面中600 nm×600 nm之面積範圍作為對象，利用面積計量法而測量。具體而言，結晶粒度可根據下式(1)而算出。

(1) 結晶粒度=(對象面積/結晶數)^(1/2)

再者，式(1)中，“X^(1/2)”表示X之平方根。

對圖3~圖5所示之3根金屬線10之各者，計數於5個對象範圍A~E之各者中包含之結晶數。根據計數結果，算出結晶數之平均值及平均結晶粒度。將計數結果及算出結果示於下表1中。

[表1]

再者，關於結晶數，將完全包含於對象範圍內者計數為1個，將至少一部分自對象範圍露出者計數為1/2個。圖3~圖5之各者中，繼“A”~“E”後之數值表示結晶數。

圖6係表示本實施形態之金屬線10之拉伸強度與平均結晶粒度之關係之圖。圖6中，橫軸表示金屬線10之拉伸強度[MPa]，縱軸表示平均結晶粒度[μm]。

如表1及圖6所示，可知平均結晶粒度越小，則拉伸強度越大。本實施形態中，金屬線10之平均結晶粒度為0.20 μm以下，故金屬線10之拉伸強度成為4000 MPa以上。亦即，可將金屬線10之拉伸強度設為與鋼琴線同等以上。又，金屬線10之平均結晶粒度亦可為0.16 μm以下，金屬線10之拉伸強度成為4400 MPa以上。

[金屬線之製造方法] 以下，使用圖7對具有上述特徵之金屬線10(鋸線2)之製造方法進行說明。圖7係表示本實施形態之金屬線10之製造方法之狀態轉變圖。

首先，如圖7之(a)所示，以特定之比例準備鎢粉末11a及錸粉末11b。具體而言，以鎢粉末11a與錸粉末11b合併後之整體重量中之0.1%以上且10%以下之範圍準備錸粉末11b，將其餘部分作為鎢粉末11a。鎢粉末11a及錸粉末11b之各者之平均粒徑例如為5 μm，但並不限於此。

其次，藉由對鎢粉末11a及錸粉末11b之混合物進行壓製及燒結(熔結)，而製作包含鎢及錸之合金之ReW鑄錠。藉由對ReW鑄錠進行自周圍鍛造壓縮且伸展之旋鍛加工，而如圖7之(b)所示製作線狀之ReW線12。例如，相對於作為燒結體之ReW鑄錠之線徑為15 mm左右，線狀之ReW線12之線徑為3 mm左右。

其次，如圖7之(c)所示，進行使用有拉線模之拉絲加工。

具體而言，首先，如圖7之(c1)所示，將ReW線12進行退火。具體而言，不僅利用燃燒器直接加熱ReW線12，而且一面使電流流過ReW線12一面進行加熱。退火步驟係為了去除由旋鍛加工或拉絲加工產生之加工應變而進行。

其次，如圖7之(c2)所示，使用拉線模30進行ReW線12之拉絲、即拉線。再者，藉由前段之退火步驟將ReW線12加熱使其變得柔軟，故可容易地進行拉線。藉由使ReW線12細線化，其單位截面面積之強度變高。亦即，藉由拉絲步驟而細線化之ReW線13相較ReW線12，單位截面面積之拉伸強度更高。再者，ReW線13之線徑例如為0.6 mm，但並不限於此。

其次，如圖7之(c3)所示，藉由對拉絲後之ReW線13進行電解研磨，使ReW線13之表面光滑。電解研磨步驟例如係藉由於將ReW線13與碳棒等對向電極41浸於氫氧化鈉水溶液等電解液40之狀態下對ReW線13與對向電極41之間通電而進行。

其次，如圖7之(c4)所示，進行模具更換。具體而言，作為用於接下來之拉絲加工之模具，選擇相較拉線模30之口徑小之拉線模31。再者，拉線模30及31例如係由燒結金剛石或單晶金剛石等構成之金剛石模具。

反覆執行圖7之(c1)~(c4)，直至ReW線13之線徑成為所需之線徑f(具體而言，60 μm以下)。此時，圖7之(c2)所示之拉絲步驟係藉由根據成為對象之ReW線之線徑調整拉線模30或31之形狀及硬度、使用之潤滑劑、以及ReW線之溫度等而進行。

圖7之(c1)所示之退火步驟亦同樣地，根據成為對象之ReW線之線徑而調整退火條件。藉由退火步驟而於鎢線之表面附著氧化物。藉由調整退火條件而可調整附著之氧化物量。

具體而言，ReW線之線徑越大，則於越高溫度下退火，ReW線之線徑越小，則於越低溫度下退火。例如，於ReW線之線徑較大之情形時，具體而言，於第1次拉絲加工時之退火步驟中，以1400℃~1800℃之溫度進行退火。成為所需線徑之最終拉絲加工時之最終退火步驟中，以1200℃~1500℃之溫度進行加熱。再者，於最終退火步驟中，亦可不進行對ReW線之通電。

