TWI579644B - 感光性樹脂組成物、硬化膜的製造方法、硬化膜、有機ｅｌ顯示裝置及液晶顯示裝置 - Google Patents

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Description

感光性樹脂組成物、硬化膜的製造方法、硬化膜、 有機EL顯示裝置及液晶顯示裝置
本發明是有關於一種感光性樹脂組成物(以下，有時簡稱為「本發明的組成物」)。另外，本發明是有關於一種使用上述感光性樹脂組成物的硬化膜的製造方法、將感光性組成物硬化而成的硬化膜、使用上述硬化膜的各種影像顯示裝置。
更詳細而言，本發明是有關於一種適合於形成液晶顯示裝置、有機電激發光(electroluminescence，EL)顯示裝置、積體電路元件、固體攝影元件等電子零件的平坦化膜、保護膜或層間絕緣膜的感光性樹脂組成物以及使用該感光性樹脂組成物的硬化膜的製造方法。
於有機EL顯示裝置、或液晶顯示裝置等中設置有形成有圖案的層間絕緣膜。就用以獲得必需的圖案形狀的步驟數少，而且可獲得充分的平坦性等而言，於該層間絕緣膜的形成中廣泛使用感光性樹脂組成物。
對於上述顯示裝置中的層間絕緣膜，除了絕緣性、耐溶劑性、耐熱性、硬度、以及氧化銦錫(indium tin oxide，ITO)濺鍍適應性優異等硬化膜物性以外，還期望高的透明性。因此，嘗試使用透明性優異的丙烯酸系樹脂作為膜形成成分，例如已知有日本專利特開2011-209681號公報中記載的樹脂。
然而，本發明者進行研究，結果獲知，日本專利特開2011-209681號公報中記載的感光性樹脂組成物中，接觸孔的均勻性不充分。本申請案發明的目的為解決上述問題，目的在於提供一種不僅維持高感度以及耐熱後的透明性，而且可形成均勻的接觸孔的感光性樹脂組成物。
基於該狀況，本申請案發明者進行研究，結果發現，藉由使用具有環氧基的構成單元作為聚合物成分中所含的交聯性基的構成單元，且調配分子量小於1000的脂環式環氧化合物作為交聯劑，可形成不僅維持高感度以及加熱後的透明性、而且均勻的接觸孔。該機制並不確定，但認為，脂環式環氧化合物由於快速捕獲由酸產生劑產生的酸，故而可形成均勻的接觸孔。
具體而言，藉由以下的解決手段<1>，較佳為藉由<2>~<17>來解決上述課題。
<1>一種感光性樹脂組成物，其含有：(A)包含滿足下述(1)及(2)的至少一者的聚合物的聚合物成分： (1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保護的殘基的構成單元、以及(a2)具有環氧基的構成單元的聚合物，(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保護的殘基的構成單元的聚合物、以及包括(a2)具有環氧基的構成單元的聚合物；(B)光酸產生劑；(C)分子量小於1000的脂環式環氧化合物；以及(D)溶劑。
<2>如<1>所述的感光性樹脂組成物，其中上述(C)脂環式環氧化合物是由下述式(1)所表示：
(式(1)中，n表示1~4的整數；R1表示碳數1~30的有機基)。
<3>如<2>所述的感光性樹脂組成物，其中R1表示碳數1~15的有機基。
<4>如<1>或<2>所述的感光性樹脂組成物，其中上述(C)脂環式環氧化合物是由下述式(2)所表示：式(2)
(式(2)中，R2表示碳數1~15的有機基)。
<5>如<1>或<2>所述的感光性樹脂組成物，其中上述(C)脂環式環氧化合物是由下述式(3)所表示：
(式(3)中，R3表示碳數1~15的有機基)。
<6>如<1>至<5>中任一項所述的感光性樹脂組成物，其更包含上述(C)脂環式環氧化合物以外的交聯劑。
<7>如<1>或<2>所述的感光性樹脂組成物，其中上述(C)脂環式環氧化合物是由下述式(X-1)所表示：式(X-1)
(式(X-1)中，R4表示碳數1~27的有機基；R5分別表示碳數1~27的取代基；其中，除1個脂環式環氧基以外的碳數為3~30)。
<8>如<1>、<2>、<7>中任一項所述的感光性樹脂組成物，其中上述(C)脂環式環氧化合物是由下述式(X-2)所表示：
(式(X-2)中，R4分別表示碳數1~27的有機基；R5表示 碳數1~27的取代基；其中，除1個脂環式環氧基以外的碳數為3~30)。
<9>如<1>、<2>、<7>、<8>中任一項所述的感光性樹脂組成物，其中上述(C)脂環式環氧化合物是由下述式(X-3)所表示：
(式(X-3)中，R4分別表示碳數1~27的有機基；其中，除1個脂環式環氧基以外的碳數為3~30)。
<10>如<1>至<9>中任一項所述的感光性樹脂組成物，其中上述酸分解性基是具有以縮醛的形式受到保護的結構的基團。
<11>如<1>至<10>中任一項所述的感光性樹脂組成物，其中上述(A)聚合物成分的任一者為進而含有酸基的聚合物。
<12>如<1>至<11>中任一項所述的感光性樹脂組成物，其中上述(B)光酸產生劑為肟磺酸酯化合物。
<13>一種硬化膜的製造方法，其特徵在於包括：(1)將如<1>至<12>中任一項所述的感光性樹脂組成物塗佈於基板上的步驟；(2)自所塗佈的感光性樹脂組成物中去除溶劑的步驟；(3)利用活性放射線對去除了溶劑的感光性樹脂組成物進行曝光的步驟；(4)利用水性顯影液對經曝光的感光性樹脂組成物進行顯影的步驟；以及(5)對經顯影的感光性樹脂組成物進行熱硬化的後烘烤步驟。
<14>如<13>所述的硬化膜的形成方法，其於上述顯影的步驟後、後烘烤步驟前，包括對經顯影的感光性樹脂組成物進行全面曝光的步驟。
<15>一種硬化膜，其是利用如<13>或<14>所述的方法來形成。
<16>如<15>所述的硬化膜，其為層間絕緣膜。
<17>一種有機EL顯示裝置或者液晶顯示裝置，其包括如<15>或<16>所述的硬化膜。
進而，亦藉由下述手段來解決上述課題。
<18>如上述任一項所述的感光性樹脂組成物，其中相 對於總固體成分100質量份，包含(A)聚合物成分50質量份~99.9質量份、(B)光酸產生劑0.1質量份~10質量份、(C)分子量小於1000的脂環式環氧化合物0.1質量份~10質量份。
藉由本發明，可提供一種不僅維持高感度以及耐熱後的透明性，而且可形成均勻的接觸孔的感光性樹脂組成物。
1‧‧‧TFT(薄膜電晶體)
2‧‧‧配線
3‧‧‧絕緣膜
4‧‧‧平坦化膜
5‧‧‧第一電極
6‧‧‧玻璃基板
7‧‧‧接觸孔
8‧‧‧絕緣膜
10‧‧‧液晶顯示裝置
12‧‧‧背光單元
14、15‧‧‧玻璃基板
16‧‧‧TFT
17‧‧‧硬化膜
18‧‧‧接觸孔
19‧‧‧ITO透明電極
20‧‧‧液晶
22‧‧‧彩色濾光片
圖1表示液晶顯示裝置的一例的構成概念圖。表示液晶顯示裝置中的主動矩陣基板的示意性剖面圖，包括作為層間絕緣膜的硬化膜17。
圖2表示有機EL顯示裝置的一例的構成概念圖。表示底部發光型有機EL顯示裝置中的基板的示意性剖面圖，包括平坦化膜4。
以下，對本發明的內容進行詳細說明。以下記載的構成要件的說明是基於本發明的代表性實施方式來進行，但本發明並不限定於此種實施方式。此外，本申請案說明書中所謂「~」，是以包含其前後所記載的數值作為下限值以及上限值的含義來使用。
此外，本說明書中的基團(原子團)的表述中，未記載經取代以及未經取代的表述不僅包含不具有取代基者，而且亦包含具有取代基者。例如所謂「烷基」，不僅包含不具有取代基的烷 基(未經取代的烷基)，而且亦包含具有取代基的烷基(經取代的烷基)。
本發明的感光性樹脂組成物(以下有時稱為「本發明的組成物」)的特徵在於含有：(A)包含滿足下述(1)及(2)的至少一者的聚合物的聚合物成分：(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保護的殘基的構成單元、以及(a2)具有環氧基的構成單元的聚合物，(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保護的殘基的構成單元的聚合物、以及包括(a2)具有環氧基的構成單元的聚合物；(B)光酸產生劑；(C)分子量小於1000的脂環式環氧化合物；以及(D)溶劑。另外，本發明的感光性樹脂組成物較佳為化學增幅正型感光性樹脂組成物。
以下，對本發明的組成物進行詳細說明。
<(A)聚合物成分>
本發明的組成物包含以下聚合物的至少一者作為聚合物成分：(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保護的基團的構成單元以及(a2)具有環氧基的構成單元的聚合物；以及(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保護的基團的構成單元的聚合物以及包括(a2)具有環氧基的構成單元的聚合物。進而，亦可包含該些聚合物以外的聚合物。只要未特別說明，則本發明中的(A) 聚合物成分(以下有時稱為「(A)成分」)是指除了包含上述(1)及/或(2)以外，還包含視需要添加的其他聚合物者。
<<構成單元(a1)>>
成分A至少包括(a1)具有酸基由酸分解性基保護的基團的構成單元。藉由(A)成分包括構成單元(a1)，可製成感度極高的感光性樹脂組成物。
本發明中的「酸基由酸分解性基保護的基團」可使用作為酸基以及酸分解性基而公知的基團，並無特別限定。具體的酸基較佳為列舉羧基、以及酚性羥基。另外，酸分解性基可使用藉由酸而比較容易分解的基團(例如，後述酯結構、四氫吡喃基酯基、或者四氫呋喃基酯基等縮醛系官能基)或藉由酸而比較難以分解的基團(例如，第三丁酯基等三級烷基、第三丁基碳酸酯基等三級烷基碳酸酯基)。
(a1)具有酸基由酸分解性基保護的基團的構成單元較佳為具有由酸分解性基保護的保護羧基的構成單元、或者具有由酸分解性基保護的保護酚性羥基的構成單元。
以下，依次對具有由酸分解性基保護的保護羧基的構成單元(a1-1)、及具有由酸分解性基保護的保護酚性羥基的構成單元(a1-2)分別進行說明。
<<<(a1-1)具有由酸分解性基保護的保護羧基的構成單元>>>
上述具有由酸分解性基保護的保護羧基的構成單元 (a1-1)是具有羧基的構成單元的羧基由以下所詳細說明的酸分解性基來保護的具有保護羧基的構成單元。
上述具有由酸分解性基保護的保護羧基的構成單元(a1-1)中可使用的上述具有羧基的構成單元並無特別限制，可使用公知的構成單元。例如可列舉：源自不飽和單羧酸、不飽和二羧酸、不飽和三羧酸等分子中具有至少1個羧基的不飽和羧酸等的構成單元(a1-1-1)；或同時具有乙烯性不飽和基及源自酸酐的結構的構成單元(a1-1-2)。
以下，依次對作為上述具有羧基的構成單元來使用的(a1-1-1)源自分子中具有至少1個羧基的不飽和羧酸等的構成單元、以及(a1-1-2)同時具有乙烯性不飽和基及源自酸酐的結構的構成單元分別進行說明。
<<<<(a1-1-1)源自分子中具有至少1個羧基的不飽和羧酸等的構成單元>>>>
作為上述源自分子中具有至少1個羧基的不飽和羧酸等的構成單元(a1-1-1)可使用如以下所列舉的不飽和羧酸作為本發明中使用的不飽和羧酸。即，不飽和單羧酸例如可列舉：丙烯酸、甲基丙烯酸、丁烯酸、α-氯丙烯酸、桂皮酸、2-(甲基)丙烯醯氧基乙基-丁二酸、2-(甲基)丙烯醯氧基乙基六氫鄰苯二甲酸、2-(甲基)丙烯醯氧基乙基-鄰苯二甲酸等。另外，不飽和二羧酸例如可列舉：順丁烯二酸、反丁烯二酸、衣康酸、檸康酸、中康酸等。另外，用於獲得具有羧基的構成單元的不飽和多元羧酸亦可為其酸 酐。具體而言可列舉：順丁烯二酸酐、衣康酸酐、檸康酸酐等。另外，不飽和多元羧酸可為多元羧酸的單(2-甲基丙烯醯氧基烷基)酯，例如可列舉：丁二酸單(2-丙烯醯氧基乙基)酯、丁二酸單(2-甲基丙烯醯氧基乙基)酯、鄰苯二甲酸單(2-丙烯醯氧基乙基)酯、鄰苯二甲酸單(2-甲基丙烯醯氧基乙基)酯等。進而，不飽和多元羧酸可為其兩末端二羧基聚合物的單(甲基)丙烯酸酯，例如可列舉ω-羧基聚己內酯單丙烯酸酯、ω-羧基聚己內酯單甲基丙烯酸酯等。另外，不飽和羧酸亦可使用：丙烯酸-2-羧基乙酯、甲基丙烯酸-2-羧基乙酯、順丁烯二酸單烷基酯、反丁烯二酸單烷基酯、4-羧基苯乙烯等。
其中，就顯影性的觀點而言，為了形成上述源自分子中具有至少1個羧基的不飽和羧酸等的構成單元(a1-1-1)，較佳為使用丙烯酸、甲基丙烯酸、2-(甲基)丙烯醯氧基乙基-丁二酸、2-(甲基)丙烯醯氧基乙基六氫鄰苯二甲酸、2-(甲基)丙烯醯氧基乙基-鄰苯二甲酸、或者不飽和多元羧酸的酸酐等，更佳為使用丙烯酸、甲基丙烯酸、2-(甲基)丙烯醯氧基乙基六氫鄰苯二甲酸。
上述源自分子中具有至少1個羧基的不飽和羧酸等的構成單元(a1-1-1)可單獨包含1種，亦可包含2種以上。
<<<<(a1-1-2)同時具有乙烯性不飽和基及源自酸酐的結構的構成單元>>>>
同時具有乙烯性不飽和基及源自酸酐的結構的構成單元(a1-1-2)較佳為源自使具有乙烯性不飽和基的構成單元中所存 在的羥基與酸酐進行反應而獲得的單體的單元。
上述酸酐可使用公知的酸酐，具體而言可列舉：順丁烯二酸酐、丁二酸酐、衣康酸酐、鄰苯二甲酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐、六氫鄰苯二甲酸酐、氯橋酸酐等二元酸酐；偏苯三甲酸酐、均苯四甲酸酐、二苯基酮四羧酸酐、聯苯四羧酸酐等酸酐。該些酸酐中，就顯影性的觀點而言，較佳為鄰苯二甲酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐、或者丁二酸酐。
就顯影性的觀點而言，上述酸酐對羥基的反應率較佳為10莫耳%~100莫耳%，更佳為30莫耳%~100莫耳%。
<<<<構成單元(a1-1)中可使用的酸分解性基>>>>
上述具有由酸分解性基保護的保護羧基的構成單元(a1-1)中可使用的上述酸分解性基可使用上述酸分解性基。
就感光性樹脂組成物的基本物性，特別是感度或圖案形狀、接觸孔的形成性、感光性樹脂組成物的保存穩定性的觀點而言，該些酸分解性基中，較佳為羧基為由縮醛的形式所保護的保護羧基。進而就感度的觀點而言，酸分解性基中，更佳為羧基為由下述通式(a1-10)所表示的縮醛的形式所保護的保護羧基。此外，於羧基為由下述通式(a1-10)所表示的縮醛的形式所保護的保護羧基的情況下，保護羧基的整體形成-(C=O)-O-CR101R102(OR103)的結構。
(式(a1-10)中，R101及R102分別獨立地表示氫原子或者烷基，其中，R101與R102均為氫原子的情況除外；R103表示烷基；R101或R102、與R103可連結而形成環狀醚。)
上述通式(a1-10)中，R101~R103分別獨立地表示氫原子或者烷基，上述烷基可為直鏈狀、分支鏈狀、環狀的任一種。此處，不存在R101及R102的兩者均表示氫原子的情況，R101及R102的至少一者表示烷基。
上述通式(a1-10)中，於R101、R102及R103表示烷基的情況下，上述烷基可為直鏈狀、分支鏈狀或者環狀的任一種。
上述直鏈狀或者分支鏈狀的烷基較佳為碳數1~12，更佳為碳數1~6，尤佳為碳數1~4。具體而言可列舉：甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第二丁基、第三丁基、正戊基、新戊基、正己基、2,3-二甲基-2-丁基(thexyl)、正庚基、正辛基、2-乙基己基、正壬基、正癸基等。
