TWI583565B - 印刷裝置 - Google Patents
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- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 52
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 24
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41F31/02—Ducts, containers, supply or metering devices
- B41F31/08—Ducts, containers, supply or metering devices with ink ejecting means, e.g. pumps, nozzles
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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Description
本發明概言之係關於一種印刷裝置。更具體而言,本發明概言之係關於一種用於製造顯示裝置之印刷裝置。
為形成液晶顯示器(liquid crystal display;LCD)之彩色濾光片及有機電致發光(electroluminescent;EL)裝置之層,使用一種排放包含功能性材料之溶液之印刷方法。
該印刷方法可使用一種排放一溶液之印刷裝置,且該印刷裝置擠壓一溶液槽以將溶液傳輸至一噴嘴,俾排出一液態材料。
因為該印刷裝置之噴嘴直徑非常小,故該噴嘴對顆粒敏感,因而在該噴嘴處可形成堵塞。此外,當更換溶液槽時,空氣會進入該溶液槽中,因而常常形成氣泡。
在此種情形中,可藉由朝噴嘴之頂端方向施加大的壓力來清除顆粒或氣泡,然而該噴嘴之直徑朝其入口變窄,因而即使施加大的壓力亦不易於清除該等顆粒或氣泡。
在此背景部分中所揭露之上述資訊僅用於增強對本發明背景之理解,且因此其可包含不構成本國中所屬領域具有通
常知識者所已知之先前技術之資訊。
本發明力圖提供一種印刷裝置,即使噴嘴具有逐漸變窄之一直徑,該印刷裝置可易於清除噴嘴中之顆粒及氣泡。
根據一實例性實施例之印刷裝置包含:一溶液槽;一噴嘴單元,包含一分配路徑及與該分配路徑連接之複數個噴嘴,該分配路徑經由一第一管道連接該溶液槽;一氣體供應器,經由一第二管道連接該噴嘴單元;以及一排放單元,經由一第三管道而連接該噴嘴單元,且該分配路徑包含分別具有不同寬度之複數個第一部分及複數個第二部分。
該等第一部分可對應於該等噴嘴,且該等第二部分可對應於該等噴嘴之間之一區域。
該第一部分之寬度可大於該第二部分之寬度。
該第一部分之該寬度對該第二部分之該寬度之一比率可係為10:8.2至10:9。
該第二部分之該寬度可係為逐漸變化的或可係朝該第三管道逐漸變窄。
該第一部分之該寬度對該第二部分之最小寬度之一比率可係為10:8.2至10:9。
該分配路徑可包含一傾斜部,該傾斜部相對於與該第一管道相連接之一上表面傾斜。
該傾斜部之一延伸斜面與該上表面所形成之一角度可小於30°。
該斜面可具有一曲面。
該斜面可形成複數個台階,且該等台階之寬度可係彼此間隔開規則之間距。
各該台階之寬度可係為逐漸變化的。
使用根據本發明之印刷裝置可易於清除噴嘴中之顆粒或氣泡。
因此,可藉由減少噴嘴之損壞而使該印刷裝置之使用時間更長,且可藉由縮短清除顆粒之時間而使製程時間之增加最小化。
2‧‧‧顆粒
10‧‧‧第一管道
12‧‧‧閥門
14‧‧‧管道
20‧‧‧第二管道
22‧‧‧閥門
30‧‧‧第三管道
32‧‧‧閥門
100‧‧‧溶液槽
200‧‧‧氣體供應器
300‧‧‧噴嘴單元
302‧‧‧分配路徑
304‧‧‧噴嘴
400‧‧‧排放單元
