TWI642900B - Displacement measuring device - Google Patents

Abstract

本發明提供一種位移測量裝置，用以讓用戶容易識別包括不具有電子電路的感測器頭的位移測量裝置的測量狀態。位移測量裝置（1）包括：感測器頭（30），具有光學系統且不具有電子電路；控制器（100）；第1光纖維，將來自光投射部（10）的照射光傳遞至感測器頭（30）；及第2光纖維，將來自感測器頭（30）的反射光傳遞至控制器（100）。控制部（50）具有：第1模式，對感測器頭（30）與反射位置之間的距離進行測量；及第2模式，透過光投射部（10）的光投射狀態來表示感測器頭（30）與反射位置之間的距離是否處於規定距離範圍的中央部。

Description

位移測量裝置

本發明是有關於一種位移測量裝置。尤其，本發明是有關於一種包括不具有電子電路的感測器頭的位移測量裝置。

作為對測量對象物的表面形狀等進行檢查的裝置，已知有位移測量裝置（位移感測器）。例如，日本專利特開2012-208102號公報（專利文獻1）揭示利用共焦光學系統來以非接觸的方式測量測量對象物的位移的共焦測量裝置。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1] 日本專利特開2012-208102號公報

[發明所要解決的問題] 在日本專利特開2012-208102號公報（專利文獻1）中所記載的共焦測量裝置中，感測器頭不具有電子電路且感測器頭與控制器分離。為了掌握位移測量裝置的測量狀態，位於感測器頭附近的用戶需要確認控制器的顯示。

例如，在設置感測器頭時，為了進行正確的測量，需要調整設置感測器頭的位置。位移測量裝置可測量的範圍可表示為自感測器頭的前面的距離的範圍。一般而言，製造廠將該範圍定義為位移測量裝置的規格。本說明書中，將作為位移測量裝置可測量的距離的範圍而預先規定的範圍稱為“規定距離範圍”。

以放置工件的位置為基準，調整感測器頭的設置位置，以使該工件的位置進入規定距離範圍內。在用戶位於感測器頭的附近時，有如下可能性：難以透過自控制器至用戶的距離或用戶相對於控制器的位置來確認控制器的顯示。

本發明的目的在於提供一種用以用戶容易識別包括不具有電子電路的感測器頭的位移測量裝置的測量狀態的技術。

[解決問題的技術手段] 依據本發明的某局面的位移測量裝置包括：感測器頭，具有光學系統且不具有電子電路；控制器；第1光纖維，將來自光投射部的照射光傳遞至感測器頭；以及第2光纖維，將來自感測器頭的反射光傳遞至控制器，所述控制器具有：光投射部，產生照射光；光接收部，接收由感測器頭所接收的照射光的反射光；及控制部，基於光接收部的光接收量來算出感測器頭與反射光的反射位置之間的距離。控制部具有：第1模式，對感測器頭與反射位置之間的距離進行測量；及第2模式，透過光投射部的光投射狀態來表示感測器頭與反射位置之間的距離是否處於規定距離範圍的中央部。規定距離範圍定義為位移測量裝置可測量的距離的範圍。規定距離範圍的中央部定義為規定距離範圍的中心附近的既定的距離。第1光纖維與第2光纖維可相同。

根據所述構成，可提供一種可實現用戶容易識別感測器頭與反射位置之間的距離是否處於規定距離範圍的中央部的位移測量裝置。在第2模式中，用戶可透過自感測器頭射出的光來確認位移測量裝置的測量狀態。

較佳為：在第2模式中，控制部判斷感測器頭與反射位置之間的距離是否進入規定距離範圍的中央部內，並透過光投射部的光投射狀態來表示該判斷結果。

透過所述構成，可提供一種可使用戶容易識別規定距離範圍的中央部的位移測量裝置。在第2模式中，用戶可透過自感測器頭射出的光來確認感測器頭與反射位置之間的距離為規定距離範圍的中央部內。

較佳為：在第2模式中，在自感測器頭至反射位置的距離處於規定距離範圍的中央部內時，控制部使光投射部連續點燈。在第2模式中，在自感測器頭至反射位置的距離處於規定距離範圍的中央部的外側且為規定距離範圍內時，控制部使光投射部閃爍。

