TWI703114B - 氟化甲烷之製造方法 - Google Patents

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Abstract

在藉由使原料化合物於氣相狀態下熱分解，得到包含氟化甲烷以及酸氟化物的混合氣體之方法，以提供一種更簡易分離混合氣體所包含之氟化甲烷與酸氟化物之方法作為課題。
作為其解決手段，係提供一種氟化甲烷之製造方法，包含下述步驟：(1)藉由使原料化合物於氣相狀態下熱分解，得到包含氟化甲烷以及酸氟化物的混合氣體之步驟；以及(2)藉由將前述步驟(1)所得之混合氣體精餾，得到氟化甲烷之步驟。

Description

氟化甲烷之製造方法
本發明係關於製造有用氟化甲烷作為乾蝕刻氣體之方法。
氫氟碳係作為半導體、液晶等之微細加工用的蝕刻氣體有用，尤其是氟化甲烷(CH3F)作為用以形成最先端之微細構造的蝕刻氣體正受到注目。
作為氟化甲烷之製造方法，已知有例如藉由使原料化合物於氣相狀態下熱分解，得到包含氟化甲烷以及酸氟化物的混合氣體之方法等(專利文獻1)。
在上述，作為分離所得之混合氣體所包含之氟化甲烷與酸氟化物之方法，提案有藉由冷卻混合氣體，分離成氣體成分與液體成分，該氣體成分係由將氟化甲烷(沸點-79℃)作為主成分之低沸點成分所構成，該液體成分係由作為主成分之酸氟化物(例如3,3,3-三氟-2-(三氟甲基)丙醯基氟化物(沸點32℃)等)，進而有包含未反應原料(1,1,3,3,3-五氟-2-三氟甲基丙基甲基醚(沸點68.5℃)等)即高沸點成分所構成(專利文獻1)。
又，作為其他分離方法，亦提案有使所得之混合氣體與水或鹼水溶液等接觸以使酸氟化物溶解於水相中而去除之方法(專利文獻1)。此情況下，亦提案取代水及鹼水溶液，改使用醇。藉由使醇接觸而生成酯，燃燒處理變容易進行。於以往之方法，已進行將如此進行所得，大量包含氟化甲烷之氣體進一步供於精餾操作，來純化氟化甲烷。
〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕
[專利文獻1]日本特開2014-114277號公報
本發明在藉由使原料化合物於氣相狀態下熱分解，得到包含氟化甲烷以及酸氟化物的混合氣體之方法，以提供一種更簡易分離混合氣體所包含之氟化甲烷與酸氟化物之方法作為課題。
本發明者們為達成上述之目的，已進行努力研究。其結果發現，藉由將混合氣體直接供於精餾操作，可選擇性得到氟化甲烷。本發明係根據此等之卓見經進一步研究的結果，而完成者。
項1.氟化甲烷之製造方法，其係氟化甲烷之製造方法，且包含下述步驟：(1)藉由使原料化合物於氣相狀態下熱分解，得到包含氟化甲烷以及酸氟化物的混合氣體之步驟；以及(2)藉由將前述步驟(1)所得之混合氣體精餾，得到氟化甲烷之步驟。
項2.前述步驟(2)中，如項1之方法，其中，於前述步驟(2)中，將前述步驟(1)所得之混合氣體供給至精餾塔。
如項2之方法，將項3.前述供給以超過大氣壓之壓力下，較佳為0.2MPa~0.15MPa進行。
項4.如項1~3中任一項之方法，其中，前述原料化合物為一般式(1)所表示之含氟甲基醚，
Figure 105104425-A0202-12-0003-1
(式中，R1以及R2為相同或相異，且可被取代，為直鏈狀或分支狀之一價脂肪族烴基、一價芳香族烴基或一價環狀脂肪族烴基；氫原子或鹵原子)。
根據本發明，藉由使原料化合物於氣相狀態下熱分解，得到包含氟化甲烷以及酸氟化物的混合氣體之方法中，可更簡易從混合氣體來純化氟化甲烷。具體而言，如以下所述。以往必須於純化之前冷卻混合氣體，進行分餾、或藉由水或鹼水溶液進行水洗、或使其與醇等接觸而使酸氟化物溶解於水相中而去除。對於此，在本發明，於純化前不必進行如此之操作。因此，本發明於操作更為簡便這點係有利。進而，如以往般使其與醇接觸而去除酸氟化物時，藉由酯化而產生相當於產業廢棄處理物之成分雖不可避免，但於本發明不會產生如此之產業廢棄處理物，於處理對象物的操作容易這點上亦有利。
