TWI677408B - 工具、作業管理裝置、作業管理方法及作業管理系統 - Google Patents

工具、作業管理裝置、作業管理方法及作業管理系統 Download PDF

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Abstract

[課題] 提供附扭力感測器的工具，其適合在組裝時需要多數個連結零件，且，可對連結零件施工的空間為狹窄的流體控制裝置般之裝置之連結零件的鎖固作業，並使鎖固扭力的檢測自動化。
[解決手段] 一種工具(1)，是具備扭力感測器(30)，其可檢測出作用於工具頭(20)之將連結零件予以鎖固的鎖固扭力，扭力感測器(30)，是當所檢測出的鎖固扭力超過設定閾值(Th)時開始鎖固扭力的測定，當所檢測出的鎖固扭力低於設定閾值(Th)，且，經過設定時間(T1)的話則結束測定，將基於測定開始至測定結束為止之間的測定資料來形成且含有測定時刻的扭力相關資料予以輸出。扭力相關資料，是含有測定資料之中的峰值。

Description

工具、作業管理裝置、作業管理方法及作業管理系統
本發明，是關於作業管理裝置、作業管理方法、以及作業管理系統，其管理：在含有多數螺栓等之連結零件的裝置中，在連結零件之鎖固作業所使用之附扭力感測器的工具及使用該工具的鎖固作業。
半導體製造製程等之各種製造製程中，為了將正確地計量的製程氣體供給至製程腔室，使用有將開閉閥、調節器、質量流量控制器等之各種流體機器予以積體化的流體控制裝置(例如參照專利文獻1)。
如上述般之流體控制裝置的組裝工程中，有必要進行龐大數量之六角孔螺栓等之連結零件的鎖固作業，且，要求著高組裝品質。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2007-003013號公報
[專利文獻2]日本特開2013-188858號公報
[專利文獻3]日本特開2015-229210號公報
[專利文獻4]日本特開2013-852號公報
[專利文獻5]日本特開2008-181344號公報
[發明所欲解決的課題]
專利文獻2是揭示出，利用來自設在扭力扳手的加速度感測器、陀螺儀感測器、地磁氣感測器等之感測器的訊號，而自動地檢測出進行鎖固之連結零件的位置來管理鎖固位置的技術。
專利文獻3是揭示出，將工具所進行的作業部位以拍攝裝置來拍攝，並基於該拍攝畫面資料與來自附加於工具的扭力感測器等之感測器的資料來判斷是否正常進行作業的技術。
專利文獻4是揭示出，在工件的上方設置拍攝裝置，在對工件以鎖固工具實施鎖固作業之際，從拍攝資料檢測出賦予至鎖固工具之事先登錄的識別標記的有無，藉此檢測出實施了鎖固作業的技術。
專利文獻5是揭示出，在含有使用道具進行複數個作業的產品之製造工程中，特定出在產品的哪個位置進行作業的技術。具體來說，在一個前述作業結束時，以所輸出之結束訊號的收訊為契機，拍攝複數個圖像，由該等之圖像來檢測出表示作業結束位置的作業結束座標，而取得應該進行作業的位置亦即表示作業位置的作業座標，並基於作業結束座標與作業座標，來特定出複數個作業各自的作業位置之中是哪個對應於作業結束位置。
上述的流體控制裝置，是不斷進展著小型化、積體化，螺栓等之鎖固構件亦短小化，此外，流體機器之間的空間為狹小化。因此，螺栓等之鎖固構件的鎖固作業，是使用工具來進行，該工具是在握把所具備的工具頭保持部安裝細長的工具頭。例如，在只能通過流體機器間之狹小空間來施工的部位之連結零件的鎖固作業，是對該狹小空間插入工具之僅工具頭的部分，將工具頭的姿勢予以適當調整來將工具頭前端部咬合於連結零件，而從遠離流體機器的位置操作握把來使工具頭旋轉。
