JP2010073453A - 真空シール方法及び真空装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 真空装置の1つである走査型電子顕微鏡において、鏡筒5の外周部の一部Aと接する孔4aの周縁部Bに形成されたリング状の溝M1に、表面にイオン液体IL1が塗布されたオーリングO1′が篏入されており、両部材A,Bをボルト等によって締結されることにより、オーリングO1′は変形し、両部材A,BとオーリングO1′との接触面の周囲の空隙にイオン液体IL1を存在させた。
【選択図】図6
Description
この場合、オーリングを挟んでいる部材の間に僅かな隙間が存在し、該隙間を通して流体が通過し、結果的に真空シールが十分に行われない。即ち、前記試料室1や予備排気室10等の真空空間部の気密性が低下する。
また、
2…ステージ
3…試料室上壁
4a,4b,4c,4d…孔
5…鏡筒
6…二次電子検出器
7…試料室下壁
8,18…真空ポンプ
9,19…排気管
10…予備排気室
11…試料室側壁
12,15…孔
13…仕切弁
14…予備排気室側壁
16…開閉弁
17…予備排気室下壁
S…試料
VS1,VS2,VS3,VS4,VS5,VS6,VS1′,VS2′,VS3′,VS4′,VS5′,VS6′…真空シール
O1、O2…オーリング
IL…イオン液滴
M1、M2…溝
Claims (4)
- 真空空間と他の空間との圧力差を維持するために二つの部材の界面に存在させたリング状の真空シールを備えた真空装置の真空シール方法において、該真空シールと前記部材との接触面周囲の空隙部にイオン液体を存在させることを特徴とする真空装置の真空シール方法。
- 真空空間と他の空間との圧力差を維持するために二つの部材の界面に存在させたリング状の真空シールを備えた真空装置において、該真空シールと前記部材との接触面周囲の空隙部にイオン液体を存在させることを特徴とする真空装置。
- 前記リング状シールはオーリングシールである請求項2の真空装置。
- 前記真空装置は荷電粒子ビーム装置である請求項2の真空装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN104520964A (zh) * | 2012-08-20 | 2015-04-15 | 株式会社日立高新技术 | 电子显微镜以及试样移动装置 |
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-
2008
- 2008-09-18 JP JP2008238872A patent/JP5274952B2/ja active Active
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JP5274952B2 (ja) | 2013-08-28 |
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