1001‧‧‧印刷裝置
A1‧‧‧第一部分
A2‧‧‧第二部分
S1‧‧‧分配路徑之上表面
S2‧‧‧傾斜部/斜面
W1‧‧‧第一部分之寬度
W2‧‧‧第二部分之寬度
W3‧‧‧第二部分之寬度
W4‧‧‧分配路徑之寬度
藉由結合附圖參照以下詳細說明,可更充分地理解本發明且本發明之諸多伴隨之優點將顯而易見且更易於理解,附圖中相同之參考符號指示相同或相似之組件,其中:第1圖係為根據一實例性實施例之印刷裝置之示意性方框圖;第2圖係為第1圖所示一噴嘴單元之放大剖面圖;第3圖係用於說明根據該實例性實施例之一種清除顆粒之方法;以及第4圖至第10圖係為根據其他實例性實施例之一噴嘴單元之剖面圖。
在下文中將參照附圖更全面地闡述本發明,附圖中顯示本發明之實例性實施例。所屬領域具有通常技術者將瞭解,所述實施例可在不背離本發明之精神或範圍之條件下以各種不同之方式進行修改。
附圖及說明被視為例示性而非限制性的。本說明書通篇中相同之參考編號代表相同之元件。
在附圖中,為清楚起見,層、膜、面板、區域等之厚度被誇大。此外,在附圖中,為理解及易於說明起見,某些層之厚度及面積被誇大。應理解,當一元件例如層、膜、區域、或基板被描述為位於另一元件「上」時,其可直接位於另一元件上或亦可存在中間元件。
此外,除非有明確之相反說明,否則用語「包含」及其變化形式(例如「comprises」或「comprising」)將被理解為包含所述元件但並不排除任何其他元件。此外,應理解,當一元件例如層、膜、區域、或板被描述為位於另一元件「上」時,其可直接位於另一元件上或亦可存在中間元件。
在下文中將參照第1圖及第2圖來更詳細說明根據一實例性實施例之一印刷裝置。
第1圖係為根據該實例性實施例之一印刷裝置之示意性方框圖,且第2圖係為第1圖所示一噴嘴單元之放大剖面圖。
如第1圖所示,根據本實例性實施例之印刷裝置
1001包含一溶液槽100、與溶液槽100相連接之一氣體供應器200、一噴嘴單元300及一排放單元400。
溶液槽100包含欲經由一噴嘴噴射之一溶液。
溶液槽100經由一第一管道10連接噴嘴單元300,且一閥門12及一質量流量量測裝置(圖未示出)連接至第一管道10以控制自溶液槽100傳輸至噴嘴單元300之溶液之流量。
氣體供應器200經由一管道14連接溶液槽100,以藉由以1至10磅/平方英吋(psi)之壓力範圍擠壓溶液而使溶液槽100中之該溶液排出。在此種情形中,氣體可為氮氣。
此外,氣體供應器200經由一第二管道20連接噴嘴單元300,以利用閥門22來控制提供至噴嘴單元300之氣體量。
噴嘴單元300包含一分配路徑302(將參照第2圖進行詳細說明),分配路徑302連接第一管道10及複數個噴嘴304。分配路徑302之側端分別利用閥門22連接第二管道20以及利用一閥門32連接第三管道30。
如第2圖所示,噴嘴單元300包含分配路徑302及複數個噴嘴304,分配路徑302經由第一管道10連接溶液槽100,該等噴嘴304連接分配路徑302。
分配路徑302之側端分別連接第二管道20及第三管道30,氣體經由第二管道20被吸入、經由第三管道30被排出。
在分配路徑302中,對應於各個噴嘴304的各第一部分A1之寬度W1彼此相等,且設置於各噴嘴304之間的各第二
部分A2之寬度W2逐漸增大或減小。換言之,相對於與第一管道10連接的分配路徑302之一上表面S1,設置於第二部分A2中之分配路徑302包含一傾斜的傾斜部S2。在此種情形中,第一部分A1可相等於與該第二管道或該第三管道連接之一部分之寬度。
在此種情形中,第一部分A1之寬度W1對第二部分A2之最小寬度W2之一比率可係為W1:W2=10:8.2至10:9,且由傾斜部S2之一延伸斜面與分配路徑302之上表面S1所形成之一角度可具有小於30°之一斜率。
如在本實例性實施例中一樣,當分配路徑302之寬度週期性增大或減小時,利用由於流入至該分配路徑中之氣體壓力差所形成之渦流,可易於清除顆粒及氣泡。
