TWI624194B - Ion generator - Google Patents

Abstract

本發明提供之離子發生器係在離子發生器主體內部呈一體地設置有電位感測器，能夠不受放電電極與對置電極之間的電場之影響，而利用電位感測器測定從被除電部件到達電位感測器之電場；在由放電電極和對置電極構成之放電部與電位感測器之間，設置有從主體部突出之靜電凸緣。

Description

離子發生器

本發明係有關於離子發生器，該離子發生器將藉由電暈放電而產生的正或負的空氣離子噴吹於被除電部件上，從而中和該被除電部件的電荷，特別係有關於一種呈一體地構成有電位感測器的離子發生器。

在將帶有靜電的帶電體作為被除電部件的情況下，為了對被除電部件噴吹空氣離子而將被除電部件除電，而使用也被稱為電離器或除電裝置之離子發生器。進行電子元件的製造或組裝的生產線上所使用之離子發生器，係為了在電子元件或製造裝配夾具等被作為被除電部件時將該被除電部件所帶有的靜電除去而被使用。透過對被除電部件噴吹空氣離子，能夠防止由於靜電而導致異物附著於電子元件等、或電子元件因靜電而被破壞、或異物附著於夾具上之情況。

另外，用於測定被除電部件電位之電位感測器也為習知(例如參照JP2012-242094A、JP2010-85393A)。當將上述電位感測器與離子發生器一同使用時，能夠一邊確認除電期間的被除電部件的狀態一邊進行除電作業。這種 電位感測器係與離子發生器分離設置或安裝於外部而進行使用，並不存在呈一體地構成於離子發生器主體內部之電位感測器。

在離子發生器主體內部呈一體地設置有電位感測器的情況下，與分離設置電位感測器時相比較，能夠縮小總的設置空間。但是，當希望盡可能縮小離子發生器的主體外形尺寸時，會將放電電極和對置電極配置成接近電位感測器。於是，被施加高電壓的放電電極與對置電極之間所產生之電場的一部分也會到達電位感測器，且該電場與從被除電部件到達電位感測器的電場重疊而形成雜訊，從而存在無法正確掌握被除電部件的電位狀態之可能性。

本發明係鑒於上述情況而達成，其目的係在於提供一種離子發生器，該離子發生器在主體內部呈一體地設置有電位感測器，能夠不受放電電極與對置電極之間的電場的影響，而利用電位感測器測定從被除電部件到達電位感測器的電場。

為解決上述課題，本發明的離子發生器具備放電電極、對置電極、以及設有放電電極和對置電極之主體部，並且，該離子發生器向被除電部件輸送透過對所述放電電極和所述對置電極之間施加高電壓而產生之空氣離子，該離子發生器的特徵在於，在所述主體部上，呈一體地設置有測定所述被除電部件之電位之電位感測器，在由所述 放電電極和所述對置電極構成之放電部與所述電位感測器之間，設置有從所述主體部突出的靜電凸緣。

另外，所述放電部和所述電位感測器的開口孔在前後方向上配置於相同位置處。

另外，也可以將所述靜電凸緣的長度形成為距離所述電位感測器的開口孔為8mm~10mm。

進而，也可以將從所述靜電凸緣至所述電位感測器的開口孔之距離形成為2mm以下。

另外，進而也可以將吹氣口形成為較長，並且，沿著所述吹氣口的長度方向隔開間隔而配置有多個所述放電電極，在任意一個所述放電電極與所述開口孔之間均存在有所述靜電凸緣。

(發明功效)

在本發明涉及之離子發生器中，由於在所述主體部上呈一體地設置有測定所述被除電部件之電位之電位感測器，並且，在由所述放電電極和所述對置電極構成之放電部與所述電位感測器之間，設有從所述主體部突出之靜電凸緣，因此，利用靜電凸緣將被施加了高電壓的放電電極和對置電極之間所產生之電場的一部分進行靜電屏蔽。 藉此，能夠抑制雜訊重疊於電位感測器所測定之訊號上，從而能夠更正確地掌握被除電部件之狀態。

