TWI589502B - 隔熱壁體之製造方法以及隔熱壁體 - Google Patents

隔熱壁體之製造方法以及隔熱壁體 Download PDF

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TWI589502B
TWI589502B TW102137420A TW102137420A TWI589502B TW I589502 B TWI589502 B TW I589502B TW 102137420 A TW102137420 A TW 102137420A TW 102137420 A TW102137420 A TW 102137420A TW I589502 B TWI589502 B TW I589502B
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小林誠
山賀健一
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東京威力科創股份有限公司
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Description

隔熱壁體之製造方法以及隔熱壁體
本揭示係關於一種隔熱壁體之製造方法以及隔熱壁體。
例如，於半導體裝置之製造中，係對於被處理體之半導體晶圓施以成膜處理、氧化處理、擴散處理、退火處理、蝕刻處理等處理。當施行如此之處理之際，一般而言，係使用具有收容被處理體之處理室、以及配置於處理室周圍之加熱器裝置的熱處理裝置。
在加熱器裝置之一例方面，已揭示了一種加熱器裝置，其具備有圓筒形狀隔熱壁體(覆蓋處理室全體)以及電阻發熱體(設置於隔熱壁體內周)，並於隔熱壁體形成有用以收納電阻發熱體之複數溝槽部(例如參見日本特開2007-88325號)。
本揭示之隔熱壁體之製造方法，所製造之隔熱壁體具有由第1側壁、第2側壁以及溝槽底所形成之溝槽部；包括下述製程：使得隔熱材材料分散於水系介質中進行混合而成為漿料狀之製程；在所得之漿料狀之該隔熱材材料處，抵接上具有通氣孔、且具有對應於該溝槽部形狀之表面的成形用模具，經由該通氣孔將漿料狀之該隔熱材材料加以脫水之製程；以及藉由從該隔熱材材料將該成形用模具加以脫模具，以製造該溝槽部之深度為一定、該溝槽底之寬度在該溝槽部之長度方向上產生變化之隔熱壁體之製程。
上述簡單說明僅用於說明起見，不論何種方式均未意圖制限本發明。除了上述說明之樣態、實施例以及特徵，關於追加性樣態、實施例以及特徵應可參見圖式以及以下之詳細說明而更為明確。
10‧‧‧漿料
12‧‧‧成形用模具
14‧‧‧溝槽部
16‧‧‧隔熱壁體
18‧‧‧電阻發熱體
20‧‧‧外突部
22‧‧‧第1面
24‧‧‧第2面
26‧‧‧第3面
28‧‧‧第4面
30‧‧‧加熱器裝置
32‧‧‧被加熱對象物
34‧‧‧第1端面
36‧‧‧第2端面
圖1(a)以及1(b)係用以說明利用以往吸引成型法之隔熱壁體之製造方法的概略圖。
圖2係本實施形態之隔熱壁體之製造方法一例之流程圖。
圖3係第1實施形態之隔熱壁體一例之概略圖。
圖4係第2實施形態之隔熱壁體一例之概略圖。
圖5(a)以及圖5(b)係用以說明具有第2實施形態之隔熱壁體的加熱器裝置效果之圖。
圖6(a)至圖6(g)係用以說明本實施形態之隔熱壁體形狀之概略圖。
圖7(a)至圖7(c)係第3實施形態之隔熱壁體一例之概略圖。
圖8(a)至圖8(c)係第3實施形態之隔熱壁體之其他例之概略圖。
圖9(a)至圖9(c)係第3實施形態之隔熱壁體之其他例之概略圖。
以下之詳細說明中，係參見成為說明書一部分之所附圖式。詳細說明、圖式以及請求項所記載之說明性實施例並非意圖用來限制本發明。在不超脫此處所示本揭示之思想或是範圍的前提下，可使用其他實施例或是進行其他變形。
