TWI651484B - 三通閥及進氣系統 - Google Patents

Abstract

本發明的課題為抑制流路之開關性能的劣化，並調整流體之流入量。解決手段為做成以下之構成：具備閥主體與開關組件的三通閥，該閥主體具有面向第1埠的第2埠，以及第1埠與第2埠之間的第3埠，該開關組件是以切換方式使第1埠與第2埠開關，在該三通閥中，開關組件是由面積可封鎖第1埠或第2埠的板狀封鎖板，及使封鎖板在第1埠與第2埠之間往返的板移動部所構成，且該三通閥還具備在第1埠或第2埠上調整埠之開口面積的調整部。

Description

三通閥及進氣系統 發明領域

本發明是有關於一種三通閥，特別是切換空氣等流體之流路的三通閥以及使用其之進氣系統。

發明背景

以往，配置在連接於進氣源的配管上，並可將流經配管之流體的流路進行切換的三通閥是廣為周知的。例如，在專利文獻1中已提出一種三通閥，其具備由中空橢圓柱狀的彈性體所構成的閥體，及將此閥體收容成可旋轉之形成有橢圓柱狀的空洞的閥室，藉由使閥體在閥室內不會晃動地旋轉滑動就能切換2個出口埠之開關狀態。又，在專利文獻2中已提出一種三通閥，其為於兩側設有閥孔的閥室內收容有以交互開關閥孔的方式一體移動的一對閥體，及將這些閥體選擇性地按壓到閉閥位置的凸輪，且隨著開關軸的轉動利用凸輪選擇性地將閥體按壓到閉閥位置。

先前技術文獻 專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2013-57352號公報

專利文獻2：日本專利特開2009-299736號公報

發明概要

但是，在上述專利文獻1記載的三通閥中，閥體具有相對於閥室之局部滑動的部分。另一方面，在上述專利文獻2記載的三通閥中，具有使凸輪的一部分相對於閥體滑動的部分。如該些所示當在驅動閥體之構造中包含有滑動的部分時，會因為該滑動部分產生摩耗而發生流路的開關性能劣化的事態。

為了防止這類的滑動部分的磨耗，已有塗佈潤滑油等的作法被考慮。然而，在此種情況下，會發生潤滑油的一部分洩漏至配管內的事態。潤滑油的洩漏會成為在具備三通閥的裝置本體的不良狀況的原因。例如，如後述地，在將三通閥應用於吸引加工台表面的進氣系統的情況，會發生對加工台上之加工對象形成油分附著之類的事態。

然而，如上述之三通閥，適用於例如，利用分歧管使單一的進氣源分歧，並對配置在複數個位置之加工台上的異物等進行吸引的進氣系統。在這類的進氣系統上，藉由以三通閥切換分歧管內的流路，就能切換可吸引異物等的加工台。

在這類的進氣系統中，無論分歧管內的流路狀態如何，較理想的是，將對加工台的吸引力維持成固定。例如，當因應分岐管內之流路的狀態而使對特定的加工台的吸引力產生變動時，可以設想得到的是，甚至會導致吸引 力脫離預定範圍而吸引不需要的構成零件之事態。因此，在這類的進氣系統中，所要求的是為了將吸引部中的吸引力維持成固定之能夠調整流體之流入量的三通閥。

本發明是有鑑於這種實情而作成的，其目的在於提供可以抑制流路之開關性能的劣化，並調整流體之流入量的三通閥以及使用其之進氣系統。

本發明之三通閥，為具備閥主體與開關組件的三通閥，該閥主體具有面向第1埠的第2埠，以及第1埠與第2埠之間的第3埠，前述開關組件是以切換方式使第1埠與第2埠開關，其特徵在於，開關組件至少是由面積可封鎖第1埠或第2埠的板狀封鎖板、及使封鎖板在第1埠以及第2埠之間往返的板移動部所構成，且該三通閥還具備在第1埠或第2埠上調整埠之開口面積的調整部。

