TWI559002B - 檢查探針 - Google Patents

Description

檢查探針

本發明係關於具備有超音波探頭之檢查探針(inspection probe)。

專利文獻1中揭示一種可正確地取得被檢體上的位置資料之超音波探頭。此超音波探頭具備有：對於上述被檢體發出並接收超音波之振動子；具有以一定週期讀取上述被檢體的相對向面(與超音波探頭相對向的面)的圖案之光學感測器，且根據以上述光學感測器在任意的週期讀取到的圖案之相對於在一個週期前讀取到的同一圖案之移動量來檢測出自己現在在上述被檢體上的位置之光學位置檢測器；以及收容上述振動子及上述光學位置檢測器之容器。

(先前技術文獻) (專利文獻)

專利文獻1：日本特開2001-349878號公報

根據上述先前技術之超音波探頭，在以光學感測器正確地讀取被檢體的相對向面的圖案，且根據正確地讀取到的圖案而由光學位置檢測器檢測出超音波探頭的位置之際，會有沒注意到氣泡混入被檢體的相對向面的圖案與光學感測器之間而繼續進行圖案的讀取之情形、或光學感測器之圖案的讀取受到來自被檢體的相對向面之反射光的妨礙之情形，而有阻礙正確的圖案的讀取之可能性。

本發明係有鑑於上述的課題而完成者，其目的在於希望能夠防止光學感測器之圖案的讀取受到來自被檢體的相對向面之反射光的妨礙，以及能夠容易地確認是否有氣泡混入被檢體的相對向面的圖案與光學感測器之間，以更正確地讀取被檢體的相對向面的圖案。

本發明之第一態樣係一種檢查系統的檢查探針，上述檢查系統係具有：可在被檢體上移動自如，對上述被檢體照射超音波，並檢測出反射波之超音波探頭；以及根據上述超音波探頭的檢測結果而進行演算處理，以取得上述被檢體的探傷結果之演算處理裝置；上述檢查探針係具備有：可在描繪有排列在上述被檢體上且表示前述被檢體上的位置之二維圖案之片材上移動自如，並且具備有透明性及音波穿透性之框體；固定於上述框體之上述超音波探頭；固定於上述框體，且讀取上述二維圖案之具有預定的視場角(field angle)之讀取頭(reader)；以及固定於上述框體之照明；而上述超音波探頭係在上述框體上固定 成：從上述超音波探頭發出而入射至上述被檢體的相對向面之超音波的入射點會落在上述讀取頭的上述視場角內。

本發明之第二態樣係在上述第一態樣之檢查探針中，上述照明係在上述框體上固定成：從上述照明發出而入射至上述被檢體之照明光的入射角，比從上述超音波探頭發出而入射至上述被檢體之超音波的入射角大。

本發明之第三態樣係將上述照明在上述框體上固定成：使從上述照明發射後未射入上述被檢體而是在上述被檢體的相對向面反射之照明光、及射入上述被檢體之上述照明光的反射光，不會入射到上述讀取頭。

本發明之第四態樣係在上述第一態樣之檢查探針中，上述照明係固定在上述讀取頭的下方。

本發明之第五態樣係在上述第一態樣之檢查探針中，上述框體係實心之單一塊壓克力樹脂(acrylic resin)。

根據本發明，就可防止光學感測器之圖案的讀取受到來自被檢體的相對向面之反射光的妨礙，以及可容易地確認是否有氣泡混入被檢體的相對向面的圖案與光學感測器之間。因此，可正確地讀取被檢體的相對向面的圖案，且可防止發生即使因氣泡之混入而導致音波未入射仍會繼續進行圖案的讀取之情形。

1‧‧‧片材

1a‧‧‧QR碼(二維圖案)