根據所述構成，用戶可透過確認自感測器頭連續射出光來確認感測器頭與反射位置之間的距離為規定距離範圍的中央部內。

較佳為：在自感測器頭至反射位置的距離處於規定距離範圍的中央部的外側的範圍內的情況下，在自感測器頭至反射位置的距離處於規定距離範圍的中央部的外側且為規定距離範圍內的既定的距離範圍內時，控制部使光投射部以第1間隔閃爍，在自感測器頭至反射位置的距離在規定距離範圍內處於規定距離範圍的中央部的外側且既定的距離範圍外時，控制部使光投射部以大於第1間隔的第2間隔閃爍。

根據所述構成，用戶可透過自感測器頭射出的光的閃爍的間隔來確認感測器頭與反射位置之間的距離自規定距離範圍的中央部遠離多少。

較佳為：在自感測器頭至反射位置的距離處於規定距離範圍的中央部的外側且為規定距離範圍內的情況下，控制部隨著自感測器頭至反射位置的距離與規定距離範圍的中央部的上限或下限之間的差變大而增大光投射部的閃爍的間隔。

根據所述構成，用戶可透過自感測器頭射出的光的閃爍的間隔來確認感測器頭與反射位置之間的距離自規定距離範圍的中央部遠離多少。

較佳為：在自感測器頭至反射位置的距離處於規定距離範圍的中央部內的情況下，控制部控制光投射部，以使光投射部的光投射功率成為一定值。在自感測器頭至反射位置的距離處於規定距離範圍的中央部的外側且為規定距離範圍內的情況下，控制部控制光投射部，以使光投射部的光投射功率的波峰值高於自感測器頭至反射位置的距離處於規定距離範圍的中央部內時的光投射部的輸出。

根據所述構成，在感測器頭與反射位置之間的距離處於規定距離範圍的中央部的外側且為規定距離範圍內時，位移測量裝置可使自感測器頭射出的光閃爍並測量感測器頭與反射位置之間的距離。

[發明的效果] 根據本發明，可提供一種可實現用戶容易識別感測器頭與反射位置之間的距離是否處於規定距離範圍的中央部的位移測量裝置。

參照圖示對本發明的實施形態進行詳細說明。再者，對圖中的同一或相當的部分標注同一符號並不重複進行其說明。

＜A.概要＞ 圖1是用以說明本發明的實施形態的位移測量裝置的距離測量的原理的圖。參照圖1，位移測量裝置1包括導光部20、感測器頭30及控制器100。本發明的實施形態中，位移測量裝置1包括具有光學系統，另一方面不具有電子電路的感測器頭30。以下所說明的實施形態中，作為此種感測器頭的一例，示出包含共焦光學系統的感測器頭30。然而，並不限定感測器頭30中所含的光學系統的種類。

感測器頭30包括色差單元32及物鏡34。控制器100包括光投射部10、光接收部40、控制部50及顯示部60。光接收部40包括分光器42及檢測器44。

由光投射部10產生的具有既定的波長擴展的照射光在導光部20傳輸而到達至感測器頭30。在感測器頭30中，來自光投射部10的照射光透過物鏡34來聚焦而照射至測量對象物2。關於照射光，因經過色差單元32而產生軸上色差，因此自物鏡34照射的照射光的焦點位置針對每個波長而不同。由測量對象物2的表面反射的波長中，僅與測量對象物2焦點一致的波長的光再入射至感測器頭30的導光部20中的成為共焦點的纖維。

再入射至感測器頭30的反射光在導光部20傳輸而入射至光接收部40。光接收部40中，透過分光器42而將所入射的反射光分離為各波長成分，並透過檢測器44而檢測各波長成分的強度。控制部50基於檢測器44的檢測結果來算出自感測器頭30至測量對象物2的距離（位移）。

圖1所示的例子中，例如，包含多種波長λ1、波長λ2、波長λ3的照射光投射至光軸AX的延長線上。透過照射光的波長分散而在光軸AX上的各個不同的位置（焦點位置1、焦點位置2、焦點位置3）描繪像。在光軸AX上，測量對象物2的表面與焦點位置2一致，因此照射光中，僅波長λ2的成分在焦點位置2反射。即，焦點位置2與照射光的反射位置對應。光接收部40檢測波長λ2的成分。控制部50算出自感測器頭30至測量對象物2的距離為相當於波長λ2的焦點位置的距離。顯示部60透過數值來顯示由控制部50所算出的距離。

