TWI651148B - 真空焊接爐 - Google Patents

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Abstract

一種真空焊接爐，其包括一機台以及裝設於該機台上的一真空處理裝置與至少一傳動機構，該傳動機構可帶動功率器件導線架從該機台之一入料端朝一出料端移動，當該功率器件導線架移動至對應該真空處理裝置時，該真空處理裝置會將該功率器件導線架包覆在一真空腔室中，以迫使該功率器件導線架上呈熔融狀態之錫膏內的氣體逸散，減少錫膏內所產生的氣泡，從而達到提高焊接強度、降低焊錫層之電阻值、以及穩定焊接製程品質的目的。

Description

真空焊接爐
本發明是關於一種焊接爐，尤指一種能在其內部形成真空腔室的真空焊接爐。
表面黏著技術(Surface Mount Technology，SMT)是一種利用錫膏將晶粒(Chip)焊接、黏附在銅導線架表面的技術，該表面黏著技術的步驟是先將該錫膏印刷在功率器件導線架上的預定位置處，接著將晶粒分別放置在預定位置處的錫膏上，然後將該功率器件導線架連同錫膏及晶粒送入焊接爐內加熱，藉該焊接爐內的高溫熔化錫膏，使熔融狀態的錫膏包覆該晶粒之接腳，待該錫膏冷卻成固態後，即可使該晶粒與該功率器件導線架上的銅箔電路形成電性連接。
惟，參見圖14所示，在該錫膏50從被加熱熔化至冷卻凝固的過程中，該錫膏50內所含之助焊劑中的溶劑會因為揮發而形成氣體，而該氣體往往未能在錫膏50固化前即時逸散，導致在固化後的錫膏50內產生氣泡(void)51，從而影響焊接強度以及整體焊接製程的品質，並造成該錫膏50固化後所形成之焊錫層具有高電阻值。
有鑑於前述現有技術所存在的問題，本發明的創作目的在於提供一種真空焊接爐，其內部可形成一真空腔室，藉由在該真空腔室內所形成的真空狀態，迫使熔融狀態之錫膏內的氣體逸散，以減少錫膏內所產生的氣泡(void)，進而提高焊接強度、降低焊錫層之電阻值以及穩定焊接製程品質。
為了達到上述創作目的，本發明採用的技術手段係使一真空焊接爐包括：一機台，其包含一輸送平台與一罩蓋，該輸送平台的相對兩端分別為一入料端與一出料端，該入料端與出料端之間具有位於兩相對側的一第一側部與一第二側部，該入料端與出料端之間依序排列設置多數個加熱座，每一加熱座之一頂面上內凹形成四溝槽，該四溝槽相間隔且相互平行設置，且每一溝槽沿該輸送平台之入料端與出料端的連線方向延伸，該罩蓋係可掀啟地蓋設於該輸送平台上，該罩蓋具有一底板，該底板朝向該輸送平台，且該底板上貫穿形成有一穿孔，當該罩蓋蓋合於該輸送平台上時，該底板之穿孔的位置對應該輸送平台的其中一加熱座；一真空產生裝置，其係裝設於該機台上且位置對應該罩蓋之底板的穿孔處，該真空產生裝置包含一底座、一外蓋、一內蓋與一驅動機構，該底座裝設在該輸送平台上且連接一真空產生管路，前述位置對應該底板之穿孔的加熱座設置在該底座中，該外蓋固設在該底板上對應設有該穿孔處，該外蓋之底部形成一開口，該外蓋之開口對應並連通該底板之穿孔，該內蓋設在該外蓋內並受該驅動機構之驅動而能夠上、下移動，該內蓋內部形成一真空腔室，且該內蓋之底部形成一開口，該驅動機構包含一安裝座、至少一導向套筒、一驅動馬達、至少一移動桿與一移動座，該安裝座與該導向套筒固設在該外蓋上，該驅動馬達固設在該安裝座上且具有一驅動桿，該驅動桿的端部固設一齒輪，該移動桿分別可軸向移動地穿設於該導向套筒中，每一移動桿之一上端向上突伸出該導向套筒並固接於該移動座，每一移動桿之一下端向下貫穿該外蓋並固接於該內蓋，該移動座上設有一齒條，該齒條與該驅動馬達之齒輪嚙合相接，當該驅動馬達驅動該驅動桿以及該齒輪轉動時，能同時帶動該移動座、該移動桿和 