上述環狀烷基較佳為碳數3~12，更佳為碳數4~8，尤佳為碳數4~6。上述環狀烷基例如可列舉：環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環庚基、環辛基、降冰片基、異冰片基等。
上述烷基可具有取代基，取代基可例示：鹵素原子、芳基、烷氧基。於具有鹵素原子作為取代基的情況下，R101、R102、R103成為鹵代烷基，於具有芳基作為取代基的情況下，R101、R102、R103成為芳烷基。
上述鹵素原子可例示：氟原子、氯原子、溴原子、碘原子，該些鹵素原子中較佳為氟原子或者氯原子。
另外，上述芳基較佳為碳數6~20的芳基，更佳為碳數6~12，具體而言，可例示苯基、α-甲基苯基、萘基等，經芳基取代的烷基整體即芳烷基可例示苄基、α-甲基苄基、苯乙基、萘基甲基等。
上述烷氧基較佳為碳數1~6的烷氧基，更佳為碳數1~4，進而更佳為甲氧基或者乙氧基。
另外，於上述烷基為環狀烷基的情況下，上述環狀烷基可具有碳數1~10的直鏈狀或者分支鏈狀的烷基作為取代基，於烷基為直鏈狀或者分支鏈狀的烷基的情況下，可具有碳數3~12的環狀烷基作為取代基。
該些取代基可經上述取代基進一步取代。
上述通式(a1-10)中，於R101、R102及R103表示芳基的情況下，上述芳基較佳為碳數6~12，更佳為碳數6~10。上述芳基可具有取代基，上述取代基較佳為可例示碳數1~6的烷基。芳基例如可例示：苯基、甲苯基、矽烷基、枯烯基、1-萘基等。
另外，R101、R102及R103可相互鍵結而與它們所鍵結的 碳原子一起形成環。R101與R102、R101與R103或R102與R103鍵結的情況下的環結構例如可列舉：環丁基、環戊基、環己基、環庚基、四氫呋喃基、金剛烷基以及四氫吡喃基等。
此外，上述通式(a1-10)中，較佳為R101及R102的任一者為氫原子或者甲基。
用於形成具有上述通式(a1-10)所表示的保護羧基的構成單元的自由基聚合性單體可使用市售者，亦可使用以公知方法合成者。例如可利用日本專利特開2011-221494號公報的段落編號0037~段落編號0040中記載的合成方法等來合成。
上述具有由酸分解性基保護的保護羧基的構成單元(a1-1)的第一較佳態樣為下述通式所表示的構成單元。
(式中，R1及R2分別表示氫原子、烷基或者芳基，至少R1及R2的任一者為烷基或者芳基，R3表示烷基或者芳基，R1或R2、與R3可連結而形成環狀醚，R4表示氫原子或者甲基，X表示單鍵或者伸芳基。)
於R1及R2為烷基的情況下，較佳為碳數為1~10的烷 基。於R1及R2為芳基的情況下，較佳為苯基。R1及R2分別較佳為氫原子或者碳數1~4的烷基。
R3表示烷基或者芳基，較佳為碳數1~10的烷基，更佳為1~6的烷基。
X表示單鍵或者伸芳基，較佳為單鍵。
上述具有由酸分解性基保護的保護羧基的構成單元(a1-1)的第二較佳態樣為下述通式的結構單元。
(式中，R121表示氫原子或者碳數1~4的烷基，L1表示羰基或者伸苯基，R122~R128分別獨立地表示氫原子或者碳數1~4的烷基。)
R121較佳為氫原子或者甲基。
L1較佳為羰基。
R122~R128較佳為氫原子。
上述具有由酸分解性基保護的保護羧基的構成單元(a1-1)的較佳具體例可例示下述構成單元。此外，R表示氫原子 或者甲基。
<<<(a1-2)具有由酸分解性基保護的保護酚性羥基的構成單元>>>
上述具有由酸分解性基保護的保護酚性羥基的構成單元(a1-2)為具有酚性羥基的構成單元由以下所詳細說明的酸分解性基所保護的具有保護酚性羥基的構成單元。
<<<<(a1-2-1)具有酚性羥基的構成單元>>>>
上述具有酚性羥基的構成單元可列舉羥基苯乙烯系構成單元或酚醛清漆系樹脂中的構成單元，該些構成單元中，就感度的觀點而言，較佳為源自羥基苯乙烯、或者α-甲基羥基苯乙烯的構成單元。另外，就感度的觀點而言，具有酚性羥基的構成單元亦較佳為下述通式(a1-20)所表示的構成單元。
通式(a1-20)
(通式(a1-20)中，R220表示氫原子或者甲基，R221表示單鍵或者二價連結基，R222表示鹵素原子或者碳數1~5的直鏈或者分支鏈狀的烷基，a表示1~5的整數，b表示0~4的整數，a+b為5以下；此外，於R222存在2個以上的情況下，該些R222可相互不同亦可相同。)
上述通式(a1-20)中，R220表示氫原子或者甲基，較佳為甲基。
另外，R221表示單鍵或者二價連結基。於單鍵的情況下，可提高感度，進而可提高硬化膜的透明性，因此較佳。R221的二價連結基可例示伸烷基，R221為伸烷基的具體例可列舉：亞甲基、伸乙基、伸丙基、伸異丙基、伸正丁基、伸異丁基、伸第三丁基、伸戊基、伸異戊基、伸新戊基、伸己基等。其中，R221較佳為單鍵、亞甲基、伸乙基。另外，上述二價連結基可具有取代基，取代基可列舉鹵素原子、羥基、烷氧基等。另外，a表示1~5的整數，但就本發明的效果的觀點、或製造容易的方面而言，較佳為a為1或2，更佳為a為1。
另外，當以與R221鍵結的碳原子為基準(1位)時，苯 環中的羥基的鍵結位置較佳為鍵結於4位。
R222為鹵素原子或者碳數1~5的直鏈或者分支鏈狀的烷基。具體而言可列舉：氟原子、氯原子、溴原子、甲基、乙基、丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、戊基、異戊基、新戊基等。其中就製造容易的方面而言，較佳為氯原子、溴原子、甲基或者乙基。
另外，b表示0或者1~4的整數。
<<<<構成單元(a1-2)中可使用的酸分解性基>>>>
上述具有由酸分解性基保護的保護酚性羥基的構成單元(a1-2)中可使用的上述酸分解性基可與上述具有由酸分解性基保護的保護羧基的構成單元(a1-1)中可使用的上述酸分解性基同樣地使用公知者，並無特別限定。就感光性樹脂組成物的基本物性，特別是感度或圖案形狀、感光性樹脂組成物的保存穩定性、接觸孔的形成性的觀點而言，酸分解性基中較佳為具有由縮醛保護的保護酚性羥基的構成單元。進而，就感度的觀點而言，酸分解性基中更佳為酚性羥基由上述通式(a1-10)所表示的縮醛的形式來保護的保護酚性羥基。此外，於酚性羥基為由上述通式(a1-10)所表示的縮醛的形式來保護的保護酚性羥基的情況下，保護酚性羥基的整體形成-Ar-O-CR101R102(OR103)的結構。此外，Ar表示伸芳基。
酚性羥基的縮醛酯結構的較佳例可例示R101=R102=R103= 甲基或R101=R102=甲基且R103=苄基的組合。
另外，用於形成具有酚性羥基由縮醛的形式來保護的保護酚性羥基的構成單元的自由基聚合性單體例如可列舉日本專利特開2011-215590號公報的段落編號0042中記載的單體等。
該些單體中，就透明性的觀點而言，較佳為甲基丙烯酸4-羥基苯酯的1-烷氧基烷基保護體、甲基丙烯酸4-羥基苯酯的四氫吡喃基保護體。
酚性羥基的縮醛保護基的具體例可列舉1-烷氧基烷基，例如可列舉：1-乙氧基乙基、1-甲氧基乙基、1-正丁氧基乙基、1-異丁氧基乙基、1-(2-氯乙氧基)乙基、1-(2-乙基己氧基)乙基、1-正丙氧基乙基、1-環己氧基乙基、1-(2-環己基乙氧基)乙基、1-苄氧基乙基等，該些基團可單獨使用或者將2種以上組合使用。
用於形成上述具有由酸分解性基保護的保護酚性羥基的構成單元(a1-2)的自由基聚合性單體可使用市售者，亦可使用以公知的方法合成者。例如，可藉由使具有酚性羥基的化合物於酸觸媒的存在下與乙烯基醚進行反應而合成。上述合成可使具有酚性羥基的單體與其他單體預先共聚合，然後於酸觸媒的存在下與乙烯基醚進行反應。
上述具有由酸分解性基保護的保護酚性羥基的構成單元(a1-2)的較佳具體例可例示下述構成單元，但本發明並不限定於該些構成單元。
<<<構成單元(a1)的較佳態樣>>>
於含有上述構成單元(a1)的聚合物實質上不含構成單元(a2)的情況下，含有該構成單元(a1)的聚合物中，構成單元(a1)較佳為20莫耳%~100莫耳%，更佳為30莫耳%~90莫耳%。
於含有上述構成單元(a1)的聚合物含有下述構成單元(a2)的情況下，含有該構成單元(a1)與構成單元(a2)的聚合物中，就感度的觀點而言，構成單元(a1)較佳為3莫耳%~70 莫耳%，更佳為10莫耳%~60莫耳%。另外，尤其於上述構成單元(a1)中可使用的上述酸分解性基為具有羧基由縮醛的形式來保護的保護羧基的構成單元的情況下，較佳為20莫耳%~50莫耳%。
上述具有由酸分解性基保護的保護羧基的構成單元(a1-1)若與上述具有由酸分解性基保護的保護酚性羥基的構成單元(a1-2)相比，則具有顯影快速的特徵。因此，於欲快速顯影的情況下，較佳為具有由酸分解性基保護的保護羧基的構成單元(a1-1)。相反，於欲減緩顯影的情況下，較佳為使用具有由酸分解性基保護的保護酚性羥基的構成單元(a1-2)。
上述具有由酸分解性基保護的保護羧基的構成單元(a1-1)若與上述具有由酸分解性基保護的保護酚性羥基的構成單元(a1-2)相比，則具有顯影快速的特徵。因此，於欲快速顯影的情況下，較佳為具有由酸分解性基保護的保護羧基的構成單元(a1-1)。相反，於欲減緩顯影的情況下，較佳為使用具有由酸分解性基保護的保護酚性羥基的構成單元(a1-2)。
<<(a2)具有環氧基的構成單元>>
(A)成分包括具有環氧基的構成單元(a2)。上述具有環氧基的構成單元(a2)只要於1個構成單元中具有至少1個環氧基即可，較佳為具有合計為1個~3個的環氧基，更佳為具有合計為1個或2個的環氧基，尤佳為具有1個環氧基。
用於形成具有環氧基的構成單元的自由基聚合性單體 的具體例例如可列舉：丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、α-乙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丁基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸-3,4-環氧基丁酯、甲基丙烯酸-3,4-環氧基丁酯、丙烯酸-3,4-環氧環己基甲酯、甲基丙烯酸-3,4-環氧環己基甲酯、α-乙基丙烯酸-3,4-環氧環己基甲酯、鄰乙烯基苄基縮水甘油醚、間乙烯基苄基縮水甘油醚、對乙烯基苄基縮水甘油醚、日本專利第4168443號公報的段落編號0031~段落編號0035中記載的含有脂環式環氧骨架的化合物等，該些內容併入本申請案說明書中。
用於形成上述具有環氧基的構成單元(a2)的自由基聚合性單體的具體例較佳為含有甲基丙烯酸酯結構的單體、含有丙烯酸酯結構的單體。
該些單體中較佳為：甲基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯、甲基丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯、丙烯酸(3-乙基氧雜環丁烷-3-基)甲酯、以及甲基丙烯酸(3-乙基氧雜環丁烷-3-基)甲酯。該些構成單元可單獨使用1種或者將2種以上組合使用。
上述具有環氧基的構成單元(a2)的較佳具體例可例示下述構成單元。此外，R表示氫原子或者甲基。
<<<構成單元(a2)的較佳態樣>>>
於含有上述構成單元(a2)的聚合物實質上不含構成單元(a1)的情況下，含有該構成單元(a2)的聚合物中，構成單元(a2)較佳為5莫耳%~90莫耳%，更佳為20莫耳%~80莫耳%。
於含有上述構成單元(a2)的聚合物含有上述構成單元(a1)的情況下，含有該構成單元(a1)及構成單元(a2)的聚合物中，就耐化學品性的觀點而言，構成單元(a2)較佳為3莫耳%~70莫耳%，更佳為10莫耳%~60莫耳%。
本發明中，進而，不論哪一種態樣，(A)成分的總構成單元中，較佳為含有3莫耳%~70莫耳%的構成單元(a2)，更佳為含有10莫耳%~60莫耳%，最佳為含有20莫耳%~60莫耳%。
進而，構成單元(a2)所具有的環氧基較佳為不為脂環式環氧基。
若為上述的數值範圍內，則由感光性樹脂組成物獲得的硬化膜的透明性以及耐化學品性變得良好。
<<(a3)其他構成單元>>
本發明中，(A)成分除了包括上述構成單元(a1)及/或構成單元(a2)以外，亦可包括該些構成單元以外的其他構成單元(a3)。該些構成單元亦可包含上述聚合物成分(3)及/或聚合物成分(2)。另外，除上述聚合物成分(1)或聚合物成分(2)以外，亦可包含實質上不含構成單元(a1)及構成單元(a2)而包括其他構成單元(a3)的聚合物成分。在除上述聚合物成分(1)或聚合物成分(2)以外，包括實質上不含構成單元(a1)及構成單元(a2)而包含其他構成單元(a3)的聚合物成分的情況下，總聚合物成分中，該聚合物成分的調配量較佳為60質量%以下，更佳為40質量%以下，尤佳為20質量%以下。
成為其他構成單元(a3)的單體並無特別限制，例如可列舉：苯乙烯類、(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸環狀烷基酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、不飽和二羧酸二酯、雙環不飽和化合物類、順丁烯二醯亞胺化合物類、不飽和芳香族化合物、共軛二烯系化合物、不飽和單羧酸、不飽和二羧酸、不飽和二羧酸酐、其他不飽和化合物。另外，如後所述，亦可包括具有酸基的構成單元。成為其他構成單元(a3)的單體可單獨使用或者將2種以上組合使用。
以下，列舉本發明的聚合物成分的較佳實施形態，但本發明並不限定於該些實施形態。
(第1實施形態)
聚合物成分(1)更包括1種或者2種以上的其他構成 單元(a3)的態樣。
(第2實施形態)
聚合物成分(2)的包括(a1)具有酸基由酸分解性基保護的基團的構成單元的聚合物更包括1種或者2種以上的其他構成單元(a3)的態樣。
(第3實施形態)
聚合物成分(2)的包括(a2)具有環氧基的構成單元的聚合物更包括1種或者2種以上的其他構成單元(a3)的態樣。
(第4實施形態)
上述第1實施形態~第3實施形態的任一者中，包括至少包含酸基的構成單元作為其他構成單元(a3)的態樣。
(第5實施形態)
除上述聚合物成分(1)或聚合物成分(2)以外，更包含實質上不含構成單元(a1)及構成單元(a2)而包括其他構成單元(a3)的聚合物的態樣。
(第6實施形態)
包含上述第1實施形態~第5實施形態的2種以上的組合的形態。
(第7實施形態)
至少包含聚合物成分(2)的態樣。尤其於上述第1實施形態~第6實施形態中，至少包含聚合物成分(2)的態樣。
具體而言，構成單元(a3)可列舉源自以下化合物的構 成單元：苯乙烯、第三丁氧基苯乙烯、甲基苯乙烯、羥基苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙醯氧基苯乙烯、甲氧基苯乙烯、乙氧基苯乙烯、氯苯乙烯、乙烯基苯甲酸甲酯、乙烯基苯甲酸乙酯、4-羥基苯甲酸(3-甲基丙烯醯氧基丙基)酯、(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、丙烯腈、乙二醇單乙醯乙酸酯單(甲基)丙烯酸酯等。除此以外，可列舉日本專利特開2004-264623號公報的段落編號0021~段落編號0024中記載的化合物。
另外，就電特性的觀點，其他構成單元(a3)較佳為苯乙烯類、具有脂肪族環式骨架的基團。具體而言可列舉：苯乙烯、第三丁氧基苯乙烯、甲基苯乙烯、羥基苯乙烯、α-甲基苯乙烯、(甲基)丙烯酸二環戊酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸苄酯等。
