TWI624307B - Carrier transfer method and device - Google Patents

Abstract

本發明載盤搬送方法及裝置，包括：一主機台，其上設置可供一載盤於其中作定位或作輸送位移的軌道；所述軌道位於一操作區間；在軌道上方設有一操作裝置；一裝送機構，設於所述主機台一側，所述載盤經由裝送機構而輸送至操作區間的軌道受操作裝置進行加工，該裝送機構包括一第一昇降架，以及受昇降架驅動可作上昇或下降之一收納盒，收納盒形成兩側開口，並可被驅動昇降以一推送裝置將容納於收納盒中尚未進行加工之載盤推入主機台中被進行加工。

Description

載盤搬送方法及裝置

本發明係有關於一種載盤搬送方法及裝置，尤指一種用於對載盤上所置設之待加工元件進行加工的載盤搬送方法及裝置。

按，一般晶圓經切割成一片片晶片時，每一片晶片必須經由置設於一基板(Substrate Board)中進行封裝，才能使該晶片被使用；而現行將晶片置設於基板上的作業通常透過一載盤(Boat)來完成，使載盤提供多數個整齊排列的置放區間，以供各基板置於載盤各置放區間，然後再將基板上預定位置塗覆黏性材料，以供晶片置於基板上時可藉該黏性材料固定於基板預設之定位以進行下一製程。

一種先前技術在基板上預定位置塗覆黏性材料的方法及裝置，採用在兩龍門下方設軌道，並使軌道上置設該載有基板之載盤，及於兩龍門間之上方共同架設一橫設之軌座，並在軌座上設內部容裝黏性材料之膠閥，藉由橫設之軌座可在兩龍門上作Y軸向位移，而膠閥可在軌座上作X軸向及Z軸向位移，來對下方軌道中載盤上基板進行塗佈黏性材料的作業。

另一種先前技術在基板上預定位置塗覆黏性材料的方法及裝置，為提高效率而採用在兩龍門下方設兩平行之第一、二導軌，以分別輸送二載盤，並在第一龍門上設第一導引軌道及第二導引軌道，以分別設置檢測單元及第一出料頭，及在第二龍門上設第三導引軌道以設置第二出料頭，使第一導軌上之載盤輸經第一龍門上第一導引軌道下方時受檢測單元檢測，再續輸送經第一龍門上第二導引軌道下方受第一出料頭塗佈，然後 再返回原第一龍門上第一導引軌道下方再受檢測單元檢測，以完成塗佈作業；而第二導軌則與第一導軌進行之程序及作業相同，但較第一導軌上之作業程序晚一步驟。

先前技術採在兩龍門下方設兩平行之第一、二導軌以分別輸送二載盤者，其雖具有較高之塗佈效率，但因載盤是以人工置入軌道中受在移動中被進行塗覆，因此對加工之效率低亦不適大量生產。

爰是，本發明之目的，在於提供一種使載盤可有效率地被輸輸送進行加工的載盤搬送裝置。

本發明之另一目的，在於提供一種使用該載盤搬送裝置有效將載盤推移入收納盒進行收納之載盤搬送方法。

本發明之又一目的，在於提供一種用以執行如所述載盤搬送方法之裝置。

依據本發明之目的之載盤搬送裝置，包括：一主機台，其上設置可供一載盤於其中作定位或作輸送位移的軌道；所述軌道位於一操作區間；在軌道上方設有一操作裝置；一裝送機構，設於所述主機台一側，所述載盤經由裝送機構而輸送至操作區間的軌道受操作裝置進行加工，該裝送機構包括一第一昇降架，以及受昇降架驅動可作上昇或下降之一收納盒，收納盒形成兩側開口，並可被驅動昇降以一推送裝置將容納於收納盒中尚未進行加工之載盤推入主機台中被進行加工；一裝卸機構，包括一第二昇降架，以及受昇降架驅動可作上昇或下降之收納盒，收納盒形成兩側開口，並可用以容納已完成加工之載盤。