該內蓋上、下移動，當該罩蓋蓋合於該輸送平台上時，該驅動馬達能夠帶動該內蓋向下移動而蓋合於該底座上；一傳動機構，其係裝設於該輸送平台上，每一傳動機構包含四根托桿、一X軸驅動組件與一Z軸驅動組件，該四根托桿相間隔地設於該加熱座上，且各托桿的位置分別對應每一加熱座之該四溝槽，該Z軸驅動組件連接該四根托桿，並能夠受控制而帶動該四根托桿沿垂直該輸送平台的方向縱向上、下移動，該X軸驅動組件連接該四根托桿，並能夠受控制而帶動該四根托桿沿該輸送平台之入料端與出料端的連線方向來回移動。
上述真空焊接爐中：該輸送平台之第二側部內部能貫穿形成一氣密流道，該氣密流道沿該輸送平台之入料端與出料端的連線方向延伸，並連通該第一側部與第二側部之間所形成的空間；該機台能進一步包含一氮氣供應裝置，該氮氣供應裝置經由一氮氣管路連通該輸送平台之氣密流道。
上述真空焊接爐的每一傳動機構中：該Z軸驅動組件能裝設在該輸送平台的下方且具有至少一第一托台、一第二托台、一連動桿與一Z軸驅動馬達，該第一托台與第二托台沿該托桿之長軸延伸方向間隔設置，每一第一托台之頂部設有至少一支撐桿，前述四根托桿架設於該支撐桿上，每一第一、第二托台內設有相匹配的一螺母與一螺桿，該螺母固設於該托台中，該螺桿之底端突伸出該第一、第二托台並固設一傘齒輪，該連動桿延伸設置於該第一托台與第二托台之間，該連動桿上套設固定有多個傘齒輪，該連動桿的傘齒輪分別與該第一托台和第二托台的傘齒輪嚙合相接，該Z軸驅動馬達連接並能驅動該連動桿轉動，從而帶動該第一托台、第二托台沿該螺桿之縱向上、下移動； 該X軸驅動組件能設置於該Z軸驅動組件之第二托台上，該X軸驅動組件包含一連動塊與至少一X軸驅動裝置，該連動塊連接該四根托桿，每一X軸驅動裝置以一帶動桿連接該連動塊，當該X軸驅動裝置帶動該帶動桿伸縮移動時，可經由該連動塊帶動該四根托桿在該輸送平台之入料端與出料端之間橫向來回移動。
上述真空焊接爐中，該罩蓋與該輸送平台之第一側部能相互樞接，該機台能進一步包含至少一掀蓋機構與至少一壓蓋機構，該掀蓋機構設於該輸送平台之第一側部的旁側，且該掀蓋機構連接該罩蓋並選擇性地驅動該罩蓋相對該輸送平台樞轉，該壓蓋機構設於該輸送平台之第二側部的旁側，當該罩蓋蓋合於該輸送平台上時，該壓蓋機構能進一步壓抵並固定該罩蓋。
上述真空焊接爐中，該掀蓋機構能包含一固定座、一連接件與一伸縮桿，該固定座固定設置該輸送平台之第一側部的旁側，該連接件固定架設在該罩蓋上並樞接於該輸送平台之第一側部，該伸縮桿的長度能伸縮，該伸縮桿的一端連接該固定座、另一端連接該連接件。
上述真空焊接爐能具有二傳動機構，其中一傳動機構設於該輸送平台之入料端與該真空處理裝置之間，另一傳動機構設於該真空處理裝置與該輸送平台之出料端之間。
藉由如上所述之設計，當功率器件導線架在該真空焊接爐內移動至該真空處理裝置時，該內蓋會受驅動而蓋合在該底座上，並啟動真空產生管路抽出該內蓋之真空腔室內的氣體，迫使該功率器件導線架上呈熔融狀態之錫膏內的氣體逸散，以減少錫膏內所產生的氣泡，從而達到提高焊接強度、降低固化後之錫膏所形成之焊錫層的電阻值、以及穩定焊接製程品質的目的。
10‧‧‧機台
11‧‧‧輸送平台
111‧‧‧入料端
112‧‧‧出料端
113‧‧‧第一側部
114‧‧‧第二側部
115‧‧‧氣密流道
116、116A‧‧‧加熱座
117、117A‧‧‧溝槽
12‧‧‧罩蓋
121‧‧‧底板
122‧‧‧穿孔
13‧‧‧氮氣供應裝置