另外，就密接性的觀點而言，其他構成單元(a3)較佳為(甲基)丙烯酸烷基酯。具體而言可列舉：(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯等，更佳為(甲基)丙烯酸甲酯。構成聚合物(A)的構成單元中，上述構成單元(a3)的含有率較佳為60莫耳%以下，更佳為50莫耳%以下，尤佳為40莫耳%以下。下限值可為0莫耳%，例如可設為1莫耳%以上，進而可設為5莫耳%以上。若為上述的數值範圍內，則由感光性樹脂組成物獲得的硬化膜的諸特性變得良好。
其他構成單元(a3)較佳為包含酸基。藉由包含酸基，而變得容易溶解於鹼性的顯影液中，更有效果地發揮本發明的效果。本發明中的所謂酸基，是指pKa小於7的質子解離性基。通常是使用可形成酸基的單體作為包含酸基的構成單元，而將酸基組入至聚合物中。藉由在聚合物中含有此種包含酸基的構成單元，而存在變得容易溶解於鹼性顯影液中的傾向。
本發明中使用的酸基可例示：源自羧酸基者、源自磺醯胺基者、源自膦酸基者、源自磺酸基者、源自酚性羥基者、磺醯胺基、磺醯亞胺基等，較佳為源自羧酸基者及/或源自酚性羥基者。
本發明中使用的包含酸基的構成單元更佳為源自苯乙烯的構成單元、或源自乙烯基化合物的構成單元、源自(甲基)丙烯酸及/或其酯的構成單元。
本發明中，尤其就感度的觀點而言，較佳為含有具有羧基的構成單元、或者具有酚性羥基的構成單元。
包含酸基的構成單元較佳為總聚合物成分的構成單元的1莫耳%~80莫耳%，更佳為1莫耳%~50莫耳%，尤佳為5莫耳%~40莫耳%，特佳為5莫耳%~30莫耳%，最佳為5莫耳%~20莫耳%。
本發明中，除上述聚合物成分(1)或聚合物成分(2)以外，亦可包含實質上不含構成單元(a1)及構成單元(a2)而包括其他構成單元(a3)的聚合物。
此種聚合物較佳為側鏈上具有羧基的樹脂。例如可列 舉：如日本專利特開昭59-44615號、日本專利特公昭54-34327號、日本專利特公昭58-12577號、日本專利特公昭54-25957號、日本專利特開昭59-53836號、日本專利特開昭59-71048號的各公報中所記載的甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸共聚物、衣康酸共聚物、丁烯酸共聚物、順丁烯二酸共聚物、部分酯化順丁烯二酸共聚物等，以及側鏈上具有羧基的酸性纖維素衍生物、於具有羥基的聚合物中加成酸酐而成者等，進而亦可列舉側鏈上具有(甲基)丙烯醯基的高分子聚合物作為較佳者。
例如可列舉：(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸共聚物、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯/(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸共聚物、日本專利特開平7-140654號公報中記載的(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯/聚苯乙烯巨單體/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯/聚甲基丙烯酸甲酯巨單體/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸2-羥基乙酯/聚苯乙烯巨單體/甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸2-羥基乙酯/聚苯乙烯巨單體/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物等。
除此以外，可使用：日本專利特開平7-207211號公報、日本專利特開平8-259876號公報、日本專利特開平10-300922號公報、日本專利特開平11-140144號公報、日本專利特開平11-174224號公報、日本專利特開2000-56118號公報、日本專利特開2003-233179號公報、日本專利特開2009-52020號公報等中記載的公知的高分子化合物，該些內容併入本申請案說明書中。
該些聚合物亦可使用市售的：SMA 1000P、SMA 2000P、SMA 3000P、SMA 1440F、SMA 17352P、SMA 2625P、SMA 3840F(以上由沙多瑪(Sartomer)公司製造)，ARUFON UC-3000、ARUFON UC-3510、ARUFON UC-3900、ARUFON UC-3910、ARUFON UC-3920、ARUFON UC-3080(以上由東亞合成(股)製造)，Joncryl 680、Joncryl 682、Joncryl 690、Joncryl 678、Joncryl 67、Jonoryl 586(以上由巴斯夫(BASF)製造)等。
該些其他聚合物可僅包含1種，亦可包含2種以上。
<<(A)聚合物的分子量>>
(A)聚合物的分子量以聚苯乙烯換算重量平均分子量計，較佳為1,000~200,000，更佳為2,000~50,000的範圍，尤佳為10,000~50,000的範圍。若為上述的數值範圍內，則諸特性良好。數平均分子量與重量平均分子量的比(分散度)較佳為1.0~5.0，更佳為1.5~3.5。
<<(A)聚合物的製造方法>>
另外，(A)成分的合成法亦已知多種方法，若列舉一例，則可藉由使用自由基聚合起始劑，將至少包含用於形成上述(a1)及上述(a3)所表示的構成單元的自由基聚合性單體的自由基聚合性單體混合物，於有機溶劑中進行聚合來合成。另外，亦可藉由所謂的高分子反應來合成。
相對於總固體成分100質量份，本發明的感光性樹脂組成物較佳為以50質量份~99.9質量份的比例包含(A)成分，更 佳為以70質量份~98質量份的比例包含(A)成分。
<(B)光酸產生劑>
本發明的感光性樹脂組成物含有(B)光酸產生劑。本發明中使用的光酸產生劑(亦稱為「(B)成分」)較佳為對波長為300nm以上、較佳為波長300~450nm的光化射線進行感應而產生酸的化合物，但對其化學結構並無限制。另外，關於對波長為300nm以上的光化射線並不直接感應的光酸產生劑，亦只要是藉由與增感劑併用而對波長為300nm以上的光化射線進行感應來產生酸的化合物，則可與增感劑組合來較佳地使用。本發明中使用的光酸產生劑較佳為產生pKa為4以下的酸的光酸產生劑，更佳為產生pKa為3以下的酸的光酸產生劑，最佳為產生pKa為2以下的酸的光酸產生劑。
光酸產生劑的例子可列舉三氯甲基-均三嗪類、鋶鹽或或錪鹽、四級銨鹽類、重氮甲烷化合物、醯亞胺磺酸酯化合物、以及肟磺酸酯化合物等。該些化合物中，就絕緣性的觀點而言，較佳為使用肟磺酸酯化合物。該些光酸產生劑可單獨使用1種或者將2種以上組合使用。三氯甲基-均三嗪類、二芳基錪鹽類、三芳基鋶鹽類、四級銨鹽類、以及重氮甲烷衍生物的具體例可例示日本專利特開2011-221494號公報的段落編號0083~段落編號0088中記載的化合物。
肟磺酸酯化合物即具有肟磺酸酯結構的化合物較佳為可例示含有下述通式(B1)所表示的肟磺酸酯結構的化合物。
(通式(B1)中，R21表示烷基或者芳基；波形線表示與其他基團的鍵。)
任一基團均可被取代，R21中的烷基可為直鏈狀，可為分支狀，亦可為環狀。以下對所容許的取代基進行說明。
R21的烷基較佳為碳數1~10的直鏈狀或者分支狀烷基。R21的烷基可經碳數6~11的芳基、碳數1~10的烷氧基、或者環狀烷基(7,7-二甲基-2-氧代降冰片基等橋環式脂環基，較佳為雙環烷基等)所取代。
R21的芳基較佳為碳數6~11的芳基，更佳為苯基或者萘基。R21的芳基可經低級烷基、烷氧基或者鹵素原子所取代。
含有上述通式(B1)所表示的肟磺酸酯結構的上述化合物亦較佳為下述通式(B2)所表示的肟磺酸酯化合物。
(式(B2)中，R42表示烷基或者芳基，X表示烷基、烷氧基、或者鹵素原子，m4表示0~3的整數，當m4為2或3時，多個X可相同，亦可不同。)
作為X的烷基較佳為碳數1~4的直鏈狀或者分支狀烷基。作為X的烷氧基較佳為碳數1~4的直鏈狀或者分支狀烷氧基。
作為X的鹵素原子較佳為氯原子或者氟原子。m4較佳為0或1。上述通式(B2)中，特佳為m4為1，X為甲基，X的取代位置為鄰位，R42為碳數1~10的直鏈狀烷基、7,7-二甲基-2-氧代降冰片基甲基、或者對甲苯甲醯基的化合物。
含有上述通式(B1)所表示的肟磺酸酯結構的化合物亦較佳為下述通式(B3)所表示的肟磺酸酯化合物。
(式(B3)中，R43與式(B2)中的R42含義相同，X1表示鹵素原子、羥基、碳數1~4的烷基、碳數1~4的烷氧基、氰基或者硝基，n4表示0~5的整數。)
上述通式(B3)中的R43較佳為：甲基、乙基、正丙基、正丁基、正辛基、三氟甲基、五氟乙基、全氟-正丙基、全氟-正丁 基、對甲苯基、4-氯苯基或者五氟苯基，特佳為正辛基。
X1較佳為碳數1~5的烷氧基，更佳為甲氧基。
n4較佳為0~2，特佳為0~1。
上述通式(B3)所表示的化合物的具體例可列舉：α-(甲基磺醯氧基亞胺基)苄甲腈、α-(乙基磺醯氧基亞胺基)苄甲腈、α-(正丙基磺醯氧基亞胺基)苄甲腈、α-(正丁基磺醯氧基亞胺基)苄甲腈、α-(4-甲苯磺醯氧基亞胺基)苄甲腈、α-[(甲基磺醯氧基亞胺基)-4-甲氧基苯基]乙腈、α-[(乙基磺醯氧基亞胺基)-4-甲氧基苯基]乙腈、α-[(正丙基磺醯氧基亞胺基)-4-甲氧基苯基]乙腈、α-[(正丁基磺醯氧基亞胺基)-4-甲氧基苯基]乙腈、α-[(4-甲苯磺醯氧基亞胺基)-4-甲氧基苯基]乙腈。
較佳的肟磺酸酯化合物的具體例可列舉下述化合物(i)~化合物(viii)等，可單獨使用1種或者將2種以上併用。化合物(i)~化合物(viii)可作為市售品來獲取。另外，亦可與其他種類的(B)光酸產生劑組合使用。
含有上述通式(B1)所表示的肟磺酸酯結構的化合物亦較佳為下述通式(OS-1)所表示的化合物。
上述通式(OS-1)中，R101表示氫原子、烷基、烯基、烷氧基、烷氧基羰基、醯基、胺甲醯基、胺磺醯基、磺基、氰基、芳基、或者雜芳基。R102表示烷基、或者芳基。
X101表示-O-、-S-、-NH-、-NR105-、-CH2-、-CR106H-、或者-CR105R107-，R105~R107表示烷基、或者芳基。
R121~R124分別獨立地表示氫原子、鹵素原子、烷基、烯基、烷氧基、胺基、烷氧基羰基、烷基羰基、芳基羰基、醯胺基、磺基、氰基、或者芳基。R121~R124中的2個可分別相互鍵結而形成環。
R121~R124較佳為氫原子、鹵素原子、以及烷基，另外，還可較佳地列舉R121~R124中的至少2個相互鍵結而形成芳基的態樣。其中，就感度的觀點而言，較佳為R121~R124均為氫原子的態樣。
已述的官能基均可進而具有取代基。
上述通式(OS-1)所表示的化合物更佳為下述通式(OS-2)所表示的化合物。
上述通式(OS-2)中，R101、R102、R121~R124分別與式(OS-1)中含義相同，並且較佳例亦相同。
該些較佳例中，更佳為上述通式(OS-1)及上述通式 (OS-2)中的R101為氰基、或者芳基的態樣，最佳為上述通式(OS-2)所表示且R101為氰基、苯基或者萘基的態樣。
另外，上述肟磺酸酯化合物中肟或苯并噻唑環的立體結構(E,Z等)分別可為任一者，亦可為混合物。
本發明中可適宜使用的上述通式(OS-1)所表示的化合物的具體例可列舉日本專利特開2011-221494號公報的段落編號0128~段落編號0132中記載的化合物(例示化合物b-1~例示化合物b-34)，但本發明並不限定於此。
本發明中，含有上述通式(B1)所表示的肟磺酸酯結構的化合物較佳為下述通式(OS-3)、下述通式(OS-4)或者下述通式(OS-5)所表示的肟磺酸酯化合物。
(通式(OS-3)~通式(OS-5)中，R22、R25及R28分別獨立地表示烷基、芳基或者雜芳基，R23、R26及R29分別獨立地表示氫原子、烷基、芳基或者鹵素原子，R24、R27及R30分別獨立地表示鹵素原子、烷基、烷氧基、磺酸基、胺基磺醯基或者烷氧基磺醯基，X1~X3分別獨立地表示氧原子或者硫原子，n1~n3分別獨立 地表示1或2，m1~m3分別獨立地表示0~6的整數。)
上述通式(OS-3)~通式(OS-5)中，R22、R25及R28中的烷基、芳基或者雜芳基可具有取代基。
上述式(OS-3)~式(OS-5)中，R22、R25及R28中的烷基較佳為可具有取代基的總碳數1~30的烷基。
另外，上述通式(OS-3)~通式(OS-5)中，R22、R25及R28中的芳基較佳為可具有取代基的總碳數6~30的芳基。
另外，上述通式(OS-3)~通式(OS-5)中，R1中的雜芳基較佳為可具有取代基的總碳數4~30的雜芳基。
上述通式(OS-3)~通式(OS-5)中，R22、R25及R28中的雜芳基只要至少1個環為雜芳香環即可，例如，雜芳香環與苯環亦可縮環。
上述通式(OS-3)~通式(OS-5)中，R23、R26及R29較佳為氫原子、烷基或者芳基，更佳為氫原子或者烷基。
上述通式(OS-3)~通式(OS-5)中，化合物中存在2個以上的R23、R26及R29中，較佳為1個或者2個為烷基、芳基或者鹵素原子，更佳為1個為烷基、芳基或者鹵素原子，特佳為1個為烷基，且其餘為氫原子。
R23、R26及R29中的烷基較佳為可具有取代基的總碳數1~12的烷基，更佳為可具有取代基的總碳數1~6的烷基。
R23、R26及R29中的芳基較佳為可具有取代基的總碳數6~30的芳基。
上述通式(OS-3)~通式(OS-5)中，X1~X3分別獨立地表示O或S，較佳為O。
上述通式(OS-3)~通式(OS-5)中，包含X1~X3作為環員的環為5員環或者6員環。
上述通式(OS-3)~通式(OS-5)中，n1~n3分別獨立地表示1或2，於X1~X3為0的情況下，n1~n3分別獨立地較佳為1，另外，於X1~X3為S的情況下，n1~n3分別獨立地較佳為2。
上述通式(OS-3)~通式(OS-5)中，R24、R27及R30分別獨立地表示鹵素原子、烷基、烷氧基、磺酸基、胺基磺醯基或者烷氧基磺醯基。其中，R24、R27及R30分別獨立地較佳為烷基或者烷氧基。
R24、R27及R30中的烷基、烷氧基、磺酸基、胺基磺醯基以及烷氧基磺醯基可具有取代基。
上述通式(OS-3)~通式(OS-5)中，R24、R27及R30中的烷基較佳為可具有取代基的總碳數1~30的烷基。
上述通式(OS-3)~通式(OS-5)中，R24、R27及R30中的烷氧基較佳為可具有取代基的總碳數1~30的烷氧基。
另外，上述通式(OS-3)~通式(OS-5)中，m1~m3分別獨立地表示0~6的整數，較佳為0~2的整數，更佳為0或1，特佳為0。
另外，關於上述(OS-3)~通式(OS-5)的各自的取代 基，日本專利特開2011-221494號公報的段落編號0092~段落編號0109中記載的(OS-3)~(OS-5)的取代基的較佳範圍亦同樣地較佳。
另外，含有上述通式(B1)所表示的肟磺酸酯結構的化合物特佳為下述通式(OS-6)~通式(OS-11)的任一者所表示的肟磺酸酯化合物。