1‧‧‧離子發生器

10‧‧‧主體部

11‧‧‧吹氣口

12‧‧‧放電電極單元安裝部

13‧‧‧供給空氣室

13A‧‧‧空氣供給口

13B‧‧‧管子

14‧‧‧頂蓋

15‧‧‧空氣流道

15A‧‧‧入口

16‧‧‧空氣噴出口

17‧‧‧導流凸緣

18‧‧‧電位感測器單元收容部

18A‧‧‧檢測用孔

20‧‧‧放電電極單元

21‧‧‧放電電極

22‧‧‧開口部

23‧‧‧對置電極

23A‧‧‧切口部

24‧‧‧供給空氣通道

25‧‧‧間隙

26‧‧‧分離部

27‧‧‧電源纜線

40‧‧‧電位感測器單元

41‧‧‧電位感測器

43‧‧‧靜電屏蔽板

43A‧‧‧靜電凸緣

111‧‧‧電路板

113‧‧‧開口孔

114‧‧‧檢測電極

114a‧‧‧凸緣部

114b‧‧‧立腳部

114c‧‧‧電極部

115‧‧‧固定調節板

116‧‧‧主體部

117‧‧‧側壁部

118‧‧‧端壁部

119‧‧‧開口槽

121‧‧‧可動調節板

122‧‧‧固定端部

123‧‧‧腳片

124‧‧‧臂部

125‧‧‧主體部

126‧‧‧端壁

127‧‧‧磁鐵

128‧‧‧磁軛

128a、128b‧‧‧磁極面

129a、129b‧‧‧線圈

131‧‧‧主槽

132‧‧‧副槽

281‧‧‧線圈架

P‧‧‧除電部件

S1‧‧‧靜電凸緣朝向前方突出之長度

S2‧‧‧靜電凸緣與開口孔之間的距離

L‧‧‧離子發生器之縱深尺寸

圖1係從正面觀察本發明實施方式之離子發生器之整體立體圖。

圖2係從背面觀察圖1所示離子發生器之整體立體圖。

圖3係圖1和圖2所示之離子發生器之主視圖。

圖4係圖1至圖3所示之離子發生器之俯視圖。

圖5係圖1至圖3所示之離子發生器之後視圖。

圖6係單獨顯示放電電極單元之立體圖。

圖7係圖1所示之離子發生器之7-7剖視圖。

圖8係圖3中以X顯示之部分之放大圖。

圖9係圖8所示部分之立體圖。

圖10係顯示電位感測器之整體結構之立體圖。

圖11係顯示電位感測器之結構之俯視圖。

圖12係圖11之電位感測器之正面剖視圖，係顯示以圖11中箭頭線12-12切斷後之狀態的圖。

圖13係圖11之電位感測器之側面剖視圖，係顯示以圖11中箭頭線13-13切斷後之狀態的圖。

圖14係顯示在圖11之電位感測器中去除靜電屏蔽板後之狀態之俯視圖。

圖15係顯示在圖11之電位感測器中去除靜電屏蔽板後之狀態之側視圖。

圖16係顯示靜電凸緣的位置與長度之關係的圖。

圖17係顯示靜電凸緣的長度與雜訊電壓之關係之曲線圖。

圖18係顯示靜電凸緣的長度與訊號電壓之關係之曲線圖。

以下，結合圖式對本發明實施方式涉及之離子發生器進行詳細說明。另外，以下說明中所使用的上下方向、左右方向(幅度方向)、縱深方向，係指將圖1的面前側作為正面(外側)並從該正面側觀察之方向。另外，在以下所載之實施方式中，作為離子發生器的一例，對將所產生之空氣離子從扁長(長方形)吹氣口噴吹出之寬型(wide type)產品進行說明。

如圖1至圖5所示，離子發生器1由構成外廓的主體部10、從該主體部10的吹氣口11以能夠安裝拆卸之方式安裝的放電電極單元20(參照圖6)、以及收容於主體部10內的電位感測器單元40構成。