但是，日本特開2007-88325號所記載之加熱器裝置之隔熱壁體係使得具有溝槽部之圓筒形狀隔熱塊在軸向上複數重疊形成。是以，製造隔熱壁體花費非常的工夫與時間。
本揭示之課題在於提供一種可高經濟性製造隔熱壁體之隔熱壁體之製造方法。
本揭示之一態樣係一種隔熱壁體之製造方法，該隔熱壁體具有由第1側壁、第2側壁以及溝槽底所形成之溝槽部；包括下述製程：使得隔熱材材料分散於水系介質中進行混合而成為漿料狀之製程； 在所得之漿料狀之該隔熱材材料處，抵接上具有通氣孔、且具有對應於該溝槽部形狀之表面的成形用模具，經由該通氣孔將漿料狀之該隔熱材材料加以脫水之製程；以及藉由從該隔熱材材料將該成形用模具加以脫模具，以製造該溝槽部之深度為一定、該溝槽底之寬度在該溝槽部之長度方向上產生變化之隔熱壁體之製程。
於上述之製造方法中，該隔熱壁體為板狀；於製造該隔熱壁體之製程中，包含：將該成形用模具從該隔熱材材料往該溝槽部之長度方向進行脫模具之製程。
於上述之製造方法中，該溝槽底之寬度係朝脫模具之方向形成擴張。
上述之製造方法中，該第1側壁與該溝槽底所呈角度以及/或是該第2側壁與該溝槽底所呈角度係在脫模具方向上產生變化。
上述之製造方法中，該隔熱壁體為半圓筒形狀；於製造該隔熱壁體之製程中，包含：將該成形用模具從該隔熱材材料往該隔熱材之徑向且為該隔熱壁體之直徑方向的垂直方向上進行脫模具之製程。
上述之製造方法中，該溝槽底之寬度係從該隔熱壁體之圓周方向中央部往該隔熱壁體之端面逐漸變大。
上述之製造方法中，該第1側壁與該第2側壁之間隔係朝該脫模具之方向且為離開該溝槽底之方向上形成擴張。
上述之製造方法中，該第1側壁與該溝槽底所呈角度以及/或是該第2側壁與該溝槽底所呈角度係從該隔熱壁體之圓周方向中央部朝該隔熱壁體之端面逐漸變化。
上述之製造方法中，該第1側壁與該溝槽底所呈角度以及/或是該第2側壁與該溝槽底所呈角度大於90度。
上述之製造方法中，該第1側壁與該溝槽底所形成之角部以及/或是該第2側壁與該溝槽底所形成之角部係受到R去角或是C去角。
本揭示之其他態樣係一種隔熱壁體，具有溝槽部；該溝槽部係由第1側壁、第2側壁以及溝槽底所形成；該溝槽部之深度為一定；該溝槽部之溝槽底寬度係於該溝槽部之長度方向上產生變化。
上述隔熱壁體中，該隔熱壁體為板狀；該第1側壁與該溝槽底所呈角度以及/或是該第2側壁與該溝槽底所呈角度係於該溝槽部之長度方向上產生變化。
上述隔熱壁體中，該隔熱壁體為半圓筒形狀，該溝槽底之寬度從該隔熱壁體之圓周方向中央部往該隔熱壁體之端面逐漸變大。
上述隔熱壁體中，該第1側壁與該第2側壁之間隔係朝與該端面為垂直之方向且為離開該溝槽底之方向形成擴張。
上述隔熱壁體中，該第1側壁與該溝槽底所呈角度以及/或是該第2側壁與該溝槽底所呈角度大於90度。
上述隔熱壁體中，由該第1側壁與該溝槽底所形成之角部以及/或是由該第2側壁與該溝槽底所形成之角部係受到R去角或是C去角。
本揭示之又一其他態樣係一種圓筒形狀之隔熱壁體，係將2個相同大小之半圓筒形狀之隔熱壁體之端面彼此加以固定所形成者；該半圓筒形狀之隔熱壁體為上述隔熱壁體。
本發明可提供一種隔熱壁體之製造方法，可高經濟性製造隔熱壁體。
以下，參見所附圖式針對本揭示之實施形態來說明。
(以往之吸引成形法之隔熱壁體之製造方法)
在以既定形狀來製造隔熱材之方法上，以往已知有吸引成形法。
針對利用吸引成形法之隔熱壁體之製造方法來簡單說明。首先，隔熱材材料係分散於水系介質中而混合為漿料狀態。使得具有通氣孔之成形用模具抵接於所得漿料，從通氣孔吸引漿料中之水分(脫水)。之後，進行成形用模具之脫模具，來製造和成形用模具之形狀相對應之形狀的隔熱壁體。
圖1(a)以及1(b)係顯示用以說明以往之基於吸引成型法之隔熱壁體之製造方法的概略圖。圖1(a)顯示隔熱材與成形用模具相抵接狀態之概略圖，圖1(b)顯示使得成形用模具經過脫模具後之隔熱材之概略圖。