(式(OS-6)~式(OS-11)中，R301~R306表示烷基、芳基或者雜芳基，R307表示氫原子或者溴原子，R308~R310、R313、R316及R318分別獨立地表示氫原子、碳數1~8的烷基、鹵素原子、氯甲基、溴甲基、溴乙基、甲氧基甲基、苯基或者氯苯基，R311及R314分別獨立地表示氫原子、鹵素原子、甲基或者甲氧基，R312、R315、R317及R319分別獨立地表示氫原子或者甲基。)
上述通式(OS-6)~通式(OS-11)中的較佳範圍與日 本專利特開2011-221494號公報的段落編號0110~段落編號0112中記載的(OS-6)~(OS-11)的較佳範圍相同。
上述通式(OS-3)~上述通式(OS-5)所表示的肟磺酸酯化合物的具體例可列舉日本專利特開2011-221494號公報的段落編號0114~段落編號0120中記載的化合物，但本發明並不限定於該些化合物。
本發明的感光性樹脂組成物中，相對於感光性樹脂組成物中的總樹脂成分(較佳為固體成分，更佳為共聚物的合計)100質量份，(B)光酸產生劑較佳為使用0.1質量份~10質量份，更佳為使用0.5質量份~10質量份。亦可將2種以上併用。
<(C)分子量小於1000的脂環式環氧化合物>
本發明的感光性樹脂組成物的特徵在於含有分子量小於1000的脂環式環氧化合物(以下有時簡稱為「脂環式環氧化合物」)作為交聯劑。
脂環式環氧化合物更佳為具有1個~5個脂環式環氧基，更佳為具有1個~3個，尤佳為具有1個或者2個。
本發明中使用的脂環式環氧化合物所具有的脂環式環氧基較佳為下述所表示的脂環式環氧基。
脂環式環氧化合物較佳為由下述式(1)所表示。
(式(1)中，n表示1~4的整數；R1表示碳數1~30的有機基。)
R1表示碳數1~30的有機基，可分支，可具有不飽和鍵，亦可具有脂肪族環或者芳香環的環狀結構。另外，該些基團可具有氧、硫、氮、磷、硼、鹵素原子。另外，可具有取代基，取代基彼此可相互形成鍵。另外，R1為n價的連結基。
R1的有機基的碳數較佳為1~15，更佳為1~8，尤佳為1~6。有機基較佳為烴基或者包含烴基與-O-、-CO-、-S-及-NR-(R表示氫原子或者碳數1~7的烷基)的至少1個的組合的基團，更佳為烴基或者包含烴基與-O-及/或-CO-的組合的基團。烴基較佳為直鏈或者分支的基團，更佳為直鏈的基團。烴基的碳數較佳為1~4。1個有機基中可包含2個以上的烴基。
n表示1~4的整數，較佳為1~3的整數，更佳為1或者2。
脂環式環氧化合物的較佳態樣可例示下述式(2)所表示的化合物。
(式(2)中，R2表示碳數1~15的有機基。)
R2表示碳數1~15的有機基，可分支，可具有不飽和鍵，亦可具有脂肪族環或者芳香環的環狀結構。另外，該些基團可具有氧、硫、氮、磷、硼、鹵素原子。另外，可具有取代基，取代基彼此可相互形成鍵。另外，R2為2價連結基。
R2的有機基的碳數較佳為1~8，更佳為1~6。有機基較佳為烴基或者包含烴基與-O-、-CO-、-S-及-NR-(R表示氫原子或者碳數1~7的烷基)的至少1個組合的基團，更佳為烴基或者包含烴基與-O-及/或-CO-的組合的基團。烴基較佳為直鏈或者分支的基團，更佳為直鏈的基團。烴基的碳數較佳為1~4。1個有機基中可包含2個以上的烴基。烴基較佳為伸烷基。
脂環式環氧化合物的較佳態樣亦可例示下述式(3)所表示的化合物。
(式(3)中，R3表示碳數1~15的有機基。)
R3表示碳數1~15的有機基，可分支，可具有不飽和鍵，亦可具有脂肪族環或者芳香環的環狀結構。另外，該些基團可具有氧、硫、氮、磷、硼、鹵素原子。另外，可具有取代基，取代基彼此可相互形成鍵。另外，R3為2價連結基。
R3的有機基的碳數較佳為1~8，更佳為1~6。有機基較佳為烴基或者包含烴基與-O-、-CO-、-S-及-NR-(R表示氫原子或者碳數1~7的烷基)的至少1個的組合的基團，更佳為烴基或者包含烴基與-O-及/或-CO-的組合的基團。烴基較佳為直鏈或者分支的基團，更佳為直鏈的基團。烴基的碳數較佳為1~4。1個有機基中可包含2個以上的烴基。烴基較佳為伸烷基。
上述式(1)~式(3)的具體例可列舉如下所述的化合物，但本發明並不特別限定於此。
另外，脂環式環氧化合物較佳為由下述式(X-1)所表示。
(式(X-1)中，R4表示碳數1~27的有機基；R5表示碳數1~27的取代基；其中，除1個脂環式環氧基以外的碳數為3~30。)
R4表示碳數1~27的有機基，可分支，可具有不飽和鍵，亦可具有脂肪族環或者芳香環的環狀結構。另外，該些基團可具有氧、硫、氮、磷、硼、鹵素原子。另外，可具有取代基，取代基彼此可相互形成鍵。
R4的有機基的碳數較佳為1~15，更佳為1~8，尤佳為1~6。有機基較佳為烴基或者包含烴基與-O-、-CO-、-S-及-NR-(R表示氫原子或者碳數1~7的烷基)的至少1個的組合的基團，更佳為烴基或者包含烴基與-O-及/或-CO-的組合的基團。烴基較佳為直鏈或者分支的基團，更佳為直鏈的基團。烴基的碳數較佳為1~4。1個有機基中可包含2個以上的烴基。
R5分別表示碳數1~27的取代基，分別獨立地可分支，可具有不飽和鍵，亦可具有脂肪族環或者芳香環的環狀結構。另外，該些基團可具有氧、硫、氮、磷、硼、鹵素原子。進而，它們可經選自環氧基、氧雜環丁基、乙烯性不飽和基、烷氧基矽烷基、異氰酸酯基、嵌段異氰酸酯基、硫醇基、羧基、羥基以及丁二酸酐基中的至少1種取代基所取代。
式(X-1)中的2個R5可相同亦可不同，較佳為相同。
R5的取代基的碳數較佳為1~15，更佳為1~8，尤佳為1~6。取代基較佳為包含環氧基、羥基、烴基、-O-、-CO-、-S-及-NR-(R表示氫原子或者碳數1~7的烷基)的至少1個的組合的基團，更佳為包含羥基、烴基、-O-及/或-CO-的組合的基團，以及包含環氧基、烴基與-O-及/或-CO-的組合的基團。環氧基較佳為 脂環式環氧基。另外，烴基較佳為直鏈或者分支的基團，更佳為直鏈的基團。烴基的碳數較佳為1~4。1個有機基中可包含2個以上的烴基。
式(X-1)中，除1個脂環式環氧基以外的碳數，即式(X-1)中R4、2個R5、以及包含3個氮原子的6員環內的3個碳原子的合計碳數較佳為3~30，更佳為5~25，尤佳為5~20。
另外，脂環式環氧化合物的較佳態樣可例示下述式(X-2)所表示的化合物。
(式(X-2)中，R4分別表示碳數1~27的有機基；R5表示碳數1~27的取代基；其中，除1個脂環式環氧基以外的碳數為3~30。)
R4與式(X-1)中的R4含義相同，較佳範圍亦相同。
R5與式(X-1)中的R5含義相同，較佳範圍亦相同。
式(X-2)中的2個R4可相同亦可不同，較佳為相同。
式(X-2)中，除1個脂環式環氧基以外的碳數，即式(X-2)中2個R4、R5、以及包含3個氮原子的6員環內的3個碳原子的合計碳數較佳為3~30，更佳為5~25，尤佳為5~20。
脂環式環氧化合物的較佳態樣亦可例示下述式(X-3)所表示的化合物。
(式(X-3)中，R4分別表示碳數1~27的有機基；其中，除1個脂環式環氧基以外的碳數為3~30。)
R4與式(X-1)中的R4含義相同，較佳範圍亦相同。
式(X-3)中的3個R4可相同亦可不同，較佳為相同。
式(X-3)中，除1個脂環式環氧基以外的碳數，即式(X-3)中3個R4、以及包含3個氮原子的6員環內的3個碳原子的合計碳數較佳為3~30，更佳為5~25，尤佳為5~20。
上述式(X-1)~式(X-3)的具體例可列舉如下所述的化合物，但本發明中並不特別限定於此。
本發明中使用的脂環式環氧化合物不論其製法如何，例如可參考以下文獻來合成：丸善KK出版的「第四版實驗化學講 座20有機合成II」，213~，1992年；由Alfred Hasfner編輯，「雜環化合物化學-小環雜環第3部分環氧乙烷(The chemistry of heterocyclic compounds-Small Ring Heterocycles part3 oxiranes)」，約翰．威利父子(John & Wiley and Sons)，跨學科出版物(An Interscience Publication)，紐約(New York)，1985年；吉村，「接著」，第29卷第12號第32頁，1985年；吉村，「接著」，第30卷第5號第42頁，1986年；吉村，「接著」，第30卷第7號第42頁，1986年；日本專利特開平1-100378號、日本專利第2906245號、日本專利第2926262號的各公報等。
本發明中使用的脂環式環氧化合物的分子量小於1000，較佳為小於500。藉由設為上述範圍，存在更有效果地發揮本發明的效果的傾向。下限值並無特別限定，通常為100以上。
相對於感光性樹脂組成物的總固體成分100質量份，本發明的感光性樹脂組成物中的脂環式環氧化合物的添加量較佳為0.1質量份~10質量份，更佳為0.5質量份~8質量份，尤佳為1.0質量份~5質量份。脂環式環氧化合物亦可將多種併用，該情況下，將脂環式環氧化合物全部合計來計算含量。
<(D)溶劑>
本發明的感光性樹脂組成物含有(D)溶劑。本發明的感光性樹脂組成物較佳為製備成將本發明的必需成分、進而與後述任意的成分溶解於(D)溶劑中而成的溶液。
本發明的感光性樹脂組成物中使用的(D)溶劑可使用 公知的溶劑，可例示：乙二醇單烷基醚類、乙二醇二烷基醚類、乙二醇單烷基醚乙酸酯類、丙二醇單烷基醚類、丙二醇二烷基醚類、丙二醇單烷基醚乙酸酯類、二乙二醇二烷基醚類、二乙二醇單烷基醚乙酸酯類、二丙二醇單烷基醚類、二丙二醇二烷基醚類、二丙二醇單烷基醚乙酸酯類、酯類、酮類、醯胺類、內酯類等。另外，本發明的感光性樹脂組成物中使用的(D)溶劑的具體例亦可列舉日本專利特開2011-221494號公報的段落編號0174~段落編號0178中記載的溶劑，該些內容併入本申請案說明書中。
另外，視需要亦可進而向該些溶劑中添加：苄基乙醚、二己醚、乙二醇單苯醚乙酸酯、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、異佛爾酮、己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、苄醇、苯甲醚、乙酸苄酯、苯甲酸乙酯、乙二酸二乙酯、順丁烯二酸二乙酯、碳酸乙二酯、碳酸丙二酯等溶劑。該些溶劑可單獨使用1種或者將2種以上混合使用。本發明中可使用的溶劑較佳為單獨使用1種或者將2種併用，更佳為將2種併用，尤佳為將丙二醇單烷基醚乙酸酯類或者二烷基醚類、二乙酸酯類與二乙二醇二烷基醚類、或者酯類與丁二醇烷基醚乙酸酯類併用。
另外，成分D較佳為沸點為130℃以上且小於160℃的溶劑、沸點為160℃以上的溶劑、或者該些溶劑的混合物。
沸點為130℃以上且小於160℃的溶劑可例示：丙二醇單甲醚乙酸酯(沸點為146℃)、丙二醇單乙醚乙酸酯(沸點為158℃)、丙二醇甲基-正丁醚(沸點為155℃)、丙二醇甲基-正丙 醚(沸點為131℃)。
沸點為160℃以上的溶劑可例示：3-乙氧基丙酸乙酯(沸點為170℃)、二乙二醇甲基乙醚(沸點為176℃)、丙二醇單甲醚丙酸酯(沸點為160℃)、二丙二醇甲醚乙酸酯(沸點為213℃)、3-甲氧基丁醚乙酸酯(沸點為171℃)、二乙二醇二乙醚(沸點為189℃)、二乙二醇二甲醚(沸點為162℃)、丙二醇二乙酸酯(沸點為190℃)、二乙二醇單乙醚乙酸酯(沸點為220℃)、二丙二醇二甲醚(沸點為175℃)、1,3-丁二醇二乙酸酯(沸點為232℃)。
相對於感光性樹脂組成物中的總樹脂成分100質量份，本發明的感光性樹脂組成物中的(D)溶劑的含量較佳為50質量份~95質量份，尤佳為60質量份~90質量份。
<其他成分>
本發明的感光性樹脂組成物中除了上述成分以外，視需要可較佳地添加其他交聯劑、烷氧基矽烷化合物、增感劑、鹼性化合物、界面活性劑、抗氧化劑。進而，本發明的感光性樹脂組成物中可添加酸增殖劑、顯影促進劑、塑化劑、熱自由基產生劑、熱酸產生劑、紫外線吸收劑、增黏劑、以及有機或者無機的沈澱防止劑等公知的添加劑。
其他交聯劑
本發明的感光性樹脂組成物較佳為視需要含有脂環式環氧化合物以外的其他交聯劑。藉由添加脂環式環氧化合物以外的其他交聯劑，可使由本發明的感光性樹脂組成物獲得的硬化膜 形成更牢固的膜。
交聯劑只要藉由熱而產生交聯反應，則無限制(上述(A)聚合物成分除外)。例如可添加：以下所述的分子內具有2個以上環氧基或者氧雜環丁基的化合物、含烷氧基甲基的交聯劑、或者具有至少1個乙烯性不飽和雙鍵的化合物、嵌段異氰酸酯化合物等。
相對於感光性樹脂組成物的總固體成分100質量份，本發明的感光性樹脂組成物中的交聯劑的添加量較佳為0.01質量份~50質量份，更佳為0.1質量份~30質量份，尤佳為0.5質量份~20質量份。藉由以該範圍添加，而獲得機械強度以及耐溶劑性優異的硬化膜。交聯劑亦可併用多種，該情況下將交聯劑全部合計來計算含量。
<分子內具有2個以上環氧基或者氧雜環丁基的化合物>
分子內具有2個以上環氧基的化合物的具體例可列舉：雙酚A型環氧樹脂、雙酚F型環氧樹脂、苯酚酚醛清漆型環氧樹脂、甲酚酚醛清漆型環氧樹脂、脂肪族環氧樹脂等。另外，脂肪族環氧樹脂中適宜使用鏈狀脂肪族環氧。
該些化合物可作為市售品而獲取。例如可列舉：JER157S70、JER157S65、JER828、JER1007K(三菱化學控股(Mitsubishi Chemical Holdings)(股)製造)等日本專利特開2011-221494號公報的段落編號0189中記載的市售品等。
除此以外，ADEKA RESIN EP-4000S、ADEKA RESIN EP-4003S、ADEKA RESIN EP-4010S、ADEKA RESIN EP-4011S(以上由艾迪科(ADEKA)(股)製造)、NC-2000、NC-3000、NC-7300、XD-1000、EPPN-501、EPPN-502(以上由艾迪科(股)製造)
本發明中可使用的鏈狀脂肪族環氧的分子量(於聚合物的情況下，為重量平均分子量)較佳為2000以下，更佳為1500以下，尤佳為1000以下。下限值例如可設為100以上。此外，於鏈狀脂肪族環氧化合物的重量平均分子量未記載於產品目錄等中的情況下，可藉由(環氧當量)×(官能基數)的計算來推定。另外，鏈狀脂肪族環氧的25℃下的黏度較佳為3000mPa．s以下，更佳為2000mPa．s以下，尤佳為1000mPa．s以下。下限值並無特別限定，但例如可設為5mPa．s以上。
本發明中使用的脂肪族環氧化合物為具有直鏈及/或分支的碳鏈與環氧基的樹脂，碳鏈上除了氫原子以外還可鍵結氧原子、氮原子、硫原子、氯原子等。本發明特佳為包含直鏈及/或分支的碳鏈與氫原子、環氧基的樹脂，或者該樹脂中羥基所取代的基團。環氧基的數量較佳為1~4，更佳為2或3。
另外，本發明中，較佳為實質上不含環狀脂肪族環氧化合物。藉由設為此種構成，存在更有效果地發揮本發明的效果的傾向。此處，所謂實質上不含，是指不以對本發明的效果造成影響的水準來添加，例如是指總固體成分的1重量%以下。
本發明中使用的鏈狀脂肪族環氧化合物較佳為下述通 式(X-1)所表示的樹脂。
(通式(X-1)中，A為直鏈或者分支的烴基，可具有羥基作為取代基，n為1~4的整數。)
A的碳數較佳為1~20，更佳為1~15，更佳為2~10，尤佳為2~6。n為1~4的整數，較佳為2或3。
本發明中使用的鏈狀脂肪族環氧化合物更佳為下述通式(X-2)所表示的樹脂。
(通式(X-2)中，B為直鏈或者分支的烴基，可具有羥基作為取代基，n為1~4的整數。)
B的碳數較佳為1~18，較佳為1~13，更佳為2~8。n為1~4的整數，較佳為2或3。