2‧‧‧超音波探頭

2A、212A‧‧‧發送超音波探頭

2B、212B‧‧‧接收超音波探頭

3、30‧‧‧讀取頭

4‧‧‧超音波探傷器

5‧‧‧演算處理裝置

6、60‧‧‧照明

10、20‧‧‧框體

10C‧‧‧框體的一面

11‧‧‧顯示部

12‧‧‧操作部

13‧‧‧通訊I/F部

14‧‧‧演算控制部

14a‧‧‧檢查程式

100、200、212、300‧‧‧檢查探針

110‧‧‧音響隔離面

120‧‧‧鏡子

h‧‧‧螺絲孔

L1‧‧‧視場角中心位置

L2‧‧‧超音波的入射點

P‧‧‧配管

SP‧‧‧相對向面

α、β‧‧‧入射角

γ‧‧‧視場角

第1圖係本發明第一實施形態之檢查系統的功能方塊圖。

第2圖係示意性顯示本發明第一實施形態中的片材的表面之圖。

第3圖係本發明第一實施形態之檢查探針的側面圖。

第4圖係本發明第一實施形態之檢查探針的平面圖。

第5圖係本發明第一實施形態之框體的平面圖。

第6A圖係本發明第一實施形態的第一變形例之檢查探針的平面圖。

第6B圖係本發明第一實施形態的第二變形例之檢查探針的平面圖。

第7圖係本發明第一實施形態的第三變形例之檢查探針的側面圖。

第8A圖係顯示利用本發明第一實施形態之檢查探針讀取被檢體的相對向面之例之圖。

第8B圖係顯示利用本發明第一實施形態之檢查探針讀取被檢體的相對向面之例之圖。

首先，針對本發明的第一實施形態進行說明。

具備有本發明第一實施形態的超音波探頭2之檢查系統，係用於例如配管P(被檢體的一例)之檢查，以檢測出發生於配管P的焊接線之龜裂等。此檢查系統係如第1圖所示，由片材1、超音波探頭2、讀取頭3、超音波探傷器4 及演算處理裝置5所構成。

片材1係如第1圖所示，黏貼於配管P的表面。此片材1係如第2圖所示，其表面在配管P上的軸方向及圓周方向描繪有QR碼(QR code)1a(二維圖案)。QR碼1a包含有表示配管P上的位置(座標)之資料的編碼，QR碼1a係例如在配管P的軸方向及圓周方向以10mm之間隔配置。片材1並非直接黏貼於配管P的表面，而是先在配管P的表面塗佈讓超音波能夠傳播之甘油糊(glycerin paste)(接觸媒質)然後黏貼上去。如此，在塗佈於配管P上之甘油糊之上黏貼片材1，就可藉由甘油糊的黏著性使片材1吸附於配管P，而且即使在配管P的表面有凹凸之情況，也可將片材1貼得很平。

超音波探頭2係透過同軸纜線而連接至超音波探傷器4，且可在配管P上移動自如。並且，超音波探頭2係從前端產生超音波，然後檢測出上述超音波的反射波，並將上述檢測結果作為檢測訊號而將之輸出至超音波探傷器4。舉例來說，此超音波探頭2係藉由檢查員之手動使之在配管P的表面掃描，以檢測出表示配管P的龜裂等之超音波的反射波。

可採用單一個振動子來作為超音波探頭2，亦可採用將振動子排列成矩陣狀而成者來作為超音波探頭2。

讀取頭3係安裝於超音波探頭2的附近，且讀取黏貼於配管P上的片材1表面的QR碼1a之具有預定的視場角γ之光學式讀取頭，透過訊號纜線而連接至通訊 介面(I/F)部13，將包含有讀取到的QR碼1a的圖像之圖像訊號輸出至通訊I/F部13。舉例來說，讀取頭3係由具備有LED(Light Emitting Diode)等發光元件之發光部、及CCD(Charge Coupled Device)攝影機等攝像部所構成，安裝於超音波探頭2之移動方向(掃描方向)的前側或後側。

在本實施形態中，讀取頭3係藉由固定至後述之共通的框體10而與超音波探頭2一體化。

超音波探傷器4係連接至超音波探頭2，而且連接至演算處理裝置5的通訊I/F部13，將電力供給至超音波探頭2及讀取頭3，以及對於從超音波探頭2輸入來之檢測訊號進行A/D轉換然後將之輸出至演算處理裝置5的通訊I/F部13。