又，於反覆拉絲加工時，亦可省略退火步驟。例如，亦可省略最終退火步驟。具體而言，為減小結晶粒度，亦可省略最終退火步驟，調節潤滑劑及拉線模之形狀及硬度。例如，藉由省略最終退火步驟，可減小平均結晶粒度。又，越降低拉線加工時之導線之加熱溫度，則越可進一步減小平均結晶粒度。又，結晶方位亦容易與加工優先方位＜110＞一致。

經過以上步驟，如圖7之(d)所示製造金屬線10(鋸線2)。

再者，圖7係模式性表示金屬線10之製造方法之各步驟之圖。可個別地進行各步驟，亦可產線上進行各步驟。例如，亦可將複數個拉線模於生產線上以口徑依序變小之順序排列，且於各拉線模間配置進行退火步驟之加熱裝置及電解研磨裝置等。

[效果等] 如上，本實施形態之金屬線10係含有鎢之金屬線，金屬線10中鎢之含有率為90 wt%以上，金屬線10之拉伸強度為4000 MPa以上，金屬線10之彈性模數為350 GPa以上且450 GPa以下，金屬線10之線徑f為60 μm以下，金屬線10之與線軸正交之剖面之平均結晶粒度為0.20 μm以下。

如此，金屬線10含有鎢，故彈性模數及硬度較高。又，含有鎢之金屬線10越細線化，則拉伸強度越增加而越不易斷裂。金屬線10之線徑f為60 μm以下，且金屬線10之平均結晶粒度為0.20 μm以下，故金屬線10之拉伸強度提高至4000 MPa以上。

如上，根據本實施形態，可實現拉伸強度、彈性模數及硬度均較高、且較細之金屬線10。

因此，具備金屬線10之鋸線2之拉伸強度較高，故可於導引輥3間以較強之張力繃緊。因此，可抑制鑄錠20切斷時鋸線2之振動。進而，鋸線2之線徑f為60 μm，充分小，故可減少鑄錠20之損耗。因此，可增加自1個鑄錠20切下之晶圓之片數。

又，例如，金屬線10之拉伸強度為4500 MPa以上。

藉此，金屬線10之拉伸強度更高，故例如可將金屬線10(鋸線2)以更強之張力繃緊於導引輥3間。因此，可進一步抑制切斷時鋸線2之振動，可減少鑄錠20之損耗。

又，例如，金屬線10包含鎢與錸之合金，金屬線10中錸之含有率為0.1 wt%以上且10 wt%以下。

藉此，藉由金屬線10包含ReW合金，可獲得拉伸強度較純鎢線更高之金屬線10。藉此，金屬線10即便細線化亦不易斷裂，故可實現與鋼琴線同等以上之拉伸強度。因此，根據本實施形態，可提供一種相較鋼琴線細、且具有鋼琴線之約2倍之彈性模數、具有與鋼琴線同等以上之拉伸強度的鋸線2。

(變化例) 繼而，對上述實施形態之變化例進行說明。以下，以與上述實施形態之不同點為中心進行說明，省略或簡化共通點之說明。

本變化例之金屬線包含摻雜有鉀(K)之鎢以替代ReW合金。亦即，金屬線為摻雜有鉀之純鎢線。金屬線中鎢之含有率(純度)例如為99 wt%以上，亦可為99.9 wt%以上。

金屬線中鉀之含有率為0.01 wt%以下，但並不限於此。例如，金屬線中鉀之含有率亦可為0.005 wt%以上且0.010 wt%以下。

包含摻雜有鉀之鎢之金屬線(摻鉀之鎢線)之線徑f越小，則拉伸強度越強。即，藉由利用摻鉀之鎢線，可實現線徑f較小、且拉伸強度較高之鋸線2，可抑制鑄錠20之損耗。

本變化例之鋸線之拉伸強度、彈性模數、線徑f及平均結晶粒度等分別與實施形態之金屬線10相同。再者，平均結晶粒度可根據鎢之結晶數而算出。本變化例之金屬線中，鉀存在於鎢之晶界中。

如上，本變化例之金屬線中，金屬線10包含摻雜有鉀之鎢，金屬線10中鉀之含有率為0.01 wt%以下。

如此，藉由鎢含有微量之鉀而可抑制金屬線之半徑方向之晶粒成長。因此，本變化例之鋸線相較100%之純鎢，高溫下之強度變高。

再者，摻雜有鉀之鎢線藉由利用摻雜有鉀之摻雜鎢粉末替代鎢粉末11a及錸粉末11b，而可以與ReW合金線相同之製造方法製造。

(其他) 以上，根據上述實施形態及變化例對本發明之金屬線及鋸線進行了說明，但本發明並非限定於上述實施形態。

例如，於上述實施形態及變化例中，揭示了鋸線2為金屬線10本身之例，但並不限於此。鋸線2亦可具備金屬線10、及附著於金屬線10之表面之複數個研磨粒。此時，於金屬線10之表面，亦可設置用以保持研磨粒之鍍鎳層。亦即，鋸線2可為如實施形態所示之以游離研磨粒方式利用之導線，亦可為以固定研磨粒方式利用之導線。研磨粒例如為金剛石或CBN(立方氮化硼)等。