如前述般，首先，使得隔熱材材料分散於水系介質中而混合成為漿料狀態。之後，如圖1(a)所示般，在漿料10抵接於成形用模具12之狀態下，使用未圖示之真空泵等，從形成於成形用模具12表面之未圖示通氣孔進行吸引，讓漿料10中之水分進行脫水。
漿料10藉由吸引而朝例如圖1(a)中之箭頭方向受力。然後，漿料10接觸於成形用模具12之表面形狀乃成為對應於成形用模具12之形狀。是以，當製造具有溝槽部14(用以保持電阻發熱體)之隔熱壁體16的情況，成形用模具12係以可在漿料10形成具有既定溝槽寬W以及溝槽深度D之溝槽部14的方式被事先設計成所希望之形狀。
之後，將成形用模具12往吸引方向進行脫模具，而如圖1(b)所示般，得到具有所希望之表面形狀的隔熱壁體16。
藉由上述吸引成形法，可得到例如具有溝槽部14之隔熱壁體16。此外，於本說明書中，所謂的溝槽部14係指為了保持電阻發熱體18而形成於隔熱壁體16表面的凹部。此外，以下將相鄰溝槽部14間的凸部稱為外突部20。
保持在隔熱壁體16之溝槽部14處的電阻發熱體18會因為加熱器之加熱或是冷卻而熱膨脹以及熱收縮。是以，必須對應於電阻發熱體18之熱膨脹以及熱收縮來充分加大溝槽部14之溝槽深度D。但是，當利用上述以往之吸引成形法來製造溝槽深度D大的溝槽部14之情況，受到成形用模具12與隔熱壁體16摩擦等之影響，隔熱壁體16有時會被破壞。亦即，以往之吸引成形法，有無法形成具有充分溝槽深度D之溝槽部14以保持電阻發熱體18之問題。
(本實施形態之隔熱壁體之製造方法)
其次，針對可解決上述問題之基於本實施形態之吸引成形法的隔熱壁體之製造方法來說明。
圖2係顯示本實施形態之隔熱壁體之製造方法之一例的流程圖。
本實施形態之隔熱壁體之製造方法，係用以製造具有可保持電阻發熱體之溝槽部的隔熱壁體，具有下述製程：使得隔熱材材料分散於水系介質中進行混合而成為漿料狀之製程(S100)；在所得之漿料狀之該隔熱材材料處，抵接上具有通氣孔、且具有對應於該溝槽部形狀之表面的成形用模具，經由通氣孔將漿料狀之該隔熱材材料加以脫水之製程(S110)；以及 藉由從該隔熱材材料將該成形用模具加以脫模具，來製造該溝槽部之深度為一定、且該溝槽部之寬度在該溝槽部之流動方向上產生變化之隔熱壁體之製程(S120)。
成為漿料狀之製程S100，首先，使得隔熱材材料分散於水系介質中而混合成為漿料狀態。其次，將隔熱材材料加以脫水之製程S110係在使得所得漿料抵接於成形用模具之狀態下，使用真空泵等從形成於成形用模具表面之未圖示通氣孔進行吸引，將漿料中之水分加以脫水。之後，於製造隔熱壁體之製程，係將成形用模具加以脫模具而得到具有溝槽部之深度為一定、溝槽部之寬度在溝槽部之流動方向產生變化之形狀的隔熱壁體。
詳細內容係以下述各種實施形態來說明，而本實施形態之隔熱壁體之製造方法，由於係以溝槽部之寬度在溝槽部之長度方向上產生變化的方式來製造隔熱壁體，故脫模具成為容易。是以，即便是製造具有溝槽深度D大之溝槽部的隔熱壁體之情況，也可降低隔熱壁體16受到破壞之可能性。
此外，即便是本實施形態之板狀隔熱壁體或是半圓筒形狀隔熱壁體，也能以同樣的方法來製造。
再者，於日本特開2007-88325號等所揭示之隔熱壁體係使得具有1個溝槽部之圓筒形狀隔熱塊在軸向上複數重疊來形成複數溝槽部。是以，必須對應於溝槽部之數量來事先準備隔熱塊進行積層。但是，本實施形態之隔熱壁體之製造方法，即便是具有複數溝槽部之隔熱壁體，也能以一次的脫模具來同時形成。
藉此，能以本實施形態之隔熱壁體之製造方法來製造，針對各種隔熱壁體之構成例係舉出實施形態來詳細說明。
(第1實施形態)
於第1實施形態以及後述第2實施形態中，針對製造具有溝槽部14之板狀隔熱壁體16的實施形態，係參見圖來說明。
圖3係顯示第1實施形態之隔熱壁體一例之概略圖。
第1實施形態之隔熱壁體16乃從厚度方向觀看其截面為例如矩形之具有溝槽部14的板狀形狀。
溝槽部14係由：形成溝槽底之第1面22、形成1對側壁一者之第2面24、形成另一側壁之第3面26所形成者。圖3中，X軸向為溝槽部14 之深度方向，Y軸向為溝槽部14之長度方向，Z軸向為溝槽部14之寬度方向。此外，本實施形態中成形用模具12之脫模具係在溝槽部14之長度方向上實施。