依據本發明另一目的之載盤搬送方法，使用如所述載盤搬送 裝置，當載盤欲自軌架輸出至一裝卸機構的收納盒時，使載盤通過軌架後，未完全被推入收納盒而有部份凸伸於外部，並藉由一推移裝置將載盤推抵進入收納盒。

依據本發明又一目的之載盤搬送裝置，包括：用以執行如所述載盤搬送方法之裝置。

本發明實施例所提供載盤搬送方法及裝置，由於在載盤的流路規劃，使在單純的裝送機構(Load)與裝卸機構(Unload)間的載盤上基板塗佈黏性材料作業可以更具效率，使載盤收納更確實而減少產線故障停滯，使黏性材料塗佈效率及產能之因應能力更為提昇，亦助於操作機構之統整管理與操控。

A‧‧‧主機台

A1‧‧‧第一軌道

A11‧‧‧第一固定軌架

A111‧‧‧側軌架

A112‧‧‧固定件

A113‧‧‧皮帶驅動件

A114‧‧‧皮帶

A115‧‧‧止擋機構

A116‧‧‧止擋驅動件

A117‧‧‧止銷

A2‧‧‧第二軌道

A21‧‧‧第二固定軌架

A3‧‧‧載盤

A31‧‧‧鏤空區間

A32‧‧‧定位銷

A33‧‧‧載片

A4‧‧‧第一轉換機構

A41‧‧‧驅動件

A42‧‧‧第一活動軌架

A5‧‧‧第二轉換機構

A51‧‧‧驅動件

A52‧‧‧第二活動軌架

A6‧‧‧操作區間

A61‧‧‧第一龍門

A611‧‧‧第一懸臂

A612‧‧‧第一工作頭

A613‧‧‧第一滑座

A614‧‧‧線性傳動件

A615‧‧‧線性傳動件

A62‧‧‧第二龍門

A621‧‧‧第二懸臂

A622‧‧‧第二工作頭

A623‧‧‧第二滑座

A624‧‧‧線性傳動件

A625‧‧‧線性傳動件

A71‧‧‧第一操作裝置

A711‧‧‧第一檢測裝置

A712‧‧‧第一取像裝置

A713‧‧‧第一塗佈頭

A72‧‧‧第二操作裝置

A721‧‧‧第二檢測裝置

A722‧‧‧第二取像裝置

A723‧‧‧第二塗佈頭

A8‧‧‧校正座

A81‧‧‧校正刻度

A82‧‧‧量測裝置

A83‧‧‧殘膠去除裝置

A831‧‧‧夾具

A832‧‧‧容器

A833‧‧‧夾座

A834‧‧‧撓性件

A9‧‧‧治具

A91‧‧‧治具座

A92‧‧‧頂座

A93‧‧‧負壓槽道

B‧‧‧副機台

B1‧‧‧第三固定軌架

B2‧‧‧X軸向驅動件

B3‧‧‧Y軸向驅動件

B4‧‧‧第二檢測裝置

B5‧‧‧推移裝置

B51‧‧‧固定座

B52‧‧‧滑軌

B521‧‧‧滑塊

B53‧‧‧移動座

B54‧‧‧無桿氣壓缸

B541‧‧‧滑塊

B55‧‧‧推桿

B551‧‧‧彈性元件

B56‧‧‧擋壓件

B571‧‧‧第一感測件

B572‧‧‧第二感測件

C‧‧‧裝送裝置

C1‧‧‧第一昇降架

C2‧‧‧收納盒

C3‧‧‧開口

C4‧‧‧推送裝置

C41‧‧‧固定件

C42‧‧‧軌座

C43‧‧‧滑軌

C44‧‧‧推抵件

C45‧‧‧移動座

C46‧‧‧皮帶

C47‧‧‧驅動件

D‧‧‧裝卸機構

D1‧‧‧第二昇降架

D2‧‧‧收納盒

D3‧‧‧開口

第一圖係本發明實施例中主機台上載盤輸送流路之俯視示意圖。

第二圖係本發明實施例中主機台上載盤輸送流路之立體示意圖。

第三圖係本發明實施例中塗佈裝置之俯視示意圖。

第四圖係本發明實施例中塗佈裝置之立體示意圖。

第五圖係本發明實施例中第一固定軌架與治具之、載盤之立體分解示意圖。

第六圖係本發明實施例中量測裝置與殘膠去除裝置之立體示意圖。

第七圖本發明實施例中裝送裝置處推送裝置操作之立體示意圖。

第八圖本發明實施例中裝卸裝置處推移裝置之前側立體示意圖。

第九圖本發明實施例中裝卸裝置處推移裝置之後側立體示意圖。

第十圖本發明實施例中推移裝置操作之示意圖(一)。

第十一圖本發明實施例中推移裝置操作之示意圖(二)。

第十二圖本發明實施例中推移裝置操作之示意圖(三)。

