TWI578435B - 基板支撐構件及基板收納裝置 - Google Patents

Description

基板支撐構件及基板收納裝置

本發明係關於一種用於液晶面板等之製造中所使用之熱處理裝置等基板收納裝置，且於將玻璃基板等矩形板狀體工件保持水平狀態之基板支撐構件，尤其係關於一種適合液晶基板之密封硬化處理之基板支撐構件。又，本發明係關於一種具備基板支撐構件之基板收納裝置。

於液晶面板等之製造時，包含對矩形板狀體工件之基板之熱處理。為提高熱處理之作業效率，考慮於熱處理裝置內收納複數片基板，使用設置既定之間隔而多段裝載複數片基板之工件裝載裝置。工件裝載裝置，於各基板收納位置分別配置有基板支撐構件。基板支撐構件抵接於水平狀態之基板之下表面。

例如，於液晶基板之製造時，於以固定間隔配置柔軟性隔片之2片玻璃基板之間填充液晶，並使密封劑貼合2片玻璃基板，且於熱處理裝置內加熱至固定時間使密封劑硬化。

於液晶基板之熱處理時，若因自基板支撐構件對液晶基板作用之應力而導致隔片被壓碎，則2片玻璃基板之間距將不固定，而產生顯示不均。

因此，作為先前之基板支撐構件，存在以聚四氟乙烯等收縮管包覆矩形剖面之不鏽鋼製管周圍者(例如，參照專利文獻1。)。藉由使液晶基板之底面抵接於矩形剖面之一面，可增大二者之接觸面積，緩和作用於液晶基板之應力，而防止隔片發生變形。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2004-108670號公報

然而，近年來，液晶基板之隔片之柔軟性增加，於以不鏽鋼製管作為基材而不具有充分彈性之薄壁之收縮管抵接於液晶基板之先前之基板支撐構件中，無法將應力減小至可防止柔軟性較高之隔片之變形之程度。因此，先前之基板支撐構件存在不適於近年來之液晶基板之密封硬化處理之情形。又，先前之基板支撐構件固定於工件裝載裝置之支架上，故於收縮管由於經時變化而發生破損時，必須拆分支架而更換基板支撐構件。此等問題尤其在因基板之搬入搬出而導致溫度反覆變化之熱處理裝置等基板收納裝置中所使用之基板支撐構件中時常發生。

本發明之目的在於提供一種藉由具備裝卸自由地抵接於基板之耐熱樹脂管，而可以亦可防止基板內柔軟性較高之隔片之變形之方式適用於液晶基板之密封硬化處理，且與基板底面之抵接部分之更換作業容易之基板支撐構件及基板收納裝置。

本發明之基板支撐構件係以固定之間隔沿與基板相對於基板收納裝置內之基板收納位置之搬入方向正交之方向配置數個，並抵接於搬入至上述基板收納位置之基板之底面而支撐該基板。基板支撐構件包含本體、導槽及耐熱樹脂管。本體具有長度方向平行於基板之搬入方向之安裝面。導槽固定於安裝面，且具有於上表面及搬入方向之兩表面開放之凹部。耐熱樹脂管於使上側部分露出至凹部之上方之狀態下沿安裝面嵌入至凹部內。

根據該構成，於基板收納裝置內之基板收納位置中，基板於使底面抵接於複數根耐熱樹脂管之狀態下被支撐。耐熱樹脂管因基板之重量而彈性變形，不會對基板作用較大之應力。又，耐熱樹脂管藉由嵌入至凹部內而保持於安裝面，無須經由固定件進行固定。

於該構成中，導槽亦可採用例如以板金之壓製加工等形成之專用構件，但亦可藉由以各對於相互之間設置既定間隙而固定於安裝面之複數對突起構成而使用通用之構件。

又，較佳為包含直徑小於耐熱樹脂管之內徑之芯材，其具有貫通耐熱樹脂管且夾持耐熱樹脂管圓周方向之一部分而固定於本體之芯材。可將耐熱樹脂管確實地固定於本體。

進而，芯材較佳為僅於自耐熱樹脂管露出之第1端部固定於本體。不自本體卸下芯材而可自芯材之第2端部側裝卸耐熱樹脂管，從而可容易地進行耐熱樹脂管之更換作業。

根據本發明，亦可防止基板內柔軟性較高之隔片之變形，可應用於液晶基板之密封硬化處理，並且可容易地進行與基板底面之抵接部分之更換作業。

以下，參照圖式，針對本發明之實施形態之基板支撐構件及基板收納裝置進行說明。

如圖1所示，關於本發明之第1實施形態之基板支撐構件10經由框架111、112而配置於本發明之基板收納裝置之一例即熱處理裝置100內部之基板收納部110。熱處理裝置100作為一例而用於液晶面板用之液晶基板200之密封硬化處理中。因此，熱處理裝置100具有未圖示之加熱器。熱處理裝置100之內部藉由空氣循環裝置102而保持於均勻之溫度，並且亦存在進行除去塵埃及昇華物之淨化處理之情形。