主體部10形成為長度方向沿著左右方向延伸的略長方體形狀。如圖1、圖3、圖4及圖7所示，在各圖的面前側的前面上部上，形成有沿主體部10的長度方向呈扁長地延伸的吹氣口11。

在主體部10的內部、且該吹氣口11的後方，形成有如圖7所示朝向縱深方向凹陷的放電電極單元安裝部12。該放電電極單元安裝部12具有與吹氣口11相同的寬度，且凹陷形成為方形形狀，以使略長方體形狀的放電電極單元20(參照圖6)之整體嵌入其中。

另外，如圖7所示，在放電電極單元安裝部12的更後方設有供給空氣室13。該供給空氣室13形成為橫亙吹氣口11的左右方向的全長。如圖1~圖5所示，噴出空氣(從壓縮機供給至離子發生器1內之空氣)經由管子13B從設置於主體部10左側部的空氣供給口13A被供給至該供給空氣室13中。

如圖7~圖9所示，在供給空氣室13的前側上部中，設有從供給空氣室13內連通至放電電極單元安裝部12後部的呈方孔或圓孔形狀的空氣噴出口16。如圖8和圖9所示，具體而言在後述各放電電極21的左右下側各設置有兩個該空氣噴出口16。噴出空氣在被該空氣噴出口16彙集壓縮之狀態下以高速向前方噴出。

另外，如圖7所示，在空氣噴出口16的上部，設有將空氣噴出口16的前方上側覆蓋的導流凸緣17。該導流凸緣17用於提高從空氣噴出口16噴出的噴出空氣的直線性。

另外，在主體部10內部的上部、且在供給空氣室13和放電電極單元安裝部12的上方(詳細而言是隔著後述放電電極21與對置電極23相對的一側)，設有頂蓋14。

如圖1~圖3、圖5及圖7所示，在該頂蓋14與供給空氣室13及放電電極單元安裝部12之間，形成有空氣流道15。該空氣流道15從主體部10的後面貫通至前面，且形成為與上述導流凸緣17引導噴出空氣的方向呈略平行 的流道。即，從空氣噴出口16噴出的噴出空氣流的方向與從空氣流道15流入的外部空氣(由於噴出空氣的流動而被從離子發生器1的周圍捲入的空氣)的流動方向相同。

另外，如圖2、圖5及圖7所示，透過將上述供給空氣室13的上部形成為曲面狀，而將空氣流道15的背面側的入口15A擴張開。藉此，容易將處於離子發生器1後方的外部空氣吸入空氣流道15內。

另一方面，如圖6所示，在放電電極單元20中沿著左右方向(寬度方向)隔開間隔排列配置有多個(圖6中為四個)放電電極21。該放電電極21形成為細線狀或針狀，且朝向面前側的吹氣口11呈直線狀延伸。另外，在放電電極單元20的頂面上，與各個放電電極21的位置相對應而形成有開口部22。各個放電電極21經由該開口部22從放電電極單元20的頂面以正面露出。

如圖1、圖3、圖6~圖9所示，在放電電極單元20的前面側上安裝有對置電極23。該對置電極23由具有導電性的金屬板形成，且在放電電極單元20的左右的整個長度方向上呈一體地形成為板狀。

如圖3、圖6、圖8及圖9所示，從吹氣口11側觀察(從離子發生器1的正面側觀察)，該對置電極23僅設置在各放電電極21的中心的下側，而未設置在中心的上側。另外，在對置電極23中，在與各放電電極21對應的位置上，形成有以放電電極21為中心的略半圓形的切口部23A。即，從正面側觀察時，放電電極21的外周的下側部 分被配置為與該略半圓形的切口部23A之間空開間隙25。

另外，如圖7所示，在放電電極單元20的內部，形成有從空氣噴出口16的前側朝向間隙25流動噴出空氣的供給空氣通道24。藉此，所供給的噴出空氣經由供給空氣通道24被送往間隙25中。