請參閱第一、二圖，本發明載盤搬送方法及裝置可以圖中的塗佈裝置實施例來作說明；包括：一主機台A，其上設置相對為較靠近操作者之第一軌道A1，以及相對為較遠操作者並與第一軌道A1平行之第二軌道A2，所述第一軌道A1及第二軌道A2各可供一載盤A3於其中作定位或作X軸向之輸送位移；所述第一軌道A1係由在固定位置不作位移之第一固定軌架A11所構成；所述第二軌道A2係由在固定位置不作位移之第二固定軌架A21所構成；在第一固定軌架A11、第二固定軌架A21兩側分別設有第一轉換機構A4及第二轉換機構A5，第一轉換機構A4設有在一驅動件A41上可被驅動作Y軸向位移之第一活動軌架A42，第二轉換機構A5設有在一驅動件A51上可被驅動作Y軸向位移之第二活動軌架A52；請參閱第三、四圖，在第一軌道A1、第二軌道A2上方設有相隔一段間距之第一龍門A61及第二龍門A62，所述第一固定軌架A11、第二固定軌架A21相對應並恰位於第一龍門A61及第二龍門A62間所形成之操作區間A6；第一龍門A61之第一懸臂A611呈Y軸向，其上以X軸向設有第一工作頭A612，第一懸臂A611上表面與第一工作頭A612下表面間設有第一滑座A613，第一滑座A613下表面與第一懸臂A611上表面間，及第一滑座A613上表面與第一工作頭A612下表面間分別各設有線性傳動件A614、A615，其可為線性滑軌及包括有動子及定子之線性馬達所構成，使第一工作頭A612可在第一懸臂A611上表面上作X軸向及Y軸向位移；第二龍門A62之第二懸臂A621呈Y軸向，其上以X軸向設有第二工作頭A622，第二懸臂A621上表面與第二工作頭A622下表面間設有第二滑座A623，第二滑座A623下表面與第二懸臂A621上表面間、及第二滑座A623上表面與第 二工作頭A622下表面間分別各設有線性傳動件A624、A625，其可為線性滑軌及包括有動子及定子之線性馬達所構成，使第二工作頭A622可在第二懸臂A621上表面上作X軸向及Y軸向位移；所述第一工作頭A612朝所述操作區間A6之一端設有第一操作裝置A71，其包括：第一檢測裝置A711、第一取像裝置A712、第一塗佈頭A713，第二工作頭間A622朝所述操作區間A6之一端設有第二操作裝置A72，包括：第二檢測裝置A721、第二取像裝置A722、第二塗佈頭A723，其中，第一檢測裝置A711、第二檢測裝置A721可為一可用以測量高度之雷射頭，第一取像裝置A712、第二取像裝置A722可為一CCD鏡頭，第一塗佈頭A713、第二塗佈頭A723可為利用膠筒供膠以膠閥進行吐膠之黏性材料塗佈裝置；在所述操作區間A6之第一固定軌架A11、第二固定軌架A21間，設有一校正座A8，其上設有校正刻度A81；在第一軌道A1與操作者間，設有膠量之量測裝置A82，其兩側各設有殘膠去除裝置A83；一副機台B，其為與主機台A分離之獨立機台，其上設有第三固定軌架B1，其與所述主機台A之第一軌道A1對應，並為所述第一軌道A1之載盤A3輸送之後段流路而可供載盤A3輸送停置其中；另設有可在一X軸向驅動件B2及一Y軸向驅動件B3驅動下對所述載盤A3上基板黏性材料塗佈狀況進行檢測之第二檢測裝置B4，其可為倍率較所述第一、二取像裝置A712、A722更高之CCD鏡頭；所述第三固定軌架B1作為載盤A3輸送排出的一端設有一推移裝置B5；一裝送機構(Load)C，設於所述主機台A一側，包括一第一昇降架C1，以及受昇降架C1驅動可在Y軸向作上昇或下降之多數收納盒C2，各收納盒C2形成X軸向之兩側開口C3，並可被驅動昇降以對應第一轉換機構A4之第一活動軌架A42，並可以一推送裝置C4將容納於收納盒C2中尚未進行黏性 材料塗佈之載盤A3推入主機台A之第一活動軌架A42中被輸送進行黏性材料塗佈；一裝卸機構(Unload)D，設於所述副機台B一側，包括一第二昇降架D1，以及受昇降架D1驅動可在Y軸向作上昇或下降之多數收納盒D2，各收納盒D2形成X軸向之兩側開口D3，並可被驅動對應第二轉換機構A5之第二活動軌架A52；收納盒D2用以容納已進行黏性材料塗佈之載盤A3。

