TWI693564B

TWI693564B - 機台自動化管理系統及其方法

Info

Publication number: TWI693564B
Application number: TW107100429A
Authority: TW
Inventors: 方泰又; 曾溫祥
Original assignee: 竹陞科技股份有限公司
Priority date: 2018-01-05
Filing date: 2018-01-05
Publication date: 2020-05-11
Also published as: CN109324572A; TW201931228A

Abstract

一種機台自動化管理系統，包括：多個機台、多個遠端控制裝置、製造執行系統以及監控裝置。多個遠端控制裝置分別耦接各機台。製造執行系統用以提供執行多個機台的多個製程指令。監控裝置耦接多個遠端控制裝置與製造執行系統，監控裝置從製造執行系統接收多個製程指令的至少其中之一，且根據接收的製程指令執行多組機台標準作業程序原始碼的其中之一，以控制各遠端控制裝置來執行各機台的自動化操作。一種用以管理多個機台的自動化管理方法亦被提供。

Description

機台自動化管理系統及其方法

本發明是有關於一種管理系統以及管理方法，且特別是有關於一種機台自動化管理系統及其方法。

隨著科技的發展，由於各式電子產品的發展越來越多元，其中半導體製程技術也朝向微型化、高密度化發展。在目前的半導體製造技術中，利如晶圓(Wafer)製造技術，製程設備可能需要全天候運作以及監控，在一般的機台產線管理系統中，可能會需要依賴操作人員在機台上手動輸入參數或執行一連串固定的操作指令，而一位操作人員能管控的機台的數目通常是個位數，雖然，目前有部分產線是使用遠端控制管理機器來遠端管理機台，能夠提升管理的機台數目，但仍需要操作人員在遠端控制管理機器前值班，依賴操作人員的人工來管理製程產線進度或故障排除，十分耗費人力，另外由於人工操作的關係，因此存在產生人為疏失的可能性，此外，若是由不同操作人員操作的機台，彼此之間需要連線互動時，也會因為需要人員之間協調使得互動效率降低，至此，如何提出一種可以全自動化的產線管理系統成為目前重要的課題。

本發明提供一種機台自動化管理系統及用以管理多個機台的自動化管理方法，通過電腦控制，能夠實施全自動化的機台管理，降低人力成本以及降低人為引起的失誤，並且互動連線的效率提高。

本發明的實施例提供一種機台自動化管理系統，包括：多個機台、多個遠端控制裝置、製造執行系統(manufacturing execution system,MES)以及監控裝置。多個遠端控制裝置分別耦接各機台。製造執行系統用以提供執行多個機台的多個製程指令。監控裝置耦接多個遠端控制裝置與製造執行系統，監控裝置從製造執行系統接收多個製程指令的至少其中之一，且根據接收的製程指令執行多組機台標準作業程序(Standard Operating Procedures,SOP)原始碼的其中之一，以控制各遠端控制裝置來執行各機台的自動化操作。

本發明的實施例提供一種機台自動化管理系統，包括：多個機台、製造執行系統以及監控裝置，其中各機台掛載遠端控制程式。製造執行系統用以提供執行多個機台的多個製程指令。監控裝置耦接多個機台與製造執行系統，監控裝置從製造執行系統接收多個製程指令的至少其中之一，且根據接收的製程指令執行多組機台標準作業程序原始碼的其中之一，以連線遠端控制程式來執行各機台的自動化操作。

本發明的實施例提供一種用以管理多個機台的自動化管理方法，適用於管理多個機台的監控裝置，其中多個機台分別掛載遠端控制程式或分別耦接多個遠端控制裝置，方法包括：連線多個機台的遠端控制程式或多個遠端控制裝置以對多個機台進行遠端控制；從製造執行系統接收對應多個機台的製程指令；以及根據接收的製程指令執行多組機台標準作業程序原始碼的其中之一，以控制各機台的遠端控制程式或各遠端控制裝置來執行各機台的自動化操作。