本發明之方法為一種氟化甲烷之製造方法，且包含下述步驟：(1)藉由使原料化合物於氣相狀態下熱分解，得到包含氟化甲烷以及酸氟化物的混合氣體之步驟；以及(2)藉由將前述步驟(1)所得之混合氣體精餾，得到氟化甲烷之步驟。
1.原料化合物
於本發明使用之原料化合物若為藉由以氣相狀態熱分解，產生包含氟化甲烷及酸氟化物之混合氣體的化合物即可，並未特別限定。
藉由以氣相狀態熱分解，產生包含氟化甲烷及酸氟化物之混合氣體的反應已為已知，例如揭示於日本特開2014-114277號公報等。
於本發明，作為原料化合物，較佳為使用一般式(1)表示之含氟甲基醚。
Figure 105104425-A0202-12-0005-2
(式中，R1以及R2為相同或相異，且可被取代，為直鏈狀或分支狀之一價脂肪族烴基、一價芳香族烴基或一價環狀脂肪族烴基；氫原子或鹵原子)。
針對作為原料化合物使用之含氟甲基醚之製造方法，並未特別限定，可使用以任意方法所得之化合物。
上述一般式(1)中，較佳為R1及R2為相同或相異，且可被取代，為碳數1~30之直鏈狀或分支狀之一價脂肪族烴基、碳數6~12之一價芳香族烴基或碳數6~12之一價環狀脂肪族烴基。更佳為R1及R2為相同或相異，且可被取代，為碳數1~10之直鏈狀或分支狀之一價脂肪族烴基、碳數6~10之一價芳香族烴基或碳數6~10之一價環狀脂肪族烴基。
上述中，作為碳數1~10之直鏈狀或分支狀 之一價脂肪族烴基，雖並未特別限定，但例如可列舉碳數1~10之烷基等。
具體而言，作為碳數1~10之烷基，可列舉甲基、乙基、三甲基、丙基、1-甲基乙基、己基及辛基等。
碳數1~10之烷基當中，較佳為碳數1~6之烷基，更佳為碳數1~4之烷基，再更佳為碳數1~3之烷基。
作為碳數6~10之一價芳香族烴基，雖並未特別限定，但例如可列舉苯基、甲基苯基及乙基苯基等。
作為碳數6~10之一價環狀脂肪族烴基，雖並未特別限定，但例如可列舉環己基、甲基環己基及乙基環己基等。
上述中，一價脂肪族烴基、一價芳香族烴基或一價環狀脂肪族烴基係於選自由氟原子、氯原子、溴原子所構成之群組中之至少一種的雜原子，氫原子之至少一個可被取代，又全部之氫原子可被取代。
上述中，鹵原子較佳為氟原子、氯原子、溴原子，更佳為氟原子。
雖並未特別限定，但作為可作為原料使用之具體化合物之例，可列舉1,1,3,3,3-五氟-2-三氟甲基丙基甲基醚等。
尤其是製造作為氟樹脂之原料使用之六氟丙烯時所副生之全氟異丁烯((CF3)2C=CF2))，以往雖被 作為不要物廢棄，但藉由將此與甲醇進行反應，可得到1,1,3,3,3-五氟-2-三氟甲基丙基甲基醚，由於藉由將此作為本發明方法之原料使用，可實現廢棄物之有效利用，使得使用低成本之原料而得到便宜目的物變可能。尚，本發明中，所謂作為原料之1,1,3,3,3-五氟-2-三氟甲基丙基甲基醚為「使全氟異丁烯與甲醇進行反應所得到者」時，係意指該1,1,3,3,3-五氟-2-三氟甲基丙基甲基醚被限定在藉由該反應所得者，並非藉由其他反應所得者。使全氟異丁烯與甲醇進行反應而得到1,1,3,3,3-五氟-2-三氟甲基丙基甲基醚之方法，為周知之方法，依周知之反應條件即可。例如依日本特表2001-506261號公報所記載之方法進行反應即可。
2.步驟(1)
本發明之步驟(1)係上述之藉由使原料化合物於氣相狀態下熱分解，得到包含氟化甲烷以及酸氟化物的混合氣體之步驟。
(i)觸媒
作為觸媒，若為對於在氣相之熱分解反應具有活性之觸媒，並未特別限定可使用。作為這樣的觸媒，可列舉金屬氧化物、經氟化之金屬氧化物、金屬氟化物等，可將此等一種單獨或混合二種以上使用。
此等之內，作為金屬氧化物，較佳為氧化 鋁、氧化鉻、氧化鈦、氧化鋅等。又，亦可使用將此等之金屬氧化物的一部分經氟化之氟化金屬氧化物。前述氟化金屬氧化物觸媒可為預先將金屬氧化物觸媒使用氟化氫等進行氟化者，本發明之製造方法的反應過程中，可使用其一部分經氟化之金屬氧化物觸媒。作為金屬氟化物，較佳為AlF3、TiF4、CrF3及ZnF2等。