依據上述之三通閥，開關組件是藉由以板移動部使封鎖板在第1埠與第2埠之間往返，以用切換方式使第1埠與第2埠開關。因此，在不會有和閥主體等滑動的部分的情形下，可以用切換方式開關第1埠與第2埠。藉此，就能避免三通閥的構成構件產生磨耗的事態，並能抑制流路之開關性能的劣化。又，可藉由調整部調整第1埠或第2埠的開口面積。因此，得以調整從第1埠或第2埠流入閥主體內的流體之流入路徑的面積。藉此，就能調整來自第1埠或第2埠的流體的流入量。其結果，變成可以抑制流路之開關性能的劣化，並可調整流體之流入量。

例如，在上述三通閥中，調整部具備調整開口之面積的調整板、使調整板活動的可動部，及藉由可動部而控制調整板之位置的位置控制部，並且藉由以位置控制部進行的調整板之位置控制以調整開口面積。依據此構成，可以藉由調整板之位置控制，以將第1埠或第2埠調整成所要求的開口面積。藉此，就可以彈性地調整來自第1埠或第2埠的流體之流入量。

本發明之進氣系統，具備：從鼓風機的吸引口以分歧管分歧成至少2個方向，且吸引至少2個位置之加工台的第1吸引部與第2吸引部；配置在連接分歧管及第1吸引部之第1配管上的上述任一個三通閥所構成的第1三通閥；配置在連接分歧管及第2吸引部之第2配管上的上述任一個三通閥所構成的第2三通閥；及可切換控制第1三通閥與第2三通閥之開關的切換控制部；其特徵在於，在該進氣系統中，第1三通閥是做成，將第3埠與分歧管連接，將第1埠與第1吸引部連接，並使第2埠可開放於大氣；第2三通閥是做成，將第3埠與分歧管連接，將第1埠與第2吸引部連接，並使第2埠可開放於大氣；透過切換控制部，以作動第1三通閥之開關組件或者是第2三通閥之開關組件的其中一方的三通閥之開關組件，使第1三通閥或第2三通閥之其中一方的開關組件作動以封鎖第1埠，並從已利用調整部調整過開口面積的第2埠使大氣進氣，使來自連接於第1三通閥或第2三通閥之另一方的第1埠上的吸引部之進氣量變成與第1三通閥或第2三通閥之該其中一方的第1埠被封鎖前相同。

依據上述進氣系統，在使第1三通閥(第2三通閥)之開關組件作動以封鎖第1三通閥(第2三通閥)之第1埠的前後，能夠將來自於連接在第2三通閥(第1三通閥)的第1埠上之吸引部的進氣量設為相同。藉此，不論第1三通閥(第2三通閥)的狀態為何，仍能夠將連接於第2三通閥(第1三通閥)的吸引部之吸引力維持為固定。此結果，就能將起因於因應第1三通閥(第2三通閥)的狀態而導致連接於第2三通閥(第1三通閥)的吸引部之吸引力產生變化而形成的不良狀況予以防止。

例如，在上述進氣系統中，將可測定配管內部之風速的風速測定部分別配置在第1配管以及第2配管上，並以不使風速測定部所測定的風速產生變化的方式控制上述位置控制部。依據此構成，可根據第1、第2配管內部的風速變化，控制藉由位置控制部所形成的調整板的位置。藉此，即使切換第1三通閥的開關狀態，仍可以高精度地將來自第2吸引部的進氣量維持成固定量。