但是，若要使這種工具持有專利文獻2所揭示之鎖固位置的檢測功能的話，有必要安裝將各種感測器或CPU等予以內藏的殼體。在由握把與工具頭所成的工具安裝將各種感測器或CPU等予以內藏的殼體是很困難的，即使能將殼體安裝於工具，殼體亦會成為阻礙而使工具的操作性顯著降低。此外，若安裝多數個感測器的話，工具的製造成本會變高。
在專利文獻3、4的技術，是難以確實地拍攝到插入至流體機器之間之狹小空間的工具頭之前端部或鎖固位置，在拍攝中，操作者的手或工具的握把會進入拍攝區域，而擋住作業部位或鎖固位置。
在專利文獻5，雖可特定作業位置，但無法得到將螺絲予以鎖固之實際的扭力資料。此外，在螺絲鎖固等之鎖固作業中，作業員有時會多次重新鎖固，故並不容易產生適當的結束訊號。甚至，因為將1個螺絲予以鎖固的時間短為數秒，且1個螺絲與相鄰的螺絲之間的間隔較小，故並不容易僅由圖像來特定出作業結束。
本發明的一個目的，是提供附扭力感測器的工具，其適合在組裝時需要多數個連結零件，且，可對連結零件施工的空間為狹窄的流體控制裝置般之裝置之連結零件的鎖固作業，並使鎖固扭力的檢測自動化。
本發明的其他目的，是提供作業管理裝置、作業管理方法及作業管理系統，其在使用上述之附扭力感測器的工具的鎖固作業中，針對所有連結零件可正確地管理位置或鎖固扭力等的資訊。

[用以解決課題的手段]
本發明的工具，是具備扭力感測器，其可檢測出作用於工具頭之將連結零件予以鎖固的鎖固扭力，
前述扭力感測器，是當所檢測出的鎖固扭力超過設定閾值時開始鎖固扭力之測定資料的記錄，當所檢測出的鎖固扭力低於前述設定閾值，且，經過設定時間的話則結束測定，將基於測定開始至測定結束為止之間的測定資料來形成且含有測定時刻的扭力相關資料予以輸出。
較佳可採用以下構造：前述扭力相關資料，是含有前述測定資料之中的峰值，前述扭力相關資料，是含有測定資料的日期時間資訊及測定資料之際的溫度資訊，且，工具是具備圖像處理用的至少第1及第2標記。
本發明的作業管理裝置，是使用上述構造之工具，來管理將產品所含的複數個連結零件的各個予以鎖固的鎖固作業，
當收到前述扭力相關資料時，從在一個連結零件的鎖固作業中由複數個視角所拍攝之前述工具的複數個圖像之中，抽出與前述扭力相關資料所含的測定時刻對應之複數個圖像來處理，並檢測出與前述一個連結零件卡合之前述工具頭的卡合位置。
本發明的作業管理方法，是使用上述構造之工具，來管理將產品所含的複數個連結零件的各個予以鎖固的鎖固作業，
當收到前述扭力相關資料時，從在一個連結零件的鎖固作業中由複數個視角所拍攝之前述工具的複數個圖像之中，抽出與前述扭力相關資料所含的測定時刻對應之複數個圖像來處理，並檢測出與前述一個連結零件卡合之前述工具頭的卡合位置。
本發明的作業管理系統，是管理將產品所含的複數個連結零件的各個予以鎖固的鎖固作業，
其具有工具，該工具具備：扭力感測器，其可檢測出作用於工具頭之將連結零件予以鎖固的鎖固扭力；以及圖像處理用的第1及第2標記，
前述扭力感測器，是當所檢測出的鎖固扭力超過設定閾值時開始鎖固扭力之測定資料的記錄，當所檢測出的鎖固扭力低於前述設定閾值，且，經過設定時間的話則結束測定，將基於測定開始至測定結束為止之間的測定資料來形成的扭力相關資料予以輸出，