另外，在將放電電極單元20組裝於主體部10內的狀態下，如圖7所示，在從導流凸緣17的前側前端部至供給空氣通道24後端部之間的前後方向上設有分離部26。 從空氣噴出口16噴出的噴出空氣在上述供給空氣通道24中以高速進行流動，而在該分離部26和開口部22中，以高速進行流動的噴出空氣與處於空氣流道15內的外部空氣接觸。

另外，在離子發生器1中，電源經由電源纜線27(參照圖1)從外部電源供給，並對組裝後的放電電極單元20內部的放電電極21和對置電極23這兩電極之間施加高電壓。藉此，發生電暈放電而產生空氣離子。關於用以供給該電源的內部配線構造和電路結構等(未圖示)，省略其詳細說明。

另一方面，如圖7所示，在主體部10內部的下側、且供給空氣室13和放電電極單元安裝部12的下方，設有電位感測器單元收容部18。該電位感測器單元收容部18設置在離子發生器1的左右方向的全長上。另外，在電位感測器單元收容部18的前側壁部中，形成有與該電位感測器單元收容部18連通的檢測用孔18A。安裝於該電位感 測器單元收容部18中的電位感測器單元40，用以測定與吹氣口11相對配置的被除電部件P的電位，並確認被除電部件P的除電狀態。

電位感測器單元40由電位感測器41和對該電位感測器41供給電源的電源部(未圖示)構成，電位感測器41和電源部被安裝於電位感測器單元收容部18的內部。

如圖10所示，電位感測器41由裝配有檢測電極114(參照圖12)等的電路板111、和安裝於該電路板111上的靜電屏蔽板43構成。電路板111的長度方向為沿著離子發生器1的主體部10的左右方向，在電路板111的一部分上構成電位感測器41。另外，圖11至圖15中所示的電路板111已示出了這一部分，其它部分則省略。

靜電屏蔽板43上形成有矩形的開口孔113。如圖11所示，開口孔113係以使後述主槽131全部露出於外部(呈能夠從外部以肉眼確認)之方式將靜電屏蔽板43開槽而形成。另外，該開口孔113係在電位感測器單元40已安裝於電位感測器單元收容部18中的狀態下與上述電位感測器單元收容部18的檢測用孔18A之位置對應而進行安裝的。

如圖10至圖12所示，在靜電屏蔽板43的上端部上設有靜電凸緣43A。該靜電凸緣43A設置在靜電屏蔽板43的左右方向的全長上，並且以朝向離子發生器1的前方突出之狀態設置。另外，有關靜電凸緣43A的詳細情況，之後進行敘述。

如圖11至圖13所示，在電路板111上安裝有檢測電極114。檢測電極114設置成：其凸緣部114a固定於電路板111上，從凸緣部114a進一步延伸的立腳部114b呈略垂直於底板111，從立腳部114b的突出端部進一步延伸的電極部114c與電路板111平行。並且，該電極部114c被安裝為與開口孔113相對。另外，檢測電極114係構成檢測電路(省略圖示)的要素之一，該檢測電極114中至少電極部114c能夠在與帶電物體之間形成電場。

另外，在電路板111上，以將檢測電極114覆蓋之方式安裝有由導電性材料構成的固定調節板115。該固定調節板115的主體部116設置成與檢測電極114的電極部114c呈平行，該主體部116設置成略長方形狀。另外，在固定調節板115中，相對於主體部116分別呈直角彎曲的側壁部117和端壁部118與主體部116呈一體地設置。如圖12所示，透過將側壁部117的前端部插入形成於電路板111上的安裝孔中，而將固定調節板115安裝於電路板111上。

另外，在固定調節板115的主體部116中，形成有沿靜電屏蔽板43的長度方向(左右方向)延伸的開口槽119。開口槽119沿主體部116的寬度方向(上下方向)相隔一定的間距而形成有五個。