131‧‧‧氮氣管路
14‧‧‧掀蓋機構
141‧‧‧固定座
142‧‧‧連接件
143‧‧‧伸縮桿
15‧‧‧壓蓋機構
20‧‧‧真空產生裝置
21‧‧‧底座
22‧‧‧真空產生管路
23‧‧‧外蓋
24‧‧‧內蓋
241‧‧‧真空腔室
25‧‧‧驅動機構
251‧‧‧安裝座
252‧‧‧導向套筒
253‧‧‧驅動馬達
254‧‧‧驅動桿
255‧‧‧齒輪
256‧‧‧移動桿
257‧‧‧移動座
258‧‧‧齒條
30‧‧‧傳動機構
31‧‧‧托桿
32‧‧‧Z軸驅動組件
321‧‧‧第一托台
322‧‧‧支撐桿
323‧‧‧第二托台
324A、324B、324C‧‧‧傘齒輪
325‧‧‧連動桿
326‧‧‧Z軸驅動馬達
33‧‧‧X軸驅動組件
331‧‧‧連動塊
332‧‧‧X軸驅動裝置
333‧‧‧帶動桿
40‧‧‧錫膏
50‧‧‧錫膏
51‧‧‧氣泡
圖1為本發明之立體外觀圖。
圖2為本發明於機台之罩蓋呈蓋合狀態之端視圖。
圖3為本發明於機台之罩蓋呈掀啟狀態之端視圖。
圖4為本發明之輸送平台的立體剖面放大圖。
圖5為本發明之輸送平台的側視剖面放大圖。
圖6為本發明之真空處理裝置的立體分解圖。
圖7為本發明之機台的立體剖面圖，其中該真空處理裝置之內蓋未蓋合於該底座上。
圖8為本發明之機台的立體剖面圖，其中該真空處理裝置之內蓋蓋合於底座上。
圖9為本發明之傳動機構的立體外觀圖。
圖10、圖11和圖12為本發明之傳動機構的側視動作圖。
圖13為錫膏內未產生氣泡的俯視示意圖。
圖14為錫膏內產生氣泡的俯視示意圖。
以下配合圖式及本發明之較佳實施例，進一步闡述本發明為達成預定創作目的所採取的技術手段。
參見圖1至圖3所示，本發明之真空焊接爐包括一機台10、一真空產生裝置20與至少一傳動機構30。
配合參見圖2及圖3所示，該機台10包含一輸送平台11、一罩蓋12與一氮氣供應裝置13。
配合參見圖4、圖5及圖6所示，該輸送平台11相對兩端分別為一入料端與111一出料端112，該入料端111與出料端112之間具有位於兩相對側的一第一側部113與一第二側部114，該入料端111與出料端112之間依序排列設置 多數個加熱座116、116A，每一加熱座116、116A之一頂面上內凹形成四溝槽117、117A，該四溝槽117、117A相間隔且相互平行設置，且每一溝槽117、117A沿該輸送平台11之入料端111與出料端112的連線方向延伸。每一加熱座116、116A上可供設置一待加熱的功率器件導線架，以對該功率器件導線架進行加熱。該第二側部114內部貫穿形成一氣密流道115，該氣密流道115沿該輸送平台11之入料端111與出料端112的連線方向延伸，並連通該第一側部113與第二側部114之間所形成的空間。
該罩蓋12係可掀啟地蓋設於該輸送平台11上，該罩蓋12具有一底板121，該底板121朝向該輸送平台11，且該底板121上貫穿形成有一穿孔122，當該罩蓋12蓋合於該輸送平台11上時，該底板121之穿孔122的位置對應該輸送平台11的其中一加熱座116A。
該氮氣供應裝置13經由一氮氣管路131連通該輸送平台11之氣密流道115，以對該氣密流道115以及該第一側部113與第二側部114之間所形成的空間注入氮氣。在本較佳實施例中，該氮氣供應裝置13係裝設在該罩蓋12上，當該罩蓋12蓋合於該輸送平台11上時，該氮氣供應裝置13之氮氣管路131對應連通該輸送平台11之第二側部114的氣密流道115。
如圖1至圖3所示，在本較佳實施例中，該罩蓋12與該輸送平台11之第一側部113相互樞接，該機台10進一步包含至少一掀蓋機構14與至少一壓蓋機構15。