本發明實施例中，該載盤A3移載之流路由多數個獨立軌架所各形成的獨立流路所組成，包括第一固定軌架A11、第二固定軌架A21、第三固定軌架B1、第一活動軌架A42、第二活動軌架A52等軌架之構造皆大致相同，以下以設於第一固定軌架A11處之構造作說明，請參閱第五圖，第一固定軌架A11係以二相隔間距之側軌件A111形成載盤A3可輸經之第一軌道A1，二側軌件A111並以固定件A112固定及架高於主機台A上方一高度間距處，二側軌件A111相對之內側各設有受馬達構成之皮帶驅動件A113所驅動之皮帶A114，而載盤A3即置設於該二側軌件A111間之皮帶A114上方被輸送；第一軌道A1一端同時亦設有一止擋機構A115，其以一汽缸構成之止擋驅動件A116驅動之止銷A117上昇以止擋第一軌道A1中被輸送的載盤A3止於定位，或下降以令載盤A3通過；惟，另在第一固定軌架A11、第二固定軌架A21下方各設有一治具A9，其上設有一可受驅動作上、下位移之治具座A91，治具座A91上設有多數呈矩陣排列之頂座A92，各頂座A92上各設有凹設呈交叉開設之負壓槽道A93；另，載盤A3內設有多數鏤空區間A31，各鏤空區間A31四腳落處各設有定位銷A32，於鏤空區間A31處分別各置設一載片A33，其四角緣恰嵌於該等定位銷A32間獲得定位；當載盤A3恰被輸送於該第一固定軌架A11中時，所述治具A9之治具座A91將被驅動上移時，而以其上各頂座A92上表面 在被連動上昇頂觸及載片A33時，經由在負壓槽道A93通以負壓，而使載片A33在被吸附於頂座A92上表面下續令頂座A92被昇經鏤空區間A31，以使載片A33上所置設之載有晶片之基板被進行製程之施作；而當治具座A91在被驅動下降時，載有晶片及基板之載片A33在觸及定位銷A32間載盤A3時，將被留置於載盤A3上。

