TWI673526B - 光波導及使用該光波導之位置感測器 - Google Patents

光波導及使用該光波導之位置感測器 Download PDF

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TWI673526B
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Abstract

本發明提供一種光波導及使用該光波導之位置感測器,該光波導是在格子狀之芯部中,芯部之交叉部成為在交叉之2方向之芯部當中其中一芯部被另一芯部分隔的狀態,並在分隔之另一芯部、與被分隔之其中一芯部之分隔側的端部之間分別形成間隙時,可更加減低交叉損失。又,該位置感測器中,光波導具有格子狀之芯部,該格子狀之芯部之交叉部成為在交叉之2方向之芯部當中其中一芯部被另一芯部分隔的狀態,並在分隔之另一芯部、與被分隔之其中一芯部之分隔側的端部之間分別形成間隙,且上述被分隔之其中一芯部之分隔側之端部的寬度設定為比分隔之另一芯部的寬度更大。

Description

光波導及使用該光波導之位置感測器 發明領域
本發明是一種關於光波導、及使用該光波導且以光學方式檢測按壓位置的位置感測器。
發明背景
本申請人至今已提案有以光學方式檢測按壓位置之位置感測器(參照例如專利文獻1)。該感測器具有:使成為光路之複數個線狀芯部形成為格子狀,並將該格子狀芯部以2層片狀包層挾持之片狀光波導、使光傳播於上述格子狀芯部的發光元件、及接收該已傳播之光的受光元件。且,當用筆尖等按壓對應於上述格子狀芯部之上述位置感測器本身的表面部分時,該按壓部分之芯部會變形,來自該按壓部分之芯部之在上述受光元件之光檢測程度會降低,故,可檢測上述按壓位置。再者,如圖7所示,上述格子狀芯部之交叉部成為芯部12連續之連續交叉。
另一方面,提案有以下方式:如圖8所示,在具有交叉之芯部的光波導中,使交叉部為不連續交叉,藉此減低交叉損失(在交叉部之光傳播損失)(參照例如專利文獻2)。即,上述不連續交叉是成為交叉之2方向之芯部22當 中其中一芯部(圖8中為橫向的芯部)22a被另一芯部(圖8中為縱向的芯部)22b分隔,並在分隔之另一芯部22b、與被分隔之其中一芯部22a之分隔側端部之間分別形成間隙G。而且,在被分隔之其中一芯部22a中,會產生從上述間隙G所洩露的光,故在該被分隔之其中一芯部22a的交叉損失雖會增加,但由於分隔之另一芯部22b是沒有分隔處也沒有連續交叉處且直線狀之芯部22,故交叉損失為0(零)。故,將交叉之2方向之芯部22a、22b中交叉損失合計時,減低該交叉損失。
先行技術文獻 專利文獻
[專利文獻1]日本專利第5513656號公報
[專利文獻2]日本特開平3-287206號公報
發明概要
對於上述位置感測器之格子狀芯部12之交叉部,採用上述不連續交叉時,在該位置感測器也是在分隔之另一芯部之交叉損失會成為0(零),但在被分隔之其中一芯部的交叉損失會增加。因此,會期望更加減低在該被分隔之其中一芯部之交叉損失,亦進而減低交叉之2方向之合計的交叉損失。
本發明是有鑑於上述事實而作成者,其目的在於提供一種光波導及使用該光波導之位置感測器,其在格子 狀芯部,芯部之交叉部成為交叉之2方向之芯部當中其中一芯部被另一芯部分隔的狀態,並在分隔之另一芯部、與被分隔之其中一芯部之分隔側端部之間分別形成間隙時,更加減低交叉損失。