基於上述，本發明的實施例所提供的機台自動化管理系統及其方法，根據從製造執行系統接收的製程指令，監控裝置使用遠端控制裝置或遠端控制程式來控制機台自動化操作，通過使用監控裝置來代替人工操作，而且只需要在機台內部掛載遠端控制程式或是外部耦接遠端控制裝置，不需變更機台內建的軟體設定，因此不會引起機台本身的軟體衝突，另外多種不同類型的機台都可掛載同樣的遠端控制程式或是外掛相同型號的遠端控制裝置，因此本發明的實施例所提供的機台自動化管理系統及其方法可降低人力成本並減少人為引起的疏失，另外還可彈性的應用在多種機台上，並且成本便宜。

為讓本發明的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

100、500:機台自動化管理系統

110:機台

120:製造執行系統

130:監控裝置

132:處理器

134:儲存裝置

136:通訊裝置

138:輸入裝置

140:網路

150:遠端控制裝置

200:操作介面畫面

210:影像子視窗

212:圖案

230:晶圓

232:晶粒

240:第一子視窗

252:第二子視窗

254:第三子視窗

262:SEM設定第一子視窗

264:SEM設定第二子視窗

S302~S316:監控裝置對機台全自動化遠端管理方法的步驟

S510~S530:用以管理多個機台的自動化管理方法的步驟

圖1是依照本發明的一實施例的一種機台自動化管理系統的示意圖。

圖2是依照本發明一實施例的機台自動化管理系統的監控裝置的方塊圖。

圖3是依照本發明的一實施例的監控裝置對機台全自動化遠端管理方法的流程圖。

圖4是依照本發明的一實施例的一種通過遠端控制裝置所擷取的機台操作介面的示意圖。

圖5是依照本發明的另一實施例的一種機台自動化管理系統的示意圖。

圖6是依照本發明的一實施例的一種用以管理多個機台的自動化管理方法的流程圖。

為了使本發明之內容可以被更容易明瞭，以下特舉實施例做為本發明確實能夠據以實施的範例。另外，凡可能之處，在圖式及實施方式中使用相同標號的元件/構件/步驟，係代表相同或類似部件。

圖1是依照本發明的一實施例的一種機台自動化管理系統的示意圖。請參照圖1，機台自動化管理系統100包括多個機台110，製造執行系統(manufacturing execution system,MES)120、多個遠端控制裝置150以及監控裝置130，其中，本實施例是以三台機台為例進行說明，但不限於此，在其他實施例中，機台自動化管理系統100可包括更多個機台110。在此實施例中，每台機台110耦接一個遠端控制裝置150。製造執行系統120可以提供用來執行多個機台110的多個製程指令。監控裝置130耦接製造執行系統120，並且通過網路140連接各遠端控制裝置150。藉由遠端控制裝置150，監控裝置130可以觀察每台機台110的操作介面從而獲得機台110的執行狀況，並且遠端操作機台110的操作介面。除此之外，監控裝置130內含多組機台標準作業程序(Standard Operating Procedures,SOP)原始碼，監控裝置130從製造執行系統120接收製程指令後，可以根據接收的製程指令執行對應的機台SOP原始碼以控制各遠端控制裝置150來執行各機台110的自動化操作，以達到機台自動化生產的目的。

詳言之，機台110是用以生產或加工產品或執行製程步驟的硬體製程設備，例如是半導體晶圓製程的機台，但不以此為限。遠端控制裝置150為具有邏輯電路的硬體設備，可以控制機台110用來輸入指令的週邊設備或軟體，例如鍵盤、滑鼠與桌面程式(Desktop Application)等等。遠端控制裝置150可以外接機台110，也可以整合在機台110內部，本發明並不限制遠端控制裝置150與機台110的配置方式。通過遠端控制裝置150可以讓機台110實現無人化操作。在本實施例中，每台機台110耦接一個遠端控制裝置150，然而在其他實施例中，遠端控制裝置150可連接的機台110數目不限於一台。