且具有：第1及第2拍攝裝置，是對前述產品配置在既定的位置，以至少含有前述第1及第2標記的方式，且，從彼此不同的視角來拍攝鎖固作業中之前述工具的圖像；
記憶裝置，其儲存前述第1及第2拍攝裝置之拍攝的圖像；以及
處理裝置，當收到前述扭力相關資料時，從在一個連結零件的鎖固作業中由複數個視角所拍攝之儲存於前述記憶裝置的前述工具的複數個圖像之中，抽出與前述扭力相關資料所含的測定時刻對應之複數個圖像來處理，並檢測出與前述一個連結零件卡合之前述工具頭的卡合位置。

[發明的效果]
根據本發明，可得到附扭力感測器的工具，其適合在可對連結零件施工的空間為狹窄的流體控制裝置般之裝置之連結零件的鎖固作業，並使鎖固扭力的檢測自動化。
根據本發明，可針對流體控制裝置般之裝置的所有連結零件，正確地管理位置或鎖固扭力等的資訊。
以下，針對本發明的實施形態參照圖式進行說明。又，本說明書及圖式中，對於功能實質相同的構成要件，是使用相同符號而省略重複的說明。
圖1，是表示本發明之一實施形態的作業管理系統，該系統，具有：作為工具的起子1、作為處理裝置的個人電腦(以下稱為PC)300、作為拍攝裝置的攝影機400A、400B。在圖1中，產品亦即氣體箱500的內部是省略，但圖2及圖3所示之流體控制裝置200是設置在底面500b。亦即，是在流體控制裝置200被收容在氣體箱500內的狀態下實施組裝作業。又，圖1的箭頭A1是表示水平面內的橫方向，箭頭A2是表示水平面內的縱方向。
圖2、3所示的流體控制裝置200，是使用來對半導體製造裝置等的反應器供給各種氣體，在基座板金BS上，複數(圖中為3列)並列有流體控制組件，其由各自沿著長度方向配置之由自動閥或質量流量控制器所成的各種流體機器210、220、230、240、280、250所構成。
設在基座板金BS上的複數個接頭塊260、270是具備將各種流體機器間予以連接的流路。流體機器的主體與接頭塊260、270，是以作為鎖固零件的六角孔螺栓BT來連結。
起子1，是使用於六角孔螺栓BT的鎖固作業。若各種流體機器積體化時，在鎖固六角孔螺栓BT之際，為了不使流體機器與起子1的工具頭干涉，有著對六角孔螺栓BT使起子1傾斜來鎖固的情況。這種作業對於多數的六角孔螺栓BT來說是難以用正確的鎖固扭力來實施。
回到圖1，攝影機400A，其視角是朝向橫方向A1，如後述般，配置在可拍攝到設在工具1之標記的位置。攝影機400B，其視角是朝向縱方向A2，如後述般，配置在可拍攝到設在工具1之標記的位置。攝影機400A、400B，可用既定的影格率來拍攝，所拍攝的圖像資料是作為無線訊號傳送至PC300並儲存。攝影機400A、400B，是設置在氣體箱500的外部，故在起子1之六角孔螺栓BT的鎖固作業中，會有起子1之工具頭的前端位置及六角孔螺栓BT無法進入至攝影機400A、400B之視野的情況。
於圖4A～圖4D表示起子1的構造。
起子1，具有：握把10、工具頭20、扭力感測器30。起子1是使用於六角孔螺栓(連結零件)的連結，在最大鎖固扭力為10N・m以下的範圍使用，但並不限定於此。
連結零件，是使用有六角孔螺栓、六角螺栓、十字槽螺絲等，但並不限於此。
握把10，是如圖4B所示般，為由樹脂等之材料所成之圓柱狀的構件，其具有：於外周面形成有止滑用之複數條溝的本體部11、形成在前端部之圓筒狀的工具頭保持部12、形成在本體部11與工具頭保持部12之間且將扭力感測器30安裝成裝卸自如的感測器安裝部13。於工具頭保持部12，形成有由剖面為正六角形狀的盲孔所成的保持孔12a，在此插入保持有工具頭20。補助棒19，是設置成與握把10正交。在握把10設置補助棒19，藉此可用手動來產生更大的扭緊扭力。