本實施形態之隔熱壁體16，溝槽部14之深度D為一定，而溝槽部14之第1面22(溝槽底)之寬度在溝槽部14之長度方向(Y軸向)上變化著。圖3之例中，於脫模具方向之下游側端部的第1面22之寬度W1係大於脫模具方向之上游側端部的第1面22之寬度W2。如該圖3之例所示般，本實施形態中，溝槽底之寬度係朝進行脫模具之方向來擴張(隨著朝脫模具方向移動而變大)，藉此，脫模具變得容易，可形成具有充分溝槽深度D之溝槽部14。
相鄰溝槽部14間的凸部被稱為外突部20。亦即，外突部20係由屬於側壁之第2面24以及第3面26、以及形成外突部20頂部之第4面28所形成。
圖3中顯示了在板狀隔熱壁體16之高度方向上有4個溝槽部14之實施形態，但本揭示不限定於此，隔熱壁體16具有1個或是2個以上之溝槽部14。
此外，圖3之隔熱壁體16中，第3面26之高度為一定，而第2面24之高度則會變化，藉此，溝槽底之寬度朝進行脫模具之方向來擴張，但本揭示不限定於此。例如，亦可使得第2面24之高度為一定、而第3面26之高度則產生變化，或是使得第2面24之高度以及第3面26之高度兩者產生變化。
此外，於第1實施形態之隔熱壁體16，第1面22與第2面24、第3面26所呈角度θ1、θ2為90度。
(第2實施形態)
圖4顯示第2實施形態之隔熱壁體一例之概略圖。
第2實施形態之隔熱壁體16係和第1實施形態同樣地，具有溝槽部14之溝槽底寬度在溝槽部14之長度方向上出現變化之形狀。
此外，第2實施形態之隔熱壁體16如圖4所示般，更具體而言，第1面22與第2面24所呈角度θ1以及/或是第1面22與第3面26所呈角度θ2 係大於90度。換言之，第2實施形態之隔熱壁體16係具有隔熱壁體16之溝槽部14之寬度從溝槽底往頂部逐漸變大之形狀。
說明第2實施形態之隔熱壁體16之溝槽部14之寬度從溝槽底往頂部逐漸變大之形狀可產生之效果。圖5(a)以及5(b)顯示了用以說明具有第2實施形態之隔熱壁體的加熱器裝置之效果之圖。
圖5(a)以及5(b)中，加熱器裝置30具有：具溝槽部14之隔熱壁體16、以及電阻發熱體18。圖5(a)之隔熱壁體16中，第1面22與第2面24所呈角度θ1以及第1面22與第3面26所呈角度θ2係大於90度。另一方面，圖5(b)之隔熱壁體16中，第1面22與第2面24所呈角度θ1以及第1面22與第3面26所呈角度θ2為90度。此外，圖5(a)以及圖5(b)中從個別電阻發熱體18延伸之2條虛線間的區域乃指能藉由個別電阻發熱體18來直接加熱之區域。
圖5(a)之例中，由於第2面24、第3面26和第1面22所呈角度大於90度，故能以個別電阻發熱體18之輻射來加熱之範圍廣。亦即，可高效率、均勻地加熱被加熱對象物32。但是，圖5(b)之例中，第2面24、第3面26和第1面22所呈角度為90度，能以個別電阻發熱體18之輻射來加熱之範圍狹窄。是以，由於會出現無法直接加熱被加熱對象物32之區域，所以被加熱對象物32之加熱上有時會出現差異。從而，形成溝槽部14之側壁亦即第2面24以及第3面26之至少一者與形成溝槽部14之溝槽底亦即第1面22所呈角度以大於90度為佳。
第1面22、第2面24、第3面26以及第4面28當中其中2個面所形成之角部如後述般亦可成為R去角或是C去角。2個面所形成之角部若成為去角，則成形用模具12之脫模具將更為容易。是以，可製造具有溝槽深度D更大之溝槽部14的隔熱壁體16。
圖6(a)至圖6(g)係用以說明本實施形態之隔熱壁體之溝槽部形狀之概略圖。圖6(a)之例的溝槽部14，第1面22與第2面24所呈角度θ1、以及第1面22與第3面26所呈角度θ2係以雙方較90度來得大之角度相交。
此外，圖6(b)以及圖6(c)之例的溝槽部14，第1面22與第2面24所呈角度θ1、以及第1面22與第3面26所呈角度θ2之其中一者大於90度，另一者為90度。