製造執行系統120係用以管控產線生產測試的整體流程並儲存產品參數。對於例如半導體、顯示面板或其他電子零件等高科技產業的製造設備來說，為了增加設備的生產力(productivity)以及節省成本的考量，一般而言，產品製造系統都包括一個中央製造執行系統以必須確保機台的排程(scheduling)和使用更加有效率。舉例來說，中央製造執行系統可以執行下列功能：工作進行中(work in process,WIP)追蹤，資源配置和狀態，動作排程，品管資料(quality data)收集，和處理控制。製造執行系統也可以被當成一個用來收集資料和分配資料的中央存放處(central depository)。舉例來說，製造執行系統可以即時地和動態地，收集，組合，和表示(express)原料(raw materials)，成品(finished products)，半成品(semi-finished products)，機器，時間，和成本的資料或儲存製程種類、製程時間、產品的批次(batch)、批號、序號等參數，並且追蹤和控制每一個生產處理。在本實施例中，製造執行系統120可配置電子裝置中，並且以軟體程式形式或硬體電路形式實現之。在本實施例中，電子裝置可例如是具有運算能力的檔案伺服器、資料庫伺服器、應用程式伺服器、工作站或個人電腦等計算機裝置。並且，電子裝置可包括儲存裝置及處理器。製造執行系統120可藉由處理器執行上述各模組功能，以實現本發明各實施例所述之各種資料運算、整合、判斷以及分析。

圖2是依照本發明一實施例的機台自動化管理系統的監控裝置的方塊圖。請參照圖2，本實施例說明圖1中監控裝置130的組成及功能。監控裝置130例如是桌上型電腦、筆記型電腦、工作站、伺服器或是其他具備運算功能的智慧型手機、個人數位助理或平板電腦，本實施例不限於此。

監控裝置130包括處理器132、儲存裝置134與通訊裝置136。處理器132耦接製造執行系統120、儲存裝置134與通訊裝置136。處理器132可以通過通訊裝置136連線到遠端控制裝置150進而連接到機台110，且通過遠端控制裝置150存取機台110操作介面上的資料(舉例來說，為桌面程式所顯示的資料)，例如是關於製程的參數設定、產線進度或產品的製造結果。儲存裝置134儲存多組機台SOP原始碼，處理器132執行一組機台SOP原始碼可以通過遠端控制裝置150來控制機台110執行一連串的機台操作動作，詳細言之，每組機台SOP原始碼記錄了機台的操作標準作業程序的自動執行代碼，處理器132執行機台SOP原始碼可以通過遠端控制裝置150使得機台110自動執行操作標準作業程序。處理器132可以從製造執行系統120接收多個製程指令的至少其中之一，並且會根據接收到的製程指令從儲存裝置134找出對應的機台SOP原始碼，處理器132執行上述對應的機台SOP原始碼可以控制遠端控制裝置150以一連串步驟來操作機台110的鍵盤、滑鼠與桌面程式(Desktop Application)等等，使得機台 110可以進行無人化操作以回應製程指令(舉例來說，回應所收到的製程指令即表示要機台執行某些操作標準作業程序)，以達到機台自動化生產產品(例如晶圓產品)的目的。

在本實施例中，監控裝置130可以使用SEMI設備通訊標準/共用設備模型(SEMI Equipment Communication Standard/Generic Equipment Model,SECS/GEM)與製造執行系統120互相溝通。SECS/GEM是半導體設備和上層(host)溝通用的通訊協定/介面，舉例來說，在自動化的晶圓廠，透過此介面可以對設備下達開始或停止的指令、蒐集量測資料、改變製程參數和選擇配方。SECS/GEM協定涵蓋了例如SECS I、HSMS(High-Speed SECS Message Services)、SECS II和GEM。然而，本發明對於監控裝置130與製造執行系統120之間的通訊協定並不加以限制，對本領域中具有通常知識者而言，當知還有其他的通訊標準存在，而且使用其它通訊標準的半導體製造執行系統，也是包含在本發明的範圍之內。

通訊裝置136例如是支援電機和電子工程師協會(Institute of Electrical and Electronics Engineers，IEEE)802.11n/b/g等無線通訊標準的無線網路卡或是支援乙太網路(Ethernet)等有線網路連結的網路卡，其可透過有線或無線方式與網路140上的其他裝置進行網路連線。在本實施例中，通訊裝置136使用一個區域網路(local area network,LAN)，然而，本領域中具有通常知識者依據實際需求也可以使用其它的通訊方法，並且使用其他通訊方法的通訊裝置也是包含在本發明的範圍之內。

儲存裝置134可以是任何型態的固定式或可移動式隨機存取記憶體(Random Access Memory，RAM)、唯讀記憶體(Read-Only Memory，ROM)、快閃記憶體(Flash memory)或類似元件或上述元件的組合，可用以儲存機台SOP原始碼。