本發明中可較佳使用的鏈狀脂肪族環氧可列舉： Denacol EX-611(11,800mPa．s)、Denacol EX-612(11,900mPa．s)、Denacol EX-614(21,200mPa．s)、Denacol EX-614B(5,000mPa．s)、Denacol EX-622(11,800mPa．s)、Denacol EX-512(1,300mPa．s)、Denacol EX-521(4,400mPa．s)、Denacol EX-411(800mPa．s)、Denacol EX-421(650mPa．s)、Denacol EX-313(150mPa．s)、Denacol EX-314(170mPa．s)、Denacol EX-321(130mPa．s)、Denacol EX-211(20mPa．s)、Denacol EX-212(20mPa．s)、Denacol EX-810(20mPa．s)、Denacol EX-811(20mPa．s)、Denacol EX-850(20mPa．s)、Denacol EX-851(30mPa．s)、Denacol EX-821(40mPa．s)、Denacol EX-830(70mPa．s)、Denacol EX-832(90mPa．s)、Denacol EX-841(110mPa．s)、Denacol EX-911(20mPa．s)、Denacol EX-941(25mPa．s)、Denacol EX-920(20mPa．s)、Denacol EX-931(120mPa．s)、Denacol EX-212L(15mPa．s)、Denacol EX-214L(15mPa．s)、Denacol EX-321L(800mPa．s)、Denacol EX-850L(90mPa．s)、Denacol EX-211L(20mPa．s)、Denacol EX-946L(50mPa．s)、Denacol EX-946L(50mPa．s)、Denacol DLC-201(10mPa．s)、Denacol DLC-203(8mPa．as)、Denacol DLC-204(1,700mPa．s)、Denacol DLC-205(15mPa．s)、Denacol DLC-206(20mPa．s)、Denacol DLC-301(60mPa．s)、Denacol DLC-402(150mPa．s)(以上由長瀨化成(Nagase ChemteX)製造，括弧內為25℃下的黏度)、YH-300(140mPa．s~160mPa．s)、YH-301(160mPa．s~220mPa．s)、YH-302(700mPa．s~1100mPa．s)、YH-315(700mPa．s ~1100mPa．s)、YH-324(3500mPa．s~5500mPa．s)、YH-325(4000mPa．s~6000mPa．s)(以上新日鐵化學製造)等。
該些市售品中，特佳為包含下述所示的三羥甲基丙烷三縮水甘油醚或者新戊二醇二縮水甘油醚者。上述中Denacol EX-321、Denacol EX-321L、Denacol EX-211、Denacol EX-211L(以上長瀨化成製造)與其相符。
分子內具有2個以上氧雜環丁基的化合物的具體例可使用：Aron Oxetane OXT-121、Aron Oxetane OXT-221、Aron Oxetane OX-SQ、Aron Oxetane PNOX(以上由東亞合成(股)製造)。
另外，具有氧雜環丁基的化合物較佳為單獨使用或者與具有環氧基的化合物混合使用。
另外，其他交聯劑亦可較佳地使用日本專利特開2012-8223號公報的段落編號0107~段落編號0108中記載的含烷氧基甲基的交聯劑、以及具有至少1個乙烯性不飽和雙鍵的化合 物等，該些內容併入本申請案說明書中。含烷氧基甲基的交聯劑較佳為烷氧基甲基化甘脲。
相對於固體成分100重量份，本發明的感光性樹脂組成物中的分子內具有2個以上環氧基或者氧雜環丁基的化合物(特別是鏈狀環氧化合物)的含量較佳為0.1重量份~10重量份，更佳為0.5重量份~10重量份。
<嵌段異氰酸酯化合物>
本發明的感光性樹脂組成物中，亦可較佳地採用嵌段異氰酸酯系化合物作為交聯劑。嵌段異氰酸酯化合物只要是具有嵌段異氰酸酯基的化合物，則無特別限制，就硬化性的觀點而言，較佳為1分子內具有2個以上嵌段異氰酸酯基的化合物。
此外，本發明中的所謂嵌段異氰酸酯基，是指可藉由熱而生成異氰酸酯基的基團，例如，較佳為可例示使嵌段劑與異氰酸酯基反應來保護異氰酸酯基的基團。另外，上述嵌段異氰酸酯基較佳為可藉由90℃~250℃的熱而生成異氰酸酯基的基團。
另外，嵌段異氰酸酯化合物對其骨架並無特別限定，只要是1分子中具有2個異氰酸酯基者，則可為任意者，宜為脂肪族、脂環族或者芳香族的聚異氰酸酯，例如可適宜使用：2,4-甲苯二異氰酸酯、2,6-甲苯二異氰酸酯、異佛爾酮二異氰酸酯、1,6-六亞甲基二異氰酸酯、1,3-三亞甲基二異氰酸酯、1,4-四亞甲基二異氰酸酯、2,2,4-三甲基六亞甲基二異氰酸酯、2,4,4-三甲基六亞甲基二異氰酸酯、1,9-九亞甲基二異氰酸酯、1,10-十亞甲基二異氰酸 酯、1,4-環己烷二異氰酸酯、2,2'-二乙醚二異氰酸酯、二苯基甲烷-4,4'-二異氰酸酯、鄰二甲苯二異氰酸酯、間二甲苯二異氰酸酯、對二甲苯二異氰酸酯、亞甲基雙(環己基異氰酸酯)、環己烷-1,3-二亞甲基二異氰酸酯、環己烷-1,4-二亞甲基二異氰酸酯、1,5-萘二異氰酸酯、對苯二異氰酸酯、3,3'-亞甲基二甲苯-4,4'-二異氰酸酯、4,4'-二苯醚二異氰酸酯、四氯伸苯基二異氰酸酯、降冰片烷二異氰酸酯、氫化1,3-苯二甲基二異氰酸酯、氫化1,4-苯二甲基二異氰酸酯等異氰酸酯化合物以及由該些化合物衍生的預聚物型骨架的化合物。該些化合物中，特佳為甲苯二異氰酸酯(tolylene diisocyanate，TDI)或二苯基甲烷二異氰酸酯(diphenylmethane diisocyanate，MDI)、六亞甲基二異氰酸酯(hexamethylene diisocyanate，HDI)、異佛爾酮二異氰酸酯(isophorone diisocyanate，IPDI)。
本發明的感光性樹脂組成物中的嵌段異氰酸酯化合物的母結構可列舉：縮二脲(biuret)型、異三聚氰酸酯(isocyanurate)型、加合物(adduct)型、2官能預聚物型等。
形成上述嵌段異氰酸酯化合物的嵌段結構的嵌段劑可列舉：肟化合物、內醯胺化合物、酚化合物、醇化合物、胺化合物、活性亞甲基化合物、吡唑化合物、硫醇化合物、咪唑系化合物、醯亞胺系化合物等。該些化合物中，特佳為選自肟化合物、內醯胺化合物、酚化合物、醇化合物、胺化合物、活性亞甲基化合物、吡唑化合物中的嵌段劑。
上述肟化合物可列舉肟、以及酮肟，具體而言可例示：丙酮肟(acetoxime)、甲醛肟(formaldoxime)、環己烷肟、甲基乙基酮肟、環己酮肟、二苯甲酮肟等。
上述內醯胺化合物可例示：ε-己內醯胺、γ-丁內醯胺等。
上述酚化合物可例示：苯酚、萘酚、甲酚、二甲酚、經鹵素取代的苯酚等。
上述醇化合物可例示：甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、環己醇、乙二醇單烷基醚、丙二醇單烷基醚、乳酸烷基酯等。
作為上述胺化合物，可列舉1級胺以及2級胺，亦可為芳香族胺、脂肪族胺、脂環族胺的任一種，可例示：苯胺、二苯基胺、伸乙基亞胺、聚伸乙基亞胺等。
上述活性亞甲基化合物可例示：丙二酸二乙酯、丙二酸二甲酯、乙醯乙酸乙酯、乙醯乙酸甲酯等。
上述吡唑化合物可例示：吡唑、甲基吡唑、二甲基吡唑等。
上述硫醇化合物可例示：烷基硫醇、芳基硫醇等。
本發明的感光性樹脂組成物中可使用的嵌段異氰酸酯化合物可作為市售品而獲取，例如較佳為可使用：Coronate AP Stable M、Coronate 2503、Coronate 2515、Coronate 2507、Coronate 2513、Coronate 2555、Millionate MS-50(以上由日本聚胺基甲酸酯工業(Nippon Polyurethane Industry)(股)製造)、Takenate B-830、Takenate B-815N、Takenate B-820NSU、Takenate B-842N、 Takenate B-846N、Takenate B-870N、Takenate B-874N、Takenate B-882N(以上由三井化學(股)製造)、Duranate 17B-60PX、Duranate 17B-60P、Duranate TPA-B80X、Duranate TPA-B80E、Duranate MF-B60X、Duranate MF-B60B、Duranate MF-K60X、Duranate MF-K60B、Duranate E402-B80B、Duranate SBN-70D、Duranate SBB-70P、Duranate K6000(以上由旭化成化學(股)製造)、Desmodur BL1100、Desmodur BL1265MPA/X、Desmodur BL3575/1、Desmodur BL3272MPA、Desmodur BL3370MPA、Desmodur BL3475BA/SN、Desmodur BL5375MPA、Desmodur VPLS2078/2、Desmodur BL4265SN、Desmodur PL340、Desmodur PL350、Sumidur BL3175(以上由住化拜耳胺基甲酸酯(Sumika Bayer Urethane)(股)製造)等。
烷氧基矽烷化合物
本發明的感光性樹脂組成物可含有烷氧基矽烷化合物。若使用烷氧基矽烷化合物，則可提高由本發明的感光性樹脂組成物形成的膜與基板的密接性，或可調整由本發明的感光性樹脂組成物形成的膜的性質。烷氧基矽烷化合物較佳為二烷氧基矽烷化合物或者三烷氧基矽烷化合物，更佳為三烷氧基矽烷化合物。烷氧基矽烷化合物所具有的烷氧基的碳數較佳為1~5。
本發明的感光性樹脂組成物中可使用的烷氧基矽烷化合物較佳為提高成為基材的無機物(例如：矽、氧化矽、氮化矽等矽化合物，金、銅、鉬、鈦、鋁等金屬)與絕緣膜的密接性的 化合物。具體而言，公知的矽烷偶合劑等亦有效。
矽烷偶合劑例如可列舉：γ-胺基丙基三甲氧基矽烷、γ-胺基丙基三乙氧基矽烷、γ-縮水甘油氧基丙基三烷氧基矽烷、γ-縮水甘油氧基丙基烷基二烷氧基矽烷、γ-甲基丙烯醯氧基丙基三烷氧基矽烷、γ-甲基丙烯醯氧基丙基烷基二烷氧基矽烷、γ-氯丙基三烷氧基矽烷、γ-巰基丙基三烷氧基矽烷、β-(3,4-環氧環己基)乙基三烷氧基矽烷、乙烯基三烷氧基矽烷、雙(三乙氧基矽烷基丙基)四硫醚。該些化合物中，更佳為γ-縮水甘油氧基丙基三烷氧基矽烷或γ-甲基丙烯醯氧基丙基三烷氧基矽烷，尤佳為γ-縮水甘油氧基丙基三烷氧基矽烷，尤其更佳為3-縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷。該些化合物可單獨使用1種或者將2種以上組合使用。
另外，亦可較佳地採用下述化合物。
上述中，Ph為苯基。
本發明的感光性樹脂組成物中的烷氧基矽烷化合物並不特別限定於該些化合物，可使用公知的化合物。
相對於感光性組成物中的總固體成分100質量份，本發明的感光性樹脂組成物中的烷氧基矽烷化合物的含量較佳為0.1質量份~30質量份，更佳為0.5質量份~20質量份。
增感劑
本發明的感光性樹脂組成物在與(B)光酸產生劑的組合中，為了促進其分解，較佳為含有增感劑。增感劑吸收光化射線或者放射線而成為電子激發狀態。成為電子激發狀態的增感劑與光酸產生劑接觸而產生電子轉移、能量轉移、發熱等作用。藉此，光酸產生劑產生化學變化而分解，生成酸。較佳的增感劑的例子可列舉屬於以下化合物類，且於350nm至450nm的波長區域的任一波長下具有吸收波長的化合物。
多核芳香族類(例如：芘(pyrene)、苝(perylene)、聯伸三苯、蒽、9,10-二丁氧基蒽、9,10-二乙氧基蒽、3,7-二甲氧基蒽、9,10-二丙氧基蒽)、二苯并哌喃(xanthene)類(例如：螢光素(fluorescein)、曙紅(eosin)、赤蘚紅(erythrosine)、玫瑰紅B(rhodamine B)、孟加拉玫瑰紅(rose bengal))、氧雜蒽酮(xanthone)類(例如：氧雜蒽酮、硫雜蒽酮(thioxanthone)、二甲硫雜蒽酮、二乙硫雜蒽酮)、花青(cyanine)類(例如：硫雜羰花青(thiacarbocyanine)、氧雜羰花青(oxacarbocyanine))、部花 青(merocyanine)類(例如：部花青、羰部花青(carbomerocyanine))、若丹菁(rhodacyanine)類、雜菁(oxonol)類、噻嗪(thiazine)類(例如：噻嚀(thionine)、亞甲藍(methylene blue)、甲苯胺藍(toluidine blue))、吖啶(acridine)類(例如：吖啶橙(acridine orange)、氯黃素(chloroflavin)、吖啶黃素(acriflavine))、吖啶酮(acridone)類(例如：吖啶酮、10-丁基-2-氯吖啶酮)、蒽醌(anthraquinone)類(例如：蒽醌)、方酸內鎓鹽類(例如：方酸內鎓鹽)、苯乙烯基類、鹼性苯乙烯基類(例如：2-[2-[4-(二甲基胺基)苯基]乙烯基]苯并噁唑)、香豆素(coumarin)類(例如：7-二乙胺基4-甲基香豆素、7-羥基4-甲基香豆素、2,3,6,7-四氫-9-甲基-1H,5H,11H[1]苯并吡喃並[6,7,8-ij]喹嗪-11-酮)。
該些增感劑中，較佳為多核芳香族類、吖啶酮類、苯乙烯基類、鹼性苯乙烯基類、香豆素類，更佳為多核芳香族類。多核芳香族類中最佳為蒽衍生物。
相對於感光性樹脂組成物的光酸產生劑100質量份，本發明的感光性樹脂組成物中的增感劑的添加量較佳為0質量份~1000質量份，更佳為10質量份~500質量份，尤佳為50質量份~200質量份。
亦可將2種以上併用。
鹼性化合物
本發明的感光性樹脂組成物較佳為含有鹼性化合物。
鹼性化合物可自化學增幅抗蝕劑所使用者中任意選擇來使用。例如可列舉：脂肪族胺、芳香族胺、雜環式胺、四級氫氧化銨、以及羧酸的四級銨鹽等。
脂肪族胺例如可列舉：三甲基胺、二乙基胺、三乙基胺、二正丙基胺、三正丙基胺、二正戊基胺、三正戊基胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二環己基胺、二環己基甲基胺、二氮雜雙環壬烯等。
芳香族胺例如可列舉：苯胺、苄基胺、N,N-二甲基苯胺、二苯基胺等。
雜環式胺例如可列舉：吡啶、2-甲基吡啶、4-甲基吡啶、2-乙基吡啶、4-乙基吡啶、2-苯基吡啶、4-苯基吡啶、N-甲基-4-苯基吡啶、4-二甲基胺基吡啶、咪唑、苯并咪唑、4-甲基咪唑、2-苯基苯并咪唑、2,4,5-三苯基咪唑、煙鹼、煙鹼酸、煙鹼酸醯胺、喹啉、8-氧基喹啉、吡嗪、吡唑、噠嗪、嘌呤、吡咯啶、哌啶、哌嗪、嗎啉、4-甲基嗎啉、N-環己基-N'-[2-(4-嗎啉基)乙基]硫脲、1,5-二氮雜雙環[4,3.0]-5-壬烯、1,8-二氮雜雙環[5.3.0]-7-十一烯等。
氫氧化四級銨例如可列舉：四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四正丁基氫氧化銨、四正己基氫氧化銨等。