第1圖中的箭號的方向，係表示訊號的傳送方向，與上述之電力供給的方向無關。

另外，亦可從超音波探傷器4供給電力至超音波探頭2，且從通訊I/F部13供給電力至讀取頭3。

超音波探頭2與讀取頭3之連接並不限定於有線連接，亦可為無線連接。

另外，亦可設置複數個超音波探頭2。

演算處理裝置5係連接至超音波探傷器4之例如桌上型或筆記型等之個人電腦，且如第1圖所示，具備有顯示部11、操作部12、通訊I/F部13及演算控制部14。

顯示部11係為例如CRT(Cathode Ray Tube， 映像管)顯示器或液晶顯示器等顯示器，在演算控制部14的控制之下顯示各種畫面。

操作部12係由滑鼠等指向裝置(pointing device)及鍵盤所構成，將從使用者接收到的操作指示輸出至演算控制部14。

通訊I/F部13係在演算控制部14的控制之下，透過通訊纜線而在其與超音波探傷器4之間進行各種訊號的發送接收。

通訊I/F部13係透過訊號纜線而連接至讀取頭3，接收讀取頭3所讀取到的QR碼1a的圖像訊號。通訊I/F部13係對於接收到的圖像訊號進行A/D轉換。

演算控制部14係由CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)、ROM(Read Only Memory，唯讀記憶體)、HDD(Hard Disk，硬碟)、RAM(Random Access Memory，隨機存取記憶體)以及與相互電性連接之各部進行各種訊號的發送接收之介面(interface)電路等所構成。此演算控制部14係根據記憶於上述ROM中之各種演算控制程式而進行各種演算處理及進行與各部之通訊，藉此控制演算處理裝置5整體的動作。

演算控制部14係將檢查程式14a記憶於ROM或HDD中，根據檢查程式14a而進行動作，藉此解析由讀取頭3所讀取的QR碼1a而取得配管P上的位置資料(絕對座標)，並使取得的配管P上的位置資料、與從超音波探頭2的檢測結果獲得之探傷結果相關聯。

接著，參照第3至5圖來詳細說明如上述構成之檢查系統的超音波探頭2、讀取頭3、照明6、框體10的構成。在此，將由超音波探頭2、讀取頭3、照明6、框體10所構成之器具稱為檢查探針100。

第3圖係本發明第一實施形態之檢查探針100的側面圖。第4圖係本發明第一實施形態之檢查探針100的平面圖。第5圖係本發明第一實施形態之框體10的平面圖。

第3圖所示之檢查探針100的超音波探頭2係固定至框體10。框體10通常係利用壓克力等之具有音波可穿透性之延遲材而一體形成為單一個構件。本實施形態之框體10係由形成為實心的單一塊壓克力樹脂所形成之具有如同稜鏡(prism)的外觀之構件。此處，所謂的延遲材，係指如同透鏡(lens)般使從超音波探頭2發出的超音波折射而使超音波以任意的角度傳播至被檢體之材料。

本實施形態中之將超音波探頭2固定至框體10之方法係採用螺絲固定，但亦可使用接著劑將超音波探頭2固定至框體10。另外，超音波探頭2與框體10亦可形成為一體構造之框體。此處，框體10的材料並不限定於壓克力，只要是具有透明性及音波可穿透性之素材都可使用。而且，框體10的形狀可依據檢查中要使用的超音波的折射角度而變更。

除了超音波探頭2固定至框體10之外，讀取頭3及照明6也固定至框體10。因此，框體10對於超 音波探頭2而言係發揮作為延遲材之功能，且對於讀取頭3而言係發揮作為稜鏡之功能。亦即，使超音波及光如後述般局部地重疊地在形成為單一塊壓克力樹脂之框體10內傳播，而可實現框體10及檢查探針100之小型化。

本實施形態中之讀取頭3及照明6之固定至框體10的方法也是採用螺絲固定，但亦可使用接著劑來進行固定。

如第3圖所示，在本實施形態中，讀取頭3係垂直向下地固定至框體10而正對於被檢體的相對向面SP。

超音波探頭2係以使從超音波探頭2發出之超音波入射至被檢體的相對向面SP之入射點L2落在讀取頭3的視場角γ內之方式固定至框體10。亦即，超音波探頭2係相對於被檢體的相對向面SP的垂線傾斜一個銳角α而固定至框體10。

從超音波探頭2發出之超音波，係相對於被檢體的相對向面SP以第3圖所示之入射角α入射。

照明6係如第3圖所示，固定於比讀取頭3低之下方處。因此，從照明6發出的照明光，係相對於被檢體的相對向面SP以第3圖所示之入射角β入射。從第3圖可知，照明光的入射角β比超音波的入射角α大。其中，入射角α係以在例如5°至35°之範圍內為佳，更佳者係在10°至25°之範圍內。入射角β係以在例如60°至90°(不包含90°)之範圍內為佳，更佳者係在70°至85°之範圍內。