金屬氧化物當中，較佳為氧化鋁，可使用α-氧化鋁及活性氧化鋁等。作為活性氧化鋁，係使用ρ-氧化鋁、χ-氧化鋁、κ-氧化鋁、η-氧化鋁、擬γ-氧化鋁、γ-氧化鋁、δ-氧化鋁及θ-氧化鋁等。此等當中，較佳為γ-氧化鋁及η-氧化鋁，特佳為γ-氧化鋁。又，作為複合氧化物，二氧化矽氧化鋁(SiO2/Al2O3)亦可作為觸媒使用。二氧化矽氧化鋁之二氧化矽SiO2的組成，較佳為20重量%~90重量%，更佳為50重量%~80重量%。
觸媒之細孔容積越大活性越高，較佳為0.4ml/g以上，特佳為0.5ml/g以上。觸媒之細孔容積的上限雖並未特別限定，但通常為5ml/g以下，以反應速度及觸媒強度的點，較佳為2ml/g以下。細孔容積可用氣體吸附法、水銀壓入法等測定。
又，可於觸媒載持KF、NaF及MgF2等之鹼金屬及鹼土類金屬之氟化物。
對於得到上述之經氟化之金屬氧化物之方法，雖並未特別限定，但例如藉由在加熱下，使上述之金屬氧化物與無水氟化氫或氟氯烷接觸，進行氟化反應，可 得到經氟化之金屬氧化物。對於使金屬氧化物與氟化氫接觸之方法，並非特別限定，可為於填充觸媒之反應管中使氟化氫流通之連續法，亦可為於收容觸媒之容器密封氟化氫或氟氯烷之分批式。尤其是流通方式於處理時間短的點較佳。
氟氯烷較佳為氟原子之數多且碳原子之數少者。例如可列舉三氟甲烷、二氟氯甲烷、八氟乙烷等。
對於金屬氧化物之氟化程度，雖並非特別限定，但以將經氟化之金屬氧化物全體的重量作為基準，氟含有率為5~50重量%左右較佳。
金屬氧化物之氟化處理的溫度，較佳為較後述之熱分解反應更高溫，例如較佳為150~500℃左右，更佳為200℃~400℃左右，再更佳為250℃~350℃左右。氟化處理的溫度過低時，由於氟化不夠充分，觸媒的效果小，處理溫度過高時，由於變成特別需要耐熱材料故不實用。
(ii)熱分解反應條件
含氟甲基醚之熱分解反應，對於可藉由於上述之觸媒的存在下，使含氟甲基醚於氣相狀態與觸媒接觸，來進行之具體方法，雖並非特別限定，但例如可列舉使用管型之流通型反應器，於該反應器填充上述之觸媒，將作為原料使用之含氟甲基醚導入該反應器，以氣相狀態與觸媒接觸之方法。
對於熱分解反應的溫度，過低時降低原料的轉化率，過高時有雜質增多的傾向。因此，較佳為成為100℃~400℃左右，更佳為成為100℃~300℃左右，特佳為成為100℃~250℃左右。
熱分解反應時之反應管內的壓力，過低時，由於有空氣之混入的可能性等，使操作上變煩雜，過高時，必須考慮機器之耐壓，洩漏的可能性亦提高。由此等之點來看，較佳為成為0.05~1MPa左右，更佳為成為0.1~0.5MPa左右，尤其是反應操作上以大氣壓(約0.1MPa)左右之壓力較佳。
對於用以反應之接觸時間，雖並非特別限定，但較佳為將對於供給於反應管之原料氣體即含氟甲基醚的流量F(0℃，於一氣壓(約0.1MPa)之流量：cc/sec)之觸媒的填充量W(g)的比率：W/F(g．sec/cc)表示之接觸時間，成為1~100g．sec/cc左右，更佳為成為1~50g．sec/cc左右，再更佳成為5~30g．sec/cc左右。接觸時間過長時，由於為了得到生成物需要長時間，為了提昇生產量，而縮短接觸時間雖較佳，但接觸時間過短時，有降低轉化率的傾向。因此，因應使用之觸媒的種類、觸媒量、反應條件等，從原料之轉化率與目的物的選擇率的點來看，選擇最能提高生產性的接觸時間即可。通常因應使用之觸媒的種類、觸媒量、反應條件等，期望選擇轉化率成為100%之接觸時間來進行反應。
(iii)混合氣體
藉由步驟(1)，而得到包含氟化甲烷及酸氟化物之混合氣體。混合氣體中加入目的物之氟化甲烷(沸點-79℃)，同時已包含藉由熱分解所生成之酸氟化物，進而可包含原料化合物及副生成物、以及雜質之任一種中之至少一種。雖因原料化合物而有所不同，但作為副生成物，例如可列舉丙烯(沸點-47.7℃)、氯化甲烷(沸點-24℃)、五氟化丙烯(沸點-21.1℃)及丙烷(沸點-1.4℃)等。