羧酸的四級銨鹽例如可列舉：四甲基乙酸銨、四甲基苯甲酸銨、四正丁基乙酸銨、四正丁基苯甲酸銨等。
本發明中可使用的鹼性化合物可單獨使用1種，亦可將2種以上併用，較佳為將2種以上併用，更佳為將2種併用，尤佳為將2種雜環式胺併用。
相對於感光性樹脂組成物中的總固體成分100質量份，本發明的感光性樹脂組成物中的鹼性化合物的含量較佳為0.001質量份~3質量份，更佳為0.005質量份~1質量份。
界面活性劑
本發明的感光性樹脂組成物可含有界面活性劑。界面活性劑可使用陰離子系、陽離子系、非離子系、或者兩性中的任一種，較佳的界面活性劑為非離子界面活性劑。
非離子系界面活性劑的例子可列舉：聚氧乙烯高級烷基醚類、聚氧乙烯高級烷基苯基醚類、聚氧乙二醇的高級脂肪酸二酯類、矽酮系、氟系界面活性劑。另外，可列舉以下商品名：KP(信越化學工業(股)製造)、Polyflow(共榮社化學(股)製造)、Eftop(三菱材料電子化成(JEMCO)公司製造)、Megafac(迪愛生(股)製造)、Fluorad(住友3M(股)製造)、Asahi Guard、Surflon(旭硝子(股)製造)、PolyFox(歐諾法(OMNOVA)公司製造)、SH-8400(東麗道康寧矽酮(Toray Dow Corning Silicone))等各系列。
另外，界面活性劑可列舉如下共聚物作為較佳例，該共聚物包含下述通式(I-1)所表示的構成單元A以及構成單元B，且利用將四氫呋喃(tetrahydrofuran，THF)作為溶劑的情況下的凝膠滲透層析法進行測定而得的聚苯乙烯換算的重量平均分子量(Mw)為1,000以上、10,000以下。
(式(I-1)中，R401及R403分別獨立地表示氫原子或者甲基，R402表示碳數1以上、4以下的直鏈伸烷基，R404表示氫原子或者碳數1以上、4以下的烷基，L表示碳數3以上、6以下的伸烷基，p及q是表示聚合比的質量百分率，p表示10質量%以上、80質量%以下的數值，q表示20質量%以上90質量%以下的數值，r表示1以上、18以下的整數，s表示1以上、10以下的整數。)
上述L較佳為下述通式(I-2)所表示的分支伸烷基。通式(I-2)中的R405表示碳數1以上、4以下的烷基，就相容性及對被塗佈面的潤濕性的方面而言，較佳為碳數1以上、3以下的烷基，更佳為碳數2或3的烷基。p與q之和(p+q)較佳為p+q=100，即100質量%。
上述共聚物的重量平均分子量(Mw)更佳為1,500以上、5,000以下。
該些界面活性劑可單獨使用1種或者將2種以上混合使用。
相對於感光性樹脂組成物中的總固體成分100質量份，本發明的感光性樹脂組成物中的界面活性劑的添加量較佳為10質量份以下，更佳為0.001質量份~10質量份，尤佳為0.01質量份~3質量份。
抗氧化劑
本發明的感光性樹脂組成物可含有抗氧化劑。作為抗氧化劑，可含有公知的抗氧化劑。藉由添加抗氧化劑而具有以下優點：可防止硬化膜的著色，或者可降低由分解引起的膜厚減少，另外，耐熱透明性優異。
此種抗氧化劑例如可列舉：磷系抗氧化劑、醯胺類、醯肼類、受阻胺系抗氧化劑、硫系抗氧化劑、酚系抗氧化劑、抗壞血酸類、硫酸鋅、糖類、亞硝酸鹽、亞硫酸鹽、硫代硫酸鹽、羥基胺衍生物等。該些化合物中，就硬化膜的著色、膜厚減少的觀點而言，特佳為酚系抗氧化劑、醯胺系抗氧化劑、醯肼系抗氧化劑、硫系抗氧化劑。該些化合物可單獨使用1種，亦可將2種以上混合。
酚系抗氧化劑的市售品例如可列舉：Adekastab AO-15、 Adekastab AO-18、Adekastab AO-20、Adekastab AO-23、Adekastab AO-30、Adekastab AO-37、Adekastab AO-40、Adekastab AO-50、Adekastab AO-51、Adekastab AO-60、Adekastab AO-70、Adekastab AO-80、Adekastab AO-330、Adekastab AO-412S、Adekastab AO-503、Adekastab A-611、Adekastab A-612、Adekastab A-613、Adekastab PEP-4C、Adekastab PEP-8、Adekastab PEP-8W、Adekastab PEP-24G、Adekastab PEP-36、Adekastab PEP-36Z、Adekastab HP-10、Adekastab 2112、Adekastab 260、Adekastab 522A、Adekastab 1178、Adekastab 1500、Adekastab C、Adekastab 135A、Adekastab 3010、Adekastab TPP、Adekastab CDA-1、Adekastab CDA-6、Adekastab ZS-27、Adekastab ZS-90、Adekastab ZS-91(以上由艾迪科(股)製造)、Irganox 245FF、Irganox 1010FF、Irganox 1010、Irganox MD1024、Irganox 1035FF、Irganox 1035、Irganox 1098、Irganox 1330、Irganox 1520L、Irganox 3114、Irganox 1726、Irgafos 168、Irgamod 295(巴斯夫(股)製造)等。其中，可適宜使用Adekastab AO-60、Adekastab AO-80、Irganox 1726、Irganox 1035、Irganox 1098。
相對於感光性樹脂組成物的總固體成分，抗氧化劑的含量較佳為0.1質量%~10質量%，更佳為0.2質量%~5質量%，特佳為0.5質量%~4質量%。藉由設為該範圍，而獲得所形成的膜的充分透明性，且圖案形成時的感度亦變得良好。
另外，作為抗氧化劑以外的添加劑，亦可將「高分子添 加劑的新展開(日刊工業新聞社(股))」中記載的各種紫外線吸收劑、或金屬鈍化劑等添加於本發明的感光性樹脂組成物中。
[酸增殖劑]
本發明的感光性樹脂組成物可出於提高感度的目的而使用酸增殖劑。
本發明中可使用的酸增殖劑是可藉由酸觸媒反應而進一步產生酸，使反應系統內的酸濃度上升的化合物，是於不存在酸的狀態下穩定存在的化合物。此種化合物由於藉由1次反應而增加1個以上的酸，故而隨著反應的進行而加速進行反應，但由於所產生的酸自身引起自我分解，故而此處所產生的酸的強度以酸解離常數、pKa計，較佳為3以下，特佳為2以下。
酸增殖劑的具體例可列舉：日本專利特開平10-1508號公報的段落編號0203~段落編號0223、日本專利特開平10-282642號公報的段落編號0016~段落編號0055、以及日本專利特表平9-512498號公報第39頁第12行~第47頁第2行中記載的化合物，該些內容併入本申請案說明書中。
本發明中可使用的酸增殖劑可列舉利用由酸產生劑產生的酸而分解，產生二氯乙酸、三氯乙酸、甲磺酸、苯磺酸、三氟甲磺酸、苯基膦酸等pKa為3以下的酸的化合物。
具體而言可列舉： 等。
就曝光部與未曝光部的溶解對比度的觀點而言，相對於光酸產生劑100質量份，酸增殖劑於感光性組成物中的含量較佳為設為10質量份~1,000質量份，尤佳為設為20質量份~500質量份。
[顯影促進劑]
本發明的感光性樹脂組成物可含有顯影促進劑。
顯影促進劑可參考日本專利特開2012-042837號公報的段落編號0171~段落編號0172的記載，該內容併入本申請案說明書中。
顯影促進劑可單獨使用1種，亦可將2種以上併用。
就感度與殘膜率的觀點而言，相對於感光性組成物的總固體成分100質量份，本發明的感光性樹脂組成物中的顯影促進劑的添加量較佳為0質量份~30質量份，更佳為0.1質量份~20質量份，最佳為0.5質量份~10質量份。
另外，其他添加劑亦可使用日本專利特開2012-8223號公報的段落編號0120~段落編號0121中記載的熱自由基產生 劑、WO2011/136074A1中記載的含氮化合物以及熱酸產生劑，該些內容併入本申請案說明書中。
<感光性樹脂組成物的製備方法>
以規定的比例且利用任意方法將各成分混合，攪拌溶解而製備感光性樹脂組成物。例如亦可將成分分別預先溶解於溶劑中而製成溶液後，將該些溶液以規定的比例混合而製備樹脂組成物。以上述方式製備的組成物溶液亦可使用孔徑為0.2μm的過濾器等進行過濾後，供於使用。
[硬化膜的製造方法]
繼而，對本發明的硬化膜的製造方法進行說明。
本發明的硬化膜的製造方法較佳為包括以下的(1)~(5)的步驟。
(1)將本發明的感光性樹脂組成物塗佈於基板上的步驟；(2)自所塗佈的感光性樹脂組成物中去除溶劑的步驟；(3)利用光化射線對去除了溶劑的感光性樹脂組成物進行曝光的步驟；(4)利用水性顯影液對經曝光的感光性樹脂組成物進行顯影的步驟；(5)對經顯影的感光性樹脂組成物進行熱硬化的後烘烤步驟。
以下對各步驟依次進行說明。
(1)的塗佈步驟中，較佳為將本發明的感光性樹脂組 成物塗佈於基板上而製成包含溶劑的濕潤膜。較佳為於將感光性樹脂組成物塗佈於基板上之前進行鹼清洗或電漿清洗等基板的清洗，更佳為於基板清洗後進而以六甲基二矽氮烷對基板表面進行處理。藉由進行該處理，存在感光性樹脂組成物對基板的密接性提高的傾向。以六甲基二矽氮烷對基板表面進行處理的方法並無特別限定，例如可列舉事先將基板曝露於六甲基二矽氮烷蒸氣中的方法等。
上述基板可列舉無機基板、樹脂、樹脂複合材料等。
無機基板例如可列舉：玻璃、石英、矽酮、氮化矽，以及於如上所述的基板上蒸鍍有鉬、鈦、鋁、銅等的複合基板。
作為樹脂，可列舉：聚對苯二甲酸丁二酯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚萘二甲酸乙二酯、聚萘二甲酸丁二酯、聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚碸、聚醚碸、聚芳酯、烯丙基二醇碳酸酯、聚醯胺、聚醯亞胺、聚醯胺醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚苯并唑(polybenzazole)、聚苯硫醚、聚環烯烴、降冰片烯樹脂、聚氯三氟乙烯等氟樹脂、液晶聚合物、丙烯酸樹脂、環氧樹脂、矽酮樹脂、離子聚合物樹脂、氰酸酯樹脂、交聯反丁烯二酸二酯、環狀聚烯烴、芳香族醚、順丁烯二醯亞胺-烯烴、纖維素、環硫化物(episulfide)化合物等合成樹脂。
該些基板以上述形態直接使用的情況少，通常藉由最終製品的形態而形成例如薄膜電晶體(Thin Film Transistor，TFT)元件之類的多層積層結構。
對基板的塗佈方法並無特別限定，例如可使用：狹縫塗佈法、噴射法、輥塗佈法、旋轉塗佈法、流延塗佈法、狹縫及旋轉法(slit-and-spin method)等方法。進而，亦可應用如日本專利特開2009-145395號公報中記載的所謂預濕法(pre-wet method)。
塗佈時的濕式膜厚並無特別限定，能夠以根據用途的膜厚來塗佈，通常以0.5μm~10μm的範圍使用。
(2)的溶劑去除步驟中，藉由減壓(真空)及/或加熱，自所塗佈的上述膜上去除溶劑而於基板上形成乾燥塗膜。溶劑去除步驟的加熱條件較佳為70℃~130℃且30秒~300秒左右。於溫度及時間為上述範圍的情況下，存在圖案的密接性更良好，且殘渣亦可進一步減少的傾向。
(3)的曝光步驟中，對設置有塗膜的基板，隔著具有規定圖案的遮罩來照射光化射線。該步驟中，光酸產生劑分解而產生酸。利用所產生的酸的觸媒作用，塗膜成分中所含的酸分解性基被水解而生成羧基或者酚性羥基。
藉由光化射線的曝光光源可使用：低壓水銀燈、高壓水銀燈、超高壓水銀燈、化學燈、發光二極體(light emitting diode，LED)光源、準分子雷射產生裝置等，可較佳地使用g射線(436nm)，i射線(365nm)、h射線(405nm)等具有波長300nm以上、450nm以下的波長的光化射線。另外，視需要亦可通過長波長截止濾波器、短波長截止濾波器、帶通濾波器(band pass filter)之類的分光濾波器來調整照射光。
曝光裝置可使用：鏡面投影對準曝光器(mirror projection aligner)、步進器(stepper)、掃描器(scanner)，近接式(proximity)、接觸式(contact)、微透鏡陣列(microlens array)、雷射曝光等各種方式的曝光機。
於生成有酸觸媒的區域，為了加快上述水解反應，可進行曝光後加熱處理：曝光後烘烤(Post Exposure Bake)(以下亦稱為「PEB」)。藉由PEB，可促進由酸分解性基生成羧基或者酚性羥基。於進行PEB的情況下的溫度較佳為30℃以上、130℃以下，更佳為40℃以上、110℃以下，特佳為50℃以上、100℃以下。
其中，本發明中的酸分解性基由於酸分解的活化能量低，容易因由曝光所產生的源自酸產生劑的酸而分解，產生羧基或者酚性羥基，故而亦可不必進行PEB，而藉由顯影來形成正影像。
(4)的顯影步驟中，使用鹼性顯影液將具有游離的羧基或酚性羥基的聚合物進行顯影。藉由將包含具有容易溶解於鹼性顯影液中的羧基或者酚性羥基的樹脂組成物的曝光部區域去除，而形成正影像。
顯影步驟中使用的顯影液中較佳為包含鹼性化合物。鹼性化合物例如可使用：氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀等鹼金屬氫氧化物類；碳酸鈉、碳酸鉀等鹼金屬碳酸鹽類；碳酸氫鈉、碳酸氫鉀等鹼金屬碳酸氫鹽類；四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、氫氧化膽鹼(choline hydroxide)等氫氧化銨類；矽酸鈉、偏矽酸 鈉等的水溶液。另外，亦可將於上述鹼類的水溶液中添加有適量的甲醇或乙醇等水溶性有機溶劑或界面活性劑的水溶液用作顯影液。
較佳的顯影液可列舉：四乙基氫氧化銨的0.4%水溶液、0.5%水溶液、0.7%水溶液、2.38%水溶液。
顯影液的pH值較佳為10.0~14.0。
顯影時間較佳為30秒~500秒，另外，顯影的手法可為覆液法(puddle method)、浸漬法(dipping method)等的任一種。顯影後，通常可進行30秒~300秒的流水清洗，形成所需的圖案。
顯影後，亦可進行淋洗步驟。淋洗步驟中，藉由以純水等對顯影後的基板進行清洗，而進行所附著的顯影液去除、顯影殘渣去除。淋洗方法可使用公知的方法。例如可列舉噴淋淋洗或浸漬淋洗等。
(5)的後烘烤步驟中，藉由對所得的正影像進行加熱，而將酸分解性基進行熱分解，生成羧基或者酚性羥基，與環氧基、交聯劑等進行交聯，藉此可形成硬化膜。該加熱較佳為使用加熱板或烘箱等加熱裝置，於規定的溫度，例如180℃~250℃下，進行規定時間的加熱處理，例如若為加熱板上則進行5分鐘~90分鐘，若為烘箱則進行30分鐘~120分鐘。藉由進行此種交聯反應，可形成耐熱性、硬度等更優異的保護膜或層間絕緣膜。另外，進行加熱處理時藉由在氮氣環境下進行，亦可進一步提高透明性。
於後烘烤之前，亦可於比較低的溫度下進行烘烤後進行 後烘烤(中間烘烤步驟的追加)。於進行中間烘烤的情況下，較佳為於90℃~150℃下加熱1分鐘~60分鐘後，於200℃以上的高溫下進行後烘烤。另外，亦可將中間烘烤、後烘烤分成3階段以上的多階段來進行加熱。藉由如上所述的中間烘烤、後烘烤的操作，可調整圖案的錐角。該些加熱可使用加熱板、烘箱、紅外線加熱器等公知的加熱方法。