再參照第1圖,第三管道30連接排放單元400。排放單元400收集噴嘴單元中之顆粒及進入該噴嘴單元中之氣體,並將該氣體與該等顆粒分離以回收該氣體。
接下來,將參照第3圖更詳細地說明在第1圖及第2圖所示印刷裝置中的一種清除顆粒及氣泡之方法。
第3圖係用於說明根據本實例性實施例之一種清除顆粒之方法。
第3圖模擬將用於提供溶液至噴嘴單元300之分配路徑302的第一管道10之閥門12關閉以清除存在於噴嘴304中之顆粒2之過程。因此,不提供溶液至噴嘴單元300。
第3圖亦模擬將第二管道20之閥門22及第三管道
30之閥門32開啟以提供氣體至噴嘴單元300之分配路徑302且自其排出氣體之過程。
隨後,氣體經由第二管道20進入噴嘴單元300中並穿過分配路徑302,接著氣體經由連接至分配路徑302端部之第三管道30排出。
如在本實例性實施例中一樣,當分配路徑302之寬度改變時,進入分配路徑中之氣體流至一出口,俾由於該分配路徑之寬度變化而在該分配路徑上產生一壓力差。
此種壓力差引起氣體自一寬度窄之部分高速流入一寬度寬之部分中,進而形成一渦流,且顆粒2藉由渦流(環形箭頭)而自噴嘴304被吸出並加速朝分配路徑302(虛線箭頭)移動,隨後顆粒2與經由分配路徑移動至排放單元400之氣體一起自噴嘴單元排出。
在此種情形中,渦流之強度隨著所注入氣體之流量或流動速度之增大而增大,因此可根據顆粒2之一清除狀態來改變氣體之流量或流動速度。
當顆粒2被全部清除時,將第二管道20之閥門及第三管道30之閥門關閉以防止氣體流動,隨後,開啟第一管道10之閥門以使溶液流入。
第1圖之實例性實施例中之傾斜部S2被例示為直線,然而該傾斜部可具有第4圖至第10圖所示之各種形狀。
在下文中,將參照第4圖至第10圖來說明根據其他
實例性實施例之印刷裝置。
第4圖至第10圖係為根據其他實例性實施例之噴嘴單元之剖面圖。
第4圖所示之實例性實施例與第2圖所示之實例性實施例實質上相同,不同之處在於第4圖所示之實例性實施例之傾斜部S2具有一曲面形狀,因此將不予以贅述。
如第4圖所示,一分配路徑302之傾斜部S2具有一彎曲之曲面形狀。
此外,如第5圖至第9圖所示,傾斜部S2可具有一台階形狀。在此等情形中,各個台階之寬度可彼此以規則之間隔間隔開,或可逐漸變寬,如第7圖及第8圖所示,抑或變窄(圖未示出)。
在第5圖及第7圖所示之實例性實施例中,斜面S2之台階可具有一凸面形狀,且如第6圖及第8圖所示,斜面S2之台階可具有一鋸齒形狀,但如第9圖所示,斜面S2可被形成為具有凹面台階。
在此種情形中,一第一部分A1之一寬度W1對第二部分A2之最小寬度W2之一比率可為W1:W2=10:8.2至9,且由傾斜部S2之一延伸斜面與分配路徑302之上表面S1所形成之一角度可具有小於30°之斜率。
在第5圖至第9圖所示之實例性實施例中,藉由將傾斜部S2劃分成三部分而形成各台階,但可劃分成二部分或四部
分。
在上述實例性實施例中,第二部分A2之分配路徑傾斜,俾使第二部分A2之寬度逐漸改變。
現在參照第10圖,第二部分A2之分配路徑藉由形成與上表面S1平行之一表面而被形成為具有一恆定寬度。
儘管第二部分A2之一寬度W3窄於用以噴出氣體之分配路徑302之一寬度W4,然而由於氣體流動而產生一壓力差,進而引起一渦流,俾可易於清除噴嘴中之顆粒及氣泡。
在此種情形中,分配路徑之寬度W4對第二部分A2之寬度W3之一比率可為W4:W3=10:8.2至9。
儘管已結合目前被認為實用之實例性實施例對本發明進行了說明,然而應理解,本發明並不僅限於所揭露之實施例,相反,本發明旨在包含落於隨附申請專利範圍之精神及範圍內之各種修改形式及等效配置方式。
10‧‧‧第一管道
12‧‧‧閥門
20‧‧‧第二管道
22‧‧‧閥門
30‧‧‧第三管道
32‧‧‧閥門
302‧‧‧分配路徑
304‧‧‧噴嘴
A1‧‧‧第一部分
A2‧‧‧第二部分