構成光接收部40的檢測器44的多個光接收元件中，接收反射光的光接收元件根據相對於感測器頭30的測量對象物2的表面的形狀而發生變化。因此，可根據檢測器44的多個光接收元件的檢測結果（像素資訊）來測量相對於測量對象物2的距離變化（位移）。由此，可透過位移測量裝置1來測量測量對象物2的表面的形狀。

圖2（A）、圖2（B）中示意性示出依據本實施形態的位移測量裝置1的導光部20的構成。如圖2（A）所示，導光部20可包括光學性連接於光投射部10的輸入側纜線、光學性連接於光接收部40的輸出側纜線22及與感測器頭30光學性連接的頭側纜線24。輸入側纜線21及輸出側纜線22各自的端與頭側纜線24的端經由具有合波/分波結構的耦合器23而光學性結合。耦合器23為相當於Y分支耦合器的2×1星形耦合器（2輸入1輸出/1輸入2輸出），將自輸入側纜線21入射的光傳遞至頭側纜線24，並且將自頭側纜線24入射的光分割而分別傳遞至輸入側纜線21及輸出側纜線22。

輸入側纜線21、輸出側纜線22及頭側纜線24均可為具有單一的核心202的光纖維。光纖維具有核心202、包層204、包覆材206及外裝材208。如圖2（B）所示，在導光部20也可採用具有多個核心的光纖維。耦合器231、232各將自輸入側纜線21入射的光傳遞至頭側纜線24，並且將自頭側纜線24入射的光分割而分別傳遞至輸入側纜線21及輸出側纜線22。

＜B.裝置構成＞ 圖3是表示依據本實施形態的位移測量裝置1的構成的一例的示意圖。參照圖3，光投射部10產生具有多種波長成分的照射光。典型而言，光投射部10包括白色發光二極管（Light Emitting Diode，LED）。只要關於因軸上色差而產生的焦點位置的位移寬度，可產生具有盡可能彌補所要求的測量區域的波長範圍的照射光，則可在光投射部10使用任意光源。

光接收部40包括：分光器42，將由感測器頭30所接收的反射光分離為各波長成分；及檢測器44，具有與分光器42的分光方向對應而配置的多個光接收元件。作為分光器42，典型而言，採用衍射光柵，除此以外，也可採用任意的器件。檢測器44可使用與分光器42的分光方向對應而一維配置有多個光接收元件的線感測器（一維感測器），也可使用在檢測面上二維配置有多個光接收元件的圖像感測器（二維感測器）。

光接收部40除了包括分光器42及檢測器44以外，也可包括使自輸出側纜線22射出的反射光平行化的準直透鏡41及用以將檢測器44的檢測結果輸出至控制部50的讀取電路45。視需要，光接收部40也可設置對經分光器42分離的波長不同的反射光的光斑直徑進行調整的縮小光學系統43。

控制部50基於光接收部40的多個光接收元件的各自的檢測值來算出自感測器頭30至測量對象物2的距離。預先設定像素與波長及距離值之間的關係式（例如，在製品出貨時不揮發性地存儲於控制部50的內部）。因此，控制部50可根據光接收部40所輸出的受光波形（像素資訊）來算出位移。

圖3中示出用以提高可用性（usability）而串聯連接多根纜線來構成頭側纜線的例子。即，作為頭側纜線，採用三根纜線241、纜線243、纜線245。纜線241與纜線243之間經由連接器242而光學性連接，纜線243與纜線245之間經由連接器244而光學性連接。當然，耦合器23與感測器頭30也可經由一根纜線而光學性連接。

導光部20包括用以將輸入側纜線21及輸出側纜線22與頭側纜線光學性結合的合波/分波部（耦合器）23。關於合波/分波部23的功能，參照圖2（A）、圖2（B）而進行了說明，因此不重複進行詳細說明。依據本實施形態的位移測量裝置1中，採用耦合器作為合波/分波結構。由此，導光部20內的光可進行分離，且可利用單一的檢測器44來接收分別在多個核心中傳輸的來自測量對象物2的反射光（測量光）。

本發明的實施形態中，位移測量裝置1具有兩個控制模式。第1模式為用以測量感測器頭30與反射位置之間的距離的模式。第2模式為用以確認感測器頭30與反射位置之間的距離是否處於規定距離範圍的中央部的模式。以下，將第1模式稱為“通常測量模式”，將第2模式稱為“規定距離範圍中心確認模式”。