為了達成上述目的,本發明之第1要旨在於:一種光波導,是具有形成為格子狀之複數個線狀的芯部、與挾持該格子狀之芯部的2層片狀之包層的片狀光波導,又,上述格子狀之交叉部中,成為交叉之2方向之芯部當中其中一芯部因被另一芯部分隔的狀態,並在分隔之另一芯部、與被分隔之其中一芯部之分隔側的端部之間分別形成間隙,且,上述被分隔之其中一芯部之分隔側之端部的寬度設定為比分隔之另一芯部的寬度更大。
又,本發明之第2要旨在於:一種位置感測器,其具有:片狀光波導,將形成為格子狀之複數個線狀的芯部以2層片狀的包層挾持;發光元件,連接於上述芯部之其中一端面;及受光元件,連接於上述芯部之另一端面連接;又,上述格子狀之交叉部中,成為交叉之2方向之芯部當中其中一芯部被另一芯部分隔的狀態,並在分隔之另一芯部、與被分隔之其中一芯部之分隔側的端部之間分別形成間隙,又,上述被分隔之其中一芯部之分隔側之端部的寬度設定為比分隔之另一芯部的寬度更大,且,上述發光元件所發光之光經過上述光波導之芯部,在上述受光元件接收,將對應於上述格子狀芯部部分之其本身的表面部分當 作輸入區域,並利用因該按壓而變化之芯部的光傳播量來特定該輸入區域之按壓位置。
本發明者們著眼於交叉之芯部的寬度,並反覆研究,而可在格子狀芯部中,芯部之交叉部成為交叉之2方向之芯部當中其中一芯部被另一芯部分隔的狀態,並在分隔之另一芯部、與被分隔之其中一芯部之分隔側的端部之間分別形成有間隙之情況下,進而減低交叉損失。其結果發現:相對於習知技術中,交叉之2方向之芯部的寬度相同的情形,當將被分隔之其中一芯部的寬度設定為比分隔之另一芯部的寬度更大時,可更加減低格子狀芯部之交叉損失,而完成本發明。
即,一般而言,由於在芯部中傳播之光反射到側壁等之內壁並傳播,故芯部之寬度愈大,則在芯部側壁反射之次數(觸及側壁之次數)愈會減少。因此,當被分隔之其中一芯部的寬度較大時,光到達分隔處(不連續交叉處)之機率會減少,光從該分隔處洩露到側邊之機率便會減少。由此可知,當加大被分隔之其中一芯部的寬度時,該芯部之交叉損失就會減低。
又,一般而言,當芯部被分隔時,該分隔之處的長度愈短,於該芯部之中傳播的光從分隔處朝外側洩漏之機率就會減少。因此,如本發明,當將被分隔之其中一芯部的寬度設定為比分隔之另一芯部的寬度更大時,分隔之另一芯部的寬度就會相對地變細。因此,在被分隔之其中一芯部,分隔處之長度變短,故光從該分隔處洩漏到外側 之機率就會減少,交叉損失便會減低。再者,由於分隔之另一芯部是沒有分隔處或連續交叉處且為直線狀之芯部,故交叉損失為0(零)。
本發明之光波導具有格子狀芯部,在該交叉部中交叉之2方向之芯部當中其中一芯部成為被另一芯部分隔之狀態,並在分隔之另一芯部、與被分隔之其中一芯部之分隔側的端部之間分別形成間隙,且上述被分隔之其中一芯部之分隔側之端部的寬度設定為比分隔之另一芯部的寬度更大。藉此,在被分隔之其中一芯部中,光在側壁反射之次數(觸及側壁之次數)會減少,又,分隔處之長度變短,故光從分隔處洩漏的機率減少,便可減低交叉損失。又,分隔之另一芯部是沒有分隔處也沒有連續交叉處且為直線狀之芯部,故交叉損失為0(零)。因此,本發明之光波導將交叉之2方向之芯部中的交叉損失合計時,可更為減低上述格子狀芯部之交叉損失。