依據本發明，可使抑制流路之開關性能的劣化，並調整流體的流入量變成可行。

10、20‧‧‧三通閥

100‧‧‧進氣系統

11‧‧‧閥主體

11a‧‧‧第1埠

11b‧‧‧第2埠

11c‧‧‧第3埠

11d‧‧‧連接部

110‧‧‧閥室

12‧‧‧開關組件

12a‧‧‧封鎖板

12b‧‧‧板移動部

12c‧‧‧軸桿

13‧‧‧調整部

131‧‧‧調整板

132‧‧‧可動部

133‧‧‧位置控制部

14‧‧‧配管

14a‧‧‧第1配管

14b‧‧‧第2配管

14c‧‧‧第3配管

15‧‧‧鼓風機

151‧‧‧吸引口

152‧‧‧排出口

16‧‧‧分歧管

161‧‧‧第1端部

162‧‧‧第2端部

163‧‧‧第3端部

17a‧‧‧第1吸引部

17b‧‧‧第2吸引部

17c‧‧‧第3吸引部

18‧‧‧切換控制部

19a、19b、19c‧‧‧風速測定部

20a‧‧‧第1三通閥

20b‧‧‧第2三通閥

20c‧‧‧第3三通閥

T1、T2、T3‧‧‧台

圖1A、1B是表示第1實施形態的三通閥之構成的模式圖。

圖2A、2B是表示第2實施形態的三通閥之構成的模式圖。

圖3是應用第2實施形態的三通閥的進氣系統之構成的說明圖。

用以實施發明之形態

以下，針對本發明的複數個實施形態邊參照圖面邊進行說明。再者，以下，針對本發明的三通閥應用於進氣系統的情況進行說明，該進氣系統是用於對加工半導體晶圓等的被加工物的加工台上進行吸引。然而，針對本發明的三通閥所應用的系統或裝置，並不受限於進氣系統，亦可應用於需要切換流體之流路的任意系統或裝置上。

(第1實施形態)

圖1是表示第1實施形態的三通閥10之構成的模式圖。圖1A中所示為，三通閥10處於開放狀態的情形，圖1B中所示為，三通閥10處於關閉狀態的情形。以下，為了方便說明，將圖1中所示之上方側稱為三通閥10的上方側，且將圖1中所示之下方側稱為三通閥10的下方側。圖2中所示的第2實施形態的三通閥20也是形成同樣的形式。

如圖1所示，第1實施形態的三通閥10具備有例如，以金屬材料或樹脂材料所構成的閥主體11。在此閥主體11內部中，設有以固定的空間所構成的閥室110。在閥主體11的預定位置上，形成有第1~第3埠11a~11c。這些第1~第3埠11a~11c是以例如具有圓形狀的開口部所構成。

第1埠11a是形成於閥主體11的下表面。第2埠11b是在閥主體11的上表面和第1埠11a相向而形成。第3埠11c 是形成於第1埠11a與第2埠11b之間。具體來說，第3埠11c是形成於閥主體11的側面(在圖1中是右方側的側面)。在第1埠11a以及第3埠11c的周圍上，設有連接後述之配管14的連接部11d。

又，三通閥10具備能夠對形成於閥室110內的流路之開關狀態進行切換的開關組件12。開關組件12能以切換方式使第1埠11a與第2埠11b開關。開關組件12是包含封鎖第1埠11a或第2埠11b的封鎖板12a，及使此封鎖板12a移動的板移動部12b而構成。

封鎖板12a是以例如圓形的板狀構件所構成，並配置於閥主體11(閥室110)的內部。構成封鎖板12a的板狀構件具有封鎖第1埠11a以及第2埠11b的面積。亦即，構成封鎖板12a的板狀構件是被構成為比第1埠11a以及第2埠11b的開口面積還要大徑的尺寸。再者，封鎖板12a是透過軸桿(shaft)12c連結於板移動部12b內部的驅動機構。

板移動部12b是以例如螺線管(solenoid)等所構成，並使封鎖板12a在閥室110內沿上下方向來回移動。更加具體來說，板移動部12b使封鎖板12a在第1埠11a與第2埠11b之間往返。亦即，將板移動部12b構成為可使封鎖板12a在圖1A所示之在第1埠11a的內側封鎖第1埠11a的位置，及圖1B所示之在第2埠11b的內側封鎖第2埠11b的位置之間來回移動。板移動部12b的封鎖對象的切換是由圖未示之切換控制部所控制(參照圖3)。

