TWI705476B - 檢驗容器以及電子顯微鏡 - Google Patents

Abstract

一種檢驗容器包含一主體、一蓋體以及一載台。主體具有一容置槽以容置樣品。蓋體可拆卸地與主體連接以封閉容置槽。蓋體具有一第一通孔，其貫穿蓋體之一外側表面以及一內側表面，且包含一薄膜，其設置於蓋體之內側表面。薄膜具有與第一通孔相對之一第二通孔，以供一帶電粒子束通過第一通孔以及第二通孔。載台之設置位置對應於第二通孔，且可拆卸地設置於容置槽內。檢驗容器更包含O形環，設置於載台之周圍與容置槽的側壁之間以防止樣品進入容置槽之底部。同時亦揭露一種使用上述檢驗容器之電子顯微鏡。

Description

檢驗容器以及電子顯微鏡

本發明是有關一種利用電子顯微鏡之檢驗技術，特別是一種可檢驗常壓下之樣品之檢驗容器以及電子顯微鏡。。

習知之電子顯微鏡是在真空環境下檢驗樣品，因此無法檢驗常壓狀態之樣品，例如包含液態或氣態成分之樣品。為了克服此缺陷，目前已發展出利用帶電粒子束可穿透之薄膜來分隔真空環境以及非真空環境之電子顯微鏡，亦即薄膜至電子槍間之區域為真空環境，而薄膜至樣品間之區域則可為非真空環境。舉例而言，將包含液態或氣態成分之樣品密封於檢驗容器內，再將檢驗容器置於電子顯微鏡之檢驗腔室中進行檢驗。依據此結構，電子顯微鏡即能夠檢驗常壓下之樣品，例如懸浮粒子之分散狀態、反應中之氣體或活體之生物樣本等。

然而，目前之檢驗容器大多為固定型式，因而限制了適用之樣品或檢驗目的。為了獲得較佳之檢驗結果，不同的樣品或檢驗目的需要準備多種相對應之檢驗容器，這導致整體成本增加。有鑑於此，如何使檢驗容器能適用於檢驗多種樣品或檢驗目的便是目前極需努力的目標。

本發明提供一種檢驗容器以及電子顯微鏡，其是將載台以可拆卸的方式設置於檢驗容器，如此即可使同一檢驗容器適用於多種樣品或檢驗目的，並獲得較佳之檢驗結果。

本發明一實施例之檢驗容器是放置於一電子顯微鏡之一檢驗腔室以檢驗檢驗容器中之一樣品。檢驗容器包含一主體、一蓋體以及一載台。主體具有一容置槽以容置樣品。蓋體可拆卸地與主體連接以封閉容置槽，且蓋體具有一第一通孔，其貫穿蓋體之一外側表面以及一內側表面，且包含一薄膜，其設置於蓋體之內側表面。薄膜具有與第一通孔相對之一第二通孔，以供一帶電粒子束通過第一通孔以及第二通孔。載台之設置位置對應於第二通孔，且可拆卸地設置於容置槽內，以適用多種檢驗用途。

本發明另一實施例之電子顯微鏡包含一檢驗腔室、一帶電粒子束產生器、一檢驗容器以及一偵測器。檢驗腔室定義出一真空環境。帶電粒子束產生器與檢驗腔室連接，用以於檢驗腔室產生一帶電粒子束。檢驗容器放置於檢驗腔室中，以接受帶電粒子束轟擊。檢驗容器包含一主體、一蓋體以及一載台。主體具有一容置槽以容置樣品。蓋體可拆卸地與主體連接以封閉容置槽，且蓋體具有一第一通孔，其貫穿蓋體之一外側表面以及一內側表面，以及一薄膜，其設置於蓋體之一內側表面。薄膜具有與第一通孔相對之一第二通孔，以供一帶電粒子束通過第一通孔以及第二通孔。載台之設置位置對應於第二通孔，且可拆卸地設置於容置槽內，以適用多種檢驗用途。偵測器用以偵測樣品被帶電粒子束轟擊之一響應，並轉換為一電子訊號。

以下藉由具體實施例配合所附的圖式詳加說明，當更容易瞭解本發明之目的、技術內容、特點及其所達成之功效。

以下將詳述本發明之各實施例，並配合圖式作為例示。除了這些詳細說明之外，本發明亦可廣泛地施行於其它的實施例中，任何所述實施例的輕易替代、修改、等效變化都包含在本發明之範圍內，並以申請專利範圍為準。在說明書的描述中，為了使讀者對本發明有較完整的瞭解，提供了許多特定細節；然而，本發明可能在省略部分或全部特定細節的前提下，仍可實施。此外，眾所周知的步驟或元件並未描述於細節中，以避免對本發明形成不必要之限制。圖式中相同或類似之元件將以相同或類似符號來表示。特別注意的是，圖式僅為示意之用，並非代表元件實際之尺寸或數量，有些細節可能未完全繪出，以求圖式之簡潔。