該掀蓋機構14設於該輸送平台11之第一側部113的旁側，且該掀蓋機構14連接該罩蓋12並選擇性地驅動該罩蓋12相對該輸送平台11樞轉，使該罩蓋12相對該輸送平台11掀啟或蓋合於該輸送平台11上。具體而言，該掀蓋機構14包含一固定座141、一連接件142與一伸縮桿143，該固定座141固定設置該輸送平台11之第一側部113的旁側，該連接件142固定架設在該罩蓋12上並樞接 於該輸送平台11之第一側部113，該伸縮桿143的長度能伸縮，該伸縮桿143的一端連接該固定座141、另一端連接該連接件142，藉此，當該伸縮桿143的長度受驅動而伸長或縮短時，可帶動該罩蓋12相對該輸送平台11掀啟或蓋合於該輸送平台11上。具體而言，該伸縮桿143可為長度可伸縮的壓缸，如氣壓缸或油壓缸。
該壓蓋機構15設於該輸送平台11之第二側部114的旁側，當該罩蓋12蓋合於該輸送平台11上時，該壓蓋機構15可進一步壓抵並固定該罩蓋12，避免該罩蓋12任意掀啟。
配合參見圖7所示，該真空產生裝置20裝設於該機台10上且位置對應該罩蓋12之底板121的穿孔122處，該真空產生裝置包含一底座21、一外蓋23、一內蓋24與一驅動機構25。該底座21裝設在該輸送平台11上且連接一真空產生管路22，前述位置對應該底板121之穿孔122的加熱座116A設置在該底座21中。該外蓋23固設在該底板121上對應設有該穿孔122處，該外蓋23之底部形成一開口，該外蓋23之開口對應並連通該底板121之穿孔122。該內蓋24設在該外蓋23內並受該驅動機構25之驅動而能夠上、下移動，該內蓋24內部形成一真空腔室241，且該內蓋24之底部形成一開口。
配合參見圖8所示，當該罩蓋12蓋合於該輸送平台11上時，該驅動機構25能夠進一步帶動該內蓋24向下移動，令該內蓋24與該底座21相對蓋合，並使該加熱座116A以及設於加熱座116A上的功率器件導線架位於該內蓋24之真空腔室241內，配合啟動真空產生管路22抽出該真空腔室241內的氣體，可使該真空腔室241形成真空狀態。
在本較佳實施例中，該驅動機構25包含一安裝座251、至少一導向套筒252、一驅動馬達253、至少一移動桿256與一移動座257，該安裝座251與該導向套筒252固設在該外蓋23上，該驅動馬達253固設在該安裝座251上且 具有一驅動桿254，該驅動桿254的端部固設一齒輪255，該移動桿256分別可軸向移動地穿設於該導向套筒252中，每一移動桿256之一上端向上突伸出該導向套筒252並固接於該移動座257，每一移動桿256之一下端向下貫穿該外蓋23並固接於該內蓋24，該移動座257上設有一齒條258，該齒條258與該驅動馬達253之齒輪255嚙合相接。藉此，當該驅動馬達253驅動該驅動桿254以及該齒輪255轉動時，能同時帶動該移動座257、該移動桿256和該內蓋24上、下移動。
參見圖9及圖10所示，該傳動機構30裝設於該輸送平台11上，每一傳動機構包含四根托桿31、一Z軸驅動組件32與一X軸驅動組件33。該四根托桿31相間隔地設於該加熱座116、116A上，且各托桿31的位置分別對應每一加熱座116、116A之該四溝槽117、117A，前述待加熱的功率器件導線架係疊置於該加熱座116、116A與該四根托桿31上。該Z軸驅動組件32連接該四根托桿31，並能夠受控制而帶動該四根托桿31沿垂直該輸送平台11的方向縱向上、下移動。該X軸驅動組件33連接該四根托桿31，並能夠受控制而帶動該四根托桿31沿該輸送平台11之入料端111與出料端112的連線方向來回移動。