而且,本發明之位置感測器具有上述本發明之光波導,故可減低格子狀芯部之交叉損失,並提高按壓位置的檢測感度。
特別是,上述被分隔之其中一芯部之分隔側之端部的寬度設定為分隔之另一芯部之寬度的50倍以下時,對於位置感測器而言可將芯部之寬度設定成更適當的值。
1‧‧‧下包層
2、2a、2b、12、22a、22b‧‧‧芯部
3‧‧‧上包層
4‧‧‧發光元件
5‧‧‧受光元件
d‧‧‧間隙之寬度
G‧‧‧間隙
L‧‧‧長度
W‧‧‧光波導
X、Y‧‧‧芯部寬度
圖1(a)是顯示本發明之位置感測器之一實施形 態的示意平面圖,(b)是放大顯示該位置感測器之格子狀芯部的交叉部的示意放大平面圖。
圖2是顯示格子狀芯部中在被分隔之芯部之光傳播方法的示意說明圖,(a)是本發明,(b)是習知。
圖3是顯示格子狀芯部之不連續交叉部中之光進路的示意說明圖,(a)是本發明,(b)是習知。
圖4是放大顯示本發明之光波導之一實施形態之中央部截面的示意放大截面圖。
圖5(a)、(b)是顯示上述格子狀芯部之交叉部的變形例的示意放大平面圖。
圖6是顯示上述光波導之變形例的示意重要部放大截面圖。
圖7是顯示習知之光波導中之芯部之連續交叉的示意平面圖。
圖8是顯示習知之光波導中之芯部之不連續交叉的示意平面圖。
接著,根據圖式來詳細地說明本發明之實施形態。
圖1(a)是顯示本發明之位置感測器之一實施形態的平面圖。該實施形態之位置感測器具有:具有格子狀芯部2之四角形片狀光波導W、連接於構成上述格子狀芯部2之線狀芯部2之其中一端面的發光元件4、及連接於上述線狀芯部2之另一端面的受光元件5。而且,從上述發光元件4 所發光之光會通過上述芯部2之中,並在上述受光元件5接收。再者,圖1(a)中,將芯部2用鏈線顯示,鏈線之粗細度顯示芯部2之粗細度。又,圖1(a)中,大略地圖示芯部2之數量。且,圖1(a)之箭頭顯示光前進的方向。
上述光波導W是本發明之光波導之一實施形態,如在圖1(b)以平面圖所示,成為交叉之2方向(橫向與縱向)之芯部2當中其中一芯部〔圖1(b)中為橫向的芯部〕2a被另一芯部〔圖1(b)中為縱向的芯部〕2b分隔的狀態,且上述格子狀芯部2之各交叉部成為在分隔之另一芯部2b、與被分隔之其中一芯部2a之分隔側的端部之間分別形成有間隙G的不連續交叉。而且,被分隔之其中一芯部2a的寬度(X)設定為比分隔之另一芯部2b的寬度(Y)更大〔1<(X/Y)〕。這是本發明之一大特徴。該實施形態中,交叉之2方向之芯部2a、2b設定為一定寬度(X、Y)。再者,上述間隙G之寬度d會超過0(零)(只要可形成間隙G即可),通常設定成50μm以下,並宜為20μm以下。
如上述特徴,交叉之其中一芯部2a成為被另一芯部2b分隔之狀態,並在分隔之另一芯部2b、與被分隔之其中一芯部2a之分隔側的端部之間分別形成間隙G之不連續交叉的情形下,將被分隔之其中一芯部2a的寬度(X)設定為比分隔之另一芯部2b的寬度(Y)更大〔1<(X/Y)〕時,可更為減低格子狀芯部2之交叉損失。