圖6(d)之例的溝槽部14，第1面22與第2面24所呈角度θ1、以及第1面22與第3面26所呈角度θ2雙方皆為90度。此外，第1面22與第2面24所形成角部、以及第1面22與第3面26所形成角部係雙方受到R去角。此外，第1面22與第2面24所形成角部、以及第1面22與第3面26所形成角部之其中一者亦可受到R去角。
圖6(e)之例的溝槽部14，第1面22與第2面24所呈角度θ1、以及第1面22與第3面26所呈角度θ2雙方皆為90度。此外，第1面22與第2面24所形成角部、以及第1面22與第3面26所形成角部係雙方受到C去角。此外，第1面22與第2面24所形成角部、以及第1面22與第3面26所形成角部之其中一者亦可受到C去角。
圖6(f)之例的溝槽部14，第1面22與第2面24所呈角度θ1、以及第1面22與第3面26所呈角度θ2係雙方皆較90度來得大之角度。此外，第1面22與第2面24所形成角部、以及第1面22與第3面26所形成角部係雙方受到R去角。此外，第1面22與第2面24所形成角部、以及第1面22與第3面26所形成角部之其中一者亦可受到R去角。
圖6(g)之例的溝槽部14，第1面22與第2面24所呈角度θ1、以及第1面22與第3面26所呈角度θ2係雙方皆較90度來得大之角度。此外，第1面22與第2面24所形成角部、以及第1面22與第3面26所形成角部係雙方受到C去角。此外，第1面22與第2面24所形成角部、以及第1面22與第3面26所形成角部之其中一者亦可受到C去角。
此等中，以採用圖6(f)以及圖6(g)所示實施形態為佳。如圖6(f)以及圖6(g)所示實施形態般，若將2個面所形成之角部加以去角，則成形用模具12之脫模具將變得更容易。是以，可製造具有溝槽深度D大之溝槽部14的隔熱壁體16。此外，於形成具有個別形狀之溝槽部14之際，亦可事先設計成形用模具12之表面形狀。若使用此成形用模具12來進行脫模具，則可形成和該成形用模具12之表面形狀相對應之溝槽部14。
此外，本實施形態中，第1面22與第2面24所呈角度θ1、以及第1面22與第3面26所呈角度θ2亦可沿著溝槽14之長度方向來變化。於此情況，θ1以及θ2亦以在90度以上之範圍內來變化為佳。
上述第1實施形態以及第2實施形態之板狀隔熱壁體16之製造方法，如圖2所示，具有：使得隔熱材材料分散於水系介質中進行混合而成為漿料狀之製程(S100)；在所得之漿料狀之該隔熱材材料處，抵接上具有通氣孔、且具有對應於該溝槽部形狀之表面的成形用模具，經由通氣孔將漿料狀之該隔熱材材料加以脫水之製程(S110)；以及，藉由從該隔熱材材料將該成形用模具加以脫模具，來製造該溝槽部之深度為一定、且該溝槽部之寬度在該溝槽部之流動方向上產生變化之隔熱壁體製程(S120)。此製造隔熱壁體之製程(S120)中，係使用屬於溝槽底之第1面22之寬度W在溝槽部14之長度方向上產生變化之成形用模具12，而於溝槽部14之長度方向上進行脫模具。若使用和第1面22之寬度在溝槽部14之長度方向上產生變化之形狀相對應之成形用模具12，於溝槽部14之長度方向上進行脫模具，則於脫模具時，可降低溝槽部14與隔熱壁體16之間的摩擦。從而，成形用模具12之脫模具變得容易，可形成具有保持電阻發熱體所需充分溝槽深度D之溝槽部14。
如上述般，專利文獻1等所揭示之以往之隔熱壁體之製造方法，係將具有1個溝槽部之圓筒形狀隔熱塊在軸向上重疊複數個而形成。是以，當製造具有複數溝槽部之隔熱壁體之情況，必須因應溝槽部數量準備隔熱塊而進行積層。但是，第1實施形態以及第2實施形態之隔熱壁體之製造方法，即便是具有複數溝槽部之隔熱壁體，仍具有能以一次的脫模具來製造之有利效果。
以上，於第1實施形態以及第2實施形態中，可製造具有矩形形狀、且具有溝槽部之隔熱壁體，該溝槽部係由溝槽底與2個側壁所形成，該溝槽部之深度為一定，該溝槽部之溝槽底之寬度在該溝槽部之長度方向上呈現變化。