工具頭20，是如圖4C所示般，具有：可插入保持於上述握把10之工具頭保持部12且剖面為正六角形狀的基端部22、與基端部22為相反側的前端部21、在基端部22與前端部21之間延伸的軸部23。前端部21及軸部23之六角形狀的剖面是形成相同尺寸。前端部21及軸部23的剖面積，是比基端部22還小。前端部21卡合至六角孔螺栓的六角孔。軸部23之靠基端部22的一部分，是成為被扭力感測器30檢測的被檢測部24。
工具頭20，具體來說，是以碳鋼、鎳鉻鉬鋼、鉻釩鋼等之合金鋼所形成。
於被檢測部24，形成有磁致伸縮材料，為了提高檢測感應度，例如施有Ni(40%)-Fe(60%)的鍍敷。
工具頭20的尺寸，例如，內接於基端部22之剖面的圓之直徑為10mm以下，內接於軸部23之剖面的圓之直徑為4mm左右，全長為200mm左右，但並不限定於此，可考量到作業性、操作性來適當選擇。
工具頭20，是使軸部23與被檢測部24形成一體亦可，成為可分割亦可。
扭力感測器30，是如圖4D所示般，具有：殼體部31、安裝部32、檢測部33、電路收容部35。
檢測部33，是在其中心部形成有貫通孔33a，將工具頭20貫通至該貫通孔33a內。於檢測部33的內部，以界定貫通孔33a之一部分的方式形成有圓筒狀的線圈保持部33b，於外周面設有激磁、檢測用的線圈36。將檢測部33予以貫通的工具頭20之被檢測部24，是被線圈36給包圍外周。
殼體部31、安裝部32、檢測部33是藉由樹脂材料而形成為一體，在殼體部31的內部形成有空洞39。空洞39，可通過安裝部32來收容握把10的工具頭保持部12。
形成為圓筒狀的安裝部32，是使握把10的感測器安裝部13嵌合於內周，且藉由未圖示的螺絲構件，來固定於感測器安裝部13。
電路收容部35，是如後述般，將由微型電腦、記憶體、電池、外部輸入輸出電路、通訊電路、扭力檢測用的各種電路等所構成的硬體予以收容，並藉由儲存在記憶體之需要的軟體來動作。
起子1，是在將工具頭20安裝於握把10的狀態之後而可安裝扭力感測器30。因此，若握把10及工具頭20為以往所使用之泛用的工具的話，藉由追加扭力感測器30，而可不損及工具的作業性、操作性而檢測出作用於工具頭20的扭力。
又，在本實施形態，雖示例出可追加扭力感測器30的情況，但亦可採用事先將扭力感測器30安裝於握把10，並在之後將工具頭20安裝於握把10的構造。
圖5A，是扭力感測器30的電路圖。
在圖5A中，50是激磁線圈，51是檢測線圈，52是將與扭力成比例的電壓予以輸出的類比電路，53是DC、DC轉換器，54是比較器，55是基準電壓設定電路。60是微型電腦(以下稱微電腦)，61是類比-數位轉換器(以下稱ADC)，62是溫度感測器，63是實際時間計時器，64是串列匯流排，65是通訊模組，66是唯讀記憶體(ROM)，67是資料輸入端子，68是記憶卡，69是重置IC，70是DC、DC轉換器，71是校準開關，72是電源開關，73是電池，74是充電控制電路，75是充電連接器。
在此，將圖5A的激磁線圈50、檢測線圈51及類比電路52之類比電路部分的功能方塊圖示於圖5B。
扭力感測器30，具有：振盪電路110、緩衝放大器120、相位調整電路130、V-I轉換器140、逆變器160、同步檢波電路170、及反相放大器180。

(激磁側)
振盪電路110，是產生將激磁線圈50予以激磁的基準頻率訊號(例如100kHz)。