即,一般而言,由於傳播於芯部2中的光在側壁等之內壁反射並傳播,故芯部2之寬度愈大,在芯部2之側 壁反射之次數(觸及側壁之次數)就會愈減少。因此,將如上述特徴設定芯部2a、2b之圖2(a)、與相對於此而如先前所述之習知技術(參照圖8)交叉之2方向之芯部22a、22b均設定成相同寬度的圖2(b),作成分隔之另一芯部〔圖2(a)、(b)中為縱向的芯部〕2b、22b之寬度相同,並加以比較,被分隔之其中一芯部2a的寬度(X)較大的圖2(a)中,光在芯部2a之側壁反射之次數(觸及側壁之次數)較少,故光到達分隔處(不連續交叉處)之機率較低,光從該分隔處朝側邊洩漏之機率較低〔參照圖2(a)之一點鏈線的箭頭〕。相對於此,圖2(b)中,被分隔之其中一芯部22a的寬度(X)較小,光在芯部22a之側壁反射之次數(觸及側壁之次數)較多,故光到達分隔處之機率較高,光從該分隔處朝側邊洩漏之機率較高〔參照圖2(b)之虛線的箭頭〕。由此可知,該芯部寬度(X)較大的圖2(a)在分隔之其中一芯部2a、22a之交叉損失變小。
又,一般而言,當芯部2被分隔時,該被分隔之處的長度愈短,則於該芯部2之中傳播的光從分隔處朝外側洩漏的機率便會減少。因此,將如上述特徴設定芯部2a、2b之圖3(a)、與相對於此如先前所述之習知技術(圖8參照)交叉之2方向之芯部22a、22b均設定為相同寬度的圖3(b),作成使分隔之其中一芯部〔圖3(a)、(b)中為橫向的芯部〕2a、22a之寬度相同,並加以比較時,圖3(a)中,由於分隔之另一芯部2b的寬度(Y)較小,分隔處之長度L較短,故光從該分隔處朝外側洩漏之機率較低〔參照圖3(a)之一點鏈線的箭頭〕。相對於此,圖3(b)中,由於分隔之另一芯部22b 的寬度(Y)較大,分隔處之長度L較長,故光從該分隔處朝外側洩漏之機率較高〔參照圖3(b)之虛線的箭頭〕。由此可知,被分隔之其中一芯部2a、22a之交叉損失是該分隔處之長度L較短之圖3(a)會變得比較小。
而且,分隔之另一芯部2b是沒有分隔處也沒有連續交叉處且為直線狀之芯部2,故交叉損失為0(零)。由此可知,在具有上述特徴之格子狀芯部2,當將交叉之2方向之芯部2a、2b之交叉損失合計時,該格子狀芯部2之交叉損失就會如先前所述變得非常小。
又,該實施形態中,如圖4中以截面圖所示,上述片狀之光波導W在片狀之下包層1的表面部分埋設格子狀芯部2,且上述下包層1之表面與芯部2之頂面形成為同一面,並在被覆該等下包層1之表面與芯部2之頂面的狀態下,成為形成有片狀之上包層3者。且,該實施形態中,上述芯部2a之分隔處之間隙G以下包層1之形成材料來形成。又,如上述構造的光波導W時,各層之厚度是設定為:例如下包層1在10~500μm之範圍內,芯部2在5~100μm之範圍內,上包層3在1~200μm之範圍內。
而且,使用了上述片狀光波導W之前述位置感測器中,對應於格子狀芯部2之部分之上包層3的表面部分成為輸入區域。對於該位置感測器之文字等的輸入是藉由在上述輸入區域直接或是透過樹脂薄膜或紙等,以筆等之輸入體書寫文字等而進行。此時,上述輸入區域用筆尖等來按壓,該按壓部分之芯部2變形,該芯部2之光傳播量會降 低。因此,在上述按壓部分之芯部2中,由於在上述受光元件5之光的檢測程度降低,故便可檢測上述按壓位置。
且,在上述位置感測器中,由於格子狀芯部2之交叉損失變得非常小,因此上述按壓部分以外之芯部2中,在上述受光元件5之光檢測程度不太會降低。是故,在按壓部分與按壓部分以外,在上述受光元件5之光檢測程度的差異變大,可明確地檢測筆尖等之按壓位置。又,即使上述輸入時之筆壓較低等等,而該按壓之上述檢測程度的降低量較少,亦可明確顯現該按壓部分以外之與上述檢測程度的差異,可確實地檢測該按壓位置。如此,上述位置感測器中,按壓位置之檢測感度變高。