本發明之檢驗容器是放置於一電子顯微鏡之一檢驗腔室以檢驗本發明之檢驗容器中之一樣品。請參照圖1a至圖3，本發明之一實施例之檢驗容器10包含一主體11、一蓋體12以及一載台13。主體11具有一容置槽111以容置樣品，例如懸浮粒子之分散狀態或活體之生物樣本等。於一實施例中，主體11之材料可為不銹鋼。蓋體12以可拆卸的方式與主體11連接以封閉容置槽111。舉例而言，蓋體12之材料可為不銹鋼。於一實施例中，蓋體12可相對於主體11旋轉而鎖合於主體11上，以防止樣品從容置槽111內洩露出來。舉例而言，蓋體12以及主體11可分別設置相對應之螺紋，使蓋體12以及主體11能夠相對旋轉而鎖緊。於一實施例中，主體11以及蓋體12之間可設置一O形環14a，以增加容置槽111的密封效果。

請一併參照圖3，蓋體12具有一第一通孔124以及一薄膜123。第一通孔124貫穿蓋體12之一外側表面121a以及一內側表面121b。於圖1a所示之實施例中，蓋體12包含一薄化區域，其涵蓋第一通孔124，以降低第一通孔124之側壁高度。舉例而言，蓋體12之外側表面121a側可設置一第一凹槽122a。第一通孔124則設置於第一凹槽122a之底部，如此即可降低第一通孔124之側壁高度。需注意者，請參照圖1b，蓋體12可不設置任何薄化區域，亦即外側表面121a以及內側表面121b皆沒有高度差。可以理解的是，第一通孔124之側壁可能阻擋訊號接收，於一實施例中，第一通孔124之側壁高度與第一通孔124之寬度之比值應小於等於0.7。薄膜123則設置於蓋體12之內側表面121b，且薄膜123具有與第一通孔124相對之一第二通孔123a。帶電粒子束可通過蓋體12之第一通孔124以及第二通孔123a，以轟擊容置槽111內之樣品。本發明所屬技術領域中具有通常知識者可以理解，薄膜123還包含覆蓋第二通孔123a之膜片，以維持容置槽111之氣密性。為了圖式簡潔，故未繪示覆蓋第二通孔123a之膜片。於一實施例中，薄膜122可為一薄膜晶片，舉例而言，薄膜晶片之材料可為半導體氮化物、半導體氧化物、金屬氧化物、高分子材料、石墨、石墨烯或其它適當之材料。於一實施例中，第二通孔123a可為圓孔、方孔或狹長孔。可以理解的是，第二通孔123a為圓孔狀之薄膜123可承受較大之壓力。換言之，在相同壓力條件下，圓孔之孔徑可大於方孔之孔徑而不會導致薄膜123破損，因此，較大的圓孔可獲得較大的檢驗範圍。於一實施例中，第二通孔123a之側壁具有段差。換言之，如圖3所示，朝向蓋體12一側之第二通孔123a的開口較大，依據此結構，樣品所產生之背向散射帶電粒子可避免被薄膜123阻擋。

接續上述說明，載台13以可拆卸的方式設置於主體11之容置槽111內，且設置位置對應於薄膜123之第二通孔123a。換言之，帶電粒子束可通過第一通孔124以及第二通孔123a，以轟擊載台13上之樣品。舉例而言，載台13下方可設置一定位梢131。將定位梢131對準容置槽111內相對應之槽孔，將載台13推入容置槽111內即可。於一實施例中，載台13之周圍可設置一O形環14b，以防止樣品或流體進入容置槽111之底部。於一實施例中，O形環14b可為雙層O形環。舉例而言，內層O形環可為具有彈性之材料，例如橡膠，而外層O形環可為耐磨或摩擦阻力較小之材料，例如聚四氟乙烯(Polytetrafluoroethylene，鐵氟龍)。可以理解的是，載台13可拆卸並更換為不同型式之載台，以適用多種檢驗用途。舉例而言，更換不同高度之載台13即可調整載台至薄膜123之距離。其它不同型式之載台容後說明。