此外，於根據所選擇的各材料的特性，預料到交聯度不足的情況下，可於後烘烤之前利用光化射線對形成有圖案的基板進行全面再曝光(後曝光)後，進行後烘烤，藉此由存在於未曝光部分的光酸產生劑來產生酸，作為促進交聯步驟的觸媒而發揮功能，而可促進膜的硬化反應。包括後曝光步驟的情況下的較佳曝光量較佳為100mJ/cm2~3,000mJ/cm2，特佳為100mJ/cm2~500mJ/cm2。另一方面，於上述以外的情況下，較佳為不進行再曝光步驟。不僅可提高生產性，而且可提高高溫．高濕狀態下的穩定性。
進而，由本發明的感光性樹脂組成物獲得的硬化膜亦可用作抗乾式蝕刻劑。於將藉由後烘烤步驟而熱硬化所得的硬化膜用作抗乾式蝕刻劑的情況下，蝕刻處理可進行灰化、電漿蝕刻、臭氧蝕刻等乾式蝕刻處理。
[硬化膜]
本發明的硬化膜是將本發明的感光性樹脂組成物硬化而獲得的硬化膜。
本發明的硬化膜可適宜用作層間絕緣膜。另外，本發明 的硬化膜較佳為利用本發明的硬化膜的形成方法而獲得的硬化膜。
利用本發明的感光性樹脂組成物，獲得絕緣性優異、且於在高溫下被烘烤的情況下亦具有高透明性的層間絕緣膜。使用本發明的感光性樹脂組成物而成的層間絕緣膜具有高透明性，且硬化膜物性優異，因此可用於有機EL顯示裝置或液晶顯示裝置的用途。
[液晶顯示裝置]
本發明的液晶顯示裝置的特徵在於包括本發明的硬化膜。
本發明的液晶顯示裝置除了具有使用上述本發明的感光性樹脂組成物而形成的平坦化膜或層間絕緣膜以外，並無特別限制，可列舉採取多種結構的公知液晶顯示裝置。
例如，本發明的液晶顯示裝置所包括的薄膜電晶體(Thin-Film Transistor，TFT)的具體例可列舉：非晶矽-TFT、低溫多晶矽-TFT、氧化物半導體TFT等。本發明的硬化膜由於電特性優異，故而可組合於該些TFT中而較佳地使用。
另外，本發明的液晶顯示裝置可採取的液晶驅動方式可列舉：扭轉向列(Twisted Nematic，TN)方式、垂直配向(Virtical Alignment，VA)方式、共面切換(In-Place-Switching，IPS)方式、邊緣場切換(Frings Field Switching，FFS)方式、光學補償彎曲(Optical Compensated Bend，OCB)方式等。
面板構成中，彩色濾光片陣列(Color Filter on Allay，COA)方式的液晶顯示裝置中亦可使用本發明的硬化膜，例如可用作日本專利特開2005-284291號公報的有機絕緣膜(115)、或日本專利特開2005-346054號公報的有機絕緣膜(212)。
另外，本發明的液晶顯示裝置可採取的液晶配向膜的具體配向方式可列舉摩擦配向法、光配向法等。另外，亦可利用日本專利特開2003-149647號公報或日本專利特開2011-257734號公報中記載的聚合物穩定配向(Polymer Sustained Alignment，PSA)技術而經聚合物配向支持。
另外，本發明的感光性樹脂組成物以及本發明的硬化膜並不限定於上述用途，可用於多種用途。例如，除了平坦化膜或層間絕緣膜以外，亦可適宜用於彩色濾光片的保護膜、或用以使液晶顯示裝置中的液晶層的厚度保持固定的間隔片或於固體攝影元件中設置於彩色濾光片上的微透鏡等。
圖1是表示主動矩陣方式的液晶顯示裝置10的一例的概念的剖面圖。該彩色液晶顯示裝置10是於背面具有背光單元12的液晶面板，液晶面板配置有TFT 16的元件，該TFT 16的元件與配置於貼附有偏光膜的2塊玻璃基板14、15之間的所有畫素對應。形成於玻璃基板上的各元件上，通過形成於硬化膜17中的接觸孔18，配線有形成畫素電極的ITO透明電極19。於ITO透明電極19上設置有液晶20的層與配置有黑色矩陣的紅綠藍(red green blue，RGB)彩色濾光片22。
背光的光源並無特別限定，可使用公知的光源。例如可列舉：白色LED、藍色．紅色．綠色等多色LED、螢光燈(冷陰極管)、有機EL等。
另外，液晶顯示裝置亦可製成三維(three dimensional，3D)(立體視野)型裝置，或者製成觸控面板型裝置。進而亦可製成可撓型，並可用作日本專利特開2011-145686號公報的第2相間絕緣膜(48)、或日本專利特開2009-258758號公報的相間絕緣膜(520)。
[有機EL顯示裝置]
本發明的有機EL顯示裝置的特徵在於包括本發明的硬化膜。
本發明的有機EL顯示裝置除了具有使用上述本發明的感光性樹脂組成物而形成的平坦化膜或層間絕緣膜以外，並無特別限制，可列舉採取多種結構的公知的各種有機EL顯示裝置或液晶顯示裝置。
例如，本發明的有機EL顯示裝置所包括的薄膜電晶體(Thin-Film Transistor，TFT)的具體例可列舉：非晶矽-TFT、低溫多晶矽-TFT、氧化物半導體TFT等。本發明的硬化膜由於電特性優異，故而可組合於該些TFT中而較佳地使用。
圖2是有機EL顯示裝置的一例的構成概念圖。表示底部發光型的有機EL顯示裝置中的基板的示意性剖面圖，包括平坦化膜4。
於玻璃基板6上形成底閘極(bottom gate)型TFT 1，以覆蓋該TFT 1的狀態形成包含Si3N4的絕緣膜3。於絕緣膜3上形成此處省略圖示的接觸孔後，經由該接觸孔而在絕緣膜3上形成連接於TFT 1的配線2(高度為1.0μm)。配線2是用以將TFT 1間或者後述步驟中形成的有機EL元件與TFT 1連接。
進而，為了使由配線2的形成引起的凹凸平坦化，而以埋入由配線2引起的凹凸的狀態於絕緣膜3上形成平坦化層4。
於平坦化膜4上形成底部發光型的有機EL元件。即，於平坦化膜4上，包含ITO的第一電極5是經由接觸孔7而連接於配線2來形成。另外，第一電極5相當於有機EL元件的陽極。
形成覆蓋第一電極5的周緣的形狀的絕緣膜8，藉由設置該絕緣膜8，可防止第一電極5與其後步驟中形成的第二電極之間的短路。
進而，圖2中未圖示，隔著所需的圖案遮罩，依次蒸鍍設置電洞傳輸層、有機發光層、電子傳輸層，繼而，於基板上方的整個面形成包含Al的第二電極，藉由使用紫外線硬化型環氧樹脂而與密封用玻璃板貼合來密封，獲得於各有機EL元件上連接用以將其驅動的TFT 1而成的主動矩陣型有機EL顯示裝置。
本發明的感光性樹脂組成物由於硬化性以及硬化膜特性優異，故而作為微機電系統(microelectromechanical system，MEMS)元件的結構構件，將使用本發明的感光性樹脂組成物而形成的抗蝕劑圖案製成隔壁，或者作為機械驅動零件的一部分而加 以組裝來使用。此種MEMS用元件例如可列舉：表面聲波(surface acoustic wave，SAW)濾波器、體聲波(bulk acoustic wave，BAW)濾波器、陀螺儀感測器(gyro sensor)、顯示器用微快門(microshutter)、影像感測器(image sensor)、電子紙、噴墨頭(inkjet head)、生物晶片(biochip)、密封劑等零件。更具體的例子例示於日本專利特表2007-522531號公報、日本專利特開2008-250200號公報、日本專利特開2009-263544號公報等中。
本發明的感光性樹脂組成物由於平坦性或透明性優異，故而例如亦可用於形成：日本專利特開2011-107476號公報的圖2中記載的堆積層(bank layer)(16)以及平坦化膜(57)、日本專利特開2010-9793號公報的圖4(a)中記載的隔壁(12)以及平坦化膜(102)、日本專利特開2010-27591號公報的圖10中記載的堆積層(221)以及第3層間絕緣膜(216b)、日本專利特開2009-128577號公報的圖4(a)中記載的第2層間絕緣膜(125)以及第3層間絕緣膜(126)、日本專利特開2010-182638號公報的圖3中記載的平坦化膜(12)以及畫素分離絕緣膜(14)等。
[實施例]
以下列舉實施例，對本發明進一步進行具體說明。以下實施例中所示的材料、使用量、比例、處理內容、處理程序等只要不脫離本發明的主旨，則可適當變更。因此，本發明的範圍並不限定於以下所示的具體例。此外，只要無特別說明，則「份」、「%」為質量基準。
以下合成例中，以下符號分別表示以下化合物。
MATHF：甲基丙烯酸2-四氫呋喃酯(合成品)
MAEVE：甲基丙烯酸1-乙氧基乙酯(和光純藥工業公司製造)
MACHOE：甲基丙烯酸1-(環己氧基)乙酯
MATHP：甲基丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯
GMA：甲基丙烯酸縮水甘油酯(和光純藥工業公司製造)
OXE-30：甲基丙烯酸3-乙基-3-氧雜環丁基甲酯(大阪有機化學工業公司製造)
MAA：甲基丙烯酸(和光純藥工業公司製造)
MMA：甲基丙烯酸甲酯(和光純藥工業公司製造)
St：苯乙烯(和光純藥工業公司製造)
DCPM：甲基丙烯酸二環戊酯
HEMA：甲基丙烯酸羥基乙酯(和光純藥公司製造)
V-65：2,2'-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)(和光純藥工業公司製造)
PGMEA：乙酸甲氧基丙酯(昭和電工公司製造)
<MATHF的合成>
預先將甲基丙烯酸(86g，1mol)冷卻至15℃，添加樟腦磺酸(4.6g，0.02mol)。於該溶液中，滴加2-二氫呋喃(71g，1mol，1.0當量)。攪拌1小時後，添加飽和碳酸氫鈉(500mL)，以乙酸乙酯(500mL)進行萃取，以硫酸鎂乾燥後，將不溶物過濾，然後於40℃以下進行減壓濃縮，將殘渣的黃色油狀物減壓蒸餾而獲得沸點(bp.)為54~56℃/3.5mmHg餾分的甲基丙烯酸四 氫-2H-呋喃-2-基酯(MATHF)125g作為無色油狀物(產率為80%)。
<聚合物P-1的合成例>
於三口燒瓶中加入PGMEA(89g)，於氮氣環境下升溫至90℃。於該溶液中溶解MACHOE(成為總單體成分中的40mol%的量)、GMA(成為總單體成分中的30mol%的量)、MAA(成為總單體成分中的10mol%的量)、MMA(成為總單體成分中的20mol%的量)、V-65(相對於總單體成分的合計100mol%，相當於4mol%)，花2小時來滴加。滴加結束後攪拌2小時，使反應結束。藉此獲得聚合物P-1。此外，將PGMEA與其他成分的合計量的比設為60：40。即，製備固體成分濃度為40%的聚合物溶液。
將單體種類等變更為下述表所示，合成其他聚合物。下述表中，溶劑全部使用PGMEA，固體成分濃度設為40質量份。
<感光性樹脂組成物的製備>
以成為下述表所述的固體成分比的方式，將聚合物成分、光酸產生劑、脂環式環氧化合物、其他交聯劑、鹼性化合物、烷氧基矽烷化合物、增感劑、界面活性劑、以及其他成分溶解混合於PGMEA中，直至固體成分濃度成為25%為止，利用口徑為0.2μm的聚四氟乙烯製過濾器進行過濾，獲得各種實施例以及比較例的感光性樹脂組成物。此外，表中的添加量為質量份。
實施例以及比較例中使用的表示各化合物的略號的詳情如下。
(聚合物成分)
P-17：Joncryl 680(巴斯夫製造)
P-18：Joncryl 67(巴斯夫製造)
P-19：ARUFON UC-3910(東亞合成(股)製造)
P-23：SMA-3000P(美國克雷威利有限責任公司(Cray Valley USA,LLC)製造)
(光酸產生劑)
B-1：DTS-105(三芳基鋶鹽)(綠化學公司製造)
B-2：CGI 1397(日本巴斯夫(股)製造)
B-3：PAI101(綠化學(股)製造)
B-4：下述化合物
B-5：下述化合物(依據日本專利特表2002-528451號公報的段落0108中記載的方法來合成)
[B-4的合成]
於2-萘酚(10g)、氯苯(30mL)的懸浮溶液中添加氯化鋁(10.6g)、2-氯丙醯氯(10.1g)，將混合液加熱至40℃，反應2小時。於冰浴冷卻下，向反應液中滴加4N HCl水溶液(60mL)，添加乙酸乙酯(50mL)進行分液。於有機層中添加碳酸鉀 (19.2g)，於40℃下反應1小時後，添加2N HCl水溶液(60mL)進行分液，將有機層濃縮後，利用二異丙醚(10mL)將結晶進行再漿料化，過濾、乾燥而獲得酮化合物(6.5g)。
於所得的酮化合物(3.0g)、甲醇(30mL)的懸浮溶液中添加乙酸(7.3g)、50質量%羥基胺水溶液(8.0g)，進行加熱回流。放冷後，添加水(50mL)，將所析出的結晶進行過濾、冷甲醇清洗後，乾燥而獲得肟化合物(2.4g)。
使所得的肟化合物(1.8g)溶解於丙酮(20mL)中，於冰浴冷卻下添加三乙胺(1.5g)、對甲苯磺醯氯(2.4g)，升溫至室溫而反應1小時。於反應液中添加水(50mL)，將所析出的結晶過濾後，以甲醇(20mL)進行再漿料化，過濾、乾燥而獲得B-4(2.3g)。
此外，B-4的1H-NMR波譜(300MHz、CDCl3)為：δ=8.3(d,1H),8.0(d,2H),7.9(d,1H),7.8(d,1H),7.6(dd,1H),7.4(dd,1H)7.3(d,2H),7.1(d.1H),5.6(q,1H),2.4(s,3H),1.7(d,3H)。
(脂環式環氧化合物)
F-5：下述化合物1(大賽璐化學工業(Daicel Chemical Industries)(股)製造，Celloxide 2021P)
F-6：下述化合物2(合成品)
F-7：下述化合物3(大賽璐化學工業(股)製造，Celloxide 2000)
F-11：下述化合物4(下述所表示的化合物)
F-12：下述化合物5(下述所表示的化合物)
F-13：下述化合物6(下述所表示的化合物)
(F-6的合成)
依據丸善KK出版的「第四版實驗化學講座20有機合成II」、213~中記載的方法來合成。
(F-11~F-13的合成)
依據日本專利特開2012-92062號公報中記載的方法來合成。
(脂環式環氧化合物以外的交聯劑)
F-1：JER157S65(三菱化學控股(股)製造)(雙酚型環氧化合物)
F-2：Duranate 17B-60P(旭化成化學(股)製造)(異氰酸酯化合物)
F-3：Denacol EX-321L(長瀨化成(股)製造)(縮水甘油醚環氧化合物)
F-4：JER828(三菱化學控股(股)製造)(雙酚型環氧化合物)
F-8：Denacol EX-211L(長瀨化成(股)製造)(縮水甘油醚 環氧化合物)
F-9：OXT-221(東亞合成(股)製造)(二官能氧雜環丁烷化合物)
F-10：JER1007K(三菱化學控股(股)製造)(雙酚A型環氧化合物)
F-11：Takenate B-870N(三井化學(股)製造)
(烷氧基矽烷化合物)
G-1：γ-縮水甘油氧基丙基三烷氧基矽烷(KBM-403，信越化學工業公司製造)
G-2：雙(三乙氧基矽烷基丙基)四硫醚(KBE-846，信越化學工業公司製造)
G-3：KBM-3103(信越化學工業(股)製造)
(增感劑)
E-1：下述結構的二丁氧基蒽(川崎化成公司製造)
(鹼性化合物)
S-4：二氮雜雙環壬烯
S-5：2,4,5-三苯基咪唑
S-6：N-環己基-N'-[2-(4-嗎啉基)乙基]硫脲
(界面活性劑)
W-1：下述結構式所表示的含全氟烷基的非離子界面活性劑(F-554，迪愛生(DIC)製造)
(抗氧化劑)
J-1：Irganox 1098(巴斯夫製造)
J-2：Irganox 1035(巴斯夫製造)
J-3：Adekastab AO-60(艾迪科製造)