在本實施例中，處理器132可包括由單核心或多核心組成的中央處理單元(Central Processing Unit,CPU)，或是其他可程式化之一般用途或特殊用途的微處理器(Microprocessor)、數位訊號處理器(Digital Signal Processor,DSP)、可程式化控制器、特殊應用積體電路(Application Specific Integrated Circuits,ASIC)、可程式化邏輯裝置(Programmable Logic Device,PLD)或其他類似裝置或這些裝置的組合，可用以載入電腦可讀寫軟體以執行複數個指令，用以執行本發明實施例的監控裝置130的遠端監控功能。以下即舉實施例說明監控裝置130對機台110執行自動化遠端監控的詳細步驟。

除此之外，在本實施例中，監控裝置130還包括輸入裝置138，輸入裝置138耦接儲存裝置134與處理器132。輸入裝置138可以是鍵盤(有線或無線鍵盤)、滑鼠(有線或無線滑鼠)、語音辨識裝置、觸控螢幕的其中之一或其組合。使用者可以通過輸入裝置138輸入想要的機台標準作業程序原始碼至儲存裝置134，也可以對儲存裝置134中的機台SOP原始碼進行編輯。

舉例來說，圖3是依照本發明的一實施例的監控裝置對機台全自動化遠端管理方法的流程圖，可以適用於圖1與圖2的實施例。圖4是依照本發明的一實施例的一種通過遠端控制裝置所擷取的機台操作介面的示意圖。請搭配圖1與圖2參照圖3與4，處理器132利用通訊裝置136連結網路140，並透過網路140分別連線多個遠端控制裝置150。以下將以監控裝置130遠端控制任一台機台110為例，但不限於此。在一實施例中，機台自動化管理系統100利用監控裝置130來遠端控制機台110以實施自動化操作，在此以掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope,SEM)的全自動化對焦動作為例，但不限於此，亦可實施其他例如塗佈光阻、蝕刻技術等等，本領域具有通常知識者可依據實際情況跟實施說明，而作適當變化。

首先，在步驟S302中，監控裝置130通過遠端控制裝置150擷取機台110的操作介面畫面200，接著，在步驟304中，處理器132對擷取的操作介面畫面200進行圖文辨識(Optical Character Recognition,OCR)。需說明的是，處理器132未必需要對於操作介面畫面200全部進行圖文辨識，可以只針對某特定範圍，例如操作介面畫面200中的第一子視窗240、第二子視窗252或是第三子視窗254的畫面區域可以省略不辨識或只進行文字辨識，或是對SEM設定第一子視窗262或SEM設定第二子視窗264進行圖文辨識，以得知此時的SEM設定值，也可以另外針對特定畫面區域，例如SEM所拍攝的影像子視窗210，進行圖像辨識。圖230為晶圓的示意圖，其中晶粒232表示SEM所拍攝的目標，顯示在影像子視窗210中。

在步驟S306中，對擷取的操作介面畫面200進行比對，例如比對SEM拍攝的圖片(影像子視窗210)是否有包含預設要蝕刻的圖形(在此以三角形圖案為例)或是影像子視窗210所拍攝的蝕刻後圖案212是否位於預定的位置，如區域216內，本發明對於比對的目標不加以限制。

接著，在步驟S308中，判斷比對結果是否符合預期，如果不符合則執行下一個步驟S310。由於機台110的操作介面為可事先得知的，因此可知道在影像子視窗210的左下角特定畫素區域內會顯示SEM拍攝的座標位置214，透過圖文辨識功能可獲得此時SEM拍攝的座標位置214，或是在先前的步驟S304或步驟S306中，藉由圖文辨識的結果可判斷出符合甚麼格式的數值或文字表示座標位置。若判斷目前的座標位置214不符合期望，可以控制機台110的SEM改變拍攝位置或是焦距等等，其中新的拍攝位置或是焦距等等可以通過預設的自動對焦方法找出。

特別說明的是，在步驟S306或步驟S308中，對擷取的操作介面畫面200進行比對的動作、判斷比對結果的動作或是計算SEM新的拍攝座標、焦距等等，可以是由監控裝置130將圖文辨識後的操作介面畫面200傳送給製造執行系統120，由製造執行系統120進行上述計算動作，或是由處理器132完成，本發明對此並不加以限制。