由振盪電路110對激磁側電路輸出正弦波的訊號，但為了使振盪電路110穩定動作，是經由緩衝放大器120來輸出至相位調整電路130。
相位調整電路130，是調整波形的相位，並輸出至V-I轉換器140。
V-I轉換器140，是將輸入電壓變換為電流，並輸出至激磁線圈50。

(檢測側)
檢測線圈51，是將因反磁致伸縮效應而產生的感應電壓予以輸出至同步檢波電路170。
從振盪電路110往檢測側，輸出有作為參考訊號的矩形波。該矩形波的頻率，是與往激磁側輸出的正弦波相同。所輸出的矩形波是分歧為2個，一方是直接往同步檢波電路170輸出，另一方是在逆變器160反轉相位並往同步檢波電路170輸出。
同步檢波電路170，是參考參考訊號，而將來自檢測線圈51的感應電壓予以同步檢波，並往反相放大器180輸出。
反相放大器180，是將來自同步檢波電路170的輸出予以平均化，並進行偏移調整、增益調整，而作為類比的扭力訊號SG來輸出至ADC61。同步檢波電路170及反相放大器180，是構成上述的類比電路52。
如上述般，在扭力感測器30，是將工具頭20之作用於被檢測部的扭力變化，作為形成工具頭20的磁致伸縮材料之磁導率的變化，而由激磁線圈50及檢測線圈51來檢測。
在工具頭20測定將連結零件予以鎖固的扭力時，只要檢測出作用於工具頭的扭力即可。
為了檢測出作用於工具頭的扭力，是利用反磁致伸縮效應，但有必要將施加扭力所致之軸(被檢測部)表面的磁導率變化，換算成捲繞軸(被檢測部)之電磁線圈的阻抗變化，而作為橋式電路的非平衡電壓來檢測。
作用於軸(被檢測部)之表面的應力(應變)與軸(被檢測部)之直徑的關係是用以下的式來表示。
在此，σ是軸(被檢測部)表面的應力(應變)，T是作用於軸(被檢測部)的扭力，D是軸(被檢測部)的直徑。
亦即，在對軸(被檢測部)之直徑不同的工具頭施加相同扭力的情況，軸(被檢測部)之直徑較小的工具頭那邊，軸(被檢測部)表面的應力(應變)會顯著變大。
軸(被檢測部)表面的應力(應變)，會使軸(被檢測部)表面的磁導率變化。
磁導率的變化，是因應來自外部的力，而使以原子尺寸構成的微小磁鐵的朝向變化而藉此產生，但微小磁鐵的朝向全部統一的話就不會有進一步的變化(飽和狀態)。
為了精密地檢測出施加於工具頭(軸)的扭力，是在施加扭力的範圍內，使磁導率的變化成為線性為佳。
微電腦60，是透過串列匯流排64，而在ADC61、溫度感測器62、實際時間計時器63、通訊模組65之間進行各種數位資料的收授。
通訊模組65，是在與PC之間進行資料的傳輸。
ROM66，是儲存有可由微電腦60讀取的補正值資料或校準資料。
資料輸入端子67，是設置成用來將程式或計數訊號輸入至微電腦60。
於比較器54之一方的輸入端子，輸入有類比的扭力訊號，於另一方的輸入端子，輸入有來自基準電壓設定電路55的基準電壓(閾值)，若扭力訊號超過基準電壓的話，如後述般，將測定觸發訊號輸出至微電腦60的P1端子。
接著，參照圖6及圖7，針對扭力感測器30之電路的作用進行說明。又，圖6，是表示將複數個螺栓BT依序鎖固之際之扭力感測器30之動作的時序圖，圖7，是將圖6之最初的扭力測定之扭力感測器30的動作予以更加詳細地表示的時序圖。
上述的ADC61，例如以12位元所構成，若以1mv為1位元的話，可在0～4.096V的範圍輸出。在本實施形態，設定閾值Th，例如是由基準電壓設定電路55而初始設定在2.0V。
將圖5A所示的電源開關72如圖6的(1)所示般成為ON(導通狀態)時，重置訊號如圖6的(2)所示般從重置IC69輸入至微電腦60。