此外，三通閥10具備有調整第2埠11b之開口面積 的調整部13。例如，調整部13以平面視之，具有圓環形狀，並配置於閥主體11的上表面。調整部13是以減少第2埠11b之開口面積的方式(更加具體來說，是以使其一部分重疊於第2埠11b的開口部的方式)配置在閥主體11的上表面。

例如，調整部13可利用金屬材料或是具有彈性的樹脂材料而形成。在調整部13為具有圓環形狀的情況時，透過將與中央開口部的直徑相異的調整部13配置在閥主體11的上表面，就能調整第2埠11b的開口面積。再者，藉由調整部13形成的第2埠11b之開口面積的調整量，可視應用三通閥10之進氣系統的構成要素之種類或其數量等做適宜變更。

圖1所示之三通閥10中，在第1埠11a以及第3埠11c上連接有配管14。在第1埠11a上，透過配管14連接有吸引部(在圖1中未圖示，參照圖3)。在第3埠11c上，透過配管14連接有作為進氣源的鼓風機(blower motor)(在圖1中未圖示，參照圖3)。連接於第1埠11a的吸引部是被利用在例如，將黏貼在半導體晶圓上的保護膠帶剝離之加工台(剝離台)上的異物等之吸引上。

依照具有這種構成的三通閥10，如圖1A所示，當藉由封鎖板12a封鎖第2埠11b時，即可在閥主體11(閥室110)內形成通過第1埠11a以及第3埠11c的流路。此時，利用鼓風機所產生的吸引力，會透過第3埠11c以及第1埠11a供給至吸引部。因此，從吸引部被吸引的空氣，會透過通過第1埠11a以及第3埠11c的流路到達鼓風機。藉此，就能去 除殘存於加工台之表面上的異物等。

另一方面，如圖1B所示，即使是藉由封鎖板12a封鎖第1埠11a的情況，第2埠11b仍然可透過調整部13變成開放於大氣中的狀態。此時，若以鼓風機產生吸引力，將會從藉由調整部13調整開口面積的第2埠11b進氣。從第2埠11b被吸引的空氣透過第3埠11c到達鼓風機。

像這樣在本實施形態的三通閥10中，透過藉由板移動部12b使封鎖板12a在第1埠11a與第2埠11b之間往返，就能以切換方式使第1埠11a與第2埠11b開關。因此，在三通閥10中並沒有與閥主體11等進行滑動的部分，且能以切換方式開關第1埠11a與第2埠11b。藉此，就能避免三通閥10的構成構件產生磨耗的事態，並能抑制流路之開關性能的劣化。

又，在本實施形態的三通閥10中，在第2埠11b的周邊上設有調整部13，並藉由該調整部13調整第2埠11b的開口面積。因此，就能調整從第2埠11b往閥主體11(閥室110)內流入的流體之流入通路的面積。藉此，就能調整來自第2埠11b的流體之流入量。

例如，在本實施形態的三通閥10中，可以藉由調整部13，調整第2埠11b的開口面積，以使得伴隨著鼓風機吸引力產生的吸引量變成和第1埠11a被封鎖前的狀態(例如，圖1A所示之狀態)相同。像這樣透過調整第2埠11b的開口面積，就能在第1埠11a被封鎖的前後，透過三通閥10將所吸引之吸引量維持在固定量。

再者，以上是針對將吸引部連接於第1埠11a，並以調整部13調整第2埠11b的開口面積的情況進行說明。但是，關於三通閥10的構成，並不受限於此且可做適宜變更。例如，也可以做成將吸引部連接於第2埠11b，並藉由調整部13調整第1埠11a的開口面積。

(第2實施形態)

在第1實施形態的三通閥10中，針對將調整部13固定在第2埠11b的附近的情況進行說明。第2實施形態之三通閥，在使調整部13在第2埠11b附近可活動之點上，與第1實施形態的三通閥10相異。以下，針對第2實施形態的三通閥之構成，是以與第1實施形態之三通閥10的差異點為中心進行說明。