請參閱第六圖，膠量之量測裝置A82兩側所設之殘膠去除裝置A83，各包括一夾具A831及一容器A832，夾具A831兩夾座A833內側各設有撓性件A834，用以夾脫第四圖中第一塗佈頭A713、第二塗佈頭A723吐膠後之殘餘黏性材料，而容器A832則用以提供第一塗佈頭A713、第二塗佈頭A723將剩餘黏性材料排出容置。

請參閱第七圖，推送裝置C4包括一可藉固定件C41固設於第一昇降架C1之軌座C42，軌座C42上設有滑軌C43供一其上設有推抵件C44之移動座C45樞設，該移動座C45與一皮帶C46連動並受馬達構成之驅動件C47所驅動，可驅使移動座C45連動推抵件C44對載盤A3進行推送之操作。

請參閱第八、九圖，推移裝置B5係設有一固定座B51，在固定座B51上設有滑軌B52，並在滑軌B52之滑塊B521上設有一移動座B53，使移動座B53與一無桿氣壓缸B54上之滑塊B541連動，使一推桿B55彎設而以一端樞設於移動座B53，推桿B55與移動座B53間設有一彈性元件B551，並在無桿氣壓缸B54與滑軌B52同向之一端設有軸承構成之擋壓件B56，及在移動座B53前後位移之動路上設有第一感測件B571及第二感測件B572。

請參閱第十圖，當載盤A3欲自第三固定軌架B1輸出至收至後方第二感測件B572處，而使推桿B55觸及擋壓件B56之軸承，令推桿B55之前端下傾並壓縮彈性元件B551，使其彎設處放低供載盤A3通過；請參閱第十一圖，當載盤A3通過後，由於收納盒D2與第三固定軌架B1間有一段間 距，故載盤A3無法完全被推入收納盒D2而有部份凸伸於外部；此時推移裝置B5的移動座B53被驅動前移脫離第二感測件B572，推桿B55因脫離擋壓件B56之軸承，彈性元件B551之回復力將使推桿B55重新仰起而以前端正對應載盤A3地前進；請參閱第十二圖，推移裝置B5的移動座B53被驅動前移而以推桿B55前端推抵載盤A3進入收納盒D2，直到移動座B53觸及第一感測件B571。

本發明實施例在實施上，載盤A3由裝送機構經推送裝置C4之推送而進入第一轉換機構A4之第一活動軌架A42，在第一活動軌架A42此時恰對應第一軌道A1的情況下，第一活動軌架A42將載盤A3輸送進入操作區A6之第一固定軌架A11上；下一個載盤A3由裝送機構經推送裝置C4之推送而進入第一轉換機構A4之第一活動軌架A42時，第一活動軌架A42將受驅動件A41驅動作Y軸向位移至對應第二軌道A2，並將載盤A3輸送至操作區A6中之第二固定軌架A21上。