參見圖10所示，當該傳動機構30作動時，係先令該Z軸驅動組件32帶動該托桿31向上移動，使該四根托桿31將該功率器件導線架向上托高至離開該加熱座116、116A；進一步參見圖11所示，接著令該X軸驅動組件33帶動該托桿31朝輸送平台11之出料端112橫向移動，使各功率器件導線架移動至對應下一加熱座116、116A；進一步參見圖12所示，然後再令該Z軸驅動組件32帶動該托桿31向下移動至各加熱座116、116A之溝槽117、117A，即可將各功率器件導線架擺放於下一加熱座116、116A，達到逐步將各功率器件導線架從輸送平台11之入料端111朝出料端112移動的目的； 最後該X軸驅動組件33再帶動該托桿31沿該加熱座116、116A之溝槽117、117A朝輸送平台11之入料端111橫向移動，以重複進行前述搬移功率器件導線架之步驟。
在本較佳實施例中，前述Z軸驅動組件32裝設在該輸送平台11的下方且具有至少一第一托台321、一第二托台323、一連動桿325與一Z軸驅動馬達326。該第一托台321與第二托台323沿該托桿31之長軸延伸方向間隔設置，每一第一托台321之頂部設有至少一支撐桿322，前述四根托桿31架設於該支撐桿322上，又，每一第一、第二托台321、323內設有相匹配的一螺母與一螺桿，該螺母固設於該托台321、323中，該螺桿之底端突伸出該第一、第二托台321、323並固設一傘齒輪324A、324B。該連動桿325延伸設置於該第一托台321與第二托台323之間，該連動桿325上套設固定有多個傘齒輪324C，該連動桿325的傘齒輪324C分別與該第一托台321和第二托台323的傘齒輪324A、324B嚙合相接。該Z軸驅動馬達326連接並可驅動該連動桿325轉動，從而經由該傘齒輪324A、324B、324C帶動該螺桿相對該螺母轉動，使該螺母與該第一托台321、第二托台323沿該螺桿之縱向上、下移動。
在本較佳實施例中，前述X軸驅動組件33設置於該Z軸驅動組件32之第二托台323上，該x軸驅動組件33包含一連動塊331與至少一X軸驅動裝置332，該連動塊331連接該四根托桿31，每一X軸驅動裝置332以一帶動桿333連接該連動塊331，當該X軸驅動裝置332帶動該帶動桿333伸縮移動時，可經由該連動塊331帶動該四根托桿31在該輸送平台11之入料端111與出料端112之間橫向來回移動。
在本較佳實施例中，該真空焊接爐具有二傳動機構30，其中一傳動機構30設於該輸送平台11之入料端111與該真空產生裝置20之間，以將該輸送平台11之入料端111與該真空產生裝置20之間的功率器件導線架逐一搬移 至該位置對應該真空產生裝置20的加熱座116A上，另一傳動機構30則設於該真空產生裝置20與該輸送平台11之出料端112之間，以將該位置對應該真空產生裝置20的加熱座116A上以及該真空產生裝置20與該輸送平台11之出料端112之間的功率器件導線架逐一朝輸送平台11之出料端112搬移。
上述本發明之真空焊接爐在運作時，係先驅動該罩蓋12蓋合於該輸送平台11上，並令該氮氣供應裝置13對該輸送平台11之氣密流道115以及該輸送平台11之第一側部113與第二側部114之間所形成的空間注入氮氣，接著再利用該傳動機構30帶動多個功率器件導線架從該輸送平台11之入料端111朝出料端112逐步移動，移動的過程中，該些加熱座116、116A會對該些功率器件導線架進行加熱，使該功率器件導線架上的錫膏熔融並包覆相對應之晶粒(Chip)的接腳，而前述氮氣則可避免錫膏因高溫而氧化。其中，該輸送平台11之第二側部114內所設之填充有氮氣的氣密流道115可對該機台10外部的空氣產生阻擋效果，避免外部空氣流入該輸送平台11與罩蓋12之間；再者，該傳動機構30具有四根托桿31，故可穩定地直接托持該功率器件導線架移動，不需要先將該功率器件導線架放置在一托盤上、再透過該托盤搬移該功率器件導線架。