圖2是表示第2實施形態的三通閥20之構成的模式圖。在圖2A、圖2B中所示都是使三通閥20處於閉止狀態的情形。圖2A中所示為，關閉構成調整部13的調整板131而使第2埠11b的開口面積變窄的狀態，圖2B中所示為，開啟調整板131而使第2埠11b的開口面積變寬的狀態。再者，關於與圖1共通的構成要素，在圖2中是賦予相同的符號，並省略其詳細說明。

如圖2所示，第2實施形態的三通閥20具備作為調整部13而調整第2埠11b的開口面積的調整板131、使此調整板131活動的可動部132，及藉由此可動部132控制調整板131之位置的位置控制部133，在這一點上，與第1實施形態之三通閥10不同。

調整部131具有例如，以平面視之將圓環形狀分割了(例如，分割為2)的形狀，並配置在閥主體11的上表面。調整板131於處於如圖2A所示之關閉狀態時，是以將其一部分做成重疊於第2埠11b的開口部的方式，配置在閥主體11的上表面。再者，關於調整板131的形狀，並不受限於此且可做適宜變更。例如，只要是以可調整第2埠11b的開口面積作為前提，則採用任意的形狀均可。

可動部132連接於調整板131之外周緣的局部。可動部132是以使調整板131的內周緣為可上下活動的方式，將調整板131構成為可活動。例如，可動部132是包含沿圖2所示之紙面深度方向延伸的驅動軸，及使此驅動軸繞著軸旋轉的驅動馬達而構成。此時，可動部132可以藉由以驅動馬達使固定在驅動軸上的調整板131轉動，以使調整板131開關。

例如，可動部132能夠在將調整板131配置成與閥主體11的上表面平行的狀態(圖2A所示之狀態)，及使調整板131與閥主體11的上表面垂直而配置的狀態(圖2B所示之狀態)之間使調整板131活動。在前者的情況下，流入閥主體11(閥室110)內的流體量(大氣量)會受到限制。在後者的情況下，往閥主體11(閥室110)內的流體之流入並不會受到限制，且會流入與沒有調整部13的情形同等的流體量(大氣量)的流體。

位置控制部133會控制藉由可動部131形成的調整板131的位置。例如，位置控制部133，在應用三通閥20 的進氣系統之主控制部的指示下，可藉由控制可動部131的活動狀態而控制調整板131的位置。再者，藉由位置控制部133形成的第2埠11b的開口面積之調整量，可視應用三通閥20的進氣系統之構成要素的種類或其數量等而做適宜變更。

在具有這種構成之三通閥20中，如圖2所示，即使藉由封鎖板12a封鎖第1埠11a，與第1實施形態之三通閥10同樣地，第2埠11b仍然透過調整部13變成開放於大氣的狀態。此時，若以鼓風機產生吸引力，則大氣會從第2埠11b進氣。

特別是，在第2實施形態的三通閥20中，能夠視調整板13的配置而調整流入閥主體11(閥室110)內的大氣量。例如，如圖2A所示，在調整板131為關閉狀態的情況中，可減少流入閥主體11(閥室110)內的大氣量。另一方面，如圖2B所示，在調整板131為開啟狀態的情況中，可增加流入閥主體11內的大氣量。

再者，在圖2中，雖然是以調整板131為完全關閉的狀態以及開啟的狀態作為例示，但是仍可視調整板131的開度而適宜調整流入閥主體11內的大氣量。例如，透過將調整板131配置在圖2A所示之狀態(完全關閉的狀態)和圖2B所示之狀態(完全開啟的狀態)之間的中間位置，就能將流入閥主體11內的大氣量調整成圖2B所示之狀態的一半左右。

像這樣，在本實施形態的三通閥20中具備有調整 部13，該調整部13能夠使調整第2埠11b之開口面積的調整板131在調整部13中活動。因此，藉由以位置控制部133控制調整板131的位置，就能將第2埠11b調整成所要求之開口面積。藉此，就可以彈性地調整來自第2埠11b的流體(大氣)之流入量。