特別是,在上述位置感測器中,連接於上述受光元件5之芯部2的部分必須因應於該受光元件5之尺寸而縮小寬度來形成,而可與該受光元件5連接。此種情況下,會產生寬度縮小損失(芯部寬度縮小造成之光傳播損失),該芯部寬度之縮小率愈大則該寬度縮小損失就愈大。另一方面,如先前所述,為了減少交叉損失,將被分隔之其中一芯部2a的寬度(X)設定為比分隔之另一芯部2b的寬度(Y)更大〔1<(X/Y)〕,雖然當該被分隔之其中一芯部2a的寬度(X)較大時,交叉損失就會變小,但上述寬度縮小損失會變大。因此,在上述位置感測器中,從在寬度縮小損失不會太大之範圍內儘可能減少交叉損失的觀點來看,宜將被分隔之其中一芯部2a的寬度(X)設定為分隔之另一芯部2b之寬度(Y)的50倍以下〔1<(X/Y)≦50〕。
在此,芯部2之彈性率宜設定為比下包層1與上包層3之彈性率更大。其理由是因當彈性率之設定為其相反時,芯部2之周邊就會變硬,故,比按壓上包層3之輸入區域的部分之筆尖等之面積更廣面積之光波導W的部分會凹陷,會有不易正確地檢測按壓位置之傾向的緣故。因此,作為各彈性率,例如,芯部2之彈性率宜設定在1GPa以上10GPa以下之範圍內,上包層3之彈性率在0.1GPa以上小於10GPa之範圍內,下包層1之彈性率在0.1MPa以上1GPa以下之範圍內。此時,芯部2之彈性率較大,故,用較小之按壓力,芯部2不會潰散(芯部2之截面積不會變小),但因按壓,光波導W會凹陷,故,從對應於該凹陷之部分之芯部2所彎曲的部分,有光洩漏(散射)產生,在該芯部2,從在受光元件5(參照圖1)之光檢測程度降低之情形來看,便可檢測按壓位置。
作為上述下包層1、芯部2及上包層3之形成材料,可舉例有感光性樹脂、熱硬化性樹脂等,利用因應該形成材之製法,便可製作光波導W。又,上述芯部2之折射率設定為比上述下包層1及上包層3之折射率更大。且,上述彈性率及折射率之調整是例如可調整各形成材料之種類的選擇或組成比率來進行。而,作為上述下包層1,可使用橡膠片,並在該橡膠片上將芯部2形成為格子狀。
再者,上述實施形態中,是將交叉之2方向的芯部2a、2b設定為一定寬度(X、Y),但如圖5(a)、(b)所示,被分隔之其中一芯部2a亦可不為一定寬度。即,圖5(a)中, 被分隔之其中一芯部2a之分隔側端部設定為一定寬度(X),該端部之寬度(X)設定為比分隔之另一芯部2b的寬度(Y)更大〔1<(X/Y)〕,該一定寬度(X)之端部以外之芯部2a的部分設定為比該一定寬度(X)更小的寬度。另一方面,圖5(b)中,被分隔之其中一芯部2a之分隔側端面的寬度(X)設定為比分隔之另一芯部2b的寬度(Y)更大〔1<(X/Y)〕,該端面以外之芯部2a之端部的部分會設定成隨著遠離分隔之另一芯部2b而寬度逐漸變小。如此一來,與上述實施形態相同,可使格子狀芯部2之交叉損失更加減低。
又,上述實施形態中,光波導W之截面構造為圖4所示者,但其他情形亦可,例如,如圖6中截面圖所示,亦可作成如下構造:在均一厚度之片狀之下包層1的表面,芯部2以突出之狀態形成為預定型態,並在被覆該芯部2之狀態下,在上述下包層1之表面,形成有上包層3。該構造中,上述芯部2a之分隔處之間隙G是用上包層3之形成材料形成。