如圖13所示，當該功率器件導線架移動至位置對應該真空產生裝置20之加熱座116A上時，該加熱座116A會持續對該功率器件導線架進行加熱，同時該真空產生裝置20之內蓋24會受驅動而蓋合在該底座21上，並啟動真空產生管路22抽出該內蓋24之真空腔室241內的氣體，迫使該錫膏40內的氣體逸散，如此以減少錫膏40內所產生的氣泡(void)，進而達到提高焊接強度、降低固化後之錫膏40所形成之焊錫層的電阻值、以及穩定焊接製程品質的目的。
以上所述僅是本新型的較佳實施例，並非對本新型做任何形式上的限制，雖然本新型已以較佳實施例揭露如上，然而並非用以限定本新型，任何在此技術領域中具有通常知識者，在未脫離本新型技術方案的範圍內，依 據本新型的技術實質對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬於本新型技術方案的範圍內。

Claims (7)

  1. 一種真空焊接爐，其包括一機台、一真空產生裝置與至少一傳動機構，其中：該機台包含一輸送平台與一罩蓋，該輸送平台的相對兩端分別為一入料端與一出料端，該入料端與出料端之間具有位於兩相對側的一第一側部與一第二側部，該入料端與出料端之間依序排列設置多數個加熱座，每一加熱座之一頂面上內凹形成四溝槽，該四溝槽相間隔且相互平行設置，且每一溝槽沿該輸送平台之入料端與出料端的連線方向延伸，該罩蓋係可掀啟地蓋設於該輸送平台上，該罩蓋具有一底板，該底板朝向該輸送平台，且該底板上貫穿形成有一穿孔，當該罩蓋蓋合於該輸送平台上時，該底板之穿孔的位置對應該輸送平台的其中一加熱座；該真空產生裝置裝設於該機台上且位置對應該罩蓋之底板的穿孔處，該真空產生裝置包含一底座、一外蓋、一內蓋與一驅動機構，該底座裝設在該輸送平台上且連接一真空產生管路，前述位置對應該底板之穿孔的加熱座設置在該底座中，該外蓋固設在該底板上對應設有該穿孔處，該外蓋之底部形成一開口，該外蓋之開口對應並連通該底板之穿孔，該內蓋設在該外蓋內並受該驅動機構之驅動而能夠上、下移動，該內蓋內部形成一真空腔室，且該內蓋之底部形成一開口，該驅動機構包含一安裝座、至少一導向套筒、一驅動馬達、至少一移動桿與一移動座，該安裝座與該導向套筒固設在該外蓋上，該驅動馬達固設在該安裝座上且具有一驅動桿，該驅動桿的端部固設一齒輪，該移動桿分別可軸向移動地穿設於該導向套筒中，每一移動桿之一上端向上突伸出該導向套筒並固接於該移動座，每一移動桿之一下端向下貫穿該外蓋並固接於該內蓋，該移動座上設有一齒條，該齒條與該驅動馬達之齒輪嚙合相接，當該驅動馬達驅動該驅動桿以及該齒輪轉動時，能同時帶動該移動座、該移動桿和該內蓋 上、下移動，當該罩蓋蓋合於該輸送平台上時，該驅動馬達能夠帶動該內蓋向下移動而蓋合於該底座上；該傳動機構裝設於該輸送平台上，每一傳動機構包含四根托桿、一X軸驅動組件與一Z軸驅動組件，該四根托桿相間隔地設於該加熱座上，且各托桿的位置分別對應每一加熱座之該四溝槽，該Z軸驅動組件連接該四根托桿，並能夠受控制而帶動該四根托桿沿垂直該輸送平台的方向縱向上、下移動，該X軸驅動組件連接該四根托桿，並能夠受控制而帶動該四根托桿沿該輸送平台之入料端與出料端的連線方向來回移動。