(第3實施形態)
圖2所示隔熱壁體之製造方法，即便例如製造具有半圓筒形狀、其內周面具有溝槽部之隔熱壁體之情況也可有利地採用。
具有半圓筒形狀、其內周面具有溝槽部之隔熱壁體，只要溝槽底之寬度在半圓筒形狀之圓周方向(溝槽部之長度方向)呈現變化即可，可採用各種形態。其一例可使用圖7至圖9來說明。
圖7(a)至圖7(c)係顯示第3實施形態之隔熱壁體之一例之概略圖。具體而言，圖7(a)係本實施形態之隔熱壁體之俯視概略圖，圖7(b)係圖7(a)之隔熱壁體之A-A截面之概略圖，圖7(c)為前視概略圖。
圖7(a)至7(c)之隔熱壁體16為具有第1端面34以及第2端面36之半圓筒形狀之隔熱壁體16，而具有溝槽部14。本實施形態之隔熱壁體16之溝槽部14的溝槽深度D一定，溝槽部14之溝槽底(第1面22)之寬度在圓周方向上呈現變化。此外，所謂溝槽部14之溝槽底(第1面22)之寬度在圓周方向上呈現變化，可為例如從隔熱壁體16之圓周方向中央部愈接近第1端面34以及第3端部36愈為變大或是愈為變小。圖7(a)至7(c)之例中，第1面22之寬度W係從隔熱壁體16之圓周方向中央部愈接近第1端面34以及第3端部36愈為變大。舉其一例，如圖7(a)至7(c)所示般，相較於隔熱壁體16之圓周方向中央部的第1面22之寬度W3，第1端面34之第1面22之寬度W4較大。
此外，圖7(a)至圖7(c)之例，係如圖7(a)之箭頭所示，第2面24與第3面26之間隔係於半圓筒形狀之隔熱壁體16之直徑方向的垂直徑向上、亦即脫模具方向上愈離開第1面22變得愈大。亦即，外突部20往圖7(a)之箭頭方向傾斜。採用如此構成，由於成形用模具12之脫模具更為容易，而可製造具有充分溝槽深度D之隔熱壁體16。
第1面22與第2面24所呈角度以及/或是第1面22與第3面26所呈角度亦可在圓周方向上產生變化。例如圖7(a)至圖7(c)之例中，第1面22與第2面24所呈角度、以及第1面22與第3面所呈角度係從隔熱壁體16之圓周方向中央部愈朝向第1端面34以及第2端面36變得愈小。於此情況，所有的角度都以在90度以上之角度範圍內變化為佳。舉出一例，半圓筒形狀之隔熱壁體16之中央部係大於90度，第1端面34以及第2端面36則為90度。
此外，圖7(a)至圖7(c)之隔熱壁體16之例，第4面28之寬度為一定。
圖8(a)至圖8(c)係顯示第3實施形態之隔熱壁體之其他例之概略圖。具體而言，圖8(a)係本實施形態之隔熱壁體之俯視概略圖，圖8(b)係圖8(a)之隔熱壁體之B-B截面之概略圖，圖8(c)係前視概略圖。
圖8(a)至圖8(c)之隔熱壁體16為具有第1端面34以及第2端面36之半圓筒形狀之隔熱壁體16，並具有溝槽部14。本實施形態之隔熱壁體16之溝槽部14的溝槽深度D為一定，溝槽部14之溝槽底(第1面22)之寬度在圓周方向上呈現變化。圖8(a)至圖8(c)之例中，第1面22之寬度22係從隔熱壁體16之圓周方向中央部愈接近第1端面34以及第3端部36暫時性地愈為變小，然後再次變大。舉出一例，相較於隔熱壁體16之圓周方向中央部的第1面22之寬度W3，第1端面34之第1面22之寬度W4係變大。
此外，圖8(a)至圖8(c)之例中，如圖8(a)之箭頭所示，第2面24與第3面26之間隔係於半圓筒形狀之隔熱壁體16之直徑方向的垂直徑向上、亦即脫模具方向上，愈離開第1面22變得愈大。藉由如此之構成，由於可更容易地進行成形用模具12之脫模具，而可製造具有充分溝槽深度D之隔熱壁體16。
第1面22與第2面24所呈角度以及/或是第1面22與第3面26所呈角度亦可於圓周方向上產生變化。例如圖8(a)至圖8(c)之例中，第1面22與第2面24所呈角度、以及第1面22與第3面所呈角度在半圓筒形狀之隔熱壁體16中央部大於90度，從隔熱壁體16之圓周方向中央部愈朝向第1端面34以及第2端面36暫時性地變得愈大，之後變小，而於第1端面34以及第2端面36處，前述角度成為90度。於此情況，第1面22與第2面24所呈角度、以及第1面22與第3面所呈角度以在90度以上之角度範圍內變化為佳。