照明6的配置位置及個數亦可配合框體10的形狀而適當地變更。

從上側觀看如上述之檢查探針100之平面圖係如第4圖所示。在本實施形態中，超音波探頭2係固定於檢查探針100的掃描方向之後方。不過，亦可將讀取頭3固定於檢查探針100的掃描方向的後方，將超音波探頭2固定於前方。

本說明書中，為了方便說明而將第4圖之紙面的左方向定義為檢查探針的掃描方向之前方，但此只是一個例子，亦可使探針在第4圖中的任一個方向掃描。

根據如上述之本實施形態之檢查探針100，可得到如以下所述之技術效果。

因為框體10採用具有透明性及音波可穿透性之壓克力樹脂，所以可使固定於框體10之超音波探頭2所發出或所要接收的超音波及要輸入至讀取頭3的光(影像)都通過框體10。因此，可實現框體10之小型化。

由於實現框體10之小型化，因而可實現包含超音波探頭2之檢查探針100之小型化。因此，檢查探針100的操作性會提升，因為障礙物而無法掃描之範圍會減小。

又，由於框體10之小型化，讀取頭3與超音波探頭2之距離會減小。因此，讀取頭3的視場角中心位置L1與超音波的入射點L2之距離會減小，且進行位置修正之量會減小。此處，所謂的位置修正，係指由讀取頭3所讀到的QR碼1a取得的絕對座標的位置、與得到超音波探頭2 所檢測出的被檢體的檢測結果之位置兩者本來應該一致的，所以在兩個位置不同之情況時要進行使兩個位置一致之修正。

又，根據上述實施形態，由於從超音波探頭2發出的超音波入射至被檢體的相對向面SP之入射點L2會落在讀取頭3的視場角γ內，所以可在讀取頭3的讀取圖像直接確認超音波入射至被檢體之位置。因此，可在演算處理裝置5的顯示部11同時確認成為超音波穿透的障礙之氣泡有無混入、以及表示超音波探頭2的檢測結果之超音波波形，檢查員可集中精神於探傷作業。

上述之氣泡有無混入之讀取例係顯示於第8A及第8B圖中。第8A及8B圖都是顯示利用本發明第一實施形態之檢查探針讀取被檢體的相對向面SP之例之圖。

第8A圖顯示氣泡混入至塗佈在片材1之下的接觸媒質之狀態。在如此的狀態下，由於超音波並不會在作為被檢體之金屬中傳播，所以無法得到正確的檢測結果。另一方面，第8B圖則是顯示接觸媒質中並沒有混入氣泡而可得到正確的檢測結果之狀態。

因此，根據本實施形態，檢查員可容易地確認氣泡有無混入，且可排除在沒注意到氣泡混入而繼續進行檢查之結果無法得到正確的檢查結果之可能性。

而且，照明6係固定在讀取頭3之下，且相對於被檢體的相對向面SP之垂線略微向被檢體的相對向面SP傾斜而固定至框體10。亦即，將照明6在框體10上固定成讓 照明光以入射角β入射至被檢體。因此，讀取頭3所進行之QR碼1a之讀取不會受到在被檢體的相對向面SP反射之照明光之妨礙，而可正確地讀取被檢體的相對向面SP的位置資料。此可能是因為將照明6以上述的角度安裝至框體10，使得照明光相對於被檢體的相對向面SP以較大的入射角β入射，所以從照明6發出後未入射至被檢體而是在被檢體的相對向面SP反射之照明光、及入射至被檢體之照明光的反射光並不會射入到讀取頭3的緣故。

使用上述的照明光的入射角β來表現上述的照明6的傾斜角時，可謂照明6係設成相對於被檢體的相對向面SP的垂線傾斜(90-β)°。因此，若考慮到上述入射角β的範圍，則照明6較佳為相對於被檢體的相對向面SP的垂線在例如0°(不包含0°)至30°之範圍內傾斜，更佳為在5°至20°之範圍內傾斜。

本實施形態中之框體10之用來固定照明6之側的端面10B1，係形成為如第5圖所示之具有鋸齒狀的剖面之形狀。此係為了要避免因使從超音波探頭2發出並入射至被檢體之超音波的反射波、或未入射至被檢體而反射之超音波的反射波中之入射至端面10B1的反射波漫反射而對於直接入射至超音波探頭2之超音波的反射波的檢測造成影響之故。