  2. 如請求項1所述之真空焊接爐，其中：前述輸送平台之第二側部內部貫穿形成一氣密流道，該氣密流道沿該輸送平台之入料端與出料端的連線方向延伸，並連通該第一側部與第二側部之間所形成的空間；前述機台進一步包含一氮氣供應裝置，該氮氣供應裝置經由一氮氣管路連通該輸送平台之氣密流道。
  3. 如請求項1所述之真空焊接爐，其中，前述每一傳動機構中：該Z軸驅動組件裝設在該輸送平台的下方且具有至少一第一托台、一第二托台、一連動桿與一Z軸驅動馬達，該第一托台與第二托台沿該托桿之長軸延伸方向間隔設置，每一第一托台之頂部設有至少一支撐桿，前述四根托桿架設於該支撐桿上，每一第一、第二托台內設有相匹配的一螺母與一螺桿，該螺母固設於該托台中，該螺桿之底端突伸出該第一、第二托台並固設一傘齒輪，該連動桿延伸設置於該第一托台與第二托台之間，該連動桿上套設固定有多個傘齒輪，該連動桿的傘齒輪分別與該第一托台和第二托台的傘齒輪嚙合相接，該Z軸驅動馬達連接並能驅動該連動桿轉動，從而帶動該第一托台、第二托台沿該螺桿之縱向上、下移動； 該X軸驅動組件設置於該Z軸驅動組件之第二托台上，該X軸驅動組件包含一連動塊與至少一X軸驅動裝置，該連動塊連接該四根托桿，每一X軸驅動裝置以一帶動桿連接該連動塊，當該X軸驅動裝置帶動該帶動桿伸縮移動時，可經由該連動塊帶動該四根托桿在該輸送平台之入料端與出料端之間橫向來回移動。
  4. 如請求項2所述之真空焊接爐，其中，前述每一傳動機構中：該Z軸驅動組件裝設在該輸送平台的下方且具有至少一第一托台、一第二托台、一連動桿與一Z軸驅動馬達，該第一托台與第二托台沿該托桿之長軸延伸方向間隔設置，每一第一托台之頂部設有至少一支撐桿，前述四根托桿架設於該支撐桿上，每一第一、第二托台內設有相匹配的一螺母與一螺桿，該螺母固設於該托台中，該螺桿之底端突伸出該第一、第二托台並固設一傘齒輪，該連動桿延伸設置於該第一托台與第二托台之間，該連動桿上套設固定有多個傘齒輪，該連動桿的傘齒輪分別與該第一托台和第二托台的傘齒輪嚙合相接，該Z軸驅動馬達連接並能驅動該連動桿轉動，從而帶動該第一托台、第二托台沿該螺桿之縱向上、下移動；該X軸驅動組件設置於該Z軸驅動組件之第二托台上，該X軸驅動組件包含一連動塊與至少一X軸驅動裝置，該連動塊連接該四根托桿，每一X軸驅動裝置以一帶動桿連接該連動塊，當該X軸驅動裝置帶動該帶動桿伸縮移動時，可經由該連動塊帶動該四根托桿在該輸送平台之入料端與出料端之間橫向來回移動。
  5. 如請求項1至4中任一項所述之真空焊接爐，其中，該罩蓋與該輸送平台之第一側部相互樞接，該機台進一步包含至少一掀蓋機構與至少一壓蓋機構，該掀蓋機構設於該輸送平台之第一側部的旁側，且該掀蓋機構連接該罩蓋並選擇性地驅動該罩蓋相對該輸送平台樞轉，該壓蓋機構設於該輸送平台 之第二側部的旁側，當該罩蓋蓋合於該輸送平台上時，該壓蓋機構能進一步壓抵並固定該罩蓋。
  6. 如請求項5項所述之真空焊接爐，其中，該掀蓋機構包含一固定座、一連接件與一伸縮桿，該固定座固定設置該輸送平台之第一側部的旁側，該連接件固定架設在該罩蓋上並樞接於該輸送平台之第一側部，該伸縮桿的長度能伸縮，該伸縮桿的一端連接該固定座、另一端連接該連接件。
  7. 如請求項5項所述之真空焊接爐，其中，該真空焊接爐具有二傳動機構，其中一傳動機構設於該輸送平台之入料端與該真空處理裝置之間，另一傳動機構設於該真空處理裝置與該輸送平台之出料端之間。
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