於熱處理裝置100內，數個基板收納部110於上下方向設置既定之間隔而多段構成。於熱處理裝置100之前表面，擋閘101選擇性開閉自由地設於各基板收納部110所對應之上下方向之位置。液晶基板200載置於搬送裝置300之搬送臂301上而沿搬入方向X搬入至擋閘101所開放之基板收納部110中。於熱處理裝置100之背面，開閉自由地具備維護用之門103、104。

於各基板收納部110中，例如8根基板支撐構件10於使長度方向平行於搬入方向X之狀態下，沿與搬入方向X正交之方向等間隔地配置。各基板支撐構件10配置於不會干擾插入至基板收納部110中之搬送臂301之位置。

如圖2所示，基板支撐構件10具備本體1、導槽2、薄壁管3、及底座4。作為一例，本體1由不鏽鋼製方管構成，並固定於底座4之上部。本體1之上表面成為水平之安裝面1A。作為一例，導槽2係藉由板金之壓製加工而形成為剖面為字形，且底面固定於安裝面1A。導槽2形成於上表面及基板200之搬入方向之兩表面開放之凹部。

薄壁管3相當於本發明之耐熱樹脂管，耐熱樹脂採用例如具有可於250℃下持續使用之耐熱性之可射出成形之熱可塑性樹脂即PEEK(Poly ether ether ketone，聚醚醚酮)作為素材。薄壁管3裝卸自由地嵌入至導槽2之凹部內。此時，薄壁管3之上側部分露出至較導槽2之上端更為上方。

於基板支撐構件10中，薄壁管3之上側部分位於最上方。因此，搬入至基板收納部110內之液晶基板200於使底面抵接於薄壁管3之狀態下被支撐。薄壁管3因液晶基板200之重量而發生彈性變形。

基板支撐構件10使抵接於搬入至各基板收納部110之液晶基板200之底面之薄壁管3而支撐液晶基板200。接受密封硬化處理之液晶基板200為，藉由隔片203而設定相互之間隔之上下之玻璃基板201、202之間填充有液晶204。隔片203係配置為長度方向平行於液晶基板200之插入方向(搬入方向X)。隔片203之長度方向與薄壁管3之長度方向平行。

PEEK等耐熱樹脂製之薄壁管3由於外力之作用而容易發生彈性變形。因此，如圖2所示，於薄壁管3抵接於液晶基板200之底面配置隔片203之位置之情形時，薄壁管3亦充分地發生彈性變形，不會對隔片203作用較大之應力。於隔片203由柔軟性高之材料構成之情形時，亦不會使隔片203發生較大之塑性變形，且於完成後之液晶基板200不產生顯示不均。

薄壁管3為裝卸自由地嵌入至導槽2內，故於因經時劣化而發生硬化或破損之情形時，亦可容易地更換。導槽2既可為與薄壁管3之軸向全長相當之長度，亦可沿薄壁管3之軸向配置於數個位置。

如圖3所示，本發明之第2實施形態之基板支撐構件20係使用複數對螺釘22代替基板支撐構件10之導槽2者。作為一例，各對螺釘22係於相互之間設置既定之間隔而螺合固定於由金屬製方管構成之本體21之上表面之安裝面21A。螺釘22之頭部相當於本發明之突起。考慮薄壁管3之外徑而設定各對螺釘22之頭部之間隔，藉此可不須準備專用之導槽2而使用通用之零件。再者，作為本發明之突起，亦可使用銷或錨定代替螺釘22。

如圖4所示，本發明之第3實施形態之基板支撐構件30 係具有基板支撐構件20之構成，並具備芯材5。芯材5係直徑小於薄壁管3之內徑之金屬線材，且貫通薄壁管3。芯材5係於遍及軸向全長夾持薄壁管3圓周方向之一部分之狀態下固定於本體21之安裝面21A。

薄壁管3由芯材5固定於安裝面21A，而可防止於液晶基板200相對於基板收納部110之搬入搬出時自安裝面21A脫落。

再者，於可藉由芯材5將薄壁管3確實地固定於安裝面21A之條件下，亦可省略2根螺釘22。又，亦可於圖2所示之構成中應用芯材5。

如圖5所示，本發明之第4實施形態之基板支撐構件40係於基板支撐構件30之構成中，僅於第1端部側將芯材5經由安裝板6而固定於本體21之安裝面21A者。芯材5之第2端部於熱處理裝置100之背面側所開放。