請再參照圖3，於一實施例中，蓋體12之內側表面121b設置一第二凹槽122b，薄膜123則設置於第二凹槽122b內。需注意的是，第二凹槽122b之深度小於薄膜123之厚度。依據此結構，薄膜123略微突出於蓋體12之內側表面121b，以避免氣泡停留在第二通孔123a的位置而排擠樣品或影響檢驗。可以理解的是，在無需考量氣泡的情況下，例如觀察氣體樣品，則第二凹槽122b之深度可大於薄膜123之厚度，以達到降低第一通孔124之側壁高度的效果。於一實施例中，第二凹槽122b之形狀可為圓形、方形或端點為圓形之方形。

請參照圖4，於一實施例中，載台13具有一直立表面132。舉例而言，載台13之頂面具有段差，如此即形成直立表面132。依據此結構，操作者可更換圖4所示之載台13，使樣品可站立抵靠於直立表面132，以檢驗樣品之側面，例如觀察蝕刻液蝕刻樣品之深度。需注意者，直立表面132不限定為垂直面，其亦可為一斜面，以利觀察不同角度之樣品。

於一實施例中，容置槽111內可設置一流體入口112a以及一流體出口112b。流動態之樣品(例如液體或氣體樣品)能夠經由流體入口112a進入容置槽111內，通過載台13進行檢驗後再經由流體出口112b排出。較佳者，流體入口112a以及流體出口112b至蓋體12之距離大於載台13至蓋體之距離。依據此結構，可避免在容置槽111之頂部產生氣泡。可以理解的是，操作者亦可藉由流體入口112a導入蝕刻液等反應流體，以觀察樣品的即時蝕刻反應。

請參照圖5，於一實施例中，載台13之頂表面能夠以可拆卸的方式設置一樣品墊塊133。樣品墊塊133可為一拋棄式元件，以用於檢驗高污染或不易清洗之樣品。或者，具有活性之生物樣本可在樣品墊塊133上培養，之後將附有生物樣本之樣品墊塊133置於載台13上觀察。可以理解的是，樣品墊塊133亦可設置適當之圖案，以控制流體樣品之流動行為以利觀察。

請參照圖6，於一實施例中，本發明之檢驗容器更包含一高度調整件15，其設置於載台13之下方。高度調整件15可延伸至容置槽111之外部，讓操作者可在不打開檢驗容器之蓋體12的情況下，利用高度調整件15來調整載台13之高度，亦即調整載台13至薄膜123之距離。舉例而言，高度調整件15具有一螺紋，操作者可利用適當之工具旋轉高度調整件15，以調整載台112至薄膜123之距離。另需說明的是，圖6所示之實施例中，主體11包含上部組件11a以及下部組件11b。載台13可設置於下部組件11b，將上部組件11a以及下部組件11b結合即可定義出容置槽111。可以理解的是，藉由更換下部組件11b可達到更換載台13的目的，或是提供不同的檢驗條件。

由於載台13能否維持水平將影響檢驗結果，因此如何維持載台15維持水平甚為重要。請參照圖7，於一實施例中，高度調整件15以及載台13之間能夠以一萬向接頭(universal joint)151連接。舉例而言，萬向接頭可為十字軸式或球形萬向接頭。依據此結構，若在更換載台13時導致載台13歪斜，操作者可提高載台13高度，並使載台13平貼於蓋體12，如此即可使載台13與蓋體12平行。接著，將載台13退回至適當高度即可進行檢驗。

於圖6以及圖7之實施例中，載台13之高度是由操作者手動調整。請參照圖8，於一實施例中，高度調整件15能夠以電力致動器152驅動。舉例而言，高度調整件15能夠以壓電致動器(piezoelectric actuator)驅動。可以理解的是，壓電致動器能夠精確地控制微小的高度變化。另需說明的是，圖8所示之實施例中，主體11包含上部組件11a以及下部組件11b、11c，其中圖8所示之上部組件11a可與圖6以及圖7所示之上部組件11a相同。因此，藉由更換下部組件即可更換手動之高度調整件15或電動之高度調整件15。