以下，針對應用第2實施形態之三通閥20的進氣系統之構成進行說明。圖3是應用第2實施形態之三通閥20的進氣系統100之構成的說明圖。再者，在圖3中，關於與圖1及圖2共通的構成要素，皆賦予相同的符號(或者是，在相同的符號的末端追加識別符號)並省略其說明。

在圖3中所示為進氣系統100，該進氣系統100是藉由共通的鼓風機對加工半導體晶圓等被加工物之複數個加工台的表面進行吸引。在此所表示的是吸引以下加工台的情況：在對半導體晶圓的磨削加工之前將半導體晶圓的朝向調整成特定方向的校準台T1(以下，簡稱為「台T1」)、黏貼用於支撐磨削加工後的半導體晶圓之支撐膠帶的膠帶安裝台T2(以下，簡稱為「台T2」)，及將保護半導體晶圓之裝置部的保護膠帶剝離的剝離台T3(以下，簡稱為「台T3」)。

進氣系統100是包含鼓風機15、連接於此鼓風機15之吸引口151的分歧管16、連接於此分歧管16的第1~第3配管14a~14c、連接於該等第1~第3配管14a~14c的第1~第3吸引部17a~17c，及配置在該等第1~第3配管14a~14c的第1~第3三通閥20a~20c而構成。

鼓風機15構成本實施形態的進氣系統100之單一的進氣源。鼓風機15具有吸引口151以及排出口152，並隨著馬達部的驅動從吸引部151對進氣系統100供給吸引力。再者，在本實施形態的進氣系統100中，鼓風機15所產生的吸引力，不論第1~第3三通閥20a~20c的開關狀態為何，都設成固定的吸引力。

分歧管16是連接於鼓風機15的吸引口151，並將進氣系統分歧成3個方向。被分歧成3個方向的分歧管16的第1~第3端部161~163上分別連接有第1~第3配管14a~14c的一個端部(上端部)。另一方面，在該等第1~第3配管14a~14c的另一個端部(下端部)上分別連接有第1~第3吸引部17a~17c。

第1吸引部17a是面向台T1的表面而配置。同樣地，第2吸引部17b是面向台T2的表面而配置，第3吸引部17c是面向台T3的表面而配置。該等第1~第3吸引部17a~17c分別具有比台T1~T3的圖3所示之Y軸方向的外型尺寸還要長的形狀。

該等台T1~T3是構成為可藉由圖未示之移動機構在圖3所示之X軸方向上移動。透過將第1~第3吸引部17a~17c設定成吸引狀態，並透過將台T1~T3在圖3所示之X軸方向上移動，就能吸引台T1~T3的整個表面。藉此，就能去除例如殘存在台T1~T3的表面上的異物等。

第1三通閥20a是配置在第1配管14a上。在第1三通閥20a中，第1埠11a是透過第1配管14a連接於第1吸引部 17a，第3埠11c是透過第1配管14a連接於分歧管16(更具體來說是第1端部161)。再者，第2埠11b是透過調整部13變成開放於大氣的狀態。

同樣地，第2三通閥20b是配置在第2配管14b上。在第2三通閥20b中，第1埠11a是透過第2配管14b連接於第2吸引部17b，第3埠11c是透過第2配管14b連接於分歧管16(更具體來說是第2端部162)。再者，第2埠11b是透過調整部13變成開放於大氣的狀態。

又，第3三通閥20c是配置在第3配管14c上。在第3三通閥20c中，第1埠11a是透過第3配管14c連接於第3吸引部17c，第3埠11c是透過第3配管14c連接於分歧管16(更具體來說是第3端部163)。再者，第2埠11b是透過調整部13變成開放於大氣的狀態。