＜C.動作模式＞ 圖4是用以說明通常測量模式（第1模式）中的感測器頭30的光投射狀態的圖。參照圖4，位置3為自感測器頭30射出的照射光中所含的某波長的光連結焦點的位置，例如相當於應放置工件的位置。

距離d為感測器頭30與位置3之間的相對距離。以下的說明中，設為：位置3固定，透過使感測器頭30沿感測器頭30的光軸方向移動而使距離d發生變化。當然，也可設為：感測器頭30的位置固定，透過使位置3沿感測器頭30的光軸方向移動而使距離d發生變化。在圖4中，D2規定規定距離範圍，D1規定規定距離範圍D2的中央部。中央部D1為作為規定距離範圍D2的中心附近的既定距離而定義的範圍。

通常測量模式中，不管距離d是否處於規定距離範圍D2的中央部D1內，感測器頭30常時進行光投射。即，自感測器頭30連續射出光。

圖5是用以說明規定距離範圍中心確認模式（第2模式）中的感測器頭30的光投射狀態的圖。參照圖5，在距離d處於規定距離範圍D2的中央部D1內時，自感測器頭30常時投射光。即，進行通常的光投射。另一方面，在距離d處於規定距離範圍D2的中央部D1的外側且為規定距離範圍D2內時，自感測器頭30投射閃爍光（閃爍光投射）。即，規定距離範圍中心確認模式中，根據距離d處於規定距離範圍D2的中央部D1內或者距離d處於規定距離範圍D2的中央部D1之外且為規定距離範圍D2內，而光投射的實施方式不同。

圖6是用以說明通常測量模式（第1模式）中的光投射部的控制的訊號波形圖。參照圖1及圖6，通常測量模式中，控制部50使光投射部10連續點燈。通常測量模式中，光投射部10常時為接通（ON）狀態。

圖7是用以說明規定距離範圍中心確認模式（第2模式）中的光投射部的控制的訊號波形圖。參照圖1及圖7，在距離d為規定距離範圍D2的中央部D1內時，與通常測量模式同樣地，控制部50使光投射部10連續點燈。另一方面，在距離d處於規定距離範圍D2的中央部D1的外側且為規定距離範圍D2內時，控制部50使光投射部10閃爍。因此，控制部50重複發出用以使光投射部10點燈的控制訊號而進行接通及斷開(OFF)。

再者，在為通常測量模式及規定距離範圍中心確認模式的任一的情況下，在通常光投射時，控制部50均將光投射部10的光投射功率（光投射部10的輸出）保持為大致一定。另一方面，在規定距離範圍中心確認模式中使光投射部10閃爍時，控制部50控制光投射部10，以使光投射部10的輸出的波峰值高於常時光投射時的光投射部10的輸出。即，在閃爍光投射時，與通常光投射時相比，控制部50使控制訊號的接通準位(ON level)變高。由此，在光投射部10閃爍時，可增大控制器100側的光接收量，因此在光接收部40，容易獲取受光波形。因此，在距離d處於規定距離範圍D2的中央部D1的外側且為規定距離範圍D2內時，也可測量該距離d。

光投射的脈衝間隔是以如下方式確定：用戶可識別閃爍狀態且位移測量裝置1可測量位移。作為一例，脈衝的期間及脈衝的間隔均為50 ms以上。

＜D.控制流程＞ 圖8是用以說明利用控制器100的控制部50控制控制光投射的流程圖。參照圖8，在步驟S1中，控制部50選擇通常測量模式（第1模式）。在步驟S2中，控制部50以執行通常光投射（常時光投射）的方式控制光投射部10（參照圖6）。

在步驟S3中，判斷控制部50是否將要執行的模式自通常測量模式切換為規定距離範圍中心確認模式（第2模式）。在判斷為控制部50將要執行的模式保持為通常測量模式時（在步驟S3中為否（NO）），處理返回至步驟S2。另一方面，例如，在將用戶的指示輸入控制部50時，判斷為控制部50應將要執行的模式切換為規定距離範圍中心確認模式。該情況下（在步驟S3中為是（YES）），處理推進至步驟S4。

在步驟S4中，控制部50選擇規定距離範圍中心確認模式。在步驟S5中，控制部50判定自感測器頭30至位置3之間的距離d是否為規定距離範圍D2的中央部D1內。規定距離範圍D2及其中央部D1可針對感測器頭30的每一形式而確定。控制器100也可預先存儲針對感測器頭30的每一形式而確定的規定距離範圍D2及其中央部D1。關於與控制器100連接的感測器頭30的形式的資訊，例如控制器100可自寫入有以1對1與感測器頭30對應的感測器頭資訊的記錄介質讀取。