於更換薄壁管3時，開放熱處理裝置100之門103、104，將已劣化之薄壁管3自安裝面21A抽拉至熱處理裝置100之背面側，並以芯材5貫通內部之方式將新薄壁管3推入至前表面側。此時，藉由於芯材5之彈性變形之範圍內將芯材5之背面側端部提昇至上方，可容易地進行薄壁管3之抽出裝入。藉此，可極容易地進行薄壁管3之更換作業。於未使用芯材5之情形時，亦可自熱處理裝置100之背面側進行薄壁管3之更換作業，藉此較之自因擋閘101之存在而導致上下方向之開放範圍較小之熱處理裝置100之前表面側進行作業而可提高作業性。

上述之實施形態之說明於所有方面均應考慮為例示，而非限制性者。本發明之範圍係由申請專利範圍表示，而非上述之實施形態。進而，本發明之範圍之意圖為包含與申請專利範圍相等之含義及範圍內之所有變更。

例如，本發明之基板收納裝置不限於對液晶基板200進行加熱處理之熱處理裝置100。對液晶基板200以外之基板進行加熱或冷卻處理之熱處理裝置、及儲留熱處理後之基板之匣盒等亦對應於本發明之基板收納裝置，且可應用本發明之實施形態之基板支撐構件。

1、21．．．本體

1A、21A．．．安裝面

2．．．導槽

3．．．薄壁管(耐熱樹脂管)

4．．．底座

5．．．芯材

6．．．安裝板

10、20、30、40．．．基板支撐構件

22．．．螺釘(突起)

100．．．處理裝置(基板收納裝置)

101．．．擋閘

102．．．空氣循環裝置

103、104．．．門

110．．．基板收納部

111、112．．．框架

200．．．液晶基板

201、202．．．玻璃基板

203．．．隔片

204．．．液晶

300．．．搬送裝置

301．．．搬送臂

X．．．搬入方向

圖1係本發明之實施形態之基板收納裝置之平面剖面圖。

圖2係本發明之第1實施形態之基板支撐構件之正面剖面圖。

圖3係本發明之第2實施形態之基板支撐構件之正面剖面圖。

圖4係本發明之第3實施形態之基板支撐構件之正面剖面圖。

圖5係本發明之第4實施形態之基板支撐構件之正面剖面圖。

1．．．本體

1A．．．安裝面

2．．．導槽

3．．．薄壁管(耐熱樹脂管)

4．．．底座

10．．．基板支撐構件

200．．．液晶基板

201．．．玻璃基板

202．．．玻璃基板

203．．．隔片

204．．．液晶

Claims (7)

1. 一種基板支撐構件，係於與基板相對於基板收納裝置內之基板收納位置之搬入方向正交之方向以固定間隔配置有數個，且抵接於被搬入至上述基板收納位置之基板之底面而支撐該基板者，其具備有：本體，其具有長度方向與上述搬入方向平行之安裝面；導槽，其係固定於上述安裝面，且形成在上表面及上述搬入方向之兩表面開放之凹部；及耐熱樹脂管，其係以PEEK為材料而在使上側部分露出於上述凹部之上方之狀態下沿著上述安裝面被插入上述凹部內者，且被配置為使長度方向平行於上述安裝面之上述長度方向，並於上述基板被載置時發生彈性變形；上述基板在其內側，每隔既定間隔配置有規定該基板之厚度方向之尺寸的隔片，並且在該隔片之間填充有液晶。
2. 如申請專利範圍第1項之基板支撐構件，其中，作為上述隔片，上述基板具備有被配置為長度方向平行於上述基板之插入方向者，且該隔片之長度方向與上述耐熱樹脂管之長度方向平行。
3. 如申請專利範圍第1項之基板支撐構件，其中，上述導槽由複數對突起所構成，該等複數對突起各對在彼此之間設置既定之間隙且被固定於上述安裝面。
4. 如申請專利範圍第2項之基板支撐構件，其中，上述導 槽由複數對突起所構成，該等複數對突起各對在彼此之間設置既定之間隙且被固定於上述安裝面。
5. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之基板支撐構件，其中，其具備有直徑小於上述耐熱樹脂管之內徑的芯材，該芯材貫通上述耐熱樹脂管且夾持上述耐熱樹脂管之圓周方向之一部分而被固定於上述本體。
6. 如申請專利範圍第5項之基板支撐構件，其中，上述芯材僅於自上述耐熱樹脂管露出之一端側被固定於上述本體。
7. 一種基板收納裝置，其具備有申請專利範圍第6項所記載之基板支撐構件、及開閉背面之門，且上述芯材僅於前表面側被固定於上述本體。