在第1~第3三通閥20a~20c的開關組件12上連接有切換控制其開關狀態的切換控制部18。切換控制部18是透過作動第1~第3三通閥20a~20c的開關組件12，以切換封鎖板12a的封鎖對象(第1埠11a或第2埠11b)。再者，在圖3中所示為，將第3三通閥20c設成開放狀態(亦即，將第2埠11b設成封鎖狀態)，並將第1~第2三通閥20a~20b設成閉止狀態(亦即，將第1埠11a設成封鎖狀態)的情形。

又，在第1~第3三通閥20a~20c的可動部132上，連接有控制可動部132之活動狀態的位置控制部133。位置控制部133是藉由控制第1~第3三通閥20a~20c的可動部132之活動狀態，以調整調整板131的位置。再者，在圖3中所 示為，在第3三通閥20c中將調整板131設為關閉狀態，並在第1~第2三通閥20a~20b中將調整板131設為開啟至中間位置之狀態的情形。

在位置控制部133上連接有分別配置在第1~第3配管14a~14c上的風速測定部19a~19c。該等風速測定部19a~19c是分別配置在第1~第3三通閥20a~20c，及分歧管16的第1~第3端部161~163之間的第1~第3配管14a~14c上。該等風速測定部19a~19c分別測定第1~第3配管14a~14c內的風速，並將其測定結果輸出至位置控制部133。在位置控制部133中，是根據從風速測定部19a~19c輸入的測定結果而控制可動部132的活動狀態。更具體地來說，位置控制部133在變更第1~第3三通閥20a~20c之開關狀態的前後，是以不使風速測定部19a~19c所測定的風速產生變化的方式，控制可動部132的活動狀態。

在圖3所示之進氣系統100中，當驅動鼓風機15時，即可透過形成開放狀態的第3三通閥20c將吸引力供給至第3吸引部17c。藉此，就能吸引並去除殘存於台T3之表面上的異物等。此時，在第1~第2三通閥20a~20b中，大氣會從藉由調整部13(調整板131)調整過開口面積的第2埠11b流入。

於此，在本實施形態之進氣系統100中，即使切換了第1~第3三通閥20a~20c的開關狀態，仍會以將相對於各個台T1~T3的吸引量變成相同的方式，藉由調整部13調整第2埠11b的開口面積。因此，不論第1~第2三通閥20a~20b 的開關狀態為何，都能將第3吸引部17c之吸引力維持在固定大小。其結果，就能將起因於因應第1~第2三通閥20a~20b的開關狀態使第3吸引部17c之吸引力產生變化而形成的不良狀況予以防止。

針對例如，將第1~第3三通閥20a~20c的開關狀態從完全開放的狀態切換到圖3所示之狀態的情況進行考慮。在第1~第3三通閥20a~20c為完全開放的狀態的情況中，會變成來自鼓風機15的吸引力可透過以分歧管16形成分歧的進氣系統而均等地供給至第1~第3吸引部17a~17c。

當從這個狀態將第1~第3三通閥20a~20c的開關狀態切換成圖3所示之狀態時，即變成來自鼓風機15的吸引力僅供給至第3吸引部17c。此時，當將第1~第2三通閥20a~20b的第2埠11b完全封鎖時，即變成對第3吸引部17c會供給切換前的狀態的約3倍的吸引力。像這樣使吸引力增加的情況，在台T3上會發生吸引到從半導體晶圓剝離的保護膠帶等的周邊構件之類的不良狀況。

對此，在本實施形態之進氣系統100中，藉由第1~第3三通閥20a~20c的調整部13，能以將相對於各個台T1~T3的吸引量變成相同的方式，調整第2埠11b的開口面積。藉此，不論例如，第1~第2三通閥20a~20b的開關狀態為何，都能將第3吸引部17c之吸引力維持在固定大小。其結果，就能將起因於因應第1~第2三通閥20a~20b的開關狀態而使第3吸引部17c之吸引力產生變化的不良狀況予以防止。