在步驟S310中，處理器132從製造執行系統120接收製程指令，例如，為了要自動化改變機台110的SEM的設定(例如是要改變SEM拍攝座標的指令並拍攝新影像，其內含新的SEM拍攝座標)，之後在步驟S312與步驟S314中，處理器132從儲存裝置134中找出對應的機台SOP原始碼，機台SOP原始碼用以通過遠端控制裝置150來操作機台110操作介面，例如自動執行點擊某特定下拉式選單的動作、點擊某個特定按鍵或點擊特定次數，又或是在特定的輸入空格鍵入想要的數字(想要的數字例如是新的SEM拍攝座標)、勾選特定選項等等，或上述動作的組合。

完成步驟S314後，回到步驟S302並重複下列步驟(在另一實施例中可以只回到步驟S306)，直到步驟S308判斷比對結果符合預期，則進行步驟S316，結束SEM的全自動化對焦動作。

在一實施例中，處理器132在經過步驟S302與步驟S306後，可以通過操作介面影像200的圖文辨識與比對結果而獲取機台110的執行狀況，例如產品的影像、品質、製程參數、故障狀況、製程進度等等，進而將機台110的執行狀況提供給製造執行系統120作為參考，而製造執行系統120可以依據執行狀況提供處理器132相應的製程指令。

在一實施例中，當多個機台110的至少其中之一的執行狀況為故障狀況時，處理器132回報故障狀況給製造執行系統120並從製造執行系統120接收故障排除指令，以及處理器132從儲存裝置134接收對應故障排除指令的機台SOP原始碼並執行之，以控制遠端控制裝置150使故障的機台110自動排除故障狀況。詳細來說，處理器132在對機台110的操作介面畫面進行圖文辨識後，發現存在錯誤訊號，處理器132可以將辨識出的錯誤代碼回報給製造執行系統120，製造執行系統120根據錯誤代碼回應監控裝置130對應的故障排除指令，處理器132接收故障排除指令後會從儲存裝置134找出對應的機台SOP原始碼，此對應的機台SOP原始碼記錄了如何應對此故障代碼的操作步驟，因此處理器132執行此對應的機台SOP原始碼後可以自動化排除機台110的故障狀況。

圖5是依照本發明的另一實施例的一種機台自動化管理系統的示意圖。機台自動化管理系統500包括多個機台110，製造執行系統(manufacturing execution system,MES)120以及監控裝置130。機台自動化管理系統500與機台自動化管理系統100類似，差異在於機台自動化管理系統500可以不包括遠端控制裝置150，而是每台機台110掛載遠端控制(Remote Control或Remote Desktop)程式。遠端控制程式可以讓遠端的客戶端(Client)通過網路連線的方式顯示主機端的操作介面(桌面)並且可以在客戶端上操作主機端的操作介面，遠端控制程式例如為TeamViewer、AnyDesk、VNC(Virtual Network Computing)等等軟體，但不限於此。以下主要說明此差異。

在此實施例中，監控裝置130耦接製造執行系統120，並且通過網路140連接各機台110。藉由遠端控制程式，監控裝置130可以觀察每台機台110的操作介面從而獲得機台110的執行狀況，並且遠端操作機台110的操作介面，例如開啟視窗、下拉視窗、控制游標點擊按鍵、或是在空格輸入數值或文字等等。因此監控裝置130的處理器132執行機台SOP原始碼可以通過遠端控制程式使得機台110自動執行操作標準作業程序。機台自動化管理系統500的詳細配置關係以及實施方式，可參考上述圖1~4實施例的說明獲致足夠的教示、建議以及實施說明，因此不再贅述。

圖6是依照本發明的一實施例的一種用以管理多個機台的自動化管理方法的流程圖，參考圖1至圖5，本實施例的自動化管理方法可至少適用於圖1的機台自動化管理系統100與圖5的機台自動化管理系統500。在步驟S510中，監控裝置130連線至各機台110所掛載的遠端控制程式或是耦接各機台110的遠端控制裝置150。在步驟S520中，監控裝置130從製造執行系統120接收對應多個機台110的製程指令，並且找出對應所接收的製程指令的機台SOP原始碼。在步驟S530中，監控裝置130執行機台SOP原始碼來控制各機台110的遠端控制程式或各遠端控制裝置150，通過遠端控制程式或遠端控制裝置150操作機台110來執行機台110的自動化操作。因此，本實施例的自動化管理方法可實施全自動化的產線管理。然而，實現本實施例的自動化管理方法的相關系統特徵以及實施方式，可參考上述圖1~5實施例的說明獲致足夠的教示、建議以及實施說明，因此不再贅述。