<感度的評價>
於玻璃基板(Corning 1737，0.7mm厚(Corning公司製造))上，狹縫塗佈各感光性樹脂組成物後，於95℃下在加熱板上預烘烤140秒，使溶劑揮發，形成膜厚為4.0μm的感光性樹脂組成物層。
繼而，使用佳能(Canon)(股)製造的MPA 5500CF(超高壓水銀燈)，隔著規定的遮罩對所得的感光性樹脂組成物層進行曝光。接著，利用鹼顯影液(0.4質量%的四甲基氫氧化銨水溶液)，對曝光後的感光性樹脂組成物層進行23℃/60秒顯影後，以超純水進行20秒淋洗。
將藉由該些操作而對5μm的孔進行分析時的最佳i射線曝光量(Eopt)作為感度。C以上為實用水準。
A：小於20mJ/cm2
B：20mJ/cm2以上、小於40mJ/cm2
C：40mJ/cm2以上、小於80mJ/cm2
D：80mJ/cm2以上、小於160mJ/cm2
E：160mJ/cm2以上
<耐熱透明性的評價>
於玻璃基板(Eagle 2000，Corning公司製造)上旋轉塗佈各感光性樹脂組成物的溶液後，於90℃下在加熱板上預烘烤120秒，形成膜厚為3μm的塗膜。利用0.4%的四甲基氫氧化銨水溶液，於23℃下利用浸置法將所得的塗膜進行60秒顯影，進而以 超純水進行45秒淋洗，然後利用佳能(股)製造的PLA-501F曝光機(超高壓水銀燈)，以累計照射量成為300mJ/cm2(照度：20mW/cm2)的方式進行曝光，然後，利用烘箱於230℃下對該基板加熱1小時而獲得硬化膜。利用烘箱於230℃下對所得的硬化膜進一步加熱2小時後，使用分光光度計「150-20型雙光束(日立製作所(股)製造)」，以400nm~800nm範圍的波長測定光線穿透率。
評價基準如下所述，B以上為實用水準。此外，最低光線穿透率的值換算為相當於在230℃下加熱2小時後的膜厚2μm的值。
A：92%以上
B；87%以上、小於92%
C：85%以上、小於87%
D：82%以上、小於85%
E：小於82%
<接觸孔(CH)均勻性的評價>
將各感光性樹脂組成物旋轉塗佈於550mm×650mm玻璃基板上，於加熱板上進行預烘烤(95℃×140秒)後，使用佳能(股)製造的MPA 5500CF(超高壓水銀燈)，隔著規定的遮罩進行曝光。此時的曝光量是基於感度評價的結果而以如下方式變更。
感度A...15mJ/cm2
感度B...30mJ/cm2
感度C...60mJ/cm2
感度D...120mJ/cm2
感度E...200mJ/cm2
然後，利用鹼水溶液進行顯影而形成接觸孔(CH)圖案。準備10片帶有該CH圖案的基板，利用光學式計測器ZYGO New View7200(翟柯公司(ZYGO corp.)製造)，對每1片基板上的50點，計測出實際CH尺寸相對於10μm的設定CH尺寸的差為多少。評價基準如下所述，D以上為實用水準。
A：平均的CH尺寸差為0.2μm以下
B：平均的CH尺寸差大於0.2μm且0.4μm以下
C：平均的CH尺寸差大於0.4μm且0.6μm以下
D：平均的CH尺寸差大於0.6μm且0.8μm以下
E：平均的CH尺寸差大於0.8μm且1.0μm以下
F：平均的CH尺寸差大於1.0μm且1.2μm以下
G：平均的CH尺寸差大於1.2μm且1.4μm以下
H：平均的CH尺寸差大於1.4μm
如上述結果所明示，本發明的感光性樹脂組成物的感度優異，並且，顯影處理後的耐熱透明性以及CH均勻性優異，均為實用水準以上。尤其是於使用包含酯鍵的F-5作為脂環式環氧化合物時，感度以及顯影處理後的透明性不僅維持一定水準，而且可達成極其優異的CH均勻性，因此技術意義高。與此相對，比較例的感光性樹脂組成物的CH均勻性為實用水準以外。
<實施例52>
實施例52於實施例1中，除了將曝光機由佳能(股)製造的MPA 5500CF變更為尼康(Nikon)(股)製造的FX-803M(gh-Line步進器)以外，以相同的方式進行。感度的評價與實施例1為相同水準。
<實施例53>
實施例53於實施例1中，除了將曝光機由佳能(股) 製造的MPA 5500CF變更為355nm雷射曝光機來進行355nm雷射曝光以外，以相同的方式進行。此處，355nm雷射曝光機是使用V科技(V-Technology)公司股份有限公司製造的「AEGIS」(波長355nm，脈衝寬度為6nsec)，曝光量是使用OPHIR公司製造的「PE10B-V2」來測定。
感度的評價與實施例1為相同水準。
<實施例54>
日本專利第3321003號公報的圖1中記載的主動矩陣型液晶顯示裝置中，以如下方式形成硬化膜17作為層間絕緣膜，獲得實施例54的液晶顯示裝置。即，使用實施例1的感光性樹脂組成物，形成硬化膜17作為層間絕緣膜。
即，作為使日本專利第3321003號公報的段落0058的基板與層間絕緣膜17的濕潤性提高的前處理，將基板於六甲基二矽氮烷(HMDS)蒸氣下曝露30秒，然後，旋轉塗佈實施例1的感光性樹脂組成物後，於90℃下在加熱板上預烘烤2分鐘，使溶劑揮發，形成膜厚為3μm的感光性樹脂組成物層。繼而，使用佳能(股)製造的MPA 5500CF(高壓水銀燈)，隔著10μmφ的孔圖案的遮罩以成為40mJ/cm2(照度：20mW/cm2，i射線)的方式，將所得的感光性樹脂組成物層進行曝光。接著，利用鹼顯影液(0.4%的四甲基氫氧化銨水溶液)對曝光後的感光性樹脂組成物層進行23℃/60秒顯影後，以超純水淋洗20秒。繼而使用超高壓水銀燈，以累計照射量成為300mJ/cm2(照度：20mW/cm2，i射 線)的方式進行全面曝光，然後，於烘箱中在230℃下將該基板加熱30分鐘，獲得硬化膜。
塗佈上述感光性樹脂組成物時的塗佈性良好，曝光、顯影、煅燒後所獲得的硬化膜上未確認到皺褶或龜裂的產生。
對所得的液晶顯示裝置施加驅動電壓，結果可知為表現出良好的顯示特性且可靠性高的液晶顯示裝置。
<實施例55>
除了於實施例54中省略六甲基二矽氮烷(HMDS)處理以外，以相同的方式獲得實施例55的液晶顯示裝置。所得的液晶顯示裝置並無硬化膜的圖案的缺陷或剝落，為表現出良好的顯示特性且可靠性高的液晶顯示裝置。
<實施例56>
除了於實施例54中，將鹼顯影液由0.4%的四甲基氫氧化銨水溶液變更為2.38%的四甲基氫氧化銨水溶液以外，以相同的方式獲得實施例56的液晶顯示裝置。所得的液晶顯示裝置並無硬化膜的圖案的缺陷或剝落，為表現出良好的顯示特性且可靠性高的液晶顯示裝置。
<實施例57>
除了於實施例54中，將鹼顯影液由0.4%的四甲基氫氧化銨水溶液變更為0.04%的KOH水溶液以外，以相同的方式獲得實施例57的液晶顯示裝置。所得的液晶顯示裝置並無硬化膜的圖案的缺陷或剝落，為表現出良好的顯示特性且可靠性高的液晶顯 示裝置。
<實施例58>
除了於實施例54中，省略顯影．淋洗後的全面曝光的步驟以外，以相同的方式獲得實施例58的液晶顯示裝置。所得的液晶顯示裝置為表現出良好的顯示特性且可靠性高的液晶顯示裝置。
<實施例59>
除了於實施例54中，於全面曝光的步驟與烘箱中的230℃/30分鐘的加熱步驟之間追加於100℃下在加熱板上加熱3分鐘的步驟以外，以相同的方式獲得實施例59的液晶顯示裝置。所得的液晶顯示裝置為表現出良好的顯示特性且可靠性高的液晶顯示裝置。
<實施例60>
除了於實施例54中，於顯影．淋洗的步驟與全面曝光的步驟之間追加於100℃下在加熱板上加熱3分鐘的步驟以外，以相同的方式獲得實施例60的液晶顯示裝置。所得的液晶顯示裝置為表現出良好的顯示特性且可靠性高的液晶顯示裝置。
<實施例61>
與實施例54相比僅變更以下的塗佈製程，獲得同樣的液晶顯示裝置。即，利用狹縫塗佈法來塗佈實施例1的感光性樹脂組成物後，藉由於90℃下在加熱板上加熱120秒而去除溶劑，形成膜厚為3.0μm的感光性樹脂組成物層。所得的塗膜為平坦且 無不均的良好面狀。另外，作為液晶顯示裝置的性能亦與實施例54同樣良好。
<實施例62>
實施例54於實施例1中，除了將曝光機由佳能(股)製造的MPA 5500CF變更為UV-LED光源曝光機以外，以相同的方式進行。另外，作為液晶顯示裝置的性能亦與實施例54同樣良好。
<實施例63>
與實施例54相比僅變更以下的塗佈製程，獲得同樣的液晶顯示裝置。即，利用狹縫及旋轉法來塗佈實施例1的感光性樹脂組成物後，藉由於90℃下在加熱板上加熱120秒而去除溶劑，形成膜厚為3.0μm的感光性樹脂組成物層。所得的塗膜為平坦且無不均的良好面狀。另外，作為液晶顯示裝置的性能亦與實施例54同樣良好。
<實施例64>
利用以下方法來製作使用薄膜電晶體(TFT)的有機EL顯示裝置(參照圖2)。
於玻璃基板6上形成底閘極型的TFT 1，以覆蓋該TFT 1的狀態形成包含Si3N4的絕緣膜3。繼而，於該絕緣膜3上形成此處省略圖示的接觸孔後，於絕緣膜3上形成經由該接觸孔而連接於TFT 1的配線2(高度為1.0μm)。該配線2用以將TFT 1間或者後述步驟中形成的有機EL元件與TFT 1連接。
進而，為了使由配線2的形成所引起的凹凸平坦化，而以埋入由配線2引起的凹凸的狀態於絕緣膜3上形成平坦化膜4。於絕緣膜3上形成平坦化膜4，是將實施例16的感光性樹脂組成物旋轉塗佈於基板上，於加熱板上進行預烘烤(90℃/120秒)後，自遮罩上，使用高壓水銀燈照射45mJ/cm2(照度20mW/cm2)的i射線(365nm)後，利用鹼水溶液(0.4%的TMAH水溶液)進行顯影而形成圖案，使用超高壓水銀燈，以累計照射量成為300mJ/cm2(照度：20mW/cm2，i射線)的方式進行全面曝光，進行230℃/30分鐘的加熱處理。
塗佈感光性樹脂組成物時的塗佈性良好，曝光、顯影、煅燒後所獲得的硬化膜上未確認到皺褶或龜裂的產生。進而，配線2的平均階差為500nm，所製作的平坦化膜4的膜厚為2,000nm。
繼而，於所得的平坦化膜4上形成底部發光型的有機EL元件。首先，於平坦化膜4上，使包含ITO的第一電極5經由接觸孔7而連接於配線2來形成。然後，塗佈抗蝕劑進行預烘烤，隔著所需圖案的遮罩進行曝光、顯影。將該抗蝕劑圖案作為遮罩，藉由使用ITO蝕刻劑的濕式蝕刻來進行圖案加工。然後，使用抗蝕劑剝離液(Remover 100，安智電子材料(AZ Electronic Materials)公司製造)，於50℃下剝離上述抗蝕劑圖案。以上述方式獲得的第一電極5相當於有機EL元件的陽極。
繼而，形成覆蓋第一電極5的周緣的形狀的絕緣膜8。 於絕緣膜8上，使用實施例16的感光性樹脂組成物，以與上述相同的方法形成絕緣膜8。藉由設置該絕緣膜8，可防止第一電極5與其後的步驟中形成的第二電極之間的短路。
進而，於真空蒸鍍裝置內隔著所需的圖案遮罩，依次蒸鍍而設置電洞傳輸層、有機發光層、電子傳輸層。繼而，於基板上方的整個面形成包含Al的第二電極。藉由自蒸鍍機中取出所得的上述基板，並使用紫外線硬化型環氧樹脂而與密封用玻璃板進行貼合來密封。
以上述方式，獲得於各有機EL元件上連接用於將其驅動的TFT 1而成的主動矩陣型有機EL顯示裝置。經由驅動電路來施加電壓，結果可知為表現出良好的顯示特性且可靠性高的有機EL顯示裝置。
10‧‧‧液晶顯示裝置
12‧‧‧背光單元
14、15‧‧‧玻璃基板
16‧‧‧TFT
17‧‧‧硬化膜
18‧‧‧接觸孔
19‧‧‧ITO透明電極
20‧‧‧液晶
22‧‧‧彩色濾光片

Claims (15)

  1. 一種感光性樹脂組成物，其含有：(A)包含滿足下述(1)及(2)的至少一者的聚合物的聚合物成分；(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保護的殘基的構成單元、以及(a2)具有環氧基的構成單元的聚合物，(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保護的殘基的構成單元的聚合物、以及包括(a2)具有環氧基的構成單元的聚合物；(B)光酸產生劑；(C)分子量小於1000的脂環式環氧化合物；以及(D)溶劑；上述(C)脂環式環氧化合物是由下述式(1)或下述式(X-1)所表示： 式(1)中，n表示1~4的整數；R1表示碳數1~15的有機基，上述有機基為烴基或者包含烴基與-O-、-CO-、-S-及-NR-(R表示氫原子或者碳數1~7的烷基)的至少1個的組合的基團； 式(X-1)中，R4表示碳數1~27的有機基；R5分別表示碳數1~27的取代基；其中，除1個脂環式環氧基以外的碳數為3~30。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物，其中上述(C)脂環式環氧化合物是由下述式(2)所表示： 式(2)中，R2表示碳數1~15的有機基。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物，其中上述(C)脂環式環氧化合物是由下述式(3)所表示：式(3) 式(3)中，R3表示碳數1~15的有機基。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物，其更包含上述(C)脂環式環氧化合物以外的交聯劑。
  5. 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物，其中上述(C)脂環式環氧化合物是由下述式(X-2)所表示： 式(X-2)中，R4分別表示碳數1~27的有機基；R5表示碳數1~27的取代基；其中，除1個脂環式環氧基以外的碳數為3~30。
  6. 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物，其中上述(C)脂環式環氧化合物是由下述式(X-3)所表示： 式(X-3)中，R4分別表示碳數1~27的有機基；其中，除1個脂環式環氧基以外的碳數為3~30。
  7. 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物，其中上述酸分解性基是具有以縮醛的形式受到保護的結構的基團。
  8. 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物，其中上述(A)聚合物成分的任意者為進而含有酸基的聚合物。
  9. 如申請專利範圍第1項所述的感光性樹脂組成物，其中上述(B)光酸產生劑為肟磺酸酯化合物。
  10. 一種硬化膜的製造方法，其特徵在於包括：(1)將如申請專利範圍第1項至第9項中任一項所述的感光性樹脂組成物塗佈於基板上的步驟；(2)自所塗佈的感光性樹脂組成物中去除溶劑的步驟；(3)利用活性放射線對去除了溶劑的感光性樹脂組成物進行 曝光的步驟；(4)利用水性顯影液對經曝光的感光性樹脂組成物進行顯影的步驟；以及(5)對經顯影的感光性樹脂組成物進行熱硬化的後烘烤步驟。
  11. 如申請專利範圍第10項所述的硬化膜的形成方法，其中於上述顯影的步驟後、後烘烤步驟前，包括對經顯影的感光性樹脂組成物進行全面曝光的步驟。
  12. 一種硬化膜，其是利用如申請專利範圍第10項所述的硬化膜的製造方法而形成。
  13. 如申請專利範圍第12項所述的硬化膜，其為層間絕緣膜。
  14. 一種有機電激發光顯示裝置，其包括如申請專利範圍第12項或第13項所述的硬化膜。
  15. 一種液晶顯示裝置，其包括如申請專利範圍第12項或第13項所述的硬化膜。
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