已先位於第一軌道A1之第一固定軌架A11上的載盤A3上基板將先被第一工作頭A612朝所述操作區間A6一端之第一操作裝置A71及第二工作頭間A622朝所述操作區間A6一端之第二操作裝置A72進行作業，所述作業包括基板位置定位、基板高度測高、基板上塗佈黏性材料之步驟，其中，基板位置定位步驟以第一取像裝置A712、第二取像裝置A722進行，基板高度測高步驟以第一檢測裝置A711、第二檢測裝置A721進行，基板上塗佈黏性材料步驟以第一塗佈頭A713第二塗佈頭A723進行；塗佈黏性材料的方法依照擬在基板上塗佈一種或兩種黏性材料而有區別，例如：塗佈一種黏性材料時：第一工作頭A612之第一操作裝置A71及第二工作頭A622之第二操作裝置A72係採同步在一載盤A3上操作基板位置定 位、基板高度測高、基板上塗佈黏性材料等三步驟之方式進行，第一操作裝置A71由載盤A3左邊側、第二操作裝置A72由載盤A3中央，二者同步向右、向下或向左位移，依所述基板位置定位、基板高度測高、基板上塗佈黏性材料等三步驟逐次進行；塗佈二種不同之黏性材料時：第一工作頭A612之第一操作裝置A71及第二工作頭A622之第二操作裝置A72係採同步在第一固定軌架A11上載盤A3上操作基板位置定位、基板高度測高後，再同步移至第二固定軌架A21上載盤A3上操作基板位置定位、基板高度測高；然後第一工作頭A612之第一操作裝置A71移至第一固定軌架A11上載盤A3上操作基板上塗佈黏性材料步驟以塗佈第一種黏性材料在載盤A3之基板上，而第二工作頭A622之第二操作裝置A72留在第二固定軌架A21之載盤A3上操作基板上塗佈黏性材料步驟以塗佈第二種黏性材料在載盤A3之基板上；完成後，第一工作頭A612之第一操作裝置A71再換移至第二固定軌架A21之載盤A3上操作塗佈第一種黏性材料在載盤A3之基板上，而第二工作頭A622之第二操作裝置A72則換移至第一固定軌架A11上載盤A3上操作塗佈第二種黏性材料在載盤A3之基板上，以交互塗佈方式進行。

第一固定軌架A11上完成基板上塗佈黏性材料步驟之載盤A3將被先輸送至第二轉換機構A5之第二活動軌架A52，並被輸送至副機台B之第三固定軌架B1進行以第二檢測裝置B4之CCD鏡頭檢測，並於完成檢測後被輸送至裝卸機構(Unload)D之收納盒D2收集，並在載盤A3進入收納盒D2時，推移裝置B5執行一推送步驟，使推桿B55於載盤A輸送經過時可落下供載盤A3經過，而載盤A3經過後可上仰對載盤A3進行推移，以推送載盤A3進入收納盒D2至定位；而完成第一固定軌架A11上載盤A3輸送至副機台B之第三固定軌架B1後，第二轉換機構A5之第二活動軌架A52亦將被驅動 位移至第二固定軌架A21承接其上輸送出之載盤A3，並將該載盤A3輸送至副機台B之第三固定軌架B1進行以第二檢測裝置B4之CCD鏡頭檢測，並於完成檢測後被輸送至裝卸機構(Unload)D之收納盒D2收集。

本發明實施例中，載盤A3所移載之流路，依載盤A3受移載順序，依序包括：第一選擇性流路，由裝送機構(Load)C之收納盒D2作Z軸向位移所構成；用以將位於收納盒D2中尚未塗佈黏性材料之載盤A3逐一輸送出收納盒；第二選擇性流路，由第一轉換機構A4之第一活動軌架A42作Y軸向位移所構成；用以將載盤A3逐一順序轉換分配至不同輸送流路；第一固定流路，由第一固定軌架A11所構成；用以使載盤A3於定位供執行基板位置定位、基板高度測高、基板上塗佈黏性材料等步驟；第二固定流路，由第二固定軌架A21所構成；用以使載盤A3於定位供執行基板位置定位、基板高度測高、基板上塗佈黏性材料等步驟；第三選擇性流路，由第二轉換機構A5之第二活動軌架A52作Y軸向位移所構成；用以將載盤A3自不同輸送流路逐一順序轉換卸移至同一輸送流路；第三固定流路，由副機台B之第三固定軌架B1所構成；用以使完成黏性材料塗佈之載盤A3於定位供執行檢測；第四選擇性流路，由裝卸機構(Unload)D之收納盒D2作Z軸向位移所構成；用以將已塗佈黏性材料之載盤A3逐一承收於收納盒。

