TWI655800B - 有機發光二極體的聚醯亞胺膜修補方法 - Google Patents

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Abstract

一種有機發光二極體的聚醯亞胺膜修補方法，包含：提供一聚醯亞胺膜；判斷該聚醯亞胺膜是否存在一缺陷；若是，定義出該缺陷的座標位置；根據該缺陷的座標位置發出一雷射光束以形成一開口；以塗佈針沾附聚醯亞胺液塗佈在該開口內，且使該聚醯亞胺液的表面凸出於該聚醯亞胺膜的表面；以紅外線烘烤方式對該聚醯亞胺液進行固化，固化後的該聚醯亞胺液形成一聚醯亞胺修補塊；及研磨該聚醯亞胺修補塊，使該聚醯亞胺修補塊的表面與該聚醯亞胺膜的表面齊平；藉此，使該聚醯亞胺膜及該聚醯亞胺修補塊整體構成一平坦表面，以利後續製程進行。

Description

有機發光二極體的聚醯亞胺膜修補方法
本創作係有關一種薄膜修補方法，特別是指有機發光二極體的聚醯亞胺膜修補方法。
有機發光二極體(OLED)的結構係以聚醯亞胺膜(PI膜)為基底，在該PI膜上進行相關元件(例如：半導體材料層、電極、介電層…等)的製程。如圖3所示，該PI層30可以塗佈方式形成在一玻璃基板31上，惟該PI層30之塗層可能存在缺陷，所述缺陷可為凸起的異物32、被氣泡33隆起的表面凸部34、塗層內部氣泡35或凹陷36，所述缺陷在進行後續製程時，恐導致製程及產品失敗，造成良率過低的問題發生。
有鑒於此，本創作之主要目的是提供一種有機發光二極體的聚醯亞胺膜修補方法，係對聚醯亞胺膜進行缺陷偵測及修補，避免缺陷影響後續製程。
本創作有機發光二極體的聚醯亞胺膜修補方法包含： 提供一聚醯亞胺膜； 判斷該聚醯亞胺膜是否存在一缺陷；若是，定義出該缺陷的座標位置； 根據該缺陷的座標位置發出一雷射光束，使該聚醯亞胺膜形成一開口； 以塗佈針沾附聚醯亞胺液塗佈在該開口，且使該聚醯亞胺液的表面凸出於該聚醯亞胺膜的表面； 以紅外線烘烤方式對該聚醯亞胺液進行固化，固化後的該聚醯亞胺液形成一聚醯亞胺修補塊；及 研磨該聚醯亞胺修補塊，使該聚醯亞胺修補塊的表面與該聚醯亞胺膜的表面齊平。
根據本創作的修補方法，可去除聚醯亞胺膜的缺陷後並加以填補，而在修補後使該聚醯亞胺修補塊的表面與該聚醯亞胺膜的表面齊平，該聚醯亞胺膜及該聚醯亞胺修補塊整體構成一平坦表面，讓後續製程的元件可在該平坦表面上形成，進而有效提高產品良率。
本創作有機發光二極體的聚醯亞胺膜修補方法的實施例可在一薄膜修補機執行，請參考圖1，該方法包含以下步驟：
步驟S01：提供一聚醯亞胺(Polyimide, PI)膜。如圖2A所示，本創作實施例中，該聚醯亞胺膜10可形成在一玻璃基板11上，但不以玻璃基板11為限。
步驟S02：判斷該聚醯亞胺膜10是否存在一缺陷；若是，定義出該缺陷的座標位置。本創作實施例中，可由薄膜修補機透過影像辨識手段判斷該聚醯亞胺膜是否存在缺陷，此為所屬技術領域中的通常知識，舉例來說，薄膜修補機可利用取像裝置(例如數位相機)拍攝該聚醯亞胺膜的表面以產生一視野(Field Of View, FOV)影像，對該視野影像進行影像辨識以判斷是否存在缺陷，惟在此不詳述。
步驟S03：根據該缺陷的座標位置發出一雷射光束，請參考圖2A，使該聚醯亞胺膜10形成一開口100。本創作實施例中，可由薄膜修補機的雷射產生裝置根據該缺陷的座標位置發出該雷射光束，此為所屬技術領域中的通常知識。
步驟S04：請參考圖2B，以塗佈針20沾附聚醯亞胺液21並塗佈在該開口100內，請參考圖2C，且使該聚醯亞胺液21的表面210凸出於該聚醯亞胺膜10的表面101。本創作實施例中，塗佈針20可安裝在薄膜修補機，係依據該缺陷的座標位置以將聚醯亞胺液21塗佈在該開口100內。
步驟S05：以紅外線烘烤方式對該聚醯亞胺液進行固化，請參考圖2D，固化後的該聚醯亞胺液形成一聚醯亞胺修補塊22，該聚醯亞胺修補塊22的表面220亦凸出於該聚醯亞胺膜10的表面101。本創作實施例中，紅外線烘烤之烘烤溫度為小於或等於攝氏500度，較佳的烘烤溫度範圍為大於或等於攝氏100度及小於或等於攝氏500度。
步驟S06：請參考圖2E，研磨該聚醯亞胺修補塊22，使研磨後的該聚醯亞胺修補塊22表面220與該聚醯亞胺膜10的表面101齊平。本創作實施例中，由於該聚醯亞胺膜10的厚度為已知，使用者可在研磨製程時對機台設定研磨行程，讓研磨後的該聚醯亞胺修補塊22表面220與該聚醯亞胺膜10的表面101齊平，完成修補作業。
綜上所述，完成修補作業後，該聚醯亞胺修補塊22的表面220與該聚醯亞胺膜10的表面101齊平，使該聚醯亞胺膜10及該聚醯亞胺修補塊22整體構成一平坦表面，該平坦表面可供後續半導體材料層、電極、介電層…等元件的製程順利進展，進而有效提高產品良率。
10‧‧‧聚醯亞胺膜
100‧‧‧開口
101‧‧‧表面
11‧‧‧玻璃基板
20‧‧‧塗佈針
21‧‧‧聚醯亞胺液
210‧‧‧表面
22‧‧‧聚醯亞胺修補塊
220‧‧‧表面
30‧‧‧PI層
31‧‧‧玻璃基板
32‧‧‧異物
33‧‧‧氣泡
34‧‧‧表面凸部
35‧‧‧氣泡
36‧‧‧凹陷
圖1：本創作聚醯亞胺膜修補方法之實施例的流程示意圖。 圖2A~2E：本創作聚醯亞胺膜修補方法之各步驟的平面示意圖。 圖3：習知聚醯亞胺膜的缺陷示意圖。

Claims (1)

  1. 一種有機發光二極體的聚醯亞胺膜修補方法，包含：提供一聚醯亞胺膜；判斷該聚醯亞胺膜是否存在一缺陷；若是，定義出該缺陷的座標位置；根據該缺陷的座標位置發出一雷射光束，使該聚醯亞胺膜形成一開口；以塗佈針沾附聚醯亞胺液塗佈在該開口內，且使該聚醯亞胺液的表面凸出於該聚醯亞胺膜的表面；以紅外線烘烤方式對該聚醯亞胺液進行固化，烘烤溫度為攝氏500度，固化後的該聚醯亞胺液形成一聚醯亞胺修補塊；及研磨該聚醯亞胺修補塊，使該聚醯亞胺修補塊的表面與該聚醯亞胺膜的表面齊平。
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