另外說明的是，在某些實施例中，機台110可以同時掛載遠端控制程式以及外掛遠端控制裝置150，本發明對此並不限制。

綜上所述，本發明的實施例的機台自動化管理系統及其方法可藉由監控裝置通過遠端控制裝置或遠端控制程式來自動操作機台。藉由各機台都有耦接遠端控制裝置或掛載遠端控制程式，監控裝置可連線遠端控制裝置或遠端控制程式來控制這些機台的原生操作介面。監控裝置的儲存裝置儲存有多組機台標準作業程序原始碼，上述的多組機台標準作業程序原始碼分別記錄了一連串機台操作動作的自動執行代碼，也就是說不同的機台標準作業程序原始碼分別執行不同的機台操作標準作業程序，因此監控裝置從製造執行系統接收製程指令後會執行對應製程指令的機台標準作業程序原始碼，因此可以使監控裝置通過遠端控制裝置或遠端控制程式來使得機台自動執行原本需要人工操作的操作標準作業程序，因此本發明的實施例所提供的機台自動化管理系統及其方法可以達到無人的全自動化製程管理，達到降低產線所需要的人力成本的技術效果，並且只要在各機台耦接遠端控制裝置或者掛載遠端控制程式，不需變更機台內建的軟體設定，能夠避免引起機台的軟體衝突並且適用於多種不同類型的機台，還可以達到在有限預算下建構機台自動化管理系統並且應用彈性廣泛的效果。

雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本發明的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