S1‧‧‧分配路徑之上表面
S2‧‧‧傾斜部/斜面
W1‧‧‧第一部分之寬度
W2‧‧‧第二部分之寬度
Claims (12)
- 一種印刷裝置,包含:一溶液槽;一噴嘴單元,包含一分配路徑及與該分配路徑連接之複數個噴嘴,該分配路徑經由一第一管道連接該溶液槽;一氣體供應器,經由一第二管道連接該噴嘴單元;以及一排放單元,經由一第三管道而連接該噴嘴單元,其中該分配路徑包含分別具有不同寬度之複數個第一部分及複數個第二部分,該等第一部分對應於該等噴嘴,且該等第二部分對應於該等噴嘴間之區域,其中,該分配路徑於該等第一部分具有相同之寬度,而該分配路徑於該等第一部分之寬度與該分配路徑於該等第二部分之寬度不同。
- 如請求項1所述之印刷裝置,其中該分配路徑於該第一部分之寬度大於該分配路徑於該第二部分之寬度。
- 如請求項2所述之印刷裝置,其中該分配路徑於該第一部分之該寬度對該分配路徑於該第二部分之該寬度之一比率係為10:8.2至10:9。
- 如請求項2所述之印刷裝置,其中該分配路徑於該第二部分之該寬度係為逐漸變化的。
- 如請求項4所述之印刷裝置,其中該分配路徑於該第二部分之該寬度係朝該第三管道逐漸變窄。
- 如請求項5所述之印刷裝置,其中該分配路徑於該第一部分之該寬度對該分配路徑於該第二部分之最小寬度之一比率係為10:8.2至10:9。
- 如請求項1所述之印刷裝置,其中該分配路徑包含一傾斜部,該傾斜部相對於與該第一管道相連接之一上表面傾斜。
- 如請求項7所述之印刷裝置,其中該傾斜部之一延伸斜面與該上表面所形成之一角度小於30°。
- 如請求項7所述之印刷裝置,其中該斜面具有一曲面。
- 如請求項7所述之印刷裝置,其中該斜面形成複數個台階。
- 如請求項10所述之印刷裝置,其中該等台階之寬度係彼此間隔開規則之間距。
- 如請求項10所述之印刷裝置,其中各該相繼之台階之寬度係為逐漸變化的。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020120073552A KR102017258B1 (ko) | 2012-07-05 | 2012-07-05 | 프린팅 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201402348A TW201402348A (zh) | 2014-01-16 |
TWI583565B true TWI583565B (zh) | 2017-05-21 |
Family
ID=49877789
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW102121893A TWI583565B (zh) | 2012-07-05 | 2013-06-20 | 印刷裝置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9004649B2 (zh) |
JP (1) | JP6090981B2 (zh) |
KR (1) | KR102017258B1 (zh) |
CN (1) | CN103522752B (zh) |
TW (1) | TWI583565B (zh) |
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- 2013-06-20 TW TW102121893A patent/TWI583565B/zh active
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KR20140006495A (ko) | 2014-01-16 |
CN103522752B (zh) | 2017-09-22 |
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