3.步驟(2)
本發明之步驟(2)藉由將前述步驟(1)所得之混合氣體精餾，得到氟化甲烷之步驟。
藉此，不需要將分餾操作、或藉由水洗或醇之酸氟化物的去除等於純化之前預先進行，可簡便將氟化甲烷從酸氟化物分離。
酸氟化物，例如如3,3,3-三氟-2-(三氟甲基)丙醯基氟化物的沸點為32℃，通常沸點為室溫以上，較氟化甲烷(沸點-79℃)沸點更高許多。混合氣體中氟化甲烷與酸氟化物以莫耳比1：1存在。將混合氣體直接放置在室溫附近的環境下時，預想酸氟化物會凝縮時，本發明者們意外發現，於此等二成分間產生相互作用，混合氣體作為全體，於室溫附近(於預定壓力條件下)，表現得像不凝縮之氣體的現象。於本發明利用此卓 見，將此混合氣體直接供於精餾操作，可將氟化甲烷有效率分離。
在步驟(2)，較佳為將於前述步驟(1)所得之混合氣體供給至精餾塔。較佳為將此供給於超過大氣壓之壓力下進行。藉此，於精餾塔送入混合氣體變容易。此時之壓力若為0.2MPa~0.15MPa更佳。若為此範圍內之壓力，避免混合氣體的凝縮，同時可有效果地供給混合氣體至精餾塔。反應後之氣體的溫度越高，可以越高之壓力送入反應氣體至精餾塔。通常在壓縮機將反應後之氣體送至精餾塔較多。又，由於藉由冷卻精餾塔的溫度，降低精餾塔的壓力，易產生壓縮機之氣體的吸入側與排出側的壓力差，供給混合氣體至精餾塔變容易。在精餾塔的冷卻中，藉由特別滯留液體之精餾塔的釜，降低精餾塔之壓力的效果增大，對精餾塔之混合氣體的供給變容易。
精餾雖並未特別限定但通設置二個精餾塔，在最初之精餾塔，將甲烷或乙烯等之低沸點成分從塔頂部取出，將包含殘留之氟化甲烷及酸氟化物之成分從塔底部獲得，將此進一步供於第二個精餾塔，可從塔頂部取出氟化甲烷。此時，從二個精餾塔的塔頂部最終所得到之氟化甲烷的純度為99.999重量%以上。
〔實施例〕
以下，列舉實施例更詳細說明本發明。
於填充加熱至150℃之γ-氧化鋁觸媒的反應 器，將1,1,3,3,3-五氟-2-三氟甲基丙基甲基醚以氣體狀態流入使其熱分解。將熱分解反應後之氣體施加0.15MPa之壓力，匯集在經冷卻之第一精餾塔。將匯集之反應氣體的組成係如以下所述。
甲烷0.002mol%
乙烯0.0036mol%
氟化甲烷46.17mol%
丙烯0.0092mol%
1,1,3,3,3-五氟-2-三氟甲基丙基甲基醚7.58mol%
酸氟化物46.17mol%
其他成分0.0652mol%
於第一精餾塔去除甲烷及乙烯等之低沸點化合物後，將殘留之成分移送至第二精餾塔。於第二精餾塔純化，從精餾塔的塔頂取出氟化甲烷並匯集。所得之氟化甲烷的純度為99.999mol%。由於未產生氟化氫等之酸分或水分，放入用以去除酸分之水洗塔、鹼塔及用以去除水分之分子篩等之乾燥塔等皆不要。
殘留在第二精餾塔之精餾釜的高沸點成分可直接通過不銹鋼配管，導入焚燒爐進行分解處理。
<比較例1>
將與實施例同樣進行所得之熱分解反應後的反應氣體，依順序通過水洗塔、放入5%氫氧化鉀水溶液之鹼塔及放入分子篩之乾燥塔。然後，移送至第一精餾塔。於第 一精餾塔去除甲烷及乙烯等之低沸點化合物後，將殘留之成分移送至第二精餾塔。於第二精餾塔邊迴流邊純化，從精餾塔之塔頂取出氟化甲烷並匯集。所得之氟化甲烷的純度為99.999mol%。
惟，於此比較例1之方法，不僅水洗塔及鹼塔的追加設備變必要，設備費提高，而且於水洗塔及鹼塔，累積包含可以進行水解未反應之1,1,3,3,3-五氟-2-三氟甲基丙基甲基醚與酸氟化物之羧酸及氟化氫酸的混合溶液。此廢棄物由於是有機物與水溶物的混合溶液，有作為產業廢棄物難以處理的問題。又，此廢液由於酸性度高且使金屬腐蝕，於不銹鋼等之金屬配管無法直接通過，移送至焚燒爐有困難。為了移送此廢液，氟樹脂等之經內襯的配管或容器變必須。又此廢液由於大量包含水分，故為了使其燃燒需要多餘的能量。
<比較例2>