此外，圖8(a)至圖8(c)之隔熱壁體16之例中，第4面28之寬度為一定。
圖9(a)至圖9(c)顯示第3實施形態之隔熱壁體之又一其他例之概略圖。具體而言，圖9(a)係本實施形態之隔熱壁體之俯視概略圖，圖9(b)係圖9(a)之隔熱壁體之C-C截面之概略圖，圖9(c)係前視概略圖。
圖9(a)至9(c)之隔熱壁體16係具有第1端面34以及第2端面36之半圓筒形狀隔熱壁體16，並具有溝槽部14。本實施形態之隔熱壁體16之溝槽部14的溝槽深度D為一定，溝槽部14之溝槽底之寬度W在圓周方向上呈現變化。
圖9(a)至圖9(c)之例中，第1面22之寬度從隔熱壁體16之圓周方向中央部愈接近第1端面34以及第3端部36變得愈大。更具體而言，相較於 隔熱壁體16之圓周方向中央部的第1面22之寬度W3，第1端面34之第1面22之寬度W4變大。
此外，圖9(a)至圖9(c)之例中，如圖9(a)之箭頭所示，第2面24與第3面26之間隔在半圓筒形狀之隔熱壁體16之直徑方向的垂直徑向上、亦即脫模具方向上，愈離開第1面22變得愈大。藉由如此之構成，由於成形用模具12之脫模具更為容易，而可製造具有充分溝槽深度D之隔熱壁體16。此外，本實施形態中，外突部20於該方向之傾斜角度為一定。此外，作為外突部20頂部之第4面28之寬度係在圓周方向上愈朝向第1端面34以及第2端面變得愈小。
本實施形態中，第1面22與第2面24所呈角度、以及第1面22與第3面26所呈角度在半圓筒形狀之隔熱壁體16中央部係大於90度，而在圓周方向上愈朝向第1端面34以及第2端面36變得愈小，在第1端面34以及第2端面36成為90度。
此外，製造半圓筒形狀之隔熱壁體16的第3實施形態同樣地，由第1面22與第3面26所形成之角部以及/或是由第1面22與第3面26所形成之角部以受到R去角或是C去角為佳。藉由R去角或是C去角，當將成形用模具12加以脫模具之情況，可更為容易地進行脫模具。
此外，本實施形態之半圓筒形狀之隔熱壁體16亦可於軸向上形成複數溝槽部14。此外，即便是形成有複數溝槽部14之隔熱壁體16也可藉由前述隔熱壁體16之製造方法來進行一次性脫模具而製造。
此外，於製造圓筒形狀之隔熱壁體16的情況，首先，藉由上述本實施形態之隔熱壁體之製造方法來事先製造2個相同大小之半圓筒形狀之隔熱壁體16。將所得之2個隔熱壁體16之第1端面34彼此固定、且將第2端面36彼此固定，而可製造圓筒形狀之隔熱壁體16。截面彼此之固定可為可裝卸地固定、亦可藉由接合等方法以無法裝卸方式來固定。
藉由上述第3實施形態，可製造具有半圓筒形狀、其內周面沿著圓周方向具有溝槽部之隔熱壁體，其中該溝槽部係由溝槽底與2個側壁所形成，該溝槽部之深度為一定，該溝槽部之溝槽底寬度在該圓周方向上產生變化著。
製造第3實施形態之半圓筒形狀之隔熱壁體16的方法，如圖2所示，具有：使得隔熱材材料分散於水系介質中進行混合而成為漿料狀之製程(S100)；在所得之漿料狀之該隔熱材材料處，抵接上具有通氣孔、且具有對應於該溝槽部形狀之表面的成形用模具，經由通氣孔將漿料狀之該隔熱材材料加以脫水之製程(S110)；以及，藉由從該隔熱材材料將該成形用模具加以脫模具，來製造該溝槽部之深度為一定、且該溝槽部之寬度在該溝槽部之流動方向上產生變化之隔熱壁體製程(S120)。於第3實施形態，製造該隔熱壁體之製程(S120)中，係使用屬於溝槽底之第1面22之寬度在溝槽部14之長度方向上產生變化之成形用模具12，而於半圓筒形狀之直徑方向的垂直方向上將成形用模具12加以脫模具。藉由以此方式將成形用模具12加以脫模具，則脫模具時外突部20不會破損，可容易形成溝槽深度D充分大之溝槽部14。
上述內容，本揭示之各種實施例係基於說明之目的而記載，此外，應可理解各種變形可在不超脫本揭示之範圍以及思想下來進行。從而，此處所揭示之各種實施例並非用以限制以下各請求項所指定之本質性範圍以及思想。