又，例如，切斷裝置1亦可並非多線鋸，亦可為藉由以1根鋸線2將鑄錠20切片而逐片切下晶圓之線鋸裝置。又，圖1所示之切斷裝置1僅為一例，例如亦可不具備張力緩和裝置5。

又，例如，上述實施形態之金屬線10亦可用於鋸線以外。例如，藉由將複數個金屬線10織造為縱線及橫線而可製造金屬網。金屬網例如能夠用作網版印刷用之網等。

或者，金屬線10例如亦可用於檢查用之探針、或導管之導引線等。又，金屬線10之結晶微細且強度較高，故再結晶溫度亦較高，亦能夠用於高溫用導線之用途等。再者，例如，於用於探針之情形時等，亦可將金屬線10之前端變細。即，金屬線10之線徑亦可不均勻。

又，例如，於上述實施形態中，揭示了金屬線10包含鎢與錸之合金之例，但並不限於此。金屬線10亦可包含鎢及不同於鎢之1種以上之金屬之合金。不同於鎢之金屬例如為過渡金屬，具體而言，為銥(Ir)、釕(Ru)或鋨(Os)等。不同於鎢之金屬之含有率例如與錸之含有率同樣地，為0.1 wt%以上且10 wt%以下，但並不限於此。又，錸之含有率、或不同於鎢之金屬之含有率可少於0.1 wt%，亦可多於10 wt%。

又，金屬線10亦可為不含雜質之實質上100%之純鎢線。純鎢線中未混合錸粉末，可僅利用鎢粉末，藉由與ReW合金線相同之製造方法而製造。

此外，對各實施形態實施業者所考慮的各種變化而獲得之形態、或於不脫離本發明之主旨之範圍將各實施形態之構成要素及功能任意組合而實現的形態亦包含於本發明。

1‧‧‧切斷裝置 2‧‧‧鋸線 3‧‧‧導引輥 4‧‧‧支持部 5‧‧‧張力緩和裝置 10‧‧‧金屬線 11a‧‧‧鎢粉末 11b‧‧‧錸粉末 12‧‧‧ReW線 13‧‧‧ReW線 20‧‧‧鑄錠 21‧‧‧分割片 22‧‧‧間隙 30‧‧‧拉線模 31‧‧‧拉線模 40‧‧‧電解液 41‧‧‧對向電極

圖1係實施形態之切斷裝置之立體圖。 圖2係表示利用實施形態之切斷裝置進行鑄錠之切片之狀態之剖視圖。 圖3係拉伸強度為3800 MPa之金屬線之剖視圖。 圖4係拉伸強度為4000 MPa之金屬線之剖視圖。 圖5係拉伸強度為4400 MPa之金屬線之剖視圖。 圖6係表示實施形態之金屬線之拉伸強度與平均結晶粒度之關係之圖。 圖7係表示實施形態之金屬線之製造方法之狀態轉變圖。

10‧‧‧金屬線

11a‧‧‧鎢粉末

11b‧‧‧錸粉末

12‧‧‧ReW線

13‧‧‧ReW線

30‧‧‧拉線模

31‧‧‧拉線模

40‧‧‧電解液

41‧‧‧對向電極

Claims (9)

1. 一種金屬線，其係含有鎢者，且 上述金屬線中鎢之含有率為90 wt%以上， 上述金屬線之拉伸強度為4000 MPa以上， 上述金屬線之彈性模數為350 GPa以上且450 GPa以下， 上述金屬線之線徑為60 μm以下， 上述金屬線之與線軸正交之剖面之平均結晶粒度為0.20 μm以下。
2. 如請求項1之金屬線，其中 上述金屬線之拉伸強度為4500 MPa以上。
3. 如請求項1之金屬線，其中 上述金屬線之拉伸強度大於5000 MPa。
4. 如請求項1之金屬線，其中 上述平均結晶粒度為0.16 μm以下。
5. 如請求項1至4中任一項之金屬線，其中 上述金屬線包含鎢與錸之合金， 上述金屬線中錸之含有率為0.1 wt%以上且10 wt%以下。
6. 如請求項1至4中任一項之金屬線，其中 上述金屬線包含摻雜有鉀之鎢， 上述金屬線中鉀之含有率為0.01 wt%以下。
7. 如請求項6之金屬線，其中 上述金屬線中鉀之含有率為0.005 wt%以上。
8. 一種金屬線，其係含有鎢者，且 上述金屬線中鎢之含有率為90 wt%以上， 上述金屬線之線徑為60 μm以下， 上述金屬線之與線軸正交之剖面之平均結晶粒度為0.20 μm以下。
9. 一種鋸線，其具備如請求項1至8中任一項之金屬線。

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