在距離d為規定距離範圍D2的中央部D1內時（在步驟S5中為是（YES）），處理推進至步驟S6。該情況下，控制部50以執行通常光投射（常時光投射）的方式控制光投射部10。控制部50將用以使光投射部10點燈的控制訊號設為常時接通狀態（參照圖7）。

在距離d為規定距離範圍D2的中央部D1的外側且為規定距離範圍D2內時（在步驟S5中為否（NO）），處理推進至步驟S7。該情況下，控制部50以執行閃爍光投射的方式控制光投射部10。控制部50重複發出用以使光投射部10點燈的控制訊號並進行接通及斷開（參照圖7）。

在步驟S8中，判斷控制部50是否將要執行的模式自規定距離範圍中心確認模式切換為通常測量模式。在判斷為控制部50將要執行的模式保持為規定距離範圍中心確認模式時（在步驟S8中為否（NO）），處理返回至步驟S5。另一方面，例如，在將用戶的指示輸入控制部50時，判斷為控制部50應將要執行的模式切換為通常測量模式。該情況下（在步驟S8中為是（YES）），處理返回至步驟S1。

＜E.另一實施形態＞ 圖9是用以說明規定距離範圍中心確認模式（第2模式）中的感測器頭30的光投射狀態的另一實施形態的圖。參照圖9，在規定距離範圍D2的中央部D1的外側且為規定距離範圍D2內設定既定的距離範圍D3。在距離d處於規定距離範圍D2的中央部D1的外側且為既定的距離範圍D3內時，自感測器頭30所投射的光相對快速地閃爍。另一方面，在距離d處於規定距離範圍D2內的既定的距離範圍D3外且為規定距離範圍D2內時，自感測器頭30所投射的光相對緩慢地閃爍。如此，在距離d處於規定距離範圍D2的中央部D1的外側且為規定距離範圍D2內時，控制部50也可以根據距離d而閃爍的間隔不同的方式控制光投射部10。

進而，並不限定於使閃爍的間隔階段性不同。再次參照圖5，控制部50也可以距離d與規定距離範圍D2的中央部D1的上限或下限之間的差越大，光的閃爍間隔越大的方式控制光投射部10。

＜F.優點＞ 考慮在控制器100側顯示距離d是否處於規定距離範圍D2的中央部D1內的例子。例如，可透過使控制器100的顯示燈點燈來對用戶顯示距離d處於規定距離範圍內。或者，透過將位移的測量值顯示於控制器100的顯示部60，用戶可確認距離d是否處於規定距離範圍D2的中央部D1內。

然而，認為有將感測器頭30配置於遠離控制器100的位置。此種情況下，用戶位於感測器頭30的設置場所的附近。因此，有如下可能性：用戶難以透過自控制器100至用戶的距離或用戶相對於控制器100的位置來確認控制器100的顯示。

該實施形態中，位移測量裝置1透過來自感測器頭30的光的投射狀態來表示自感測器頭30至位置3（反射位置）的距離d處於規定距離範圍D2的中央部D1內。因此，在用戶設置感測器頭30時，用戶可容易識別感測器頭30的規定距離範圍的中央部。用戶也可不確認控制器100的顯示。用戶可將感測器頭設置於適當的位置，因此可容易構建可正確且穩定地進行測量的環境。

應認為：此次所揭示的實施形態在所有方面僅為例示，並非限制者。應意識到：本發明的範圍是由申請專利範圍而非所述說明所示，包含與申請專利範圍均等的含義及範圍內的所有變更。

1：位移測量裝置 2：測量對象物 3：位置（反射位置） 10：光投射部 20：導光部 21：輸入側纜線 22：輸出側纜線 23：耦合器 24：頭側纜線 30：感測器頭 32：色差單元 34：物鏡 40：光接收部 41：準直透鏡 42：分光器 43：縮小光學系統 44：檢測器 45：讀取電路 50：控制部 60：顯示部 100：控制器 202：核心 204：包層 206：包覆材 208：外裝材 241、243、245：纜線 242、244：連接器 AX：光軸 D1：規定距離範圍的中央部 D2：規定距離範圍 D3：規定距離範圍內的既定的距離範圍 S1～S8：步驟 d：距離 λ1、λ2、λ3：波長