將與實施例同樣進行所得之熱分解反應後的反應氣體，依順序通過放入甲醇水溶液之吸收塔及放入分子篩之乾燥塔後，移送至第一精餾塔。於第一精餾塔去除甲烷及乙烯等之低沸點化合物。然後，將殘留之成分移送至第二精餾塔。於第二精餾塔邊迴流邊純化，從精餾塔之塔頂取出氟化甲烷並匯集。所得之氟化甲烷的純度為99.999mol%。
惟，不僅多量之甲醇及吸收塔的追加設備變 必要，藥劑費與設備費提高，而且於吸收塔，累積包含可以進行水解未反應之1,1,3,3,3-五氟-2-三氟甲基丙基甲基醚與酸氟化物之酯及氟化氫的混合溶液。此廢棄物由於是有機物但包含氟化氫，產生有作為產業廢棄物難以處理的問題。此廢液由於有機物為主成分，雖然酸性度不高，但由於氟化氫緩緩使金屬腐蝕，長時間無法流過不銹鋼等之金屬配管，移送至焚燒爐有困難。為了移送此廢液，氟樹脂等之經內襯之配管或容器變必須。又此廢液由於大量包含氟化氫，故為了使其燃燒需要多餘的能量。

Claims (3)

  1. 一種方法，其係氟化甲烷之製造方法，且包含下述步驟：(1)藉由使1,1,3,3,3-五氟-2-三氟甲基丙基甲基醚於氣相狀態下熱分解，得到包含氟化甲烷以及酸氟化物的混合氣體之步驟；以及(2)藉由將前述步驟(1)所得之混合氣體精餾，得到氟化甲烷之步驟。
  2. 如請求項1之方法，其中，於前述步驟(2)中，將前述步驟(1)所得之混合氣體供給至精餾塔。
  3. 如請求項2之方法，其中，於超過大氣壓之壓力下來進行前述供給。
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JP2017078069A (ja) * 2016-11-02 2017-04-27 ダイキン工業株式会社 フッ化メチルの製造方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4574259B2 (ja) * 2003-07-24 2010-11-04 昭和電工株式会社 フルオロメタンの精製方法
TW200505821A (en) 2003-07-24 2005-02-16 Showa Denko Kk Azeotropic mixture of fluoromethane and hydrogen chloride and process for purifying fluoromethane
TW200516068A (en) * 2003-09-10 2005-05-16 Showa Denko Kk Process for production of hydrofluorocarbons, products thereof and use of the products
JP4437715B2 (ja) * 2004-07-16 2010-03-24 株式会社トクヤマ 塩化メチルの製造方法及び高次塩素化メタン類の製造方法
CN102762525B (zh) * 2010-02-17 2016-05-04 中央硝子株式会社 半导体气体的制造方法
JP5678712B2 (ja) 2010-02-17 2015-03-04 セントラル硝子株式会社 モノフルオロメタンの製造方法
CN102822134B (zh) * 2010-03-29 2014-12-17 中央硝子株式会社 二氟乙酰氯的制造方法
JP5056963B2 (ja) * 2010-03-31 2012-10-24 ダイキン工業株式会社 含フッ素アルカンの製造方法
JP5704218B2 (ja) * 2012-11-14 2015-04-22 ダイキン工業株式会社 ドライエッチングガスの製造方法
JP2015021408A (ja) 2013-07-18 2015-02-02 ダイキン工業株式会社 圧縮機

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