S510~S530‧‧‧用以管理多個機台的自動化管理方法的步驟

Claims

一種機台自動化管理系統，包括：多個機台；多個遠端控制裝置，分別耦接各所述機台；製造執行系統(manufacturing execution system,MES)，用以提供執行所述多個機台的多個製程指令；以及監控裝置，耦接所述多個遠端控制裝置與所述製造執行系統，通過各所述遠端控制裝置來獲取各所述機台的操作介面影像，且對各所述操作介面影像進行圖文辨識以獲取各所述機台的執行狀況並傳送給所述製造執行系統，其中所述製造執行系統根據各所述機台的執行狀況提供對應的所述製程指令給所述監控裝置，所述監控裝置根據從所述製造執行系統接收的所述製程指令執行多組機台標準作業程序(Standard Operating Procedures,SOP)原始碼的其中之一，以控制各所述遠端控制裝置來執行各所述機台的自動化操作。
如申請專利範圍第1項所述的機台自動化管理系統，其中所述監控裝置包括：通訊裝置，通過網路連線所述多個遠端控制裝置；儲存裝置，儲存所述多組機台標準作業程序原始碼；以及處理器，耦接所述通訊裝置、所述儲存裝置與所述製造執行系統，所述處理器從所述製造執行系統接收所述製程指令，所述處理器根據所述製程指令從所述儲存裝置接收對應的機台標準作業程序原始碼，且執行所述機台標準作業程序原始碼來控制各所述遠端控制裝置以執行各所述機台的自動化操作，其中所述處理器通過所述通訊裝置連接各所述遠端控制裝置。
如申請專利範圍第1項所述的機台自動化管理系統，其中所述監控裝置還包括：輸入裝置，耦接所述儲存裝置與所述處理器，其中使用者通過所述輸入裝置輸入或編輯所述多組機台標準作業程序原始碼的其中之一。
如申請專利範圍第1項所述的機台自動化管理系統，其中當所述多個機台的其中之一的執行狀況為故障狀況時，所述監控裝置回報所述製造執行系統並從所述製造執行系統接收故障排除指令，以及所述監控裝置執行對應所述故障排除指令的機台標準作業程序原始碼，以控制所述遠端控制裝置使所述機台自動排除所述故障狀況。
如申請專利範圍第1項所述的機台自動化管理系統，其中所述監控裝置通過各所述遠端控制裝置控制各所述機台的鍵盤、滑鼠與桌面程式(Desktop Application)的至少其中之一，以執行各所述機台的自動化操作。
一種機台自動化管理系統，包括：多個機台，其中各所述機台掛載遠端控制程式；製造執行系統，用以提供執行所述多個機台的多個製程指令；以及監控裝置，耦接所述多個機台與所述製造執行系統，通過所述遠端控制程式來獲取各所述機台的操作介面影像，且對各所述操作介面影像進行圖文辨識以獲取各所述機台的執行狀況並傳送給所述製造執行系統，其中所述製造執行系統根據各所述機台的執行狀況提供對應的所述製程指令給所述監控裝置，所述監控裝置根據從所述製造執行系統接收的所述製程指令執行多組機台標準作業程序原始碼的其中之一，通過連線所述遠端控制程式來執行各所述機台的自動化操作，其中所述監控裝置通過所述遠端控制程式來獲取各所述機台的執行狀況，且，以及。
如申請專利範圍第6項所述的機台自動化管理系統，其中所述監控裝置包括：通訊裝置，通過網路連線所述多個機台；儲存裝置，儲存所述多組機台標準作業程序原始碼；以及處理器，耦接所述通訊裝置、所述儲存裝置與所述製造執行系統，所述處理器從所述製造執行系統接收所述製程指令，所述處理器根據所述製程指令從所述儲存裝置接收對應的機台標準作業程序原始碼，且執行所述機台標準作業程序原始碼以通過所述遠端控制程式執行各所述機台的自動化操作，其中所述處理器通過所述通訊裝置控制所述遠端控制程式。
如申請專利範圍第6項所述的機台自動化管理系統，其中所述監控裝置還包括：輸入裝置，耦接所述儲存裝置與所述處理器，其中使用者通過所述輸入裝置輸入或編輯所述多組機台標準作業程序原始碼的其中之一。
如申請專利範圍第6項所述的機台自動化管理系統，其中當所述多個機台的至少其中之一的執行狀況為故障狀況時，所述監控裝置回報所述製造執行系統並從所述製造執行系統接收故障排除指令，以及所述監控裝置執行對應所述故障排除指令的機台標準作業程序原始碼，以控制所述機台的遠端控制程式來自動排除所述故障狀況。
如申請專利範圍第6項所述的機台自動化管理系統，其中所述監控裝置通過所述遠端控制程式控制各所述機台的鍵盤、滑鼠與桌面程式的至少其中之一，以執行各所述機台的自動化操作。
一種用以管理多個機台的自動化管理方法，適用於管理多個機台的監控裝置，其中所述多個機台分別掛載遠端控制程式或分別耦接多個遠端控制裝置，所述方法包括：連線所述多個機台的遠端控制程式或所述多個遠端控制裝置以對所述多個機台進行遠端控制；通過各所述遠端控制裝置或所述遠端控制程式來獲取各所述機台的操作介面影像，且對各所述操作介面影像進行圖文辨識以獲取各所述機台的執行狀況；傳送各所述機台的執行狀況給所述製造執行系統，以及從所述製造執行系統接收對應於各所述機台的執行狀況的製程指令；以及根據接收的所述製程指令執行多組機台標準作業程序原始碼的其中之一，以控制各所述機台的遠端控制程式或各所述遠端控制裝置來執行各所述機台的自動化操作。
如申請專利範圍第11項所述的自動化管理方法，其中使用者通過所述監控裝置的輸入裝置輸入或編輯所述多組機台標準作業程序原始碼的其中之一。
如申請專利範圍第11項所述的自動化管理方法，其中所述的從所述製造執行系統接收對應於各所述機台的執行狀況的製程指令的步驟包括：當所述多個機台的至少其中之一的執行狀況為故障狀況時，回報所述故障狀況給所述製造執行系統並從所述製造執行系統接收故障排除指令，以及執行對應所述故障排除指令的機台標準作業程序原始碼以控制各所述遠端控制裝置或所述遠端控制程式使所述機台自動排除所述故障狀況。
如申請專利範圍第11項所述的自動化管理方法，其中所述監控裝置通過各所述遠端控制裝置或所述遠端控制程式控制各所述機台的鍵盤、滑鼠與桌面程式的至少其中之一，以執行各所述機台的自動化操作。