使用工具1來將流體控制裝置200之六角孔螺栓BT的一個予以鎖固，當扭力訊號(類比輸入)的電壓超過設定閾值Th時(圖7的(1))，從比較器54產生測定觸發訊號，並輸入至微電腦60的P1端子。
在微電腦60，當測定觸發訊號輸入至P1端子時，使測定記錄期間訊號(圖7的(4))成為ON。當測定記錄期間訊號成為ON時，微電腦60會開始扭力訊號之ADC61之數位輸出(圖7的(3))的記錄(取樣)。
在微電腦60，檢測出所讀取的數位輸出，並將此記憶(圖7的(5))。
當類比輸入低於設定閾值Th時，測定觸發訊號會成為OFF(圖7的(2))，而使扭力訊號之ADC61之數位輸出的記錄停止。若類比輸入低於設定閾值Th，且經過了事先設定的設定時間T1(例如0.5秒)的話，使測定記錄期間訊號成為OFF(圖7的(4))。藉此，一個螺栓BT之鎖固扭力的測定結束。
在圖7之例，數位輸出的峰值，是檢測出2993、3051、2989這3個。然後，在微電腦60，是檢測出3個峰值的最大值(3051)(圖7的(6))。在本實施形態，將該峰值的最大值當成扭力感測器30的鎖固結束扭力。
接著如後述般，形成含有該扭力之最大值的扭力相關資訊，將含有該最大值的扭力相關資訊儲存於記憶卡68，並通過通訊模組65送訊至PC300。
回到圖6，對每次的鎖固作業檢測出扭力訊號的最大值(圖6的(3)、(4))，並檢測出各扭力訊號之測定時的溫度(圖6的(5))，而如(圖6的(7))所示般，形成扭力相關資料。具體來說，扭力相關資料，含有：測定時刻(測定日期時間)、將扭力訊號的最大值(峰值)換算成實際之扭力值的值、以及測定時的溫度。扭力相關資料，在電源關閉時，扭力值的資料是成為零，第1次是3.051N・m，第2次是3.015N・m，第3次是3.011N・m。
接著，針對PC300之處理的一例參照圖8進行說明。
在PC300，是經常監視著是否從扭力感測器30接收到扭力相關資料(步驟S1)，當接收到的情況，從該扭力相關資料讀取出測定到扭力的測定時刻(日期時間)(步驟S2)。
PC300，具備將來自攝影機400A、400B的圖像予以記錄的圖片暫存器，鎖固作業的圖像是伴隨著作業的進行而記錄在PC300。搜索儲存於PC300的圖像資料，而抽出與步驟S2讀取到的時刻相對應之攝影機400A、400B各自拍攝到的圖像資料。亦即，該等2個圖像，是螺栓BT之鎖固結束時之工具的圖像。處理該等之圖像資料，而如圖9所示般，檢測出設在工具1的標記MKA與標記MKB之圖像的重心位置CGA、CGB，在連結重心位置CGA、CGB的直線上存在有工具頭20的前端座標20P。藉此，來輸出工具頭20的前端座標(步驟S5)。又，在本實施形態，標記MKA與標記MKB，是成為難以受到周圍環境影響的綠色。
接著，將所檢測出之工具頭20的前端座標、溫度資料、鎖固結束扭力值等的資料作對應關係並記錄於記憶裝置。藉此，可經常正確地追蹤流體控制裝置200之所有的螺栓BT之鎖固作業的有無、鎖固扭力等之作業資訊。
在本實施形態，是如上述般，隨時拍攝取得工具頭之前端座標用的圖像資料，並與此獨立地取得由扭力感測器30所取得的扭力相關資料。而且，將所取得的扭力相關資料和與此在時間上配合之從圖像資料取得之工具頭20的前端座標資料作關連對應，藉此可獲得正確的作業資訊。