本發明實施例之載盤搬送方法及裝置，由於在載盤A3的流路規劃上，使在單純的裝送機構(Load)C與裝卸機構(Unload)D間的載盤A3上基板塗佈黏性材料作業可以更具效率，使載盤A3收納更確實而減少產線故 障停滯，使黏性材料塗佈效率及產能之因應能力更為提昇，亦助於操作機構之統整管理與操控。

惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及發明說明內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。

Claims (12)

1. 一種載盤搬送裝置，包括：一主機台，其上設置可供一載盤於其中作定位或作輸送位移的軌道；所述軌道位於一操作區間；在軌道上方設有一操作裝置；一裝送機構，設於所述主機台一側，所述載盤經由裝送機構而輸送至操作區間的軌道受操作裝置進行加工，該裝送機構包括一第一昇降架，以及受昇降架驅動可作上昇或下降之一收納盒，收納盒形成兩側開口，並可被驅動昇降以一推送裝置將容納於收納盒中尚未進行加工之載盤推入主機台中被進行加工；一裝卸機構，包括一第二昇降架，以及受昇降架驅動可作上昇或下降之收納盒，收納盒形成兩側開口，並可用以容納已完成加工之載盤。
2. 如申請專利範圍第1項所述載盤搬送裝置，其中，該推送裝置包括一可藉固定件固設於第一昇降架之軌座，軌座上設有滑軌供一其上設有推抵件之移動座樞設，該移動座與一皮帶連動並受馬達構成之驅動件所驅動，可驅使移動座連動推抵件對載盤進行推送之操作。
3. 如申請專利範圍第1項所述載盤搬送裝置，其中，該操作裝置設有用以進行黏性材料塗佈的膠閥。
4. 如申請專利範圍第1項所述載盤搬送裝置，其中，該軌道作為載盤輸送排出的一端設有一推移裝置，載盤受推移裝置之推送以進入裝卸機構的收納盒。
5. 如申請專利範圍第4項所述載盤搬送裝置，其中，該推移裝置包括一固定座，在固定座上設有滑軌，並在滑軌之滑塊上設有一移動座，使移動座與一氣壓缸上之滑塊連動，使一推桿以一端樞設於移動座，推桿與 移動座間設有一彈性元件，並在氣壓缸與滑軌同向之一端設有擋壓件，及在移動座前後位移之動路上設有第一感測件及第二感測件。
6. 如申請專利範圍第1項所述載盤搬送裝置，其中，該軌道處設有一治具，該治具設有一可受驅動作上、下位移之治具座，治具座上設有多數頂座，各頂座上設有負壓槽道。
7. 如申請專利範圍第1項所述載盤搬送裝置，其中，該軌道以二相隔間距之側軌件形成載盤可輸經之軌道，二側軌件相對之內側設有受驅動件所驅動之皮帶，載盤於該二側軌件間之皮帶被輸送。
8. 如申請專利範圍第1項所述載盤搬送裝置，其中，該軌道設有一止擋機構以止擋被輸送的載盤止於定位或令載盤通過。
9. 一種載盤搬送方法，使用如申請專利範圍第4項所述載盤搬送裝置，當載盤欲自軌架輸出至裝卸機構的收納盒時，使載盤通過軌架後，未完全被推入收納盒而有部份凸伸於外部，並藉由推移裝置將載盤推抵進入收納盒。
10. 如申請專利範圍第9項所述載盤搬送方法，其中，該推移裝置位於軌架中一推桿之前端下傾，使其放低供載盤通過；當載盤通過後，推桿重新仰起而以前端正對應載盤地前進，而以推桿前端推抵載盤進入收納盒。
11. 如申請專利範圍第10項所述載盤搬送方法，其中，該推桿因受驅動後移至觸及一擋壓件而使前端下傾，因前移至脫離擋壓件而受一彈性元件之回復力使推桿重新仰起。
12. 一種載盤搬送裝置，包括：用以執行如申請專利範圍第9至11項所述載盤搬送方法之裝置。