進而,上述實施形態中,是作成使格子狀芯部2之各交叉部為圖1(b)所示之上述不連續交叉,但亦可使一部分之交叉部為上述不連續交叉。
接著,針對實施例,與比較例合併說明。但,本發明並不限定於實施例。
[實施例]
〔下包層及上包層之形成材料〕
成分a:環氧樹脂(三菱化學社製、YL7410)75重量份。
成分b:環氧樹脂(三菱化學社製、JER1007)25重量份。
成分c:光酸產生劑(San-Apro社製、CPI101A)2重量份。
藉由混合這些成分a~c,調製下包層及上包層之形成材料。
〔芯部之形成材料〕
成分d:環氧樹脂(DAICEL社製、EHPE3150)75重量份。
成分e:環氧樹脂(東都化成社製、KI-3000-4)25重量份。
成分f:光酸產生劑(ADEKA社製、SP170)1重量份。
成分g:乳酸乙酯(和光純藥工業社製、溶劑)50重量份。
藉由混合這些成分d~g,調製芯部之形成材料。
〔光波導之製作〕
首先,在玻璃製基材之表面,使用上述上包層之形成材料,利用旋轉塗抹法,形成了上包層。該上包層之厚度為25μm。彈性率為3MPa。再者,彈性率之測定使用了黏彈性測定裝置(TA instruments Japan Inc.社製、RSA3)。
接著,在上述上包層的表面,使用上述芯部之形成材料,利用光刻法形成格子狀芯部。該格子狀芯部之各交叉部在實施例1~8及比較例1、2中,橫向之芯部被縱向芯部分隔,並在縱向芯部與橫向芯部之分隔側端部之間分別形成間隙的不連續交叉〔參照圖1(b)〕,比較例3中,則是芯部未分隔之連續交叉(參照圖7)。而且,橫向芯部之寬度(X)、縱向芯部之寬度(Y)、及橫向芯部之分隔處之上述間隙的寬度(d)為下述之表1所示的值。又,上述芯部之厚度為30μm,上述橫向芯部之條數為350條,縱向芯部之條數為 495條,間距為600μm。彈性率為3GPa。
接著,對於上述上包層之上面,使用上述下包層之形成材料而被覆上述芯部,並利用旋轉塗抹法,形成下包層。該下包層之厚度為300μm。彈性率為3MPa。
而且,從上述玻璃製基材剝離上述上包層。接著,透過接著劑,在鋁板表面接著上述下包層。如此,透過接著劑,在鋁板表面製作實施例及比較例的光波導。
〔算出交叉損失〕
使從VCSEL(三喜社製、OP250)所發光之光(波長850nm)通過上述格子狀芯部之中,用多功能光功率計(ADVANTEST社製、Q8221)接收光,並測定該受光強度(B)。該受光強度(B)是分別測定橫向芯部與縱向芯部。又,與此相同地,使從上述VCSEL所發光之光通過直線狀芯部之中,用上述多功能光功率計接收光,測定該受光強度(C)。進而,用上述多功能光功率計測定上述VCSEL之發光強度(A)。而且,利用下述式(1),算出交叉損失(D)。又,算出橫向之交叉損失與縱向之交叉損失的合計。並將這些結果顯示於下述表1。
[數1]D=-10 log10(B/A)+10 log10(C/A)‧‧‧(1)
從上述表1之結果,比較間隙(d)為相同的10μm之上述實施例1、2、5~8及比較例1、2時,可知有如下傾向:分隔之橫向芯部的寬度(X)、與分隔之縱向芯部之寬度(Y)的比(X/Y)愈大,則交叉損失愈小。特別是,可知上述比(X/Y)比1大之上述實施例1~8中,交叉損失更小。又,可知連續交叉之比較例3的交叉損失較大。