請參照圖9，於一實施例中，載台13具有一控溫流道113，其設置於載台13下方。控溫流體可從控溫流體入口112c流入控溫流道113以加熱或冷卻載台13上之樣品，再從控溫流體出口112d流出。控溫流體經加熱或冷卻後可再流入控溫流道113形成一循環控溫系統。於一實施例中，控溫流道113內可設置一凸部113a，以使靠近樣品之控溫流道113頂端可充滿控溫流體。簡言之，控溫流體從控溫流體入口112c流入，需先充滿控溫流體入口112c側之控溫流道113，之後再往控溫流體出口112d側溢流。同樣的，圖9所示之實施例中，主體11包含上部組件11a以及下部組件11b、11c，其中圖9所示之上部組件11a可與圖6至圖8所示之上部組件11a相同。因此，藉由更換下部組件即可使載台13具備高度調整功能或控溫功能。可以理解是，圖9所示之實施例中，控溫流道113是由二個下部組件11b、11c所構成，因此，設置O形環14c於適當位置可防止控溫流體洩露出來。

請參照圖10，於一實施例中，本發明之檢驗容器更包含一控溫組件16，其設置於主體11之外側。控溫組件16可針對主體11或整個檢驗容器10進行直接加熱或冷卻，以控制樣品或檢驗環境之溫度。可以理解的是，控溫組件16能夠以較高的溫度從外部對主體11或整個檢驗容器10進行直接加熱，例如攝氏100度以上，甚至可達攝氏300度或以上。

請參照圖11，於一實施例中，蓋體12可包含一薄膜組件12a以及一固定件12b。薄膜組件12a覆蓋主體11之容置槽111之一開口端，以封閉容置槽111。固定件12b能夠以可拆卸的方式與主體11結合，以固定薄膜組件12a。舉例而言，固定件12b可相對於主體11旋轉而鎖合於主體11上並緊迫薄膜組件12a，以防止樣品從容置槽111內洩露出來。

請一併參照圖12，於一實施例中，薄膜組件12a包含一支撐件125以及一薄膜123。支撐件125具有一第一表面125a以及相對之一第二表面125b。第一凹槽122a則設置於支撐件125之第一表面125a側。支撐件125為平板狀，且第一凹槽122a之底部設有第一通孔124。於一實施例中，支撐件125之材料可為金屬或金屬化合物、非金屬化合物或高分子材料。舉例而言，金屬或金屬化合物可為鋁、銅、氧化鋁或不銹鋼等；非金屬化合物可為玻璃、陶瓷、氮化物、碳化物或矽化物等；高分子材料可為塑膠或橡膠等。薄膜123設置於支撐件125之第二表面125b側。薄膜123之第二通孔123a對應於支撐件125之第一通孔124，因此，帶電粒子束可經由第一通孔124以及第二通孔123a進入容置槽111以轟擊樣品。可以理解的是，固定件12b具有適當之開孔126，以避免阻擋支撐件125之第一通孔124以及薄膜123之第二通孔123a。於一實施例中，固定件12b之材料可為不銹鋼。

同樣的，支撐件125之第二表面125b側可設置第二凹槽122b。薄膜123則設置於第二凹槽122b內。可以理解的是，第二凹槽122b之深度小於薄膜123之厚度，使薄膜123略微突出於支撐件125之第二表面125b，以避免氣泡停留在第二通孔123a的位置而排擠樣品或影響檢驗。依據上述結構，操作者能直接旋轉固定件12b來卸除固定件12b，卸除固定件12b後即可更換薄膜組件12a，因此，操作者能簡便地更換破損的薄膜123。此外，支撐件125為一平板狀結構，薄膜123較為容易從支撐件125上取下，再黏貼新的薄膜122，因此，支撐件125能夠回收再利用，以進一步減少無法回收的耗材。

請參照圖13，本發明之一實施例之電子顯微鏡包含一檢驗腔室21、一帶電粒子束產生器22、一檢驗容器10以及一偵測器23。檢驗腔室21可定義出一真空環境。帶電粒子束產生器22與檢驗腔室21連接，以在檢驗腔室21產生一帶電粒子束221。檢驗容器10放置於檢驗腔室21中，以接受帶電粒子束221轟擊。檢驗容器10之詳細結構已如前所述，在此不再贅述。偵測器23則偵測樣品被帶電粒子束221轟擊之一響應222，並轉換為一電子訊號。可以理解的是，電子訊號經後續之訊號處理可形成一顯微影像或X光頻譜等。舉例而言，偵測器23可為一帶電粒子偵測器，以偵測來自樣品之背向散射帶電粒子。或者，偵測器23可為一元素頻譜偵測器，以偵測帶電粒子束221轟擊樣品後所發出的X光訊號。電子顯微鏡之其它功能元件，例如訊號處理器、電源供應器，已為本發明所屬技術領域之通常知識者所熟知，且非為本發明之主要技術特徵，故在此不再贅述。