特別是，在本實施形態的進氣系統100中，在藉 由位置控制部133變更第1~第3三通閥20a~20c之開關狀態的前後，是以不使風速測定部19a~19c所測定的風速產生變化的方式控制可動部132的活動狀態。藉此，可以根據第1~第3配管14a~14c內部的風速的變化控制調整板131的位置。藉此，即使已切換過第1~第3三通閥20a~20c的開關狀態，仍然可以高精度地將來自第3吸引部17c之進氣量維持在固定量。

再者，本發明不以上述實施形態而受限，且可進行各種變更而實施。在上述實施形態中，對於附加圖式中所圖示的大小與形狀等，並不因此而受限，且在可發揮本發明的效果之範圍內做適宜變更是可行的。此外，只要在不脫離本發明的目的之範圍內，均可進行適當的變更而實施。

例如，在圖3所示之進氣系統100中所示為，藉由分歧管16將進氣系統分歧成3個方向的情況。但是，關於以分歧管16所形成的進氣系統的數量，並不因此而受限，並可進行適當的變更。例如，亦可應用於將進氣系統分歧成2個方向的情況，或分歧成4個方向的情況。

又，在圖3所示之進氣系統100中，針對應用第2實施形態之三通閥20的情況進行說明。但是，關於應用於進氣系統100的三通閥，並不限定於第2實施形態之三通閥20且可進行適當的變更。例如，將圖3所示之位置控制部133的機能省略之情形作為前提，可以應用第1實施形態之三通閥10。

產業上之可利用性

如以上所說明，依據本發明，具有可以抑制表流路之開關性能的劣化，並調整流體之流入量的效果，特別對具有將來自單一進氣源之吸引力分歧而使用的進氣構造的裝置或系統是有用的。

Claims (3)

1. 一種三通閥，為具備閥主體與開關組件的三通閥，該閥主體具有面向第1埠的第2埠，以及該第1埠與該第2埠之間的第3埠，前述開關組件是以切換方式使該第1埠與該第2埠開關，該開關組件至少是由面積可封鎖該第1埠或該第2埠的板狀封鎖板、及使該封鎖板在該第1埠與該第2埠之間往返的板移動部所構成，且該三通閥還具備在該第1埠或該第2埠上調整埠之開口面積的調整部，該調整部具備調整開口面積的調整板、使該調整板可動的可動部、及藉由該可動部而控制該調整板之位置的位置控制部，並且可利用藉由該位置控制部所進行的該調整板之位置控制以調整開口面積。
2. 一種進氣系統，具備：以分歧管從鼓風機的吸引口至少向2個方向分歧，且吸引至少2個位置之加工台的第1吸引部與第2吸引部；配置在連接該分歧管及該第1吸引部之第1配管上的請求項1所述之三通閥所構成的第1三通閥；配置在連接該分歧管及該第2吸引部之第2配管上的請求項1所述之三通閥所構成的第2三通閥；及可切換控制該第1三通閥與該第2三通閥之開關的切換控制部；在該進氣系統中，該第1三通閥是做成，將該第3埠與該分歧管連接，將該第1埠與該第1吸引部連接，並使該第2埠可開放於大氣，該第2三通閥是做成，將該第3埠與該分歧管連接，將該第1埠與該第2吸引部連接，並使該第2埠可開放於大氣，透過該切換控制部，以作動該第1三通閥之該開關組件或該第2三通閥之該開關組件的其中一方的三通閥之該開關組件，使該第1三通閥或該第2三通閥之其中一方的該開關組件作動以封鎖該第1埠，並從已利用該調整部調整過開口面積的該第2埠使大氣進氣，使來自連接於該第1三通閥或該第2三通閥之另一方的該第1埠上的吸引部之進氣量變成與該第1三通閥或該第2三通閥之其中一方的該第1埠被封鎖前相同。
3. 如請求項2之進氣系統，其中，將可測定配管內部之風速的風速測定部分別配置在請求項2記載的該第1配管以及該第2配管上，並以不使該風速測定部所測定的風速產生變化的方式控制請求項1記載的該位置控制部。