例如，在工具所致之鎖固作業結束之後產生結束訊號，以該結束訊號為契機而開始工具的拍攝，將所拍攝的圖像資料予以處理來算出工具等之位置座標的話，在作業結束的時間點與算出工具等之位置座標的時間點之間會產生偏差，所算出的位置座標不一定是作業結束之時間點之工具等的位置座標。
在本發明，由於所算出之工具頭20的前端座標資料與所取得的扭力相關資料之間沒有時間上的差異，故可得到更正確的作業資料。
於圖10表示本發明之其他實施形態的作業管理系統。
圖10所示的系統，是使PC300與攝影機400A、400B藉由通訊纜線CA、CB來連接。如此一來，可取代無線而以有線來取得工具1的圖像。
攝影機400A、400B的設置位置，在如上述實施形態般為2台的情況，是使攝影機400A的視角方向與攝影機400B的視角方向正交為佳。拍攝範圍，是在作業者開始作業之後，到流體控制裝置200之所有的六角孔螺栓(連結零件)的鎖固結束為止的期間，拍攝設在工具1的標記MKA與標記MKB即可。作業者的全身或氣體箱500、流體控制裝置200是沒有拍攝的必要。
在上述實施形態，雖將扭力訊號之峰值的最大值從工具1送訊至PC300，但本發明並不限定於此。例如，除了峰值的最大值以外，亦可將最初的峰值或最後的峰值當成鎖固結束扭力，亦可採用峰值的平均值。
且，在上述實施形態，是將鎖固扭力的測定資料記錄於工具1並送訊至PC300，但亦可不在工具1記錄，而是只進行測定資料的送訊，並在PC300進行記錄、峰值的檢測。
在上述實施形態，是將所拍攝的圖像資料儲存於圖片暫存器，並從該圖片暫存器抽出必要的圖像資料，而藉由圖像處理來算出座標資料，但本發明並不限定於此。對所儲存的圖像資料進行逐次圖像處理而算出座標資料等，並將此依時序來儲存，並對該時序資料與扭力相關資料做關連對應亦可。
1‧‧‧起子(工具)
10‧‧‧握把
11‧‧‧本體部
12‧‧‧工具頭保持部
12a‧‧‧保持孔
13‧‧‧感測器安裝部
19‧‧‧補助棒
20‧‧‧工具頭
20P‧‧‧前端座標
21‧‧‧前端部
22‧‧‧基端部
23‧‧‧軸部
24‧‧‧被檢測部
30‧‧‧扭力感測器
31‧‧‧殼體部
32‧‧‧安裝部
33‧‧‧檢測部
33a‧‧‧貫通孔
33b‧‧‧線圈保持部
35‧‧‧電路收容部
36‧‧‧線圈
39‧‧‧空洞
50‧‧‧激磁線圈
51‧‧‧檢測線圈
52‧‧‧類比電路
53、70‧‧‧DC、DC轉換器
54‧‧‧比較器
55‧‧‧基準電壓設定電路
60‧‧‧微型電腦(微電腦)
61‧‧‧類比-數位轉換器(ADC)
62‧‧‧溫度感測器
63‧‧‧實際時間計時器
64‧‧‧串列匯流排
65‧‧‧通訊模組
66‧‧‧ROM
67‧‧‧資料輸入端子
68‧‧‧記憶卡
69‧‧‧重置IC
71‧‧‧校準開關
72‧‧‧電源開關
73‧‧‧電池
74‧‧‧充電控制電路
75‧‧‧充電連接器
110‧‧‧振盪電路
120‧‧‧緩衝放大器
130‧‧‧相位調整電路
140‧‧‧V-I轉換器
160‧‧‧逆變器
170‧‧‧同步檢波電路
180‧‧‧反相放大器
200‧‧‧流體控制裝置
210、220、230、240、250、280‧‧‧流體機器
260、270‧‧‧接頭塊
300‧‧‧PC(處理裝置)
400A、400B‧‧‧攝影機(拍攝裝置)
500‧‧‧氣體箱
500b‧‧‧底面
BS‧‧‧基座板金
BT‧‧‧六角孔螺栓
CA、CB‧‧‧通訊纜線
CGA、CGB‧‧‧重心位置
MKA、MKB‧‧‧標記
SG‧‧‧扭力訊號
T1‧‧‧設定時間
Th‧‧‧設定閾值
圖1為本發明之一實施形態之作業管理系統的外觀立體圖。