其中，第5圖中顯示的四個孔部，係將超音波探頭2及讀取頭3固定至框體10之際供螺絲插入之螺絲孔h。

又，亦可在框體10的表面黏貼有防反射 膜、或將框體10的表面塗黑。此係為了防止在外作業之際太陽光入射至框體10內、以及防止在室內作業之際室內照明等外光入射至框體10內。

又，如第3圖所示，將框體10形成為將面向被檢體的相對向面SP之框體10的一面10C的兩端部予以做成倒角。此係為了使框體10可在被檢體的相對向面SP上滑順地移動。

又，在被檢體為配管之情況時，亦可將面向被檢體(配管)的相對向面SP之框體10的一面10C加工成與配管的曲面相配合之凹狀。

接著，利用第6A圖來說明本發明第一實施形態的第一變形例。

以下的說明將只說明與第一實施形態之不同點，與第一實施形態相同之構成元件都將標以相同的元件符號而將其說明予以省略。

第6A圖係本發明第一實施形態的第一變形例之檢查探針200的平面圖。

本發明的第一實施形態的第一變形例係如第6A圖所示，使第一實施形態之超音波探頭2由發送超音波探頭2A及接收超音波探頭2B所構成。其中，發送超音波探頭2A與接收超音波探頭2B係以音響隔離面110使兩者之間進行音響上的隔離。此外，讀取頭3係將框體10固定於在第6A圖的紙面上的上下等分之大致中心的位置。

此處，音響隔離面110係如第6A圖所示，朝檢查探 針200的掃描方向的行進方向側延伸到並未到達讀取頭3之處，但亦可延伸到照明6的附近(未圖示)。音響隔離面110延伸到照明6的附近之情況時，讀取頭3係配置且固定成不會與音響隔離面110相干涉。

如此構成之具備有發送超音波探頭2A及接收超音波探頭2B之檢查探針200，也可得到與第一實施形態之具備超音波探頭2之檢查探針100同樣之技術效果。

在音響之干涉不會影響到檢查之情況，亦可不設置音響隔離面110。例如，作為不設置音響隔離面110的構成之一例，有第6B圖所示之第一實施形態的第二變形例。第6B圖係本發明第一實施形態的第二變形例之檢查探針212的平面圖。在以下之第6B圖的說明中，與第6A圖所示之本發明的第一實施形態的第一變形例同樣之構成都標以相同的元件符號並將其說明予以省略。

第6B圖所示之本發明第一實施形態的第二變形例，係在發送超音波探頭212A與接收超音波探頭212B之間設置讀取頭312。如此構成之檢查探針212，也可得到與第一實施形態之具備超音波探頭2之檢查探針100同樣之技術效果。

接著，利用第7圖來說明本發明第一實施形態的第三變形例。

第7圖係本發明第一實施形態的第三變形例之檢查探針300的側面圖。

第7圖所示之第一實施形態的第三變形例，係將讀取 頭30固定至框體20的端面10A。如第7圖所示，端面10A係形成為與被檢體的相對向面SP大致垂直，而讀取頭30係大致垂直地固定於端面10A。

此處，所謂的大致垂直係指包含垂直且包含可視為垂直之垂直前後10°左右之範圍。

另外，在與固定有讀取頭30之側相反側之框體20的端面10B係固定有鏡子(mirror)120，而讀取頭30係讀取映照在鏡子120之QR碼1a。因此，為了在從讀取頭30觀看鏡子120時使QR碼1a映照在鏡子120上，而將鏡子120沿著相對於被檢體的相對向面SP成傾斜之端面10B而固定。

此外，照明60係固定於與檢查探針300的掃描方向垂直相交之框體20的兩面。

藉由如此構成之檢查探針300，也可得到與第一實施形態之具備超音波探頭2之檢查探針100同樣之技術效果。而且，根據如此之第一實施形態的第三變形例，固定有鏡子120之端面10B係相對於被檢體的相面面SP呈銳角傾斜。因此，對於有不能使用第一實施形態所示的檢查探針100之類的障礙物之被檢體，可使用第一實施形態的第三變形例之檢查探針300。