綜合上述，本發明之檢驗容器以及電子顯微鏡是將載台以可拆卸的方式設置於檢驗容器內，因此，藉由更換不同組件即可使載台具備不同之功能，例如調整載台高度、調整檢驗溫度、直立樣品進行檢驗等，以適用於多種樣品或檢驗目的，並獲得較佳之檢驗結果。

以上所述之實施例僅是為說明本發明之技術思想及特點，其目的在使熟習此項技藝之人士能夠瞭解本發明之內容並據以實施，當不能以之限定本發明之專利範圍，即大凡依本發明所揭示之精神所作之均等變化或修飾，仍應涵蓋在本發明之專利範圍內。

10‧‧‧檢驗容器11‧‧‧主體11a‧‧‧上部組件11b、11c‧‧‧下部組件111‧‧‧容置槽112a‧‧‧流體入口112b‧‧‧流體出口112c‧‧‧控溫流體入口112d‧‧‧控溫流體出口113‧‧‧控溫流道113a‧‧‧凸部12‧‧‧蓋體12a‧‧‧薄膜組件12b‧‧‧固定件121a‧‧‧外側表面121b‧‧‧內側表面122a‧‧‧第一凹槽122b‧‧‧第二凹槽123‧‧‧薄膜123a‧‧‧第二通孔124‧‧‧第一通孔125‧‧‧支撐件125a‧‧‧第一表面125b‧‧‧第二表面126‧‧‧開孔13‧‧‧載台131‧‧‧定位梢132‧‧‧直立表面133‧‧‧樣品墊塊14a、14b、14c‧‧‧O形環15‧‧‧高度調整件151‧‧‧萬向接頭152‧‧‧電力致動器16‧‧‧控溫組件21‧‧‧檢驗腔室22‧‧‧帶電粒子束產生器221‧‧‧帶電粒子束222‧‧‧響應23‧‧‧偵測器

圖1a為一分解圖，顯示本發明第一實施例之檢驗容器。 圖1b為一示意圖，顯示本發明另一實施例之檢驗容器之蓋體。 圖2為一組合圖，顯示本發明第一實施例之檢驗容器。 圖3為一示意圖，顯示本發明一實施例之檢驗容器之局部放大結構。 圖4為一示意圖，顯示本發明第二實施例之檢驗容器。 圖5為一示意圖，顯示本發明第三實施例之檢驗容器。 圖6為一示意圖，顯示本發明第四實施例之檢驗容器。 圖7為一示意圖，顯示本發明第五實施例之檢驗容器。 圖8為一示意圖，顯示本發明第六實施例之檢驗容器。 圖9為一示意圖，顯示本發明第七實施例之檢驗容器。 圖10為一示意圖，顯示本發明第八實施例之檢驗容器。 圖11為一示意圖，顯示本發明第九實施例之檢驗容器。 圖12為一示意圖，顯示本發明第九實施例之檢驗容器之薄膜組件。 圖13為一示意圖，顯示本發明一實施例之電子顯微鏡。

10:檢驗容器

11:主體

111:容置槽

12:蓋體

121a:外側表面

121b:內側表面

122a:第一凹槽

123:薄膜

13:載台

131:定位梢

14a、14b:O形環

Claims (27)