本揭示係以2012年10月18日提出申請之日本特願第2012-230903號為基礎主張優先權，將其揭示之全部內容援引於此。
14‧‧‧溝槽部
20‧‧‧外突部
22‧‧‧第1面
24‧‧‧第2面
26‧‧‧第3面
28‧‧‧第4面

Claims (17)

  1. 一種隔熱壁體之製造方法，該隔熱壁體具有由第1側壁、第2側壁以及溝槽底所形成之溝槽部；包括下述製程：使得隔熱材材料分散於水系介質中進行混合而成為漿料狀之製程；在所得之漿料狀之該隔熱材材料處，抵接上具有通氣孔、且具有對應於該溝槽部形狀之表面的成形用模具，經由該通氣孔將漿料狀之該隔熱材材料加以脫水之製程；以及藉由從該隔熱材材料將該成形用模具加以脫模具，以製造該溝槽部之深度為一定、該溝槽底之寬度在該溝槽部之長度方向上產生變化之隔熱壁體之製程。
  2. 如申請專利範圍第1項之隔熱壁體之製造方法，其中該隔熱壁體為板狀；於製造該隔熱壁體之製程中，包含：將該成形用模具從該隔熱材材料往該溝槽部之長度方向進行脫模具之製程。
  3. 如申請專利範圍第2項之隔熱壁體之製造方法，其中該溝槽底之寬度係往脫模具之方向形成擴張。
  4. 如申請專利範圍第2項之隔熱壁體之製造方法，其中該第1側壁與該溝槽底所呈角度以及/或是該第2側壁與該溝槽底所呈角度係在脫模具之方向上產生變化。
  5. 如申請專利範圍第1項之隔熱壁體之製造方法，其中該隔熱壁體為半圓筒形狀；於製造該隔熱壁體之製程中，包含：將該成形用模具從該隔熱材材料往該隔熱材之徑向且為該隔熱壁體之直徑方向的垂直方向上進行脫模具之製程。
  6. 如申請專利範圍第5項之隔熱壁體之製造方法，其中該溝槽底之寬度係從該隔熱壁體之圓周方向中央部愈朝向該隔熱壁體之端面愈為變大。
  7. 如申請專利範圍第5項之隔熱壁體之製造方法，其中該第1側壁與該第2側壁之間隔係朝該脫模具之方向且離開該溝槽底之方向擴張。
  8. 如申請專利範圍第5項之隔熱壁體之製造方法，其中該第1側壁與該溝槽底所呈角度以及/或是該第2側壁與該溝槽底所呈角度係從該隔熱壁體之圓周方向中央部朝該隔熱壁體之端面逐漸變化。
  9. 如申請專利範圍第1項之隔熱壁體之製造方法，其中該第1側壁與該溝槽底所呈角度以及/或是該第2側壁與該溝槽底所呈角度大於90度。
  10. 如申請專利範圍第1項之隔熱壁體之製造方法，其中由該第1側壁與該溝槽底所形成之角部以及/或是由該第2側壁與該溝槽底所形成之角部係受到R去角或是C去角。
  11. 一種隔熱壁體，具有溝槽部；該溝槽部係由第1側壁、第2側壁以及溝槽底所形成；該溝槽部之深度為一定；該溝槽部之溝槽底寬度係於該溝槽部之長度方向上產生變化。
  12. 如申請專利範圍第11項之隔熱壁體，其中該隔熱壁體為板狀；該第1側壁與該溝槽底所呈角度以及/或是該第2側壁與該溝槽底所呈角度係於該溝槽部之長度方向上產生變化。
  13. 如申請專利範圍第11項之隔熱壁體，其中該隔熱壁體為半圓筒形狀；該溝槽底之寬度從該隔熱壁體之圓周方向中央部朝該隔熱壁體之端面逐漸變大。
  14. 如申請專利範圍第13項之隔熱壁體，其中該第1側壁與該第2側壁之間隔朝與該端面為垂直之方向且為離開該溝槽底之方向擴張。
  15. 如申請專利範圍第11項之隔熱壁體，其中該第1側壁與該溝槽底所呈角度以及/或是該第2側壁與該溝槽底所呈角度大於90度。
  16. 如申請專利範圍第11項之隔熱壁體，其中由該第1側壁與該溝槽底所形成之角部以及/或是由該第2側壁與該溝槽底所形成之角部係受到R去角或是C去角。
  17. 一種圓筒形狀之隔熱壁體，係將2個相同大小之半圓筒形狀之隔熱壁體之端面彼此加以固定所形成者；該半圓筒形狀之隔熱壁體為如申請專利範圍第13項之隔熱壁體。
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