圖1是用以說明本發明的實施形態的位移測量裝置的距離測量的原理的圖。 圖2（A）、圖2（B）是用以說明依據本實施形態的位移測量裝置的導光部的構成的示意圖。 圖3是表示依據本實施形態的位移測量裝置的構成的一例的示意圖。 圖4是用以說明通常測量模式（第1模式）中的感測器頭的光投射狀態的圖。 圖5是用以說明規定距離範圍中心確認模式（第2模式）中的感測器頭的光投射狀態的圖。 圖6是用以說明通常測量模式（第1模式）中的光投射部的控制的訊號波形圖。 圖7是用以說明規定距離範圍中心確認模式（第2模式）中的光投射部的控制的訊號波形圖。 圖8是用以說明利用控制器的控制部控制光投射的流程圖。 圖9是用以說明規定距離範圍中心確認模式（第2模式）中的感測器頭的光投射狀態的另一實施形態的圖。

Claims (8)

1. 一種位移測量裝置，其特徵在於包括： 感測器頭，具有光學系統且不具有電子電路； 控制器，其具有：光投射部，產生照射光；光接收部，接收由所述感測器頭所接收的所述照射光的反射光；及控制部，基於所述光接收部的光接收量來算出所述感測器頭與所述反射光的反射位置之間的距離； 第1光纖維，將來自所述光投射部的所述照射光傳遞至所述感測器頭；以及 第2光纖維，將來自所述感測器頭的所述反射光傳遞至所述控制器， 所述控制部具有：第1模式，對所述感測器頭與所述反射位置之間的距離進行測量；及第2模式，透過所述光投射部的光投射狀態來表示所述感測器頭與所述反射位置之間的所述距離是否處於規定距離範圍的中央部。
2. 如申請專利範圍第1項所述的位移測量裝置，其中： 在所述第2模式中，所述控制部判斷所述感測器頭與所述反射位置之間的所述距離是否進入所述規定距離範圍的所述中央部內，並透過所述光投射部的所述光投射狀態來表示所述判斷結果。
3. 如申請專利範圍第2項所述的位移測量裝置，其中： 在所述第2模式中，在自所述感測器頭至所述反射位置的所述距離處於所述規定距離範圍的所述中央部內時，所述控制部使所述光投射部連續點燈， 在所述第2模式中，在自所述感測器頭至所述反射位置的所述距離處於所述規定距離範圍的所述中央部的外側且為所述規定距離範圍內時，所述控制部使所述光投射部閃爍。
4. 如申請專利範圍第3項所述的位移測量裝置，其中： 在自所述感測器頭至所述反射位置的距離處於所述規定距離範圍的所述中央部的外側的範圍內的情況下，在自所述感測器頭至所述反射位置的所述距離處於所述規定距離範圍的所述中央部的外側且為所述規定距離範圍內的既定的距離範圍內時，所述控制部使所述光投射部以第1間隔閃爍， 在自所述感測器頭至所述反射位置的所述距離在所述規定距離範圍內處於所述既定的距離範圍外且為所述規定距離範圍外時，所述控制部使所述光投射部以大於所述第1間隔的第2間隔閃爍。
5. 如申請專利範圍第3項所述的位移測量裝置，其中： 在自所述感測器頭至所述反射位置的距離處於所述規定距離範圍的所述中央部的外側且為所述規定距離範圍內的情況下，所述控制部隨著自所述感測器頭至所述反射位置的所述距離與所述規定距離範圍的所述中央部的上限或下限之間的差變大而增大所述光投射部的閃爍的間隔。
6. 如申請專利範圍第3項至第5項中任一項所述的位移測量裝置，其中： 在自所述感測器頭至反射位置的距離處於所述規定距離範圍的所述中央部內的情況下，所述控制部控制光投射部，以使所述光投射部的光投射功率成為一定值，在自所述感測器頭至所述反射位置的距離處於所述規定距離範圍的所述中央部的外側且為所述規定距離範圍內的情況下，所述控制部控制所述光投射部，以使所述光投射部的輸出的波峰值高於自所述感測器頭至反射位置的距離處於所述規定距離範圍的所述中央部內時的所述光投射部的輸出。
7. 如申請專利範圍第1項至第5項中任一項所述的位移測量裝置，其中： 所述第1光纖維與所述第2光纖維相同。
8. 如申請專利範圍第6項所述的位移測量裝置，其中： 所述第1光纖維與所述第2光纖維相同。