1. 一種檢驗容器，其放置於一電子顯微鏡之一檢驗腔室以檢驗該檢驗容器中之一樣品，其中該檢驗容器包含：一主體，其具有一容置槽以容置該樣品，該容置槽具有一側壁及一底部以定義一容置空間；一蓋體，其可拆卸地與該主體連接以封閉該容置槽，且該蓋體具有一第一通孔，其貫穿該蓋體之一外側表面以及一內側表面，且包含一薄膜，其設置於該蓋體之該內側表面，其中該薄膜具有與該第一通孔相對之一第二通孔，以供一帶電粒子束通過該第一通孔以及該第二通孔；一載台，其承載該樣品，並設置位置對應於該第二通孔，且可拆卸地設置於該容置槽內；以及一O形環，設置以緊貼該載台之周圍與該容置槽的該側壁，以防止該樣品進入該容置槽之該底部。
2. 如請求項1所述之檢驗容器，其中該蓋體具有一薄化區域，其涵蓋該第一通孔，以降低該第一通孔之側壁高度。
3. 如請求項1所述之檢驗容器，其中該第一通孔之側壁高度與該第一通孔之寬度之比值小於等於0.7。
4. 如請求項1所述之檢驗容器，其中該容置槽具有一流體入口以及一流體出口，且該流體入口以及該流體出口至該蓋體之距離大於該載台至該蓋體之距離。
5. 如請求項1所述之檢驗容器，更包含：一樣品墊塊，其可拆卸地設置於該載台之一頂表面。
6. 如請求項1所述之檢驗容器，其中該載台具有一直立表面，以供該樣品站立抵靠於該直立表面。
7. 如請求項1所述之檢驗容器，更包含：一高度調整件，其設置於該載台之下方，以調整該載台至該蓋體之距離。
8. 如請求項7所述之檢驗容器，其中該高度調整件以及該載台之間以一萬向接頭連接。
9. 如請求項7所述之檢驗容器，其中該高度調整件以電力驅動。
10. 如請求項1所述之檢驗容器，其中該載台具有一控溫流道，以供一控溫流體於該控溫流道內流動。
11. 如請求項1所述之檢驗容器，更包含：一控溫組件，其設置於該主體之外側。
12. 如請求項1所述之檢驗容器，其中該第二通孔之側壁具有一段差。
13. 如請求項1所述之檢驗容器，其中該蓋體包含：一薄膜組件，其覆蓋該容置槽之一開口端，並包含：一支撐件，其具有一第一表面、相對之一第二表面以及設置於該第一表面側之一第一凹槽，其中該支撐件為平板狀；以及一薄膜，其設置於該支撐件之該第二表面側；以及一固定件，其可拆卸地與該主體結合，以固定該薄膜組件。
14. 如請求項13所述之檢驗容器，其中該支撐件之該第二表面具有一第二凹槽，該薄膜設置於該第二凹槽內，且該第二凹槽之深度小於該薄膜之厚度。
15. 如請求項13所述之檢驗容器，其中該固定件相對於該主體旋轉，以鎖合於該主體。
16. 一種電子顯微鏡，包含：一檢驗腔室，其定義出一真空環境；一帶電粒子束產生器，其與該檢驗腔室連接，用以於該檢驗腔室產生一帶電粒子束；一檢驗容器，其放置於該檢驗腔室中，以接受該帶電粒子束轟擊，其中該檢驗容器包含：一主體，其具有一容置槽以容置一樣品，該容置槽具有一側壁及一底部以定義一容置空間；一蓋體，其可拆卸地與該主體連接以封閉該容置槽，且該蓋體具有一第一通孔，其貫穿該蓋體之一外側表面以及一內側表面，且包含一薄膜，其設置於該蓋體之該內側表面，其中該薄膜具有與該第一通孔相對之一第二通孔，以供一帶電粒子束通過該第一通孔以及該第二通孔；一載台，其承載該樣品，並設置位置對應於該第二通孔，且可拆卸地設置於該容置槽內；及一O形環，設置以緊貼該載台之周圍與該容置槽的該側壁，以防止該樣品進入該容置槽之該底部；以及一偵測器，其用以偵測該樣品被該帶電粒子束轟擊之一響應，並轉換為一電子訊號。
17. 如請求項16所述之電子顯微鏡，其中該蓋體具有一薄化區域，其涵蓋該第一通孔，以降低該第一通孔之側壁高度。
18. 如請求項16所述之電子顯微鏡，其中該第一通孔之側壁高度與該第一通孔之寬度之比值小於等於0.7。
19. 如請求項16所述之電子顯微鏡，其中該容置槽具有一流體入口以及一流體出口，且該流體入口以及該流體出口至該蓋體之距離大於該載台至該蓋體之距離。
20. 如請求項16所述之電子顯微鏡，其中該檢驗容器更包含：一樣品墊塊，其可拆卸地設置於該載台之一頂表面。
21. 如請求項16所述之電子顯微鏡，其中該載台具有一直立表面，以供該樣品站立抵靠於該直立表面。
22. 如請求項16所述之電子顯微鏡，其中該檢驗容器更包含：一高度調整件，其設置於該載台之下方，以調整該載台至該蓋體之距離。
23. 如請求項22所述之電子顯微鏡，其中該高度調整件以及該載台之間以一萬向接頭連接。
24. 如請求項22所述之電子顯微鏡，其中該高度調整件以電力驅動。
25. 如請求項16所述之電子顯微鏡，其中該載台具有一控溫流道，以供一控溫流體於該控溫流道內流動。
26. 如請求項16所述之電子顯微鏡，其中該檢驗容器更包含：一控溫組件，其設置於該主體之外側。
27. 如請求項16所述之電子顯微鏡，其中該第二通孔之側壁具有一段差。

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