如圖12至圖15所示，在電路板111上設有可動調節板121。該可動調節板121以將固定調節板115覆蓋之方式設置於電路板111上。即，可動調節板121設置於固定調節板115的外側。該可動調節板121，透過使後述槽131、 132相對於固定調節板115的開口槽119在全開位置(完全打開位置)和遮斷位置進行對位，從而使帶電物體與檢測電極114(電極部114c)之間形成的電場能夠變化。

另外，在本說明書中，“全開位置”係指開口槽119的長度方向(左右方向)上的中心線(省略圖示)、與後述槽131、132的長度方向(左右方向)上的中心線(省略圖示)，在圖12及其他圖的前後方向上均位於同一條線上的情況。

另外，在本說明書中，“遮斷位置”係指開口槽119的長度方向(左右方向)上的中心線、與存在於後述兩個主槽131之間的遮蔽部(省略符號)的長度方向(左右方向)上的中心線或存在於主槽131與副槽132之間的遮蔽部(省略符號)的長度方向(左右方向)上的中心線(省略圖示)，在圖12及其他圖的前後方向上均位於同一條線上的情況。

上述的可動調節板121由具有導電性的材料形成，且在開關方向(上下方向)上自由往返移動。另外，可動調節板121具有被固定於電路板111的固定端部122，並且，在固定端部122的兩側上呈一體地設置有腳片123。 透過將腳片123插入形成於電路板111上的安裝孔中，從而將可動調節板121的固定端部122安裝於電路板111上。

在固定端部122的各腳片123上，呈一體地設置有朝向電路板111的長度方向(左右方向)一端側(右側)延伸的臂部124。如圖14所示，在本實施方式中，以 隔開規定間隔的狀態設置有兩個臂部124，該臂部124係由柔性的板狀部件構成。在該臂部124的前端呈一體地設置有主體部125。

如圖12和圖13所示，固定調節板115的主體部116以將檢測電極114覆蓋之方式配置在檢測電極114的外側，且在固定調節板115的外側配置有可動調節板121的主體部125。而且，主體部125經由開口孔113而露出於外部。可動調節板121透過使主體部125如箭頭N所示在開關方向(該方向對應於上下方向，係電路板111和開口槽119的寬度方向)上往返移動，而將開口槽119打開或關閉。

另外，固定調節板115中至少主體部116被接地，並且，可動調節板121中至少主體部125也被接地。

為了驅動可動調節板121進行打開或關閉動作，如圖13和圖14所示，在與主體部125呈一體地設置的端壁126上，安裝有作為磁性體的磁鐵127。在電路板111的一端側(右側)上安裝有圖14中以實線和虛線所示的U字形的磁軛128，在磁軛128上藉由線圈架281捲繞有一對線圈129a、129b。線圈129a、129b連接於未圖示的電源單元，從電源單元對線圈129a、129b分別施加使處於線圈129a、129b中的各磁軛在左右方向上形成相互反向磁場這一方向的交流電流。藉此，磁鐵127在與一磁極面128a對置的位置和與另一磁極面128b對置的位置之間移動。如此，利用捲繞於磁軛128的線圈129a、129b和磁鐵127，形成驅動可 動調節板121沿往返移動方向N進行打開或關閉動作的驅動機構。

在可動調節板121的主體部125中形成有五個主槽131，以與固定調節板115上所形成的五個開口槽119對應。各主槽131在沿著開口槽119的方向(左右方向)上延伸。相鄰的主槽131彼此之間在往返移動方向N上具有一定的間距，該間距與開口槽119的間距相同。

當可動調節板121進行往返振動時，主槽131能夠在上述的全開位置和遮斷位置之間切換上下方向上的位置。

圖12顯示可動調節板121處於中立位置(中央位置)的狀態，此時五個主槽131都呈與開口槽119對置的狀態。在位於往返移動方向N(上下方向)的兩端部的主槽131的外側，各形成一個副槽132，各副槽132的形狀與主槽131相同。五個主槽131中的位於往返移動方向N兩端部的各主槽131與各副槽132之間的間距，設定為與主槽131相互間的間距相同。