圖2為表示流體控制裝置之一例的外觀立體圖。
圖3為圖2之流體控制裝置的側視圖。
圖4A為本發明之一實施形態之工具的外觀立體圖。
圖4B為握把部的外觀立體圖。
圖4C為工具頭的外觀立體圖。
圖4D為工具之扭力感測器部分的縱剖面圖。
圖5A為扭力感測器的電路圖。
圖5B為扭力感測器之類比電路部分的功能方塊圖。
圖6為表示實施複數次鎖固作業之際的扭力感測器之處理之一例的時序圖。
圖7為表示1次鎖固作業之扭力感測器之各種訊號之一例的時序圖。
圖8為表示處理裝置之處理之一例的流程圖。
圖9為由圖像處理來檢測出工具頭前端位置之方法的說明圖。
圖10為本發明之其他實施形態之作業管理系統的外觀立體圖。

Claims (7)

  1. 一種工具，是具備扭力感測器，其可檢測出作用於工具頭之將連結零件予以鎖固的鎖固扭力，前述扭力感測器，是當所檢測出的鎖固扭力超過設定閾值時開始鎖固扭力之測定資料的記錄，當所檢測出的鎖固扭力低於前述設定閾值，且，經過設定時間的話則結束測定，將基於測定開始至測定結束為止之間之含有測定時刻的測定資料來形成的扭力相關資料予以輸出，前述工具，至少具備圖像處理用的第1標記及第2標記。
  2. 如請求項1所述之工具，其中，前述扭力相關資料，是含有前述測定資料之中的峰值。
  3. 如請求項1或2所述之工具，其中，前述扭力相關資料，是含有測定資料之際的溫度資訊。
  4. 一種作業管理裝置，是使用請求項1至3中任一項所述的工具，來管理將產品所含的複數個連結零件的各個予以鎖固的鎖固作業，當收到前述扭力相關資料時，從在一個連結零件的鎖固作業中由複數個視角所拍攝之前述工具的複數個圖像之中，抽出與前述扭力相關資料所含的測定時刻對應之複數個圖像來處理，並檢測出與前述一個連結零件卡合之前述工具頭的卡合位置。
  5. 如請求項4所述之作業管理裝置，其中，前述工具的複數個圖像，是至少含有前述第1及第2標記。
  6. 一種作業管理方法，是使用請求項1至3中任一項所述的工具，來管理將產品所含的複數個連結零件的各個予以鎖固的鎖固作業，當收到前述扭力相關資料時，從在一個連結零件的鎖固作業中由複數個視角所拍攝之前述工具的複數個圖像之中，抽出與前述扭力相關資料所含的測定時刻對應之複數個圖像來處理，並檢測出與前述一個連結零件卡合之前述工具頭的卡合位置。
  7. 一種作業管理系統，是管理將產品所含的複數個連結零件的各個予以鎖固的鎖固作業，其具有工具，該工具具備：扭力感測器，其可檢測出作用於工具頭之將連結零件予以鎖固的鎖固扭力；以及圖像處理用的第1及第2標記，前述扭力感測器，是當所檢測出的鎖固扭力超過設定閾值時開始鎖固扭力之測定資料的記錄，當所檢測出的鎖固扭力低於前述設定閾值，且，經過設定時間的話則結束測定，將基於測定開始至測定結束為止之間的測定資料來形成的扭力相關資料予以輸出，且具有：第1及第2拍攝裝置，是對前述產品配置在既定的位置，以至少含有前述第1及第2標記的方式，且，從彼此不同的視角來拍攝鎖固作業中之前述工具的圖像；記憶裝置，其儲存前述第1及第2拍攝裝置之拍攝的圖像；以及處理裝置，當收到前述扭力相關資料時，從在一個連結零件的鎖固作業中由複數個視角所拍攝之儲存於前述記憶裝置之前述工具的複數個圖像之中，抽出與前述扭力相關資料所含的測定時刻對應之複數個圖像來處理，並檢測出與前述一個連結零件卡合之前述工具頭的卡合位置。
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