又,上述實施例中,將不連續交叉作為格子狀之交叉部的一部分,亦得到顯示與上述實施例相同傾向的結果。
上述實施例中,已針對本發明之具體的形態來表 示,但上述實施例只是單純的例示,並非限定的解釋。熟習此技藝者所知之各種變形均在本發明之範圍內。
產業上之可利用性
本發明之光波導及使用該光波導之位置感測器可利用於使格子狀芯部之交叉損失更加減低的情形。

Claims (10)

  1. 一種光波導,是具備形成為格子狀之複數個線狀的芯部、與挾持該格子狀之芯部的2層片狀之包層的片狀光波導,又,該光波導之特徵在於:上述格子狀之交叉部中,成為交叉之2方向之芯部當中的其中一芯部被另一芯部分隔的狀態,且在分隔之另一芯部沒有分隔處,並在分隔之另一芯部、與被分隔之其中一芯部之分隔側的端部之間分別形成間隙,且,上述被分隔之其中一芯部之分隔側之端部的寬度X設定為比分隔之另一芯部的寬度Y更大。
  2. 如請求項1之光波導,其中前述被分隔之其中一芯部之分隔側之端部的寬度X設定為分隔之另一芯部之寬度Y的50倍以下。
  3. 如請求項1或2之光波導,其中前述被分隔之其中一芯部之分隔側之端部的寬度X與分隔之另一芯部的寬度Y的比(X/Y)設定為2以上且50以下。
  4. 如請求項1或2之光波導,其中在前述格子狀之交叉部中分隔之另一芯部、與被分隔之其中一芯部之分隔側的端部之間形成的間隙的寬度d為大於0且50μm以下。
  5. 如請求項1或2之光波導,其中在前述格子狀之交叉部中分隔之另一芯部、與被分隔之其中一芯部之分隔側的端 部之間形成的間隙的寬度d為大於0且20μm以下。
  6. 一種位置感測器,具備:片狀光波導,將形成為格子狀之複數個線狀的芯部以2層片狀的包層挾持;發光元件,連接於上述芯部之其中一端面;及受光元件,連接於上述芯部之另一端面,又,該位置感測器之特徵在於:上述格子狀之交叉部中,成為交叉之2方向之芯部當中的其中一芯部被另一芯部分隔的狀態,且在分隔之另一芯部沒有分隔處,並在分隔之另一芯部、與被分隔之其中一芯部之分隔側的端部之間分別形成間隙,又,上述被分隔之其中一芯部之分隔側之端部的寬度X設定為比分隔之另一芯部的寬度Y更大,且,上述發光元件所發光之光經過上述光波導之芯部,在上述受光元件接收,將對應於上述格子狀之芯部部分之其本身的表面部分當作輸入區域,並將該輸入區域中之按壓位置利用因該按壓而變化之芯部的光傳播量來特定。
  7. 如請求項6之位置感測器,其中上述被分隔之其中一芯部之分隔側之端部的寬度X設定為分隔之另一芯部之寬度Y的50倍以下。
  8. 如請求項6或7之位置感測器,其中前述被分隔之其中一芯部之分隔側之端部的寬度X與分隔之另一芯部的寬度Y的比(X/Y)設定為2以上且50以下。
  9. 如請求項6或7之位置感測器,其中在前述格子狀之交叉部中分隔之另一芯部、與被分隔之其中一芯部之分隔側的端部之間形成的間隙的寬度d為大於0且50μm以下。
  10. 如請求項6或7之位置感測器,其中在前述格子狀之交叉部中分隔之另一芯部、與被分隔之其中一芯部之分隔側的端部之間形成的間隙的寬度d為大於0且20μm以下。
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