以上，針對本發明的實施形態進行了說明，但本發明的技術範圍並不限定於前述實施形態，可在未脫離本發明的主旨之範圍內進行各種變更，例如，在上述實施例中從俯視時之框體的 形狀雖為矩形，但只要符合如上述實施形態所記載的超音波探頭2、讀取頭3,30、照明6,60、鏡子120的相互的位置關係，框體的外形亦可為具有圓弧之形狀、或適合檢查員的手操作之任意的形狀。例如，可將框體10形成為如滑鼠之形狀。

又，照明亦可不是固定在框體的一面的整個面，而是配合框體10的形狀而適當地配置。照明亦可設置複數個。

本發明之用途，雖然以上說明的是利用超音波探頭來檢查被檢體的內部之用途，但亦可使用於被檢體的表面檢查。

另外，雖然列舉配管來作為被檢體的一例，但被檢體並不限於配管。

又，在上述記載中，有不記載「超音波」而記載為「音波」之情形，此係因為從超音波探頭發出的並不限於超音波亦可為音波的緣故。

另外，在上述記載中，將從超音波探頭2發出之超音波入射至被檢體的相對向面SP之入射點設為L2，且在第3圖中顯示L2。並且，從超音波探頭2發出之超音波係記載為：相對於被檢體的相對向面SP以第3圖所示之入射角α入射，從照明6發出的照明光係記載為：相對於被檢體的相對向面SP以第3圖所示之入射角β入射。然而，在第3圖中，L2看起來卻不像是對於被檢體的相對向面SP之入射點，而像是對於片材1之入射點，且α,β看起 來卻不像是對於被檢體的相對向面SP之入射角，而像是對於片材1之入射角，此係因做了簡化而圖示的緣故。因此，如上述之記載，將從超音波探頭2發出之超音波入射至被檢體的相對向面SP之點設為入射點L2，從超音波探頭2發出之超音波係相對於被檢體的相對向面SP以第3圖所示之入射角α入射，從照明6發出的照明光係相對於被檢體的相對向面SP以第3圖所示之入射角β入射。

[產業上之可利用性]

根據本發明，可防止光學感測器之圖案的讀取受到來自被檢體的相對向面之反射光的妨礙，並且可容易地確認是否有氣泡混入被檢體的相對向面的圖案與光學感測器之間。因此，可正確地讀取被檢體的相對向面的圖案，且可防止發生即使因氣泡之混入而導致音波未入射仍繼續進行圖案的讀取之情形。

1‧‧‧片材

2‧‧‧超音波探頭

3‧‧‧讀取頭

6‧‧‧照明

10‧‧‧框體

10C‧‧‧框體的一面

100‧‧‧檢查探針

L1‧‧‧視場角中心位置

L2‧‧‧超音波的入射點

P‧‧‧配管

SP‧‧‧相對向面

α、β‧‧‧入射角

γ‧‧‧視場角

Claims (5)

1. 一種檢查系統的檢查探針，前述檢查系統係具有：可在被檢體上移動自如，且對前述被檢體照射超音波，並檢測出反射波之超音波探頭；以及根據前述超音波探頭的檢測結果而進行演算處理，以取得前述被檢體的探傷結果之演算處理裝置；前述檢查探針係具備有：可在描繪有排列在前述被檢體上且表示前述被檢體上的位置之二維圖案之片材上移動自如，並且具備有透明性及音波可穿透性之框體；固定於前述框體之前述超音波探頭；固定於前述框體，且讀取前述二維圖案之具有預定的視場角之讀取頭；以及固定於前述框體之照明；而前述超音波探頭係在前述框體上固定成：從前述超音波探頭發出而入射至前述被檢體的相對向面之超音波的入射點會落在前述讀取頭的前述視場角內。
2. 如申請專利範圍第1項所述之檢查探針，其中，前述照明係在前述框體上固定成：從前述照明發出而入射至前述被檢體之照明光的入射角，比從前述超音波探頭發出而入射至前述被檢體之超音波的入射角大。
3. 如申請專利範圍第1項所述之檢查探針，其中，前述照明係在前述框體上固定成：使從前述照明發出後未射入前述被檢體而是在前述被檢體的相對向面 反射之照明光、及射入前述被檢體之前述照明光的反射光，不會射入到前述讀取頭。
4. 如申請專利範圍第1項所述之檢查探針，其中，前述照明係固定在前述讀取頭的下方。
5. 如申請專利範圍第1項所述之檢查探針，其中，前述框體係實心之單一塊壓克力樹脂。