在可動調節板121中，五個主槽131和兩個副槽132分別形成同一形狀，上述七個槽131、132與形成於固定調節板115上的開口槽119呈同一形狀。藉此，當可動調節板121進行往返移動時，副槽132能夠位於與開口槽119相對的全開位置、和不與開口槽119相對而偏離開關方向來屏蔽電場的遮斷位置。

如此，在位於往返移動方向N兩端部的兩個主 槽131的外側、也就是往返移動方向N的延長方向上，各形成有一個副槽132。因此，在驅動可動調節板121進行一週期移動的期間內，可動調節板121使固定調節板115的五個開口槽119分別進行四次打開呈全開狀態和四次關閉呈遮斷狀態，其中，上述一週期移動係指可動調節板121在從圖12所示的中立位置移動至圖12中上方的往返移動端之後，再移動至下方的往返移動端的位置，然後進一步返回至中立位置為止。即，以驅動可動調節板121的頻率四倍的頻率，來執行使開口槽119呈全開狀態或遮斷狀態的開關動作。

檢測電極114上連接有電流檢測電路，在經由開口孔113使檢測電極114與帶電物體相對的狀態下，對線圈129a、129b施加例如600Hz~800Hz的交流電而使可動調節板121往返振動。於是，在可動調節板121往返移動一個週期的期間以驅動頻率四倍的頻率來開關固定調節板115的開口槽119，在該週期內，在檢測電極114與帶電物體之間形成電場的變化，從而在檢測電極114中產生交流電壓。

接下來，對靜電屏蔽板43上所設置的靜電凸緣43A進行說明。

在呈一體地搭載有電位感測器41的離子發生器1中，透過對被除電部件P噴吹所產生的空氣離子來進行除電，同時，透過利用電位感測器41測定被除電部件的表面電位而能夠掌握除電情況。即，在呈同一框體的一體化結構的情況下，相比形成分離結構(分體式)的情況更 容易使用。

但是，需要使空氣離子的吹氣口11和電位感測器41兩者均與被除電部件P相對置。另外，為了使主體部10小型化，而使放電部(放電電極21和對置電極23)與電位感測器41的開口孔113以位於同一平面的方式設置於主體部10的前面。於是，不僅來自被除電部件P的電場到達電位感測器41中，而且放電電極21和對置電極23之間的電場的漏洩成分也到達電位感測器41中，從而形成雜訊。因此，透過在設置於主體部10的同一面上的吹氣口11和電位感測器41的開口孔113之間突出設置有金屬制的靜電凸緣43A，而進行靜電屏蔽。

該靜電凸緣43A的朝向前方突出的長度S1，影響電位感測器41的雜訊電壓和訊號電壓。在圖17的曲線圖中，將靜電凸緣43A的長度S1為0mm時的雜訊電壓設為Vn0，並表示靜電凸緣43A的長度S1、和雜訊電壓Vn相對於Vn0的比(Vn/Vn0)。將靜電凸緣43A與開口孔113之間的距離S2(2mm、4mm、6mm、10mm)作為參數。結果發現：Vn/Vn0並不怎麼依賴於靜電凸緣43A與開口孔113之間的距離S2，而是呈靜電凸緣43A的長度S1越長則Vn/Vn0越發減小的情況。在將靜電凸緣43A的長度S1設定為8mm或10mm的情況下，Vn/Vn0減少35%或50%。

另外，在圖18的曲線圖中，將靜電凸緣43A的長度S1為0mm時的訊號電壓設為Vs0，並表示靜電凸緣43A的長度S1、和訊號電壓Vs相對於Vs0的比(Vs/Vs0)。 將靜電凸緣43A與開口孔113之間的距離S2(2mm、4mm、6mm、10mm)作為參數。在靜電凸緣43A與開口孔113之間的距離S2短至2mm的情況下，與距離S2為10mm時相比較，訊號減少20%左右。

另外，靜電凸緣43A的左右方向的長度確保為下述長度：即，在沿著吹氣口11長度方向隔開間隔而配置的多個放電電極21中的每一個放電電極21與開口孔113之間均存在有靜電凸緣43A。靜電凸緣43A的長度S1與靜電凸緣43A和開口孔113之間的距離S2的關係如下。

