TWI625415B - 沉積設備及使用其製造有機發光二極體顯示器之方法 - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102480457B1 (ko) * 2015-07-27 2022-12-22 삼성디스플레이 주식회사 증착 장치
CN110191976B (zh) * 2017-07-18 2021-12-10 京东方科技集团股份有限公司 蒸发坩埚和蒸发设备
WO2020213228A1 (ja) * 2019-04-19 2020-10-22 株式会社アルバック 蒸着源及び蒸着装置
CN110592538B (zh) * 2019-09-26 2021-12-24 京东方科技集团股份有限公司 一种蒸镀装置、蒸发源及喷嘴
KR102371118B1 (ko) * 2020-07-30 2022-03-07 주식회사 선익시스템 증착 입자를 분사하는 노즐 및 이를 포함하는 증착 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008530372A (ja) * 2006-07-03 2008-08-07 ワイ・エー・エス カンパニー リミテッド 真空熱蒸着用のマルチノズル蒸着器

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100579406B1 (ko) * 2004-08-25 2006-05-12 삼성에스디아이 주식회사 수직 이동형 유기물 증착 장치
KR100687007B1 (ko) * 2005-03-22 2007-02-26 세메스 주식회사 유기전계 발광 소자 제조에 사용되는 유기 박박 증착 장치
KR101131960B1 (ko) * 2009-08-14 2012-04-12 주식회사 원익아이피에스 유기박막 증착장치
CN102703866A (zh) * 2012-01-13 2012-10-03 东莞宏威数码机械有限公司 线性蒸发源装置及具有该装置的蒸发速率精控式蒸发设备

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008530372A (ja) * 2006-07-03 2008-08-07 ワイ・エー・エス カンパニー リミテッド 真空熱蒸着用のマルチノズル蒸着器

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