當將靜電凸緣43A的長度S1從0mm變長至10mm時，感測器訊號的衰減至多為0%到20%左右(距離S2=2mm)，相對於此，雜訊電壓的衰減為30%(距離S2=10mm)到50%(距離S2=2mm)。即，相對於感測器訊號幾乎未衰減的情況，雜訊電壓的衰減大。特別是，在使靜電凸緣43A與開口孔113之間的距離S2接近2mm左右、且使靜電凸緣43A的長度S1為10mm的情況下，相對於感測器訊號的衰減為20%左右而雜訊電壓的衰減為50%左右，S/N比為0.5÷0.8=0.65、即改善了35%。

根據本發明實施方式涉及之離子發生器，由於在主體部10上呈一體地設置有測定被除電部件P電位的電位感測器41，並在由放電電極21和對置電極23構成之放電部與電位感測器41之間設置有從主體部10突出的靜電凸緣43A，因此，利用靜電凸緣43A將被施加了高電壓的放電電極21和對置電極23之間所產生之電場的一部分進行靜 電屏蔽。藉此，能夠抑制雜訊重疊於電位感測器41所測定的數據上，從而更正確地掌握被除電部件P的狀態。

另外，由於由放電電極21和對置電極23構成之放電部與電位感測器41的開口孔113在前後方向上被配置於相同位置，因此，能夠使離子發生器1的縱深尺寸L(參照圖7)變小，從而能夠設計更小型的離子發生器1。

另外，由於將靜電凸緣43A的長度S1形成為距離電位感測器41的開口孔113為8mm~10mm，因此，與未設置靜電凸緣43A時的雜訊電壓Vn0相比較，能夠使雜訊電壓Vn相對於Vn0的比Vn/Vn0減少35%~50%。

進而，由於將從靜電凸緣43A至開口孔113的距離S2形成為2mm以下，因此能夠將訊號電壓Vs相對於Vs0的比Vs/Vs0的減少抑制在20%左右。

另外，進而將吹氣口11形成為較長，並且，在沿著吹氣口11的長度方向上隔開間隔而配置有多個放電電極21，且在任意一個放電電極21與開口孔113之間均存在有靜電凸緣43A，因此，對於呈扁長地進行噴吹的離子發生器1，也能夠有效地抑制雜訊的產生。

以上，對本發明實施方式涉及之離子發生器進行了敘述，但本發明並不限於前文所述之實施方式，根據本發明之技術思想能夠進行各種變形和變更。

例如，本實施方式中記載了在長度方向上設置有多個放電電極21的離子發生器1，但是也可以使用於只設置有一個放電電極21的離子發生器(定點地噴吹空氣離 子的離子發生器)。

Claims (5)

1. 一種離子發生器，其向被除電部件輸送透過對由放電電極和對置電極構成之放電部施加高電壓而產生之空氣離子，所述離子發生器之特徵在於，具備：電位感測器，其測定所述被除電部件之電位，且呈一體地設置於主體部，突出靜電屏蔽板，其在所述放電部與所述電位感測器之間從所述主體部突出。
2. 如申請專利範圍第1項所述之離子發生器，其中，所述突出靜電屏蔽板的突出長度係形成為8mm~10mm。
3. 如申請專利範圍第2項所述之離子發生器，其中，從所述突出靜電屏蔽板至所述電位感測器的開口孔之距離，係形成為2mm以下。
4. 如申請專利範圍第3項所述之離子發生器，其中，在所述主體部上形成有噴吹所述空氣離子的吹氣口，所述放電電極沿著所述吹氣口隔開間隔而配置有多個，在任意一個所述放電電極與所述開口孔之間均存在有所述突出靜電屏蔽板。
5. 如申請專利範圍第4項所述之離子發生器，其中，在所述電位感測器上形成有將來自所述被除電部件的電場導入的開口孔，所述吹氣口和所